JP2016065820A - X線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検査物16を搬送するベルト搬送装置3と、被検査物16にX線7を照射するX線発生装置2と、被検査物16を挟みX線発生装置2の反対側に設けられX線7を検出するX線検出部4と、X線検出部4と被検査物16とを相対的に接近移動させる移動装置5と、搬送装置3により被検査物16が搬送される搬送基準面Cからの被検査物16の厚さYを取得する厚さ取得部8と、少なくとも記憶部19及び演算部20を有し、被検査物16の厚さY及び搬送基準面CとX線検出部4との距離に基づいてX線検出部4と被検査物16が接触しない最大移動距離Dmaxの演算を演算部20に実行させる制御部6と、を設けた。
【選択図】 図3
Description
本発明の請求項1記載のX線検査装置1は、被検査物16を搬送する搬送装置3と、
前記被検査物16にX線7を照射するX線発生装置2と、
前記被検査物16を挟み前記X線発生装置2の反対側に設けられ前記X線7を検出するX線検出部4と、
前記X線検出部4と前記被検査物16とを相対的に接近移動させる移動装置5と、
前記搬送装置3により前記被検査物16が搬送される搬送基準面Cからの前記被検査物16の厚さYを取得する厚さ取得部8と、
少なくとも記憶部19及び演算部20を有し、前記被検査物16の厚さY及び前記搬送基準面Cと前記X線検出部4との距離に基づいて前記X線検出部4と前記被検査物16が接触しない最大移動距離Dmaxの演算を前記演算部20に実行させる制御部6と、
を具備することを特徴とする。
X線検出部4は、面状検査領域11において被検査物16を透過するX線量の差異からX線画像Pを得る。ここで得られる被検査物16のX線画像Pは、被検査物16の透過画像である。
そして、厚さ取得部8によって搬送基準面(例えば、搬送装置3の搬送面)Cからの被検査物16の厚さYが取得されることで、X線検出部4をどこまで被検査物16に接近させることができるかの距離、すなわち、最大移動距離Dmaxが求まる。
前記制御部6が、前記最大移動距離で前記移動装置5を駆動制御することを特徴とする。
前記厚さ取得部8は、
前記X線発生装置2と前記X線検出部4の距離L1、前記X線発生装置2と前記搬送基準面Cの距離L2、及び前記X線検出部4によって得られた前記被検査物13の輪郭における該被検査物16の厚さYによって生じるボケ21の長さL4に基づいて前記被検査物16の厚さYを取得することを特徴とする。
X線画像Pの輪郭を通るX線7の照射角θは、X線画像Pによって得られている出射中心軸9から輪郭までの長さXと、X線発生装置2からX線検出部4までの距離L1とによって決まり、被検査物16の厚さYは、この照射角θと搬送基準面Cにおけるボケ21を生じさせている被検査物16の実際部分の長さL3から求まる。
X線検出部4をどこまで被検査物16に接近させることができるかの最大移動距離Dmaxは、X線発生装置2とX線検出部4の距離L1から、X線発生装置2と搬送基準面Cの距離L2と、被検査物16の厚さYとを減じることで求めることが可能となる。
前記被検査物16の厚さを検出する非接触センサが、前記X線検出部4と前記X線発生装置2との間における搬入位置、搬出位置、検出位置の少なくともいずれか1か所に設置されることを特徴とする。
前記厚さ取得部8は、前記X線検出部4と前記X線発生装置2との間における搬入位置に設置された前記被検査物16の厚さYを検出する非接触センサであることを特徴とする。
図1は本発明の実施形態に係るX線検査装置の構成を表した概念図、図2はX線発生装置から出射されるX線によって得られる面状検査領域を被検査物の搬送方向下流側から見た正面図、図3は被検査物の搬送方向下流側からX線検査装置を見た被検査物とX線検出部の間隔が縮められる前の正面図である。
本実施形態に係るX線検査装置1は、X線発生装置2と、搬送装置であるベルト搬送装置3と、X線検出部4と、移動装置5と、厚さ取得部8と、制御部6と、を構成の要部に備える。
この他、アジャスト機構は、パルスモータや流体シリンダー等を用いて自動で駆動されるものであってもよい。また、ネジの回転数をカウントするなどの機構部分を備えたネジジャッキ式等の構成としてもよい。
θ=tan-1(X/L1)…(式1)
L3=L4・L2/L1…(式2)
Y=L3/tanθ…(式3)
の各式によって、被検査物16の厚さYを取得することができる。
Dmax=L1−L2−Y=L5−Y…(式4)
の式によって、最大移動距離Dmaxを演算によって得る。
図4は最適設定値の算出手順を表すフローチャート、図5は被検査物の搬送方向下流側からX線検査装置を見た被検査物とX線検出部の間隔が縮められた後の正面図である。
X線検査装置1では、X線検出部4側が、被検査物16に対し、接近離反する方向に移動する。被検査物16とX線検出部4との距離の調整手順は、被検査物16の厚さを、表示装置18などにより数値で得て、手動でX線検出部4側を近接調整する。この際、X線検出部4は、予め被検査物16から離間した位置でスタートさせて、測定後に近づけるという手順とする。
検出ボケ部分の長さL4は、X線画像Pに生じているボケ範囲の長さとして得られる。
被検査物16の厚さYは、(式3)に、ボケ21を生じさせている被検査物16の実際部分の長さL3と、輪郭を通るX線7の照射角θを代入することで求められる。
その結果、X線検出部4と被検査物16が接触しない最大移動距離DmaxをX線画像中の輪郭のボケを利用することによって得ることができる。
その結果、搬送時における被検査物16の厚さをX線画像Pによって得る方法と別の方法によりさらに正確に確認することができ、すなわち、上記した最大移動距離Dmaxの値の精度を向上することが可能となり、鮮鋭な画像取得が可能となる。
また、被検査物16とX線検出部4との距離を近づけることが可能となることで、X線7の照射距離を短くすることができ、X線発生装置2とX線検出部4との間の被検査物16が通る空間の出入口面積、すなわちX線7の漏洩を抑える遮蔽構造体(図示略)の被検査物搬入部分や搬出部分の開口面積を小さくすることが可能となって、これによりX線7の漏洩量を低減させることが可能となる。
2…X線発生装置
3…搬送装置(ベルト搬送装置)
4…X線検出部
5…移動装置
6…制御部
7…X線
8…厚さ取得部
16…被検査物
19…記憶部
20…演算部
21…ボケ
L1…距離
L2…距離
L4…長さ
C…搬送基準面
Dmax…最大移動距離
P…X線画像
Y…厚さ
Claims (5)
- 被検査物(16)を搬送する搬送装置(3)と、
前記被検査物にX線(7)を照射するX線発生装置(2)と、
前記被検査物を挟み前記X線発生装置の反対側に設けられ前記X線を検出するX線検出部(4)と、
前記X線検出部と前記被検査物とを相対的に接近移動させる移動装置(5)と、
前記搬送装置により前記被検査物が搬送される搬送基準面(C)からの前記被検査物の厚さ(Y)を取得する厚さ取得部(8)と、
少なくとも記憶部(19)及び演算部(20)を有し、前記被検査物の厚さ及び前記搬送基準面と前記X線検出部との距離に基づいて前記X線検出部と前記被検査物が接触しない最大移動距離(Dmax)の演算を前記演算部に実行させる制御部(6)と、
を具備することを特徴とするX線検査装置。 - 請求項1記載のX線検査装置であって、
前記制御部が、前記最大移動距離で前記移動装置を駆動制御することを特徴とするX線検査装置。 - 請求項1または2記載のX線検査装置であって、
前記厚さ取得部は、
前記X線発生装置と前記X線検出部の距離(L1)、前記X線発生装置と前記搬送基準面の距離(L2)、及び前記X線検出部によって得られるX線画像(P)の該被検査物の厚さによって生じる輪郭のボケ(21)の長さ(L4)に基づいて前記被検査物の厚さを取得することを特徴とするX線検査装置。 - 請求項3記載のX線検査装置であって、
前記被検査物の厚さを検出する非接触センサが、前記X線検出部と前記X線発生装置との間における搬入位置、搬出位置、検出位置の少なくともいずれか1か所に設置されることを特徴とするX線検査装置。 - 請求項1または2記載のX線検査装置であって、
前記厚さ取得部は、前記X線検出部と前記X線発生装置との間における搬入位置に設置された前記被検査物の厚さを検出する非接触センサであることを特徴とするX線検査装置。
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