JPS6255575A - 導体パタ−ンの欠陥検出装置 - Google Patents
導体パタ−ンの欠陥検出装置Info
- Publication number
- JPS6255575A JPS6255575A JP60196967A JP19696785A JPS6255575A JP S6255575 A JPS6255575 A JP S6255575A JP 60196967 A JP60196967 A JP 60196967A JP 19696785 A JP19696785 A JP 19696785A JP S6255575 A JPS6255575 A JP S6255575A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistance
- resistance value
- conductor patterns
- conductive rubber
- defect
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、混成集積回路における導体パターンの欠陥
を検出する装置に関するものである。
を検出する装置に関するものである。
第３図は従来の検出方法である。図において、（１）は
基板、（２ａ）（２ｂ）はパターニングされた導体、（
ｌＯ）は照射光を発するランプ、α１）は顕微鏡である
。
基板、（２ａ）（２ｂ）はパターニングされた導体、（
ｌＯ）は照射光を発するランプ、α１）は顕微鏡である
。
次に動作について説明する。ランプαυにより基板１１
）上にパターニングされている導体（２ａ）（２ｂ）に
光を照射し、顕微釧（１０１で目視する。
）上にパターニングされている導体（２ａ）（２ｂ）に
光を照射し、顕微釧（１０１で目視する。
基板上に付加さ、ｈて贋るパターンは各々が分離されて
いる為、電気的に導通がなく、目視によってショート、
断線等の欠陥を判定する。又、他の方法として、導体パ
ターンの両＠全各々ブローバの針にて接触させ、その間
の導通Ｓこより欠陥の検出する方法もある。
いる為、電気的に導通がなく、目視によってショート、
断線等の欠陥を判定する。又、他の方法として、導体パ
ターンの両＠全各々ブローバの針にて接触させ、その間
の導通Ｓこより欠陥の検出する方法もある。
従来の装置は以上のように構成されているので、１産に
対して人数及び時間が多くかかる。又、人による判定の
為、欠陥個所の発見漏れか定量的Ｓこ発生するなどの問
題点があった。
対して人数及び時間が多くかかる。又、人による判定の
為、欠陥個所の発見漏れか定量的Ｓこ発生するなどの問
題点があった。
又、導体の両端を多くのブローμの針で行う方法は高密
度パターンの場合は実質上不可能である問題もあった。
度パターンの場合は実質上不可能である問題もあった。
この発明は上記のような問題点と解消するためになさｈ
たもので、人間の目視による判定を自動的に機械化でき
る装置を得ることを目的としている。
たもので、人間の目視による判定を自動的に機械化でき
る装置を得ることを目的としている。
この発明に係る検出装置は、導体パターンに抵抗全有す
る導電性物質全圧接したものである。
る導電性物質全圧接したものである。
この発明に卦ける装置は、圧接により電気的抵抗を生じ
、その値により２４体パターンの欠陥の有無を発見する
ものである。
、その値により２４体パターンの欠陥の有無を発見する
ものである。
以下、この発明の一実楕例を図について説明する。第１
図において、基板［１１上に、同一形状の導体バターｙ
（２ａ）（２ｂ）がある。（２ａ）と（２ｂ）は、個別
の独立されている導体であり、夫々の導体パターンの一
端に可とう性を有する導電性物質、例えば導’Ｉ−（を
性金属粉、カーボン粉を入ねた導電性ゴム１３＋か圧着
さハている。導体パターンのもう一端ｈ （２ａ）（２
ｂ）上（ごプローバ（４１によって接触さね、゛その間
全抵抗測定器（６）によって抵抗を測定する。
図において、基板［１１上に、同一形状の導体バターｙ
（２ａ）（２ｂ）がある。（２ａ）と（２ｂ）は、個別
の独立されている導体であり、夫々の導体パターンの一
端に可とう性を有する導電性物質、例えば導’Ｉ−（を
性金属粉、カーボン粉を入ねた導電性ゴム１３＋か圧着
さハている。導体パターンのもう一端ｈ （２ａ）（２
ｂ）上（ごプローバ（４１によって接触さね、゛その間
全抵抗測定器（６）によって抵抗を測定する。
駆動テーブル（５）によって基板（１）の任意の場所が
選択できる。
選択できる。
第２図は第１図の電気回路の構成である。（７）けリレ
ースイッチ、（８）は抵抗計、（９）ハブリンターであ
る。
ースイッチ、（８）は抵抗計、（９）ハブリンターであ
る。
基板＋１１に付加さｈた導体パターン（２ａ）と（２ｂ
）の間に、導ｔ（ｉｒ、性ゴム（３）の圧着によって適
当な抵抗が生じる。導体パターンに断線や他の導体との
短絡等の欠陥がある場合、抵抗値が無限大、もしくは正
常抵抗値より著しく減少ま１こけ短絡抵抗値となり欠陥
が判定出来る。通常、抵抗値は導電性ゴムのンートｔｉ
抗及びパターン間のギャップＩこよって決まる。導体パ
ターンの数が多欲あり、導体パターンに生じた抵抗をプ
ローバ（４）に接触させ、抵抗測定器（６）により抵抗
をはかる。
）の間に、導ｔ（ｉｒ、性ゴム（３）の圧着によって適
当な抵抗が生じる。導体パターンに断線や他の導体との
短絡等の欠陥がある場合、抵抗値が無限大、もしくは正
常抵抗値より著しく減少ま１こけ短絡抵抗値となり欠陥
が判定出来る。通常、抵抗値は導電性ゴムのンートｔｉ
抗及びパターン間のギャップＩこよって決まる。導体パ
ターンの数が多欲あり、導体パターンに生じた抵抗をプ
ローバ（４）に接触させ、抵抗測定器（６）により抵抗
をはかる。
駆動テーブル（５）により、基板（１１ｋ動かし、任意
の場所の抵抗を測定する。特にサーマルヘラＦのような
導体パターンに、同一パターンが繰返さｈでいる為同−
ブローバにて能率的に処理が出来る。
の場所の抵抗を測定する。特にサーマルヘラＦのような
導体パターンに、同一パターンが繰返さｈでいる為同−
ブローバにて能率的に処理が出来る。
第２図は電気回路を示したものである。ブローバに生じ
た多数の抵抗をスイッチリレー（７）によって特定場所
選択し、抵抗計（８）によって測定を実施する。抵抗値
はプリンター（９）により記碌さねる。
た多数の抵抗をスイッチリレー（７）によって特定場所
選択し、抵抗計（８）によって測定を実施する。抵抗値
はプリンター（９）により記碌さねる。
なお、上記実晦例では、可とり性の導電性ゴムを使用し
ｒが、ゴムの中に棒状性の細線を入ｆまた構造番こして
も同様の効果を奏する。
ｒが、ゴムの中に棒状性の細線を入ｆまた構造番こして
も同様の効果を奏する。
以上の様１こ、この発明によれば、自動的に電気的回路
構成としたので、人間による誤判定が除去でき、高密度
に配線さｔまた導体パターンの欠陥ヲ短時間に正確に判
定出来る効果がある。
構成としたので、人間による誤判定が除去でき、高密度
に配線さｔまた導体パターンの欠陥ヲ短時間に正確に判
定出来る効果がある。
第１図はこの発明の導体パターンの欠陥検出装置の一実
殉例を示す構造図、第２図は第１図の電気回路図、第３
［！ＳｒＩは従来の欠陥検出装置の一例を示す構成図で
ある。 図において、（Ｉｌｊ基板、（２ａ）（２ｂ）け導体パ
ターン、（３）は導電性ゴム、（４１はプローバ、（７
）にスイッチリレー、（８）は抵抗計である。 なお、図中、同−符Ｊ８は同−又は相当部分を示す。
殉例を示す構造図、第２図は第１図の電気回路図、第３
［！ＳｒＩは従来の欠陥検出装置の一例を示す構成図で
ある。 図において、（Ｉｌｊ基板、（２ａ）（２ｂ）け導体パ
ターン、（３）は導電性ゴム、（４１はプローバ、（７
）にスイッチリレー、（８）は抵抗計である。 なお、図中、同−符Ｊ８は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 基板上に形成された互いに独立な複数の導体パターンの
一端に共通に圧着される導電性ゴムと、前記導体パター
ンの他端に夫々接続されたプローバと、これらのプロー
バのうち１つに選択的に電気接続するリレースイッチと
、このリレースイッチと前記導電性ゴムとの間の抵抗を
測定する抵抗計とを備えた導体パターンの欠陥検出装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60196967A JPS6255575A (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 導体パタ−ンの欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60196967A JPS6255575A (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 導体パタ−ンの欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6255575A true JPS6255575A (ja) | 1987-03-11 |
Family
ID=16366625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60196967A Pending JPS6255575A (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 導体パタ−ンの欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6255575A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5844199A (en) * | 1993-12-24 | 1998-12-01 | Tokyo Electron Ltd | Conductor pattern check apparatus for locating and repairing short and open circuits |
| JP2006056046A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Rohm Co Ltd | サーマルプリントヘッドの製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59190673A (ja) * | 1983-04-12 | 1984-10-29 | Toppan Printing Co Ltd | 配線板の導通検査装置 |
-
1985
- 1985-09-04 JP JP60196967A patent/JPS6255575A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59190673A (ja) * | 1983-04-12 | 1984-10-29 | Toppan Printing Co Ltd | 配線板の導通検査装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5844199A (en) * | 1993-12-24 | 1998-12-01 | Tokyo Electron Ltd | Conductor pattern check apparatus for locating and repairing short and open circuits |
| JP2006056046A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Rohm Co Ltd | サーマルプリントヘッドの製造方法 |
| JP4515858B2 (ja) * | 2004-08-18 | 2010-08-04 | ローム株式会社 | サーマルプリントヘッドの製造方法 |
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