JPS6261010A - 光ファイバの融着接続方法 - Google Patents

光ファイバの融着接続方法

Info

Publication number
JPS6261010A
JPS6261010A JP60202427A JP20242785A JPS6261010A JP S6261010 A JPS6261010 A JP S6261010A JP 60202427 A JP60202427 A JP 60202427A JP 20242785 A JP20242785 A JP 20242785A JP S6261010 A JPS6261010 A JP S6261010A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fibers
vessel
fusion splicing
fiber
inert gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP60202427A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0476083B2 (ja
Inventor
Osamu Niihori
新堀　理
Hidenori Mimura
三村　栄紀
Hideharu Tokiwa
常磐　英晴
Tetsuya Nakai
中井　哲哉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KDDI Corp
Original Assignee
Kokusai Denshin Denwa KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kokusai Denshin Denwa KK filed Critical Kokusai Denshin Denwa KK
Priority to JP60202427A priority Critical patent/JPS6261010A/ja
Priority to US06/903,280 priority patent/US4810054A/en
Priority to GB8621339A priority patent/GB2180369B/en
Publication of JPS6261010A publication Critical patent/JPS6261010A/ja
Publication of JPH0476083B2 publication Critical patent/JPH0476083B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/255—Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding
    • G02B6/2551—Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding using thermal methods, e.g. fusion welding by arc discharge, laser beam, plasma torch

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、光ファイバの融着接続方法に関するものであ
る。
（従来の技術） 石英ガラスファイバの伝送損失は、現在１．５５μｍの
波長で０．２ｄＢ／ｋｍとほぼ理論値まで低減され、無
中継で１００ｋｆｆｉ以上の伝送が可能となった。
さらに、ＺｒＦ、、ＨｆＦａ系フッ化物ガラスファイバ
は、２〜４μｍの波長帯において伝送損失が０．０１ｄ
Ｂ／ｋｍ以下になることが、理論的に予測されており、
次世代の光ファイバとして注目されている。
この様にファイバの伝送損失が低くなると、光信号を再
生中継または増幅中継することなく、伝送出来る距離は
数千−以上になる。
しかし、現在の最も進んだ石英ガラスファイバの製造技
術をみても、連続的に作製可能なファイバの長さは１１
００ｋ程度であり、１１０００ｋ以上のファイバを連続
的に製造する技術はなく、しかも、ファイバ全長にわた
ってケーブル化に必要な強度を持つファイバとなると１
０〜２０１ｕｏが限界であり、伝送距離が５Ｑｋｍ程度
のシステムでも光ファイバの接続個所は数個所以上にな
る。従って、光ファイバの低損失化が進めば進む程、低
損失、高強度の光ファイバの接続技術の重要度が増大し
てきている。
現在、石英系光ファイバの接続は、接続すべき二本のフ
ァイバの端を密着させ、その部分を加熱溶融し接続する
融着接続法が最も多く用いられている。この方法は、接
続損失が小さく、しかも、損失の経時変化が極めて小さ
く、光通信の発展の原動力の一つになっているが、接続
強度がファイバ素線の１７３〜１７５程度まで低下する
欠点がある。
この原因は、ファイバ表面の吸着水のため、融着時に微
結晶が生成するものと考えられている。
さらに、フン化物ガラスは、大気中で加熱するとガラス
が軟化する以前に結晶化するため、フッ化物ガラスファ
イバの融着接続は困難であると考えられている。
（発明が解決しようとする問題点） フッ化物ガラスの結晶化の原因には、ガラス自身の不安
定性により結晶化する本質的なものと、雰囲気の酸素や
水蒸気、あるいはガラス表面に吸着された水とガラスが
反応し結晶核を形成し、これが成長し、結晶となる外的
な要因によるものとがある。
これらのうち、前者については、各種の組成のガラスの
粘性の温度特性と結晶化温度を調べた結果、ファイバの
作製が可能な組成の範囲であれば、不活性雰囲気中での
短時間の加熱では結晶化は起こらないことが明らかにな
り、フン化物ガラスファイバを融着接続するための本質
的な障害はないことが明らかになった。
このため、結晶化の外的な要因であるガラス表面の吸着
水等の不純物を完全に除去し、しかも、不活性ガス雰囲
気中で融着接続を行えば、融着接続が可能になる。
同様に、石英ガラスファイバの場合も、ガラス表面の吸
着水を除去すれば、微結晶の生成が抑制でき、高強度の
融着接続が可能になる。
しかし、現在、ガラス表面の吸着水等の不純物を除去す
る方法としては、ガラスを乾燥雰囲気中、又は、真空中
で加熱処理するのが最も効果的であるが、フッ化物ガラ
スのように低温でも水等の不純物と反応し結晶化を起こ
すような材料には適用出来ず、また、熱的に安定な石英
ファイバの場合でも、融着接続部を脱水可能な温度まで
加熱すると、被覆樹脂が変質するため、十分な脱水がで
きない。このため、融着接続部のガラスファイバの吸着
水等の不純物を完全に除去し、清浄なガラス表面を得る
有効な手段がないのが現状である。
（発明の目的と特徴） 本発明は、石英ガラスファイバおよびフン化物ガラスフ
ァイバを高強度で、かつ、低損失に接続するための融着
接続法を提供するものであり、接続部分の近傍のファイ
バ表面の吸着水などの不純物をハロゲン元素を含む不活
性ガスのプラズマで除去した後、アルゴン、ヘリュウム
等の不活性ガス雰囲気中でアーク放電、又は、ＣＯｔレ
ーザ光などの赤外線により融着接続を行うことを特徴と
する。
（作用） 以上の様にファイバ表面をハロゲン元素を含むプラズマ
中で処理することにより、プラズマ中に存在する発生期
状態のハロゲン元素はファイバ表面の不純物と低温で反
応しハロゲン化水素や酸素のようにガラスに対する吸着
ネルギーの小さな物質に分解されるため、ファイバ表面
の吸着水や不純物は低温で容易に除去出来、従来、困難
とされていた、フッ化物ガラスファイバの融着接続が可
能になる。さらに、石英ファイバの高強度の融着接続も
可能になる。
（発明の構成） 本発明の原理を、先ず、フン化物ガラスの表面における
水との反応を例に説明する。フッ化物ガラスと水との反
応は基本的には（１）式に示される反応式に従って進行
する。
（−Ｍ−Ｆ）＋Ｈ２０→（−Ｍ−ＯＨ）→−ＨＦ（１）
ここで、Ｍはガラスを構成する金属元素を示している。
なお、式中の−は、結合を意味し、例えば、Ｍがジルコ
ン（Ｚｒ）の場合には、（１１式は次式のようになる。
ＺｒＦ　４＋　Ｈ２ｏ　−ＺｒＦ　：＋ＯＨ十ＨＦ　　
　（２）この反応は、常温では起こらないが温度が高く
なると進行する。
従って、ファイバ表面の水は加熱されることにより、フ
ッ化物ガラスを構成する金属Ｔ４は、水酸化物となりこ
れが核となり結晶化する。
これに対し、発生期状態のハロゲン元素が存在すると、
次式（２）に示すように、水は反応性の極めて高い発生
期のハロゲン原子と低温でも反応しハロゲン化水素と酸
素に分解される。
ＨｚＯ＋２Ｘ→２ＨＸ＋（１／２）Ｏ□　　（３）分解
生成されたハロゲン化水素および酸素は、ガラスに対す
る吸着エネルギーは水に比べるとはるかに小さいため低
温でもガラス表面から離脱する。即ち、発生期状態のハ
ロゲン原子の存在下でガラスを処理すれば低温でも表面
の吸着水を容易に除去できる。
発生期状態のハロゲン原子は、ハロゲンガスあるいはハ
ロゲン化ガスを含む不活性ガスを高周波グロー放電など
によりプラズマ状態にすれば低温でも容易に発生出来る
。
従って、接続すべき二本のファイバの軸を合せ互いに密
着させ、減圧し、その周辺にハロゲンガスあるいはハロ
ゲン化ガスを含む不活性ガスのプラズマを発生させ脱水
を行った後、再びガラス表面に水分が吸着しないように
乾燥した不活性ガスを導入し常圧にし加熱すればフッ化
物ガラスファイバの融着接続が可能になる。
また、石英ガラスファイバの場合にも、（３）式に示し
た反応により、ガラス表面の吸着水を除去することがで
き、微結晶の生成を抑制できるので、高強度の融着接続
が可能となる。
（実施例） 第１図は、本発明を実施するための装置の構成図であっ
て、１は真空排気可能な接続容器、２はハロゲンガス又
はハロゲン化合物ガスの導入口、３は不活性ガスの導入
口、４は真空排気口、５は真空ポンプ、６は排気口、７
．８．９．１０はストップバルブ、１１１１１ａはファ
イバ、１２はファイバの接続点、１３．１３ａはファイ
バの被覆部分、１４．１４ａは接続容器１内の真空を維
持するためのバンキング、１５．１５ａはファイバの軸
を調整するための治具、１６．１６ａはプラズマを発生
させるための電極、１７．１７８はアーク放電を発生さ
せるための針状電極、１８．１８ａは電極１６と１７を
絶縁するための絶縁材、１９はプラズマを発生させるた
めの高周波電源、２０はアーク放電を発生させるための
高圧電源、２１は高周波電源と高圧電源とを切換えるた
めのスイッチを示している。
ファイバ１１．　ｌｌａの接続に当たっては、まず、各
先端部分の被覆を除去したファイバ１１．　ｌｌａをフ
ァイバの軸合せ治具１５．１５ａに固定し、互いのファ
イバ１１．　ｌｌａの端面を密着させ、かつ、互いの光
軸を合せた後、真空ポンプ５により容器１の内圧が０．
００１　Ｔｏｒｒ程度に排気した後、気体導入口２より
ハロゲンガス又はハロゲン化ガスを含むアルゴン等の不
活性ガスを導入し接続容器１の圧力を０．１〜０．０１
　Ｔｏｒｒにする。しかる後、スイッチ２１により高周
波電力を電極１６に印加しファイバ接続部分の周辺にプ
ラズマを発生させファイバ１１゜１１２の表面の不純物
を除去した後、ストップバルブ７．９を閉じ、８，１０
を開き不活性ガス導入口３より純粋のアルゴン等の不活
性ガスを導入し、接続容器１内を１気圧にし電極１７．
１７ａ間にアーク放電を発生させ、フン化物ガラスファ
イバの融着接続を行う。
本実施例については、既に、実験がなされていて、従来
、不可能とされていたフッ化物ガラスファイバの融着接
続が可能であることが確認された。
（発明の効果） 以上説明したように、本発明の光ファイバの融着接続方
法はハロゲン元素を含むプラズマ中でガラス表面の水等
の不純物を低温で化学的に除去した後融着接続を行うた
め、従来不可能とされていたフン化物ガラスファイバの
融着接続を可能にするほか、石英ガラス光ファイバの融
着接続においても、ガラス表面の吸着水が原因となる強
度の劣化が防止でき、ファイバ素線と同程度の強度の融
着接続が可能になる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施に用いられる接続装置の具体例を
示す接続系統図である。 ■・・・接続容器、　　２・・・ハロゲンガス又はハロ
ゲン化合物ガスの導入口、　３・・・不活性ガスの導入
口、　４・・・真空排気口、　５・・・真空ポンプ、６
・・・排気口、　？、　８．９．１０・・・ス）７プバ
ルブ、１１、　ｌｌａ・・・ファイバ、　１２・・・フ
ァイバの接ｌｉｔ　点、１３、１３３・・・ファイバの
被覆部分、　１４．１４３・・・バッキング、　１５．
１５ａ・・・ファイバの軸を調整するための治具、　１
６．１６ａ・・・電極、１７、１７２−・・針状電極、
　１８．１８３　・・・絶縁材、１９・・・高周波電源
、　２０・・・電圧電源、　２１・・・スイッチ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 接続対象の光ファイバの表面に吸着された吸着水をハロ
    ゲン元素を含む不活性ガスのプラズマで分解除去した後
    、不活性ガス雰囲気中で該接続対象の光ファイバの融着
    接続を行うことを特徴とする光ファイバの融着接続方法
    。
JP60202427A 1985-09-12 1985-09-12 光ファイバの融着接続方法 Granted JPS6261010A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60202427A JPS6261010A (ja) 1985-09-12 1985-09-12 光ファイバの融着接続方法
US06/903,280 US4810054A (en) 1985-09-12 1986-09-03 Fusion splicing method for optical fibers
GB8621339A GB2180369B (en) 1985-09-12 1986-09-04 Fusion splicing method for optical fibers

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60202427A JPS6261010A (ja) 1985-09-12 1985-09-12 光ファイバの融着接続方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6261010A true JPS6261010A (ja) 1987-03-17
JPH0476083B2 JPH0476083B2 (ja) 1992-12-02

Family

ID=16457329

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60202427A Granted JPS6261010A (ja) 1985-09-12 1985-09-12 光ファイバの融着接続方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4810054A (ja)
JP (1) JPS6261010A (ja)
GB (1) GB2180369B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014519616A (ja) * 2011-02-01 2014-08-14 アムルター・コーポレーション・エスディーエヌ・ビーエイチディー 光ファイバー接続システム

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0427705A1 (en) * 1986-05-20 1991-05-15 Fujikura Ltd. Apparatus for fusion-splicing a pair of polarization maintaining optical fibers
US5149350A (en) * 1986-05-20 1992-09-22 Fujikura Ltd. Apparatus for fusion-splicing a pair of polarization maintaining optical fibers
FI79412C (fi) * 1987-10-16 1989-12-11 Nokia Oy Ab Foerfarande och anordning foer framstaellning av ett optiskt foergreningsmedel.
US5002351A (en) * 1988-07-05 1991-03-26 Preformed Line Products Company Fusion splicer for optical fibers
GB8820662D0 (en) * 1988-09-01 1988-10-05 British Telecomm Optical fibre splice
US5170456A (en) * 1988-09-07 1992-12-08 Fujikura Ltd. Apparatus for aligning a plurality of single-fiber cables
EP0400408B1 (de) * 1989-06-02 1996-11-27 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Ausrichtung zweier Lichtwellenleiter-Faserenden und Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens
US5142763A (en) * 1989-09-25 1992-09-01 Hitachi Cable, Ltd. Method for connecting optical fibers sealed in metal pipes
EP0462893B1 (en) * 1990-06-19 1995-04-12 Fujikura Ltd. Method for splicing and reinforcing carbon coated optical fibers
JP2638690B2 (ja) * 1991-03-22 1997-08-06 株式会社フジクラ 光ファイバ融着接続機
JPH04315107A (ja) * 1991-04-12 1992-11-06 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバの接続方法
US5166997A (en) * 1991-10-04 1992-11-24 Norland Products Incorporated Cable retention system
US5249246A (en) * 1992-06-29 1993-09-28 Szanto Attila J Self-contained fiber splicing unit and method for splicing together optical fibers
US5364434A (en) * 1992-09-30 1994-11-15 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Plasma treatment of glass surfaces to remove carbon
EP0623831B1 (en) * 1993-05-03 1999-03-03 AT&T Corp. Method of fusion splicing optical fibers
CA2116934C (en) * 1994-03-03 2000-08-01 Murray R. Harman Method for controlling the contact of optical fibers
SE515665C2 (sv) * 1994-03-30 2001-09-17 Ericsson Telefon Ab L M Återställning av åldrad fibers brottstyrka
US5717813A (en) * 1994-06-27 1998-02-10 Fiberlign A Division Of Preformed Line Products (Canada) Ltd. Fusion splice element for use in splicing optical fibers
US5740301A (en) * 1994-06-27 1998-04-14 Fiberlign Division Of Preformed Line Products Ltd. Fusion splicing block with electrodes disposed on planar surface
US5481640A (en) * 1994-06-27 1996-01-02 Fiberlign Division Of Preformed Line Products (Canada) Ltd. Tool for fusing optical fibers
US5487125A (en) * 1994-06-28 1996-01-23 At&T Corp. Method and apparatus for fusion splicing optical fibers
DE19847774C2 (de) * 1998-10-16 2002-10-17 Peter Foernsel Vorrichtung zur Plasmabehandlung von stab- oder fadenförmigem Material
US20030000256A1 (en) * 2001-04-11 2003-01-02 Ljerka Ukrainczyk Filament housing for fiber splicing and lens fabrication processes
AU782604B2 (en) * 2001-05-22 2005-08-11 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method for fusion splicing optical fibers and apparatus for heating spliced part by arc
US20050207711A1 (en) * 2004-03-19 2005-09-22 Vo Chanh C Optical termination pedestal
WO2006125154A2 (en) * 2005-05-18 2006-11-23 3Sae Technologies, Inc. Method and apparatus for fusion splicing optical fibers
US7313310B2 (en) * 2005-05-25 2007-12-25 Honeywell International Inc. Plasma directing baffle and method of use
US20080217303A1 (en) * 2006-07-06 2008-09-11 Lockheed Martin Corporation Optical fiber fusion splice device for use in confined spaces
US7985029B2 (en) * 2007-02-07 2011-07-26 3Sae Technologies, Inc. Multi-electrode system with vibrating electrodes
US8798427B2 (en) * 2007-09-05 2014-08-05 Corning Cable Systems Llc Fiber optic terminal assembly
US20090211171A1 (en) * 2008-02-25 2009-08-27 Timothy Frederick Summers Multi-dwelling unit multipurpose signal distribution apparatus
CN102209921B (zh) * 2008-10-09 2015-11-25 康宁光缆系统有限公司 具有支持来自光学分路器的输入和输出光纤的适配器面板的光纤终端
US8879882B2 (en) * 2008-10-27 2014-11-04 Corning Cable Systems Llc Variably configurable and modular local convergence point
EP2237091A1 (en) * 2009-03-31 2010-10-06 Corning Cable Systems LLC Removably mountable fiber optic terminal
US8467651B2 (en) 2009-09-30 2013-06-18 Ccs Technology Inc. Fiber optic terminals configured to dispose a fiber optic connection panel(s) within an optical fiber perimeter and related methods
US9547144B2 (en) 2010-03-16 2017-01-17 Corning Optical Communications LLC Fiber optic distribution network for multiple dwelling units
US8792767B2 (en) 2010-04-16 2014-07-29 Ccs Technology, Inc. Distribution device
US9547145B2 (en) 2010-10-19 2017-01-17 Corning Optical Communications LLC Local convergence point for multiple dwelling unit fiber optic distribution network
US9219546B2 (en) 2011-12-12 2015-12-22 Corning Optical Communications LLC Extremely high frequency (EHF) distributed antenna systems, and related components and methods
US10110307B2 (en) 2012-03-02 2018-10-23 Corning Optical Communications LLC Optical network units (ONUs) for high bandwidth connectivity, and related components and methods
JP5230829B1 (ja) * 2012-03-09 2013-07-10 株式会社フジクラ 水分の除去方法、光ファイバの半田付け方法、及び、半導体レーザモジュールの製造方法
US9004778B2 (en) 2012-06-29 2015-04-14 Corning Cable Systems Llc Indexable optical fiber connectors and optical fiber connector arrays
US9049500B2 (en) 2012-08-31 2015-06-02 Corning Cable Systems Llc Fiber optic terminals, systems, and methods for network service management
US8909019B2 (en) 2012-10-11 2014-12-09 Ccs Technology, Inc. System comprising a plurality of distribution devices and distribution device

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5086515A (ja) * 1973-12-03 1975-07-11
JPS57186723A (en) * 1981-05-13 1982-11-17 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Heat sealing connecting method for optical fiber
JPS5940603A (ja) * 1982-08-31 1984-03-06 Sumitomo Electric Ind Ltd 光フアイバ用有機薄膜形成材料

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2348168A1 (fr) * 1976-04-14 1977-11-10 Cables De Lyon Geoffroy Delore Dispositif de soudage de fibres optiques bout a bout
FR2445972A1 (fr) * 1979-01-03 1980-08-01 Lyonnaise Transmiss Optiques Dispositif de soudage de plusieurs fibres optiques bout a bout par nappes et procede de soudage a l'aide de ce dispositif
FR2512433B1 (fr) * 1981-09-08 1986-06-20 Western Electric Co Procede de reduction de la perte de resistance mecanique d'une fibre de verre pendant un traitement thermique
US4666247A (en) * 1985-02-08 1987-05-19 American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories Multiconstituent optical fiber

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5086515A (ja) * 1973-12-03 1975-07-11
JPS57186723A (en) * 1981-05-13 1982-11-17 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Heat sealing connecting method for optical fiber
JPS5940603A (ja) * 1982-08-31 1984-03-06 Sumitomo Electric Ind Ltd 光フアイバ用有機薄膜形成材料

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014519616A (ja) * 2011-02-01 2014-08-14 アムルター・コーポレーション・エスディーエヌ・ビーエイチディー 光ファイバー接続システム

Also Published As

Publication number Publication date
GB8621339D0 (en) 1986-10-15
US4810054A (en) 1989-03-07
GB2180369B (en) 1989-08-23
JPH0476083B2 (ja) 1992-12-02
GB2180369A (en) 1987-03-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6261010A (ja) 光ファイバの融着接続方法
JP2797335B2 (ja) ハーメチック被覆光ファイバの融着接続方法
US4125389A (en) Method for manufacturing an optical fibre with plasma activated deposition in a tube
WO2001029594A1 (en) Titanium-indiffusion waveguides and methods of fabrication
US7192480B2 (en) Ion exchange waveguides and methods of fabrication
Dabby et al. Borosilicate clad fused silica core fiber optical waveguide with low transmission loss prepared by a high‐efficiency process
US6567598B1 (en) Titanium-indiffusion waveguides
JPS59223245A (ja) 光フアイバ母材の製造方法
JPH01153553A (ja) ガラス薄膜の製造方法
JPS60200844A (ja) グロ−放電による光学材料の脱水処理方法
JPS6150886B2 (ja)
JPH0479981B2 (ja)
JPS6217025A (ja) フツ化物ガラスの製造方法
JPS63143508A (ja) フツ化物ガラスフアイバ用プリフオ−ムとその製造方法
JP2682605B2 (ja) ハーメチックコートフッ化物光ファイバの製造方法
JPH06160661A (ja) 光ファイバの高強度接続方法及び装置
JPH04195028A (ja) 光非線形特性を有する光ファイバ
KR100423230B1 (ko) 석영관의 불순물을 제거하는 방법 및 장치
JPH0157884B2 (ja)
JPS63215523A (ja) フツ化物ガラスの製造方法
JPH01201045A (ja) 酸化ゲルマニウム系光ファイバおよびその作製方法
JPH01223733A (ja) 炭化チタン系膜及び窒化チタン系膜のエッチング方法
JPS636842B2 (ja)
JPH1164658A (ja) 光導波路の製造方法
JPS5827213B2 (ja) 光伝送路及びその製法