JPS6265299A - 電荷移送装置 - Google Patents

電荷移送装置

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JPS6265299A
JPS6265299A JP60204676A JP20467685A JPS6265299A JP S6265299 A JPS6265299 A JP S6265299A JP 60204676 A JP60204676 A JP 60204676A JP 20467685 A JP20467685 A JP 20467685A JP S6265299 A JPS6265299 A JP S6265299A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、C(:D  (Charge Couple
d Device ) *アナログ・フィールド−メモ
リ等の電荷移送装置に関するものである。
(従来の技術) 従来、このような分野の技術としては、電子通信学会論
文誌、ED84−78 (1984)P、4?−52に
記載されるものがあった。以下、その構成を図を用いて
説明する。
第2図は従来の電荷移送装置であるCCDアナログ−フ
ィールド・メモリの−・構成例を示す概略構成図である
第2図において、lはアナログ信号INをサンプリング
して入力する入力回路であり、この入力回路1には複数
段の大カシリアルレジスタ2が接続されている。入力シ
リアルレジスタ2にはトランスファケート3を介して複
数列からなるパラレルレジスタ4が接続され、さらにそ
のパラレルレジスタ4に1 トランスファゲート5を介
して複数段の出力シリアルレジスタ6が接続されている
。出力シリアルレジスタ6には、そのレジスタ6の信号
電荷を電圧変換、あるいは電流変換して出力信号を取出
す出力回路7が接続されている。このような構造の装置
を一般にSPS転送型電荷移送装置という。
次に動作について説明する。
先ず、入力回路lにアナログ信号INが入力されると、
その信号量に見合った信号電荷が大カシリアルレジスタ
2の1段目に入力される。入力された信号電荷は入力シ
リアルレジスタ2に印加されるクロックパルスによって
そのレジスタ内を転送される。入力シリアルレジスタ2
の全ての段に信号電荷が入力されると、信号によってト
ランスファケート3が開き、その信号電荷が同時にパラ
レルレジスタ4に転送される。その動作が繰り返され、
パラレルレジスタ4に印加されるクロックパルスに従っ
てそのパラレルレジスタ4内の信号゛1シ荷が出力レジ
スタ6方向(第2図の矢印六方向)へ向って転送されて
いく。
信号電荷がパラレルレジスタ4の最終段に達すると、信
号によってトランスファゲート5が開き、パラレルレジ
スタ最終段の信号1を荷が同時に出力レジスタ6へ転送
される0次いで、出力シリアルレジスタ6に印加される
クロックパルスにより、出力シリアルレジスタ6内の信
号電荷が出力回路7を通して順次、時系列に出力される
第3図は、出力回路7から出力される出力信号が雑音を
含まない理想的な波形図を示している。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、1記構成の装置では、次のような問題点
があった。
■ 電荷移送装置を構成するシリコンチップ内を信号電
荷が転送されるときに、暗電流と呼ばれるリーク電流が
生じることがある。第4図に示すように、そのような暗
電流が生じると、それによって雑音電荷が発生し、この
雑音電荷が雑音信号又となって転送すべき信号電荷に重
畳されて出力信号が歪むという問題点があった。特に、
その影響はシリコンチップの周囲温度が上昇するほど、
顕著になる傾向を有している。
■ 前記暗電流による信号劣化は、出力シリアルレジス
タ6の各段にて異なる。そのため、外部で出力信号の補
正を行なう場合、出力シリアルレジスタ6の出力信号を
アナログ−ディジタル変換後にディジタルメモリで記憶
し、その記憶(aを用いてディジタル−アナログ変換し
た値を該当する出力シリアルレジスタ段毎にその差をと
るようなことをする等、繁雑な回路を必要とするという
問題点があった。
本発明は、前記従来技術が持っていた問題点として、暗
電流により発生した雑音電荷による信号劣化の点と、そ
の信号劣化が出力シリアルレジスタの各段で異なるため
にその補正のための複雑な回路が必要になるという点に
ついて解決した電荷移送袋ごを提供するものである。
(問題点を解決するための手段) 本発明は前記問題点を解決するために、入力回路、入力
シリアルレジスタ、パラレルレジスタ、出力シリアルレ
ジスタ、及び出力回路を備えたSPS構造の電荷移送装
置において、前記複数列のパラレルレジスタを、前記人
力シリアルレジスタから前記出力シリアルレジスタへの
信号転送方向を持つ第1のレジスタと、その信号転送方
向と逆向きの信号転送方向を持つ第2のレジスタとを交
互に配列して構成し、かつ前記第2のレジスタでパラレ
ルに転送される信号を前記入力シリアルレジスタから取
出す出力回路を設けたものである。。
(作 用) 本発明によれば、以上のように電荷移送装置を構成した
ので、第1のレジスタは信号電荷を入力シリアルレジス
から出力シリアルレジスタ方向へ転送するように働き、
また第2のレジスタは暗電流により生じた雑音電荷のみ
を出力シリアルレジスタから入力シリアルレジスタ方向
へ転送するように働く。そのため、第1のレジスタの信
号電荷を出力シリアルレジスタ及び出力回路を通して取
り出すと共に、第2のレジスタの雑音電荷を入力シリア
ルレジスタ及び出力回路を通して取り出し、それら両出
力回路における出力信号の差をとることにより、暗電流
の影響のない理想的な出力信号が得られる。したがって
、前記問題点を除去できるのである。
(実施例) 第1図は本発明の第1の実施例を示す電荷移送装置の概
略構成図である。
第1図において、11はアナログ信号INをサンプリン
グして入力する入力回路であり、この入力回路11には
複数段の2相駆動型入カシリアルレジスタ12が接続さ
れている。入力シリアルレジスタ12は2相のクロック
パルスφ1.φ2で転送動作を行なう、入力シリアルレ
ジスタ12には、信号電荷を電圧に変換してその出力信
号v1を出力する出力回路13が接続されている。
さらに、人力シリアルレジスタ12には、トランスファ
ケート14を介して複数列からなる4相駆動型のパラレ
ルレジスタ15が接続されている。、(ラレルレジスタ
15は、入力シリアルレジスタから出力シリアルレジス
タ方向(矢印A方向)への信号転送を行なう第1のレジ
スタ+5−1と、それとは逆方向(矢印B方向)の信号
転送を行なう第2のレジスタ15−2とを備え、それら
の第1と第2のレジスタ15−1.15−2が交互に配
列されて入力シリアルレジスタ各段にトランスファゲー
ト14を介して接続されている。
それらの第1と第2のレジスタ15−1.15−2は、
トランスファゲート18を介して複数段の2相駆動型出
カシリアルレジスタ17の各段に接続されている。出力
シリアルレジスタ17は2相クロツクツぐルスφ11.
φ12で転送動作を行なう、出力シリアルレジスタ17
には、信号電荷を電圧に変換してその出力信号V2を出
力する出力回路18が接bcキれている。
さらに、出力回路13.18には差動増幅器19が接続
され、その差動増幅器19により両出力信号Vl、V2
の差がとられて出力信号VOとして送出される。
第5図は入力シリアルレジスタ12の部分断面図である
。この人力シリアルレジスタ12では、P型シリコン基
板30内にN−領域31が形成され、さらにそのN−領
域31内にN−領域32が形成されている。
N−領域31及びN−領域32−Lには、酸化膜33を
介して2祖型のゲート電極34が形成され、クロックパ
ルスφlおよびφ2で動作する一対のゲート電極34で
大カシリアルレジスタ12の1段が構成されている。そ
れらのゲート電極34にクロックパルスφl、φ2を印
加することにより、N−領域31内に発生する信号電荷
がゲート電極34下を転送されていく。なお、出力シリ
アルレジスタ17も入力シリアルレジスタ12と同一構
造をしている。
第6図はパラレルレジスタ15を電荷移動方向へ切った
部分断面図である。このパラレルレジスタ15では、P
型シリコン基板30内にN−領域31が形成され、その
N−領域31上に酸化膜35を介して4相型のゲート電
極36−1〜36−4が形成されている。各相のケート
電極36−1〜36−4にクロックパルスP1〜P4を
印加することにより、N領域31内に発生する信号電荷
がゲート電極下を転送されていく。
第7図はパラレルレジスタ15の部分モ面図である。こ
のパラレルレジスタ15では、横方向に延びるポリシリ
コンのゲート電極36−1〜36−4が縦方向に配列さ
れている。ゲート電極3G−1,36−3は同一形状の
帯状をなし、そのゲート電極36−1と36−3の間に
それらと一部重複するような形でゲート電極3G−2,
38−4が配列されている。また、これらのゲート電極
36−1〜36−4とほぼ直交する方向には、複数本の
帯状チャネルストップ37が形成され、そのチャネルス
トップ37によって第1および第2のレジスタ15−1
.15−2が区画されて形成されている。なお、第1.
第2のレジスタ15−1.15−2内に付された数字は
、そのレジスタの段数を表わしている。
第8図は出力回路13の概略構成図である。この出力回
路13では、大カシリアルレジスタ12のN−領域31
と並んでN・領域4oが形成され、ざらにN°領域31
上には酸化FP233を介して出力ゲート電極41が形
成されている。N゛領域40にはMOSトランジスタ4
2のソースとMOS トランジスタ43のゲートが接続
されている。  MOSトランジスタ42はそのドレイ
ンが電!VDDに接続され、ゲートに印加される基準パ
ルスφRによりオン、オフ動作を行なう、  MOS)
ランジスタ43は、そのドレインが電源vDDに接続さ
れ、さらにそのソースが負荷抵抗44を介してクランド
に接続されている。
そして出力ゲート電極41に印加される信号により、N
゛領域40から信号電荷が取り出され、それがMOS 
)ランジスタ42の昇圧動作によってMOS hランジ
メタ43のゲートに与えられると、その!4OSトラン
ジスタ43がオン、オフ動作を行なう、これにより、N
゛領域40から取り出された信号電荷に応じた出力信号
v1がMOS)ランジスタ43のソースから出力される
以上のように構成される電荷移送装置の動作を、第9U
A〜第11図の信号波形図を参照しつつ説明する。なお
、第9図は出力回路18の出力信号v2波形図、第10
図は出力回路13の出力信号Vl波形図、および第11
図は差動増幅器19の出力信号vO波形図である。
先ず、アナログ信号INが入力回路11に入力されると
、入力回路11はアナログ信号INを所定の周波数でサ
ンプリングして入力シリアルレジスタ12にシーえる。
入力シリアルレジスタ12は入力された信号電荷をクロ
ックパルスφl、φ2によって後段レジスタへと転送し
ていく、入力シリアルレジスタ12の全ての段に信号電
荷が入力されると、信号によってトランスファゲート1
4が開き、その信号電荷が同時にパラレルレジスタ15
に転送される。
パラレルレジスタ15内に信号′電荷が入力されると、
矢印A方向に印加されるクロックパルスPI〜P4によ
って信号電荷が第1のレジスタ15−1内を出力シリア
ルレジスタ17方向(矢印入方向)へ転送されていく、
この際、暗電流により雑音電荷が発生すると、この雑V
f電荷が第1と第2のレジスタ15−1.15−2内に
ほぼ同程度入り込む、そのため、第1のレジスタ15−
1では雑音電荷が重畳された信号電荷を出力シリアルレ
ジスタ17方向へ転送していくと共に、第2のレジスタ
15−2では矢印B方向に印加されるクロックパルスP
1〜P4によって雑音電荷を入力シリアルレジスタ12
方向(矢印B方向)へ転送していく。
信号電荷が第1のレジスタ15−1の最終段に達すると
、信号によってトランスフアゲ−)1Bが開き、その信
号電荷が同時に出力シリアルレジスタ17へ転送される
。出力シリアルレジスタ17では入力された信号電荷を
クロックパルスφ11゜φ12によって出力回路18方
向へ転送していく、出力回路18では信号電荷を取り出
し、それに応じた出力信号v2を出力する。この出力信
号v2は、第9図に示すように暗電流により発生した雑
音信号Xを含んでおり、それらが差動増幅器19に与え
られる。
一方、雑音電荷が第2のレジスタ15−2の最終段(入
力シリアルレジスタ12側の段)に達すると、入力シリ
アルレジスタ12から第1のレジスタ15−1への信号
転送完了後にドラスフアゲ−)14が開き、該第2のレ
ジスタ15−2内の雑音電荷が同時に入力シリアルレジ
スタ12へ転送される。入力シリアルレジスタ12に入
力された雑音電荷は、クロックパルスφ1.φ2によっ
て出力回路13方向へと転送されていく、出力回路13
は雑音電荷をそれに応じた電圧に変換し、その出力信号
Vlを順次時系列に出力する。この出力信号Vlは、第
10図に示すように雑音信号Xのみであり、それが差動
増幅器19へ与えられる。
すると、差動増幅器19は入力された出力信号Vl、V
2の差をとり、その出力信号vOを出力する。
この出力信号vOは、第11図に示すように雑音電流が
除去された理想的な出力波形となる。
本実施例では、暗電流により発生した雑音電荷を第2の
レジスタ15−2及び入力シリアルレジスタ12によっ
て転送し、それを出力回路13から出力信号Vlとして
取り出し、これを出力信号v2から除去するようにした
ので、雑音信号Xを簡単に除去でき、しかもそれをアナ
ログ回路のみにて処理できるために回路構成も簡単にな
る。また、パラレルレジスタ15を第1と第2のレジス
タ15−1.15−2で構成したが、それらはパターン
レイアウトを変えるのみで、従来装置の製造プロセスを
用いて容易に製作することが可能である。
第9図は本発明の第2の実施例を示す電荷移送装置の概
略構成図である。
この実施例が第1図のものと異なる点は、パラレルレジ
スタ15における一対の第1.第2のレジスタ15−1
.15−2の幅を、入力シリアルレジスタ12及び出力
シリアルレジスタ17の1段当りの長さとほぼ同じ長さ
にしたことである。そして、入力シリアルレジスタ12
において、パラレルレジスタ15への信号電荷の転送は
クロックパルスφ1に対応するゲートで行ない、さらに
雑音電荷を該入力シリアルレジスタ12に入力するには
、クロックパルスφ2に対応するゲートで行なう。
このような構造では、第1の実施例と同様の作用、効果
が得られるばかりか、装置の小形化が計れる。すなわち
、従来装置とほぼ同じ面積で、同じビット数を得ること
ができる。
なお、本発明は図示の実施例に限定されず、種々の変形
が可能である0例えば、入力回路11及び出力回路13
.18は他の回路で構成してもよい。
また、入力シリアルレジスタ12、出力シリアルレジス
タ17.及びパラレルレジスタ15は、他の相のクロッ
クパルスで駆動するような構造に変形することも可能で
ある。
(発明の効果) 以上詳細に説明したように、本発明によれば、パラレル
レジスタを第1と第2のレジスタで構成し、その第2の
レジスタで雑音電荷のみを転送し、それを入力シリアル
レジスタ及び一方の出力回路を通して取り出すようにし
たので、その雑音電荷を容易に検出できる。しかも出力
シリアルレジスタ及び他方の出力回路を通して取り出し
た出力と、入力シリアルレジスタ及び一方の出力回路を
通して取り出した出力との差を取ることにより、構造簡
単にして精度よく、信号劣化の補正が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1の実施例を示す電荷移送装置の概
略構成図、第2図は従来の電荷移送装置の概略構成図、
第3図およびfJJ4図は第2図の動作を示す出力信号
波形図、第5図は第1図中の入力シリアルレジスタの部
分断面図、第6図は第1中のパラレルレジスタの部分断
面図、第7図は5S1図中のパラレルレジスタの部分平
面図、第8図は第1図中の出力回路の概略構成図、第9
図、第10図および第11図は第1図の出力信号波形図
、第12図は本発明の第2の実施例を示す電荷移送装置
の概略構成図である。 11・・・・・・入力回路、12・・・・・・入力シリ
アルレジスタ、13.18・・・・・・出力回路、15
・・・・・・パラレルレジスタ、15−1・・・・・・
第1のレジスタ、15−2・・・・・・第2のレジスタ
、19・・・・・・差動増幅器。 出願人代理人   柿  本  恭  成11  入力
回路 12  人力シリアルレジスタ 13.18:出力回路 15 バうレルレツスタ +5−1 :第1のしシスタ 15−2  隅2のしνスタ 本4!明の電伺馬送狭宜 第1図 第2図 第3図 L  is  L f。 第7図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、アナログ信号を入力する入力回路と、この入力回路
    に入力されたアナログ信号をシリアルに転送する複数段
    の入力シリアルレジスタと、前記シリアルに転送された
    信号を同時にパラレルに転送する複数列のパラレルレジ
    スタと、前記パラレルに転送された信号を同時に受けて
    シリアルに転送する複数段の出力シリアルレジスタと、
    この出力シリアルレジスタの信号を取出す出力回路とを
    備えた電荷移送装置において、 前記複数列のパラレルレジスタを、前記入力シリアルレ
    ジスタから前記出力シリアルレジスタへの信号転送方向
    を持つ第1のレジスタと、その信号転送方向と逆向きの
    信号転送方向を持つ第2のレジスタとを交互に配列して
    構成し、 かつ前記第2のレジスタでパラレルに転送される信号を
    前記入力シリアルレジスタから取出す出力回路を設けた
    ことを特徴とする電荷移送装置。 2、前記第1および第2のレジスタは、前記入力シリア
    ルレジスタの各段毎に設けられた特許請求の範囲第1項
    記載の電荷移送装置。
JP60204676A 1985-09-17 1985-09-17 電荷移送装置 Expired - Lifetime JPH06105560B2 (ja)

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