JPS6264977A - 産業用x線異物検査方法及びその実施装置 - Google Patents

産業用x線異物検査方法及びその実施装置

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JPS6264977A
JPS6264977A JP60205575A JP20557585A JPS6264977A JP S6264977 A JPS6264977 A JP S6264977A JP 60205575 A JP60205575 A JP 60205575A JP 20557585 A JP20557585 A JP 20557585A JP S6264977 A JPS6264977 A JP S6264977A
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JP
Japan
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ray
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image
foreign matter
rays
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JP60205575A
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English (en)
Inventor
Mineo Kano
加野 岑夫
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Hitachi Healthcare Manufacturing Ltd
Original Assignee
Hitachi Medical Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は1食品類、化学合成製品類及び各種原材料等に
混入した異物検査技術に係り、特に、拡大機能を設け、
異物の識別能を向上させることにより、生産及び検査過
程における品質管理の精度向上や作業の負担を軽減する
のに好適な産業用X線異物検査装置に関するものである
〔背景技術〕
従来、産業用X線異物検査装置は、X線検出器として光
増倍管(イメージインテンシファイア:以下、1.1.
と称す)とX線テレビジゴン装置との組み合わせ、もし
くはオルシコン方式を採用していた。しかし、1.1.
方式では、視野が狭い点及びメンテナンス費が°増大す
るという問題がある。
また、オルシコン方式は、撮像管が生産縮小され。
はとんど皆無となってきた。
そこで、ラインセンサ方式が有効になってきた。
しかし、このラインセンサ方式における識別能は、セン
サの1素子列の受光面積により決り、異物の識別に限界
があるという問題があった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、被検査物内に混入した異物のXa像を
拡大して異物の存在の識別を容易する技術を提供するこ
とにある。
本発明の他の目的は、被検査物中の異物存在の識別能を
向上させ、生産ラインや検査ラインにおける品質管理の
精度向上や省力化に効果的な産業用X線異物検査装置を
提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は1本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。
〔発明の概要〕
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、産業用異物検査技術においては、被検査物中
に異物があるか否かを検出することが大切であり、実物
大のX線像を観測する必要はないので、大きい信号を取
り出すことに注目してなされたものであり、X線管焦点
を固定し、被検査物とX線検出器受光面との距離をX線
検出器の一つの素子で検出できる程度の大きさの像に拡
大する長さに設定したことを特徴とする産業用X線異物
検査方法である。
そして、前記被検査物とX線検出器受光面との距離をX
線検出器の一つの素子で検出できる程度に像を拡大すよ
うな長さに設定する手段として。
X線検出器受光面又は被検査物を移動させる機構を設け
たことを特徴とした産業用X線異物検査装置である。
〔発明の実施例〕
以下、本発明を実施例とともに図面を用いて説明する。
なお、実施例を説明するための全図において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。
本発明の一実施例の産業用X線異物検査装置の概略構成
を第1図に示す、第2図は1本実施例の産業用X線異物
検査方法の原理を説明するための図、第3図は、本実施
例の拡大時のセンサl素子に投影される異物の大きさを
示す図である。
本実施例の産業用X線異物検査方法の原理は、第1図に
示すように、X線管装[1の焦点と、X線検出器5のフ
ォトセンサ7までの幾何学的距離(以下、SIDという
)Aは一定である。この時。
第2図で示すように、ベルトコンベア13が距離B′の
位置にあると、被検査物9内の異物20は。
距離Bにあり、フォトセンサ7上でA/B (>1)に
わずかに拡大されて投影される。この時、異物20の径
をDとすれば、DXA/Bが、第3図に示すようにフォ
トセンサ7の一つの素子の受光面積の寸法Fより小さい
(すなわち、F>DXAB)と、分解せず、異物20は
識別できない、そこで。
ベルトコンベア13を距離C″の位置まで持ち上げると
異物20は距離Cにあり、A/C(>A/B)に拡大さ
れ、フォトセンサ7に投影される。
すなわち、DXA/C≧Fになるようにベルトコンベア
13の高さC′を決めればよく、これにより、異物20
は識別可能となる。
この時、X線管装!!1の焦点寸法により半影が出現し
、ぼけることはいうまでもないが、解像力ではなく、小
さい物体の存在の有無の識別であるので、大きな要因に
はならない。
次に、本実施例の産業用X線異物検査装置の構成につい
て説明する。
第1図及び第2図において、1はX線管装置、2はXm
高電圧発生装置、3はX線制御装置であり、X線管装r
!11のX線放射の制御、X線放射窓の前に設けられて
いるX線シャッタ19の開閉制御及びベルトコンベア1
3の駆動を行う駆動部lOAを制御するものである。
4は画像処理部であり、X線検出器S内に設けられたフ
ォトセンサ7で検出したアナログ信号を表示信号に処理
するためのものである。X線検出器5は1例えば、蛍光
体6とフォトセンサ7とを組み合わせたものを用いる。
フォトセンサ7は、例えば、480個の1.5m”の素
子からなっている。このX線検出器5は、被検査物9を
透過したX線像を蛍光体6に映像し、この映像をフォト
センサ7で電気信号に変換して検出するためのものであ
る。
前記ベルトコンベア13は駆動ローラ11及びガイド支
持ローラ12に無端ベルト13Aに被検査物9を載置し
て搬送するものである。このベルトコンベア13は、そ
の駆動ローラ11にチェーン等の連結部材10Bに連結
されることにより駆動されるようになっている。ここで
、駆動部10A、駆動ローラ11及び連結部材10Bは
、駆動架台10に取り付けられ、これ全体が、ベルトコ
ンベア13の張力を保つウェイトとして作用するように
なっている。駆動架台10は、ガイドlOCにより、上
下動可能な機構となっている。
さらに、ベルトコンベア13は、ガイド支持ローラ12
に巻かれているが、このガイド支持ローラ12は、ロー
ラガイド16に沿って上下動できる機構になっており、
これにより、ベルトコンベア13を上下動させるもので
ある。この機構は、手動もしくは電動でもよい。
識別すべき異物20の寸法り及び被検査物9の大きさは
、設首された時点で決められ、ベルトコンベア13の高
さC″も決定できるので、ガイド支持ローラ12を、例
えば12′の位置に決めることができる。これにより、
ベルトコンベア13は、13°の位置まで移動されて固
定される。
この時、ベルトコンベア13は、無端ベルト13Aで構
成しているので、ベルト長が決まっている。このため、
前記説明した駆動架台lOを10′の位置に持ち上げる
ことが可能となる。
これとともに、ローラガイド16に取り付けた位置検出
器17が、ガイド支持ローラ12の上下動に連動してお
り、これを画像処理部4の前段に設けた取り込み速度変
換回路18に入力され、ディジタル変換される。これに
より、画像処理部4内の画像移動速度を変更し、被検査
物9の幾何学的拡大と合致させ、相似形になるようにす
る。これら一連の動作で被検査物9及び異物20を拡大
させることができる。
14及び15はそれぞれ被検査物位置検出フォトセンサ
であり、ベルトコンベア13上の被検査物9がX線照射
野内に来たことを検出して、その信号をX線制御装置i
!3へ出力するものである。また、この被検査物位置検
出フォトセンサ14及び15の出力は、被検査物9がX
線検出器5上を通過し、X線照射及びX線停止を行うX
iシャッタ19の制御ならびに画像処理開始を制御する
ものである。19AはX線コリメータである。
次に、本実施例の産業用X線異物検査装置の動作を筒1
p、に説明する。
前記ベルトコンベア13で移動される被検査物9が被検
査物位置検出フォトセンサ15を通過すると、X線シャ
ッタ19が第1図に示すように開き9被検査物を透過し
たX線を蛍光体6と組み合わせたフォトセンサ7を内蔵
したX線検出器5で検出し、その検出信号を画像処理部
4に送り、画像処理した画像を表示装置8に順次表示し
ていく。
次に、被検査物位置検出フォトセンサ14でX線シャッ
タ19を90′回転させてX線を遮断すると同時に1画
像処理を停止させて被検査物9を表示装置8に静止画像
として表示する。
以上の説明かられかるように、本実施例によれば、ベル
トコンベア13をX線検出器5から遠ざけることにより
、X線像を拡大させ、第3図に示すように、異物20の
投影像21から22に拡大させることにより、1!別能
を向上することができる。
以上1本発明を実施例にもとずき具体的に説明したが1
本発明は、前記実施例に限定されるもので1±なく、そ
の要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であるこ
とは言うまでもない。
例えば、前記実施例は、ベルトコンベア13を移動する
ようにしたが、X線検出器5を移動させるようにしても
よい。
また、ベルトコンベア13又はX線検出器5の位置を所
定の拡大X線像が得られるように設定して固定してもよ
い。
〔発明の効果〕
以上説明したように1本発明によれば、被検査物のXI
!像を拡大させる構成にしたことにより、被検査物内に
混入の異物が拡大されるので、その識別能の向上をはか
ることができる。これにより。
生産及び検査過程の品質管理の精度向上及び作業の省力
化をはかることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は1本発明の一実施例の産業用X線異物検査装置
の概略構成を示すブロック図。 第2図は、本実施例の産業用X線異物検査方法の原理を
説明するための図、 第3図は、本実施例の拡大時のセンサ1素子に投形され
る異物の大きさを示す図である。 図中、1・・・X線管装置、2・・・X線高電圧発生装
置、3・・・X線制御装置、4・・・画像処理部、5・
・・X線検出器、7・・・フォトセンサ、9・・・被検
査物、10・・・駆動架台、11・・・駆動ローラ、1
2・・・ガイド支持ローラ、13・・・ベルトコンベア
、16・・・ローラガイド、17・・・位置検出器、1
8・・・取り込み速度変換回路、20・・・異物、21
.22・・・投影図である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被検査物にX線を放射し、その被検査物を透過し
    たX線量をX線検出器で検出することにより、被検査物
    内に混入した異物を検出する産業用X線異物検査方法で
    あって、被検査物とX線検出器受光面との距離を前記X
    線検出器の一つの素子で検出できる程度の大きさの像に
    拡大する長さに設定したことを特徴とする産業用X線異
    物検査方法。
  2. (2)X線発生装置と、X線利用線錐を制限するコリメ
    ータと、被検査物の運搬手段と、被検査物を透過したX
    線量を検出するラインセンサ形X線検出器と、該X線検
    出器の出力を表示する表示装置とからなる産業用X線異
    物検査装置であって、X線管焦点を固定し、X線検出器
    受光面又は被検査物を移動させて幾何学的拡大率を上げ
    る手段を設けたことを特徴とした産業用X線異物検査装
    置。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9020095B2 (en) 2003-04-25 2015-04-28 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanners
US9048061B2 (en) 2005-12-16 2015-06-02 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanners and X-ray sources therefor
JP2016065820A (ja) * 2014-09-25 2016-04-28 アンリツインフィビス株式会社 X線検査装置
US9675306B2 (en) 2003-04-25 2017-06-13 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanning system
US10295483B2 (en) 2005-12-16 2019-05-21 Rapiscan Systems, Inc. Data collection, processing and storage systems for X-ray tomographic images
US10591424B2 (en) 2003-04-25 2020-03-17 Rapiscan Systems, Inc. X-ray tomographic inspection systems for the identification of specific target items
JP2021014998A (ja) * 2019-07-10 2021-02-12 松定プレシジョン株式会社 X線撮影装置

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10175381B2 (en) 2003-04-25 2019-01-08 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanners having source points with less than a predefined variation in brightness
US9618648B2 (en) 2003-04-25 2017-04-11 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanners
US9675306B2 (en) 2003-04-25 2017-06-13 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanning system
US9020095B2 (en) 2003-04-25 2015-04-28 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanners
US10591424B2 (en) 2003-04-25 2020-03-17 Rapiscan Systems, Inc. X-ray tomographic inspection systems for the identification of specific target items
US10901112B2 (en) 2003-04-25 2021-01-26 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanning system with stationary x-ray sources
US11796711B2 (en) 2003-04-25 2023-10-24 Rapiscan Systems, Inc. Modular CT scanning system
US9048061B2 (en) 2005-12-16 2015-06-02 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanners and X-ray sources therefor
US9638646B2 (en) 2005-12-16 2017-05-02 Rapiscan Systems, Inc. X-ray scanners and X-ray sources therefor
US10295483B2 (en) 2005-12-16 2019-05-21 Rapiscan Systems, Inc. Data collection, processing and storage systems for X-ray tomographic images
US10976271B2 (en) 2005-12-16 2021-04-13 Rapiscan Systems, Inc. Stationary tomographic X-ray imaging systems for automatically sorting objects based on generated tomographic images
JP2016065820A (ja) * 2014-09-25 2016-04-28 アンリツインフィビス株式会社 X線検査装置
JP2021014998A (ja) * 2019-07-10 2021-02-12 松定プレシジョン株式会社 X線撮影装置

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