JPS6256864A - プロ−ビング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 乙の発明は、数十Ｍ　Ｈｚ以上の高周波帯で動作する電
子デバイスの高周波特性を評価するブロービング装置に
関するものである。

〔従来の技術〕

第３図は従来の高周波プロービング装置の一体型ブロー
ブニードル先端部を示し、以下これを用いて従来の方法
を説明する。

第３図（ａ）は、プローブニードル先端部の斜視図であ
り、第３図（ｂ）は同上から見た平面図である。

図に示すように、プローブニードルはセラミック製のボ
ディ（１）の裏面に、３本の金属導体ライン（２ａ）、
（２ｂ）、（２ｃ）を持つ構造となっている。

次に動作について説明する。第３図（ｅ）はブロービン
グ装置を用いて高周波用ＦＥＴを測定している状態を示
す正面図である。図に示すようにニードル先端部の金属
導体ライン（ハ）、（２ｈ）、（２ｃ）を電子デバイス
（４）の電極パッド（３＆）、（３ｂ）、（３Ｃ）に密
着させる。両外側のライン（２ａ）、（２Ｃ）を接地線
とし、中央のライン（２ｂ）を通（７て電気信号をデバ
イスへ送り、それによってデバイスの高周波特性を評価
していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

先に例としたＦＥＴにおいては、中央のゲートをリセッ
シシンによって作製するため、ゲート電極のみならず、
通常なら同一平面上に設けられろはずのゲートパッド（
３ｂ）が十分な高さを得られず、他のパッド（３ａ）　
、（３ｃ）と段差を生じる事が多い。

ところが従来のブロービング装置で１：１′３本の導体
ライン（２ａ）、（２ｂ）、（２Ｃ）が同一平面上にあ
るため、第３図（ｄ）の正面図で拡大して示すように、
電極パソドに高低差のあるデバイスに対して測定できな
いという問題点があった。第３図（ｄ）の状態で、導体
ライン（２ｈ）をパッド（３ｂ）に接触させようと急激
に力を加えれば、他のパッド（３ａ）、（３Ｃ）が破損
を受け、第３図（ｅ）に示すように電極間の短絡等が発
生する。パッドの高低差が小さい場合は、他のパッドに
与えろ損傷を最小限に保ちながらゆっくりと力を加えて
いくのだが、その場合は１回のパッドへの接触に数分も
の時間と非常な熟練を必要とした。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、電極に高低差のあるパッドでも使用可能であ
るとともに、作業に要する時間の短縮が可能なブロービ
ング装置を得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係るプロービング装置は、ブロービニ−ドル
先端部に２本のスリットをいれることにより、３つの接
触片に分割し、それぞれの接触片に弾力性をもたせるよ
うにしたものである。

〔作　用〕

この発明においては、スリッ１−によって３本に分けら
れたプローブニードル先端部が弾力性を持ち、それぞれ
の接触片に自由度があるため、高低差のある電極パッド
に対しても、これを破壊することなく３本のラインを全
て密着させることが可能である。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明ずろ。第１
図＜ｈ＞は本発明の一実施例によるプローブニードル先
端部の斜視図である。第１図（ｂ）は同下から見た平面
図である。図に示すとうり、プローブニードルの先端部
から中央部へスリット（５龜）、（５ｂ）をいれること
によってボディ（１）を３つの接触片（６１）、（６ｂ
）、（６Ｃ）に分割し、それぞれの−片に対し、導体ラ
イン（２ａ）、（２ｂ）、（２Ｃ）を設けている。

第１図（ｃ）は、従来法の第３図（由と同じ状態である
。金属導体ライン（２ｂ）と電極パッド（３ｈ）を接触
させるため、この状態からさらにプローブニードルを下
降させるのであるが、本実施例においては３本のニード
ル先端部接触片に弾力性があるため、パッド（３ａ）　
、（３ｅ）にばさほど力はかからない。よって他のパッ
ドを破壊することなく、導体ライン（２ｂ）をパッド（
３ｂ）に接触させることができ、その結果第１図（、（
）に示すように３本の導体ラインは全てパッドに密着す
る。

なお、上記実施例では超高周波ＦＥＴ用の、導体ライン
３本からなるプローブニードル先端部を示したが、４本
以上の導体ラインからなるニードルについても、第２図
に示すようにスリット（５ａ）、（５ｂ）、（５ｃ）を
設けろことによりニードル先端部を４つの接触片（６ａ
）、（６ｂ）、（６Ｃ）、（６ｄ）に分割することが可
能であり、モ記実施例を同様の効果を奏する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、高低差をもつパッド
についても測定が可能となり、また測定に要する時間が
短縮され、特別な熟練も必要としないという効果がある
。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）はこの発明の一実施例によるプローブニー
ドル先端部斜視図、第１図（ｂ）ば同下から見た平面図
、第１図（Ｃ）、（ｄ）は動作中の同正面図である。 第２図は当発明の転用例としての、４水溝体ラインを持
つニードル先端部の斜視図である。第３図（ａ）は従来
のプローブニードル先端部斜視図、第３図（ｂ）は同下
から見た平面図、第３図（ｃ）、（ｄ’ｌ、（ｅ）は動
作中の同従来例正面図である。 図において、１はプローブニードルのボディ、（２ａ）
、（２ｂ）、（２ｃ）、（２ｄ）は金属導体ライン、（
３ａ）、（３ｂｌ　、（３ｅ）　、（３ｄｌはデバイス
の電極パッドである。 （４）はデバイス本体、（５ａ）、（５ｂ）、（５Ｃ）
はスリット、（６ａ）、（６ｂ）、（６ｃ）、（６ｄ）
はスリットによって分割なれた接触片である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示すもの
とする。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 電子デバイスの評価装置において、プローブニードル先
   端部のスリットを介して分割された複数の接触片と、上
   記それぞれの接触片に電極を有することを特徴とするプ
   ロービング装置。