JPS6264088A - 抵抗式高温電気炉用発熱材およびその製造法 - Google Patents
抵抗式高温電気炉用発熱材およびその製造法Info
- Publication number
- JPS6264088A JPS6264088A JP20311585A JP20311585A JPS6264088A JP S6264088 A JPS6264088 A JP S6264088A JP 20311585 A JP20311585 A JP 20311585A JP 20311585 A JP20311585 A JP 20311585A JP S6264088 A JPS6264088 A JP S6264088A
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- Japan
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- temperature electric
- high temperature
- electric furnace
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、形状付与が自在な抵抗式高温電気炉用発熱
材およびその製造法に関するものである。
材およびその製造法に関するものである。
一般に、炉内雰囲気が大気で、かつ炉内雰囲気温度が１
２００℃以上の高温となる抵抗式高温電気炉の発熱材と
しては、通常、炭化けい素（以下、ＳｉＣで示す）製の
ものや、黒鉛製のものが広く用いられている。
２００℃以上の高温となる抵抗式高温電気炉の発熱材と
しては、通常、炭化けい素（以下、ＳｉＣで示す）製の
ものや、黒鉛製のものが広く用いられている。
しかし、これらセラミックス質の従来発熱材は、いずれ
も脆く、塑性加工が不可能なものであることから、その
形状は主として棒状に限定されてしまうのが現状で、こ
のため汎用性に欠け、かつこれによって炉の構造自体も
制約を受けるものであった。
も脆く、塑性加工が不可能なものであることから、その
形状は主として棒状に限定されてしまうのが現状で、こ
のため汎用性に欠け、かつこれによって炉の構造自体も
制約を受けるものであった。
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、従来抵
抗式高温電気炉用発熱材のもつ上記のような問題点を解
決すべく研究を行なった結果、まず、金属Ｍｏまたは金
属Ｗ（多結晶質のものでも単結晶質のものでもよい）を
用い、これに塑性加工を施して線状や帯状の所定形成の
基材を成形した後、この基材の表面に薄い３ｉ層を形成
し、この状態で発熱材としての設置Ｎ形状を付与し、つ
いでこれを真空中あるいはＪｌ酸化性雰囲気中で加熱す
るど、前記基体表面には緻密なけい化モリブデンまたは
けい化タングステンからなる反応薄層が形成されるよう
になり、このようにして得られた発熱材は、上記のよう
に基材が塑性加工性を有することから、形状付与が自在
であり、かつ前記反応薄層が熱的にきわめて安定なもの
であるので、大気中での使用に際しても従来ＳｉＣ製発
熱材と同等あるいはこれ以上のすぐれた使用寿命を示す
という知見を得たのである。
抗式高温電気炉用発熱材のもつ上記のような問題点を解
決すべく研究を行なった結果、まず、金属Ｍｏまたは金
属Ｗ（多結晶質のものでも単結晶質のものでもよい）を
用い、これに塑性加工を施して線状や帯状の所定形成の
基材を成形した後、この基材の表面に薄い３ｉ層を形成
し、この状態で発熱材としての設置Ｎ形状を付与し、つ
いでこれを真空中あるいはＪｌ酸化性雰囲気中で加熱す
るど、前記基体表面には緻密なけい化モリブデンまたは
けい化タングステンからなる反応薄層が形成されるよう
になり、このようにして得られた発熱材は、上記のよう
に基材が塑性加工性を有することから、形状付与が自在
であり、かつ前記反応薄層が熱的にきわめて安定なもの
であるので、大気中での使用に際しても従来ＳｉＣ製発
熱材と同等あるいはこれ以上のすぐれた使用寿命を示す
という知見を得たのである。
この発明は、上記知見にもとづいてなされたものであっ
て、金属Ｍｏまたは金属Ｗからなり、かつ線状あるいは
帯状の形状を有する基材の表面に、０．０１〜１００ｕ
ｍの層厚で３ｉ層を１（ｆ積させ、この状態で所定の発
熱材としての設置形状をイ」勺し、ついで、これを真空
中あるいは非酸化性雰囲気中で加熱して、前記基材の表
面に、けい化上リブデンまたはけい化タングステンから
なる反応薄層を形成することによって製造した抵抗式高
温電気炉用発熱材、並びにこれらの基本工程からなる抵
抗式高温電気炉用発熱材の製造法に特徴を有するもので
ある。
て、金属Ｍｏまたは金属Ｗからなり、かつ線状あるいは
帯状の形状を有する基材の表面に、０．０１〜１００ｕ
ｍの層厚で３ｉ層を１（ｆ積させ、この状態で所定の発
熱材としての設置形状をイ」勺し、ついで、これを真空
中あるいは非酸化性雰囲気中で加熱して、前記基材の表
面に、けい化上リブデンまたはけい化タングステンから
なる反応薄層を形成することによって製造した抵抗式高
温電気炉用発熱材、並びにこれらの基本工程からなる抵
抗式高温電気炉用発熱材の製造法に特徴を有するもので
ある。
なお、この発明の製造法において、基材表面に堆積させ
るＳｉ層の層厚を０．０１〜１００μｍとしたのは、そ
の層厚が０，０１μ７１１未満では、基材の表面にけい
化モリブデンまたはけい化タングステンからなる反応薄
層を完全に形成することができず、この結果使用中に大
気中の酸素がＭｉｄの内部まで拡散して酸化されるよう
に４Ｔることがら、所望の長寿命を確保することができ
ず、・一方、その層厚が１００μ班を越えると、基材を
巻きっ【プたり、折り曲げたり、さらにうす巻き加工し
たりするなど、発熱材としての設置形状を（＝Ｉ与する
詩に剥離り“るようになるとい゛）理由によるものであ
る。
るＳｉ層の層厚を０．０１〜１００μｍとしたのは、そ
の層厚が０，０１μ７１１未満では、基材の表面にけい
化モリブデンまたはけい化タングステンからなる反応薄
層を完全に形成することができず、この結果使用中に大
気中の酸素がＭｉｄの内部まで拡散して酸化されるよう
に４Ｔることがら、所望の長寿命を確保することができ
ず、・一方、その層厚が１００μ班を越えると、基材を
巻きっ【プたり、折り曲げたり、さらにうす巻き加工し
たりするなど、発熱材としての設置形状を（＝Ｉ与する
詩に剥離り“るようになるとい゛）理由によるものであ
る。
つぎに、この発明の発熱材およびその製造法を実施例に
より具体的に説明ザる。
より具体的に説明ザる。
まず、基材として、直径： ０．５ｍｍφ×長さ２１
０００ｍの寸法をもった金属Ｍｏ線材および金属Ｗ線材
、並びに幅：５ｓＸ厚さ： ０．５ｍｍＸ長さ〜５０
０ ｍｍの寸法をもった多結晶および単結晶の金・ 属
Ｍｏリボン材おにび全屈Ｗリボン材を用意し、ついで、
これら基材の表面に、通常のイオンブレーティング法を
用いて、それぞれ０．０１μｙｒｔ、１１−１ｍ、５０
．ｃｚｍ、および１００μｍの層厚の３ｉ層を堆積し、
この状態で、これら基材を、線材にあっては、直径：２
０ｍｍφ×長ざ：１００ｍの寸法をもった高純度アルミ
ナ板に６ ｍｍのピッチで巻きつけ、またリボン材にあ
っては、７０ｍｍの曲げ幅で波状に折り曲げて長さ：１
４０ｍｍとして、高純度アルミナ板の上面にとり付け、
ついで、これをＩ Ｘ １０″５ｔｏｒｒの真空中、温
度： ｉ ｏｏｏ℃に１時間保持し、基材表面にけい化
モリブデンまたはけい化タングステンからなる反応薄層
を形成することによって本発明発熱材１〜１６をそれぞ
れ製造した。
０００ｍの寸法をもった金属Ｍｏ線材および金属Ｗ線材
、並びに幅：５ｓＸ厚さ： ０．５ｍｍＸ長さ〜５０
０ ｍｍの寸法をもった多結晶および単結晶の金・ 属
Ｍｏリボン材おにび全屈Ｗリボン材を用意し、ついで、
これら基材の表面に、通常のイオンブレーティング法を
用いて、それぞれ０．０１μｙｒｔ、１１−１ｍ、５０
．ｃｚｍ、および１００μｍの層厚の３ｉ層を堆積し、
この状態で、これら基材を、線材にあっては、直径：２
０ｍｍφ×長ざ：１００ｍの寸法をもった高純度アルミ
ナ板に６ ｍｍのピッチで巻きつけ、またリボン材にあ
っては、７０ｍｍの曲げ幅で波状に折り曲げて長さ：１
４０ｍｍとして、高純度アルミナ板の上面にとり付け、
ついで、これをＩ Ｘ １０″５ｔｏｒｒの真空中、温
度： ｉ ｏｏｏ℃に１時間保持し、基材表面にけい化
モリブデンまたはけい化タングステンからなる反応薄層
を形成することによって本発明発熱材１〜１６をそれぞ
れ製造した。
つぎに、この結果得られた本発明発熱材１〜１６、およ
び従来発熱材として用意した、直径：８＃φ×長さ：１
００ｍの寸法をもったＳｉＣ！１１発熱材に、大気中で
通電して、その表面温度をいずれも１８００℃に上げ、
この状態を保持し、使用寿命に至るまでの時間を測定し
た。この測定結果を第１表に示した。
び従来発熱材として用意した、直径：８＃φ×長さ：１
００ｍの寸法をもったＳｉＣ！１１発熱材に、大気中で
通電して、その表面温度をいずれも１８００℃に上げ、
この状態を保持し、使用寿命に至るまでの時間を測定し
た。この測定結果を第１表に示した。
第１表に示される結果から、本発明発熱材１〜１６は、
いずれも従来ＳｉＣ製発熱材と間等あるいはこれ以上の
長い使用寿命を示すことが明らかである。
いずれも従来ＳｉＣ製発熱材と間等あるいはこれ以上の
長い使用寿命を示すことが明らかである。
上述のように、この発明によれば、基材を構成する金属
Ｍｏおよび金属Ｗ ｈ＜塑性加工性をもつことから、形
状に制約されることなく、自由な形状−〇 − の発熱材を製造することができ、しかもこの結果得られ
た発熱材は、表面に形成された反応薄層によって著しく
長期にｎつでの使用が可能となる４Ｔど工業上有用な効
果がもたらされるのである。
Ｍｏおよび金属Ｗ ｈ＜塑性加工性をもつことから、形
状に制約されることなく、自由な形状−〇 − の発熱材を製造することができ、しかもこの結果得られ
た発熱材は、表面に形成された反応薄層によって著しく
長期にｎつでの使用が可能となる４Ｔど工業上有用な効
果がもたらされるのである。
Claims (2)
- （１）金属Ｍｏまたは金属Ｗからなり、かつ線状あるい
は帯状の形状を有する基材の表面に、けい化モリブデン
またはけい化タングステンからなる反応薄層を形成して
なる抵抗式高温電気炉用発熱材。 - （２）金属Ｍｏまたは金属Ｗからなり、かつ線状あるい
は帯状の形状を有する基材の表面に、０．０１〜１００
μｍの層厚でＳｉ層を堆積させ、この状態で所定の設置
形状を付与し、ついで真空中あるいは非酸化性雰囲気中
で加熱して、前記基材の表面に、けい化モリブデンまた
はけい化タングステンからなる反応薄層を形成すること
を特徴とする抵抗式高温電気炉用発熱材の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20311585A JPS6264088A (ja) | 1985-09-13 | 1985-09-13 | 抵抗式高温電気炉用発熱材およびその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20311585A JPS6264088A (ja) | 1985-09-13 | 1985-09-13 | 抵抗式高温電気炉用発熱材およびその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6264088A true JPS6264088A (ja) | 1987-03-20 |
Family
ID=16468646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20311585A Pending JPS6264088A (ja) | 1985-09-13 | 1985-09-13 | 抵抗式高温電気炉用発熱材およびその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6264088A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5814487A (ja) * | 1981-07-17 | 1983-01-27 | 株式会社東芝 | 電気炉用ヒ−タ |
-
1985
- 1985-09-13 JP JP20311585A patent/JPS6264088A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5814487A (ja) * | 1981-07-17 | 1983-01-27 | 株式会社東芝 | 電気炉用ヒ−タ |
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