NL193677C - Halfgeleidergeheugeninrichting van het ladinggekoppelde type. - Google Patents

Description

Halfgeleidergeheugeninrichting van het ladinggekoppelde type 1 193677

De uitvinding heeft betrekking op een halfgeleidergeheugeninrichting van het ladinggekoppelde type, omvattende een halfgeleiderlichaam met een eerste en een tweede serieregister met een signaaloverdracht-5 kanaal voor het opslaan en in volgorde overdragen van de aan het schuifregister toegevoerde pakketten signaalladingen, een parallelregister met een eerste en een tweede stelsel signaaloverdrachtkanalen voor het opslaan en in volgorde overdragen van pakketten signaalladingen, eerste aandrijfmiddelen die zijn ingericht om de in het signaaloverdrachtkanaal van een serieregister opgeslagen pakketten signaalladingen parallel toe te voeren aan de signaaloverdrachtkanalen van een stelsel signaaloverdrachtkanalen van het 10 parallelregister en tweede aandrijfmiddelen die zijn ingericht om de in de einddelen van de signaaloverdrachtkanalen opgeslagen pakketten signaalladingen parallel over te dragen naar de signaaloverdrachtkanalen van het eerste en het tweede serieregister, waarbij de einddelen van de signaaloverdrachtkanalen van het eerste en het tweede serieregister zijn gekoppeld met middelen voor het verschaffen van het uitgangssignaal van het serieregister, het parallelregister zodanig is ingericht dat de signaaloverdracht-15 kanalen onderling evenwijdig zijn en afwisselend deel uitmaken van een ander stelsel signaaloverdrachtkanalen en dat de pakketten signaalladingen langs de signaaloverdrachtkanalen van het eerste stelsel worden overgedragen in de richting die teruggesteld is aan de richting waarin de pakketten signaalladingen worden overgedragen langs de signaaloverdrachtkanalen van het andere stelsel.

Een dergelijke halfgeleidergeheugeninrichting is bekend uit het Amerikaanse octrooischrift 4.165.539. De 20 bekende halfgeleidergeheugeninrichting is ingericht om met gebruikmaking van overdrachtkloksignalen met twee fasen voor iedere periode van het overdrachtkloksignaal een monster van een informatiesignaal in de vorm van een pakket signaalladingen in een eerste fase van het overdrachtkloksignaal toe te voeren aan het eerste serieregister en het volgende pakket signaalladingen in de tweede fase van het overdrachtkloksignaal toe te voeren aan het tweede serieregister.

25 De aan de ingang van het eerste serieregister toegevoerde pakketten signaalladingen worden langs het signaaloverdrachtkanaal overgedragen, worden vervolgens parallel toegevoerd aan de begindelen van de signaaloverdrachtkanalen van een stelsel signaaloverdrachtkanalen van het parallelregister om te worden overgedragen naar de einddelen van de signaaloverdrachtkanalen en worden vervolgens parallel toegevoerd aan het signaaloverdrachtkanaal van het tweede serieregister om langs het signaaloverdrachtkanaal 30 te worden overgedragen naar de middelen voor het verschaffen van het uitgangssignaal dat tijdens een geschikte fase van de overdrachtkloksignalen wordt ingevoegd in het uitgangssignaal van het eerste serieregister dat is verkregen door de aan de ingang van het tweede serieregister toegevoerde pakketten signaalladingen over te dragen langs het signaaloverdrachtkanaal van het tweede serieregister, de signaaloverdrachtkanalen van het andere stelsel signaaloverdrachtkanalen van het parallelregister en het 35 signaaloverdrachtkanaal van het eerste serieregister. Door de pakketten signaalladingen op deze wijze op te slaan en over te dragen langs de overdrachtkanalen wordt een verdubbeling van de overdrachtsnelheid bewerkstelligd.

Het is algemeen bekend dat halfgeleidergeheugeninrichtingen van het ladinggekoppelde type kunnen worden toegepast voor analoge informatiesignalen door monsters toe te voeren in de vorm van pakketten 40 signaalladingen waarvan de grootte rechtstreeks samenhangt met het analoge informatiesignaal. Bij deze toepassingen wordt de getrouwheid van het door de aan de halfgeleidergeheugeninrichting toegevoerde pakketten signaalladingen voort te brengen uitgangssignaal aangetast, doordat in het halfgeleiderlichaam een met de omgevingstemperatuur samenhangende donkerstroom optreedt en de door de donkerstroom gevormde ruissignaalladingen worden gesuperponeerd op de pakketten signaalladingen die langs de 45 signaaloverdrachtkanalen worden overgedragen. Hierdoor bevat het aan de uitgang van het serieregister voort te brengen uitgangssignaal een door de ruissignaalladingen bepaalde component.

De uitvinding beoogt te voorzien in een halfgeleidergeheugeninrichting van het ladinggekoppelde type, die is voorzien van middelen die de effecten van de door de donkerstroom gevormde ruissignaalladingen op de getrouwheid van het door de aan halfgeleidergeheugeninrichting toegevoerde pakketten signaalladingen 50 voort te brengen uitgangssignaal teniet doen.

Daartoe heeft een halfgeleidergeheugeninrichting van de in de aanhef beschreven soort volgens de uitvinding het kenmerk, dat de eerste aandrijfmiddelen werkzaam zijn van de in het signaaloverdrachtkanaal van een van de serieregisters opgeslagen pakketten signaalladingen parallel toe te voeren aan de signaaloverdrachtkanalen van een van de stelsels signaaloverdrachtkanalen van het parallelregister, het 55 andere stelsel signaaloverdrachtkanalen van het parallelregister is ingericht voor het opslaan en in volgorde overdragen van pakketten ruissignaalladingen, die worden voortgebracht door de donkerstroom, die in het halfgeleiderlichaam optreedt tijdens het overdragen van de uit het serieregister aan het parallelregister 193677 2 toegevoerde pakketten signaalladingen, de tweede aandrijfmiddelen zijn ingericht om de in de einddelen van de signaaloverdrachtkanalen van het ene stelsel opgeslagen pakketten signaalladingen, en de in de einddelen van de signaaloverdrachtkanalen van het andere stelsel opgeslagen pakketten ruissignaal-ladingen gelijktijdig toe te voeren aan de signaaloverdrachtkanalen van de serieregisters, de serieregisters 5 zijn ingericht om de uit het parallelregister toegevoerde pakketten ladingen gelijktijdig in volgorde over te dragen en de middelen voor het verschaffen van de uitgangssignalen van de serieregisters zijn gekoppeld met middelen voor het verschaffen van een voor de optredende donkerstroom gecorrigeerd uitgangssignaal.

Opgemerkt wordt dat uit de publicatie IBM Technical Disclosure Bulletin 16 (1973,09) 4, 1099/1100 bekend is dat bij toepassingen van halfgeleidergeheugeninrichtingen van het ladinggekoppelde type als 10 optische beeldaftastinrichting of vertragingsinrichting waarbij een analoog signaal in de vorm van pakketten signaalladingen worden toegevoerd aan een serieregister de door de donkerstroom veroorzaakte verslechtering van de getrouwheid van het uitgangssignaal voor de toegevoerde pakketten signaalladingen kunnen worden teniet gedaan met gebruikmaking van een in het halfgeleiderlichaam van het serieregister gevormd tweede serieregister van gelijke opbouw. Bij deze toepassingen worden beide serieregisters op gelijke wijze 15 bedreven en worden de uitgangssignalen van de serieregisters toegevoerd aan een verschilversterker ter verkrijging van een voor de effecten van de donkerstroom gecorrigeerd uitgangssignaal voor de aan het serieregister toegevoerde pakketten signaalladingen van het analoge informatiesignaal.

De uitvinding zal worden toegelicht onder verwijzing naar de tekening. Daarin toont: 20 figuur 1 een schema van een uitvoeringsvorm van een ladingsoverdrachtsinrichting; figuur 2 een gedeeltelijke doorsnede van het serieingangsregister volgens figuur 1; figuur 3 een gedeeltelijk bovenaanzicht van het parallelregister volgens figuur 1; figuur 4 en figuur 5 een gedeeltelijke doorsnede over de lijnen VII—VII resp. VIII—VIII van figuur 3; figuur 6 een schema van de uitgangsketen volgens figuur 4; 25 figuren 7-9 golfvormdiagrammen, welke uitgangssignalen volgens figuur 1 tonen, en figuur 10 een schema van een andere uitvoeringsvorm van een ladingsoverdrachtsinrichting.

Figuur 1 toont een schema van een uitvoeringsvorm van een ladingsoverdrachtsinrichting.

Zoals aangegeven omvat de ladingsoverdrachtsinrichting een ingangsketen 11, welke steekproeven 30 neemt van een analoog signaal IN en wel elke keer, dat aan deze keten een klokpuls wordt toegevoerd. De keten levert bij elke bemonstering een pakket ladingsdragers of signaallading, overeenkomende met de steekproefwaarde van het analoge signaal IN. Wanneer een reeks klokpulsen wordt toegevoerd, levert de ingangsketen 11 achtereenvolgens signaalladingen.

Een met twee fazen aangedreven serie-ingangsregister 12 met een aantal trappen is bij het ene of 35 eerste uiteinde daarvan met de ingangsketen 11 verbonden, en draagt de toegevoerde signalen ladingen overeenkomstig twee fazeklokpulsen 01, 02 over. Met het andere of tweede uiteinde van het serieingangsregister 12 is een uitgangsketen 13 verbonden, die de ladingen in spanningssignalen omzet en deze als uitgangssignalen V1 levert.

Een in vier fazen aangedreven parallelregister 15 met een aantal kanalen is via overdrachtspoorten 14 40 met het serie-ingangsregister 12 verbonden. Het parallelregister 15 omvat een eerste stel kanalen 15-1 en een tweede stel kanalen 15-2. De eerste en de tweede stellen kanalen 15-1,15-2 zijn afwisselend opgesteld en zijn aan één uiteinde daarvan met de respectieve trappen van het serie ingangsregister via de overdrachtspoorten 14 verbonden.

Meer in het bijzonder is het eerste stel kanalen met de afwisselende trappen verbonden, terwijl het 45 tweede stel kanalen met de tussengelegen trappen is gekoppeld.

De eerste en tweede stellen kanalen 15-1, 15-2 zijn via overdrachtspoorten 16 verbonden met de respectieve trappen van een in twee fazen aangedreven serie-uitgangsregister 17 met een aantal trappen. Het eerste stel kanalen draagt ladingen in de richting vanuit het serie-ingangsregister naar het serie-uitgangsregister 17 (in de richting van de pijl A) over, terwijl het tweede stel kanalen 15-2 ladingen, in 50 tegengestelde richting (in de richting van de pijl B) overdraagt. Elk van de kanalen 15-1,15-2 bestaat uit een aantal trappen.

Het serie-uitgangsregister 17 draagt ladingen overeenkomstig tweefase-klokpulsen 011, 012 over. Met het uitgangseind van het serie-uitgangsregister 17 is een uitgangsketen 18 verbonden, welke de signaalladingen omzet in spanningssignalen en deze als uitgangssignalen V2 levert.

55 Met de uitgangsketens 13,18 is een differentiaalversterker 19 verbonden, door middel waarvan de verschillen tussen de twee uitgangssignalen V1, V2 worden bepaald en als uitgangssignalen V0 worden geleverd.

3 193677

De ladingen, welke via het eerste stel kanalen 15-1 en het serie-uitgangsregister 17 zijn overgedragen, zijn signaalladingen, welke de steekproefwaarden van het analoge signaal voorstellen, waarbij tijdens de overdracht als gevolg van de in het halfgeleidersubstraat optredende donkerstroom ruisladingscomponenten worden geïntroduceerd, terwijl de ladingen, welke via het tweede stel kanalen 15-2 en het serie-5 ingangsregister 12 zijn overgedragen, ruisladingen zijn, welke de ruisladingencomponenten voorstellen, die een gevolg zijn van de donkerstroom. Het verschil daartussen zal derhalve de oorspronkelijke steekproefwaarden van het analoge signaal IN reflecteren of meer nauwkeurig de signaalladingen, zoals deze vanuit het serie-ingangsregister 12 naar het parallelregister 15 worden overgedragen.

Figuur 2 is een gedeeltelijke doorsnede van het serie-ingangsregister 12. Zoals aangegeven, is een 10 N'-gebied 31 gevormd in een siliciumsubstraat 30 van p-type en is een N' '-gebied 32 in een N*-gebied 31 gevormd. Boven het N'-gebied 31 en het N' -gebied 32 zijn twee-faze poortelektroden 34 gevormd met daartussen een oxide-laag. Het gebied onder elk van de elektroden 34 vormt een ladingsopslagplaats. Elke trap van het serie-ingangsregister 12 bestaat uit een paar opslagplaatsen onder een paar elektroden 34, welke overeenkomstig de klokpulsen 01, 02 werken. Door de klokpulsen 01, 02 aan de poortelektroden 34 15 toe te voeren, worden de signaalladingen in het N'-gebied 31 via de gebieden onder de poortelektroden 34 overgedragen. Bij de afgebeelde uitvoeringsvorm zijn de kanalen 15-1,15-2 beide via niet-afgebeelde overdrachtspoorten, met de ladingsopslagplaatsen onder elektroden, die met de klok 01 werken, verbonden. Het serie-uitgangsregister 17 heeft een opbouw, welke overeenkomt met die van het serie-ingangsregister 12.

20 Figuur 3 is een gedeeltelijk bovenaanzicht van het parallel-register 15. De figuren 4 en 5 zijn gedeeltelijke doorsneden over de respectieve lijnen VII—VII en VIII—VIII van figuur 3. Zoals aangegeven zijn de kanalen 15-1, 15-2, welke zich in verticale richting vanuit het serie-ingangsregister 12 naar het serie-uitgangsregister 17 uitstrekken, van elkaar gescheiden door strookvormige kanaalblokkeringen 37. In elk van de kanalen 15-1, 15-2 is een N'-gebied 31 in een siliciumsubstraat 30 van het p-type gevormd. Uit 25 polysilicium bestaande vier-fase poortelektroden 36-1 t/m 36-4 zijn boven het N'-gebied 31 gevormd met daartussen een oxidelaag 35. Het gebied onder elk van de elektroden 36-1 tot 36-4 vormt een ladingsopslagplaats. Elke trap van elk kanaal bestaat uit vier ladingsopzamelplaatsen onder vier opeenvolgende elektroden 36-1 t/m 36-4. Door klokpulsen P1-P4 aan de poortelektroden 36-1 t/m 36-4 van de respectieve fasen toe te voeren, worden de ladingen in het N'-gebied 31 via de ladingsopslagplaatsen onder de 30 poortelektroden overgedragen. De richting van de ladingsoverdracht in de kanalen 15-1 is vanuit het serie-uitgangsregister 12 naar het serie-uitgangsregister 17, terwijl de richting van de ladingsoverdracht in de kanalen 15-2 vanuit het serie-uitgangsregister 17 naar het serie-ingangsregister 12 is. Om dit te realiseren worden de elektroden op de aangegeven wijze gevormd. Meer in het bijzonder strekken de elektroden zich in het algemeen loodrecht op de kanalen uit en zijn zij boven elkaar opgesteld. De 35 poortelektroden 36-1, 36-3 hebben dezelfde strookvorm en de poortelektroden 36-2, 36-4 zijn tussen de poortelektroden 36-1, 36-3 aangebracht, terwijl de verbindingsgedeelten van de poortelektroden 36-2, 36-4 boven de poortelektroden 36-1, 36-3 zijn gevormd met daartussen een oxidelaag. Bij het weergegeven voorbeeld bevinden de poortelektroden 36-2, 36-4 in de kanalen 15-1 zich (als beschouwd in figuur 3) onder of (als beschouwd in de figuren 4 en 5) rechts van de elektroden 26-1, resp. 36-3, terwijl zij zich in 40 de kanalen 15-2 (als beschouwd in figuur 3) of links van (als beschouwd in de figuren 4 en 5) de respectieve elektroden 36-1, 36-3 bevinden.

Figuur 6 toont een schema van de uitgangsketen 13. De uitgangsketen 13 bezit een N+-gebied 40, dat bij N'-gebied 31 aan het uitgangseinde van het serie-ingangsregister 12 is gevormd. Een uitgangspoort-elektrode 41 bevindt zich boven het N+-gebied 31 met daartussen een oxidelaag 33. Met het N+-gebied 40 45 zijn de toevoerelektroden van een MOS-transistor 42 en de poortelektrode van een MOS-transistor 43 verbonden. Van de MOS-transistor 42 is de afvoerelektrode verbonden met een voedingsbron VDD en de transistor wordt overeenkomstig een aan de poortelektrode daarvan toegevoerde terugstelpuls 0R ingeschakeld. Van de MOS-transistor 43 is de afvoerelektrode verbonden met een voedingsbron VDD en is de toevoerelektrode via een belastingsweerstand 44 geaard.

50 Door een signaal, dat aan de uitgangspoortelektrode 41 wordt toegevoerd, wordt een signaallading uit het N+-gebied 40 afgevoerd en aan de poort van de MOS-transistor 43 toegevoerd, welke in het niet-verzadigde gebied werkt en het poortingangssignaal wordt versterkt teneinde een uitgangssignaal V1 overeenkomende met de signaallading, afgenomen uit het N+-gebied 40, bij de toevoerelektrode van de MOS-transistor 43 op te wekken. Wanneer de MOS-transistor 42 door de terugstelpuls 0R wordt ingescha-55 keld, wordt de lading in het gebied 40 via de MOS-transistor 42 afgevoerd, teneinde gereed te zijn voor de volgende uitgangshandeling.

Alle kloksignalen worden gevoed vanuit een klokgenerator 50, welke schematisch is weergegeven en 193677 4 welke deel uitmaakt van een aandrijfinrichting voor de registers.

Thans zal de werking van een ladingsoverdrachtsinrichting die op de bovenbeschreven wijze is opgebouwd worden beschreven onder verwijzing naar de signaalgolfdiagrammen volgens de figuren 7-9. Figuur 7 is het golfvormdiagram van het uitgangssignaal V2 van de uitgangsketen 18, figuur 8 is het 5 golfvormdiagram van het uitgangssignaal V1 van de uitgangsketen 13 en figuur 9 is het golfvormdiagram van het uitgangssignaal VO van de differentiaalversterker 19.

Wanneer een analoog signaal IN aan de ingangsketen 11 wordt toegevoerd, bemonstert de ingangsketen 11 het analoge signaal IN overeenkomstig een daaraan toegevoerd kloksignaal en levert aan het serie-ingangsregister 12 een signaallading, welke de steekproefwaarde van het analoge signaal IN voorstelt.

10 Wanneer aan de ingangsketen 11 de kiokpuls wordt toegevoerd, worden signaalladingen achtereenvolgens aan het serie-ingangsregister 12 toegevoerd. De signaalladingen, welke zijn toegevoerd, worden overeenkomstig de klokpulsen 01, 02 naar de volgende trappen overgedragen. De klokpulsen 01, 02 hebben een frequentie, welke tweemaal zo groot is als die van de klokpulsen, welke voor het bemonsteren aan de ingangsketen 11 worden toegevoerd. Wanneer de signaalladingen aan alle afwisselende trappen bijvoor-15 beeld de oneven genummerde (als gerekend vanaf het ingangseind) trappen van het serie-ingangsregister 12 zijn toegevoerd, worden de overdrachtspoorten 14 overeenkomstig een kloksignaal geopend en worden de signaalladingen naar de signaaloverdrachtskanalen 15-1 van het parallelregister 15 overgedragen.

De signaalladingen, welke aan het eerste stel kanalen 15-1 zijn toegevoerd, worden via deze kanalen naar het serie-uitgangsregister 17 (in de richting van de pijl A) overeenkomstig de klokpulsen P1 t/m P4 20 overgedragen. Indien ruisladingen worden opgewekt, treden zij in de eerste en tweede stellen kanalen 15-1, 15-2 in dezelfde mate binnen. Dientengevolge worden de signaalladingen met de daarop gesuperponeerde ruisladingen via het eerste stel kanalen 15-1 naar het serie-uitgangsregister 17 overgedragen, terwijl de ruisladingen via de tweede registerkanalen 15-2 naar het serie-ingangsregister 12 (in de richting van de pijl B) overeenkomstig de klokpulsen P1 t/m P4 worden overgedragen.

25 Wanneer de signaalladingen de eindtrappen van het eerste stel kanalen 15-1 bereiken, worden de overdrachtspoorten 16 overeenkomstig een kiokpuls geopend en worden de signaalladingen gelijktijdig naar het serie-uitgangsregister 17 overgedragen. Het serie-uitgangsregister 17 draagt de signaalladingen overeenkomstig de klokpulsen 011, 012 naar de uitgangsketen 18 over. De uitgangsketen 18 neemt de signaalladingen op en wekt overeenkomstige uitgangssignalen V2 op. De uitgangssignalen V2 bevatten 30 ruissignalen X, als weergegeven in figuur 7, tengevolge van de donkerstroom, en worden aan de differentiaalversterker 19 toegevoerd.

Wanneer de ruisladingen de eindtrappen (de trappen bij het serie-ingangsregister 12) van het tweede stel kanalen 15-2 bereiken, worden de overdrachtspoorten 14 geopend na het voltooien van de signaaloverdracht vanuit het serie-ingangsregister 12 naar het eerste stel kanalen 15-1 en worden de ruisladingen 35 in het tweede stel kanalen 15-2 gelijktijdig naar afwisselende trappen b.v. even genummerde trappen (als gerekend vanaf het ingangseinde) van het serie ingangsregister 12 overgèdragen. De ruisladingen welke aan het serie-ingangsregister 12 zijn toegevoerd, worden naar de uitgangsketen 13 overgedragen. De uitgangsketen 13 zet de ruisladingen om in overeenkomstige spanningssignalen en levert de uitgangssignalen VI achtereenvolgens in een volgorde naar de tijd. De uitgangssignalen VI bestaan, als weergege-40 ven in figuur 8, uit alleen de ruissignalen X en worden toegevoerd aan de differentiaalversterker 19.

De differentiaalversterker 19 bepaalt de verschillen tussen de uitgangssignalen V1, V2. Het uitgangssignalen VO is, als weergegeven in figuur 9, een ideale uitgangsgolfvorm, waarbij de ruiscomponenten zijn geëlimineerd.

Wanneer de ruisladingen via het serie-ingangsregister 12 naar de uitgangsketen 13 worden overgedra-45 gen, wordt de volgende reeks signaalladingen vanuit de ingangsketen 11 toegevoerd en via het serie-ingangsregister 12 overgedragen naar de reeks ruisladingen.

Bij de beschreven uitvoeringsvorm worden de ruisladingen welke een gevolg zijn van de donkerstroom, door het tweede stel kanalen 15-2 en het serie-ingangsregister 12 overgedragen en door de uitgangsketen 13 afgenomen, als de uitgangssignalen VI, welke dan van de uitgangssignalen V2 worden afgetrokken. De 50 ruissignaalcomponenten X worden derhalve op eenvoudige wijze verwijderd. Bovendien wordt deze behandeling met slechts analoge ketens verkregen zodat de ketenconfiguratie eenvoudig is.

Figuur 10 toont een schema van een tweede uitvoeringsvorm van een ladingsoverdrachtsinrichting.

Deze uitvoeringsvorm verschilt van de uitvoeringsvorm van figuur 1 daarin, dat de breedte van een paar kanalen, die bij elkaar zijn gelegen, van de eerste en tweede stel kanalen 15-1, 15-2 in het parallel register 55 15 ongeveer gelijk wordt gemaakt aan de lengte per trap van het serie-ingangsregister 12 en het serie-uitgangsregister 17. De kanalen 15-1 worden met de ladingsopslagplaatsen onder de elektroden 34 overeenkomstig 01 of 011 gekoppeld, terwijl de kanalen 15-2 met de ladingsopslagplaatsen onder de

Claims (2)

1. 5 193677 elektroden 34, overeenkomen met 02 of 012 worden gekoppeld. Met andere woorden worden de kanalen 15-1 met de afwisselende ladingsopzamelplaatsen van het serie-ingangsregister 12 en van het serie-uitgangsregister 17 gekoppeld, terwijl de kanalen 15-2 met tussengelegen ladingsopzamelplaatsen worden gekoppeld. De overdracht van de signaalladingen uit het serie-ingangsregister 12 naar het parallelregister 5 15 geschiedt door de poorten en de ladingsopzamelplaatsen overeenkomende met de klokpuls 01, terwijl de toevoer van de ruisladingen aan het serie-ingangsregister 12 geschiedt door de poorten en de ladingsopzamelplaatsen overeenkomende met de klokpuls 02. De frequentie van de klokpulsen 01, 02 is dezelfde als de frequentie van de bemonstering door de ingangsketen 11. Wanneer alle afwisselende ladingsopzamelplaatsen onder de poortelektroden, overeenko-10 mende met de 01, met de ladingen zijn gevuld, worden de signaalladingen door middel van de overdrachts-poorten 14 overgedragen naar het eerste stel kanalen 15-1 van het parallelregister 15, waarna de ruisladingen vanuit het tweede stel kanalen 15-2 naar de ladingsopzamelplaatsen onder de poortelektroden, overeenkomende met 02 worden overgedragen. De ruisladingen worden naar de uitgangsketen 13 overgedragen waarna de volgende reeks signaalladingen vanuit ingangsketen 11 wordt overgedragen en 15 derhalve wordt een soortgelijke werking herhaald.
2. 20 Halfgeleidergeheugeninrichting van het ladinggekoppelde type, omvattende: een halfgeleiderlichaam met een eerste en een tweede serieregister met een signaaloverdrachtkanaal voor het opslaan en in volgorde overdragen van de aan het schuifregister toegevoerde pakketten signaaladingen, een parallelregister met een eerste en een tweede stelsel signaaloverdrachtkanalen voor het opslaan en 25 in volgorde overdragen van pakketten signaalladingen, eerste aandrijfmiddelen die zijn ingericht om de in het signaaloverdrachtkanaal van een serieregister opgeslagen pakketten signaalladingen parallel toe te voeren aan de signaaloverdrachtkanalen van een stelsel signaaloverdrachtkanalen van het parallelregister en tweede aandrijfmiddelen die zijn ingericht om de in de einddelen van de signaaloverdrachtkanalen opgeslagen pakketten signaalladingen parallel over 30 te dragen naar de signaaloverdrachtkanalen van het eerste en het tweede serieregister, waarbij de einddelen van de signaaloverdrachtkanalen van het eerste en het tweede serieregister zijn gekoppeld met middelen voor het verschaffen van het uitgangssignaal van het serieregister, het parallelregister zodanig is ingericht, dat de signaaloverdrachtkanalen onderling evenwijdig zijn en afwisselend deel uitmaken van een ander stelsel signaaloverdrachtkanalen en dat de pakketten signaalladingen langs de 35 signaaloverdrachtkanalen van het eerste stelsel worden overgedragen in de richting die teruggesteld is aan de richting waarin de pakketten signaalladingen worden overgedragen langs de signaaloverdrachtkanalen van het andere stelsel, met het kenmerk, dat de eerste aandrijfmiddelen werkzaam zijn om de in het signaaloverdrachtkanaal van een van de serieregisters opgeslagen pakketten signaalladingen parallel toe te voeren aan de signaal-40 overdrachtkanalen van een van de stelsels signaaloverdrachtkanalen van het parallelregister, het andere stelsel signaaloverdrachtkanalen van het parallelregister is ingericht voor het opslaan en in volgorde overdragen van pakketten ruissignaalladingen, die worden voortgebracht door de donkerstroom, die in het halfgeleiderlichaam optreedt tijdens het overdragen van de uit het serieregister aan het parallelregister toegevoerde pakketten signaalladingen, de tweede aandrijfmiddelen zijn ingericht om de in de einddelen van 45 de signaaloverdrachtkanalen van het ene stelsel opgeslagen pakketten signaalladingen, en de in de einddelen van de signaaloverdrachtkanalen van het andere stelsel opgeslagen pakketten ruissignaalladingen gelijktijdig toe te voeren aan de signaaloverdrachtkanalen van de serieregisters, de serieregisters zijn ingericht om de uit het parallelregister toegevoerde pakketten ladingen gelijktijdig in volgorde over te dragen en de middelen voor het verschaffen van de uitgangssignalen van de serieregisters zijn gekoppeld 50 met middelen voor het verschaffen van een voor de optredende donkerstroom gecorrigeerd uitgangssignaal. Hierbij 5 bladen tekening