KR980012185A - 웨이퍼의 전기적 테스트 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼상에 형성되어 있는 테스트 패드 부분에 직접 접촉하여 전기적 특성을 검하하는 테스트 장비의 탐침의 전기적 접속 상태를 확인할 수 있는 회로를 갖는 인쇄 회로 기판을 제공하는 것에 관한 것으로서, 반도체의 전기적 특성을 검사하는 프로브 테스트 장치에 있는 복수개의 프로브와 각각 대응되는 전기적 연결 동판들; 상기 연결 동판들과 각기 전기적으로 연결된 연결 단자들; 상기 연결 단자들과 각기 대응되는 저항들; 상기 저항들을 연결하여 외부와 신호를 전달하기 위한 출력 단자; 들이 형성되어 있는 인쇄 회로 기판을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 전기적 테스트 장치를 제공하여 테스트 공정의 신뢰성을 증가시키는 이점을 제공한다.

Description

웨이퍼의 전기적 테스트 장치

본 발명은 웨이퍼(wafer)의 전기적 테스트(test)를 실시하는 테스트 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼의 테스트 패드(pad) 부분에 직접 접촉하여 전기적 특성을 검사하는 테스트 장비의 탐침(probe)의 전기적 접속 상태를 확인할 수 있는 회로를 갖는 인쇄 회로 기판을 제공하는 것에 관한 것이다.

반도체 제조 공정 중 전기적 특성 검사는 웨이퍼 제조 공정의 마지막 단계에 속하며, 공정 진행이 정상적으로 진행되어 왔는가를 판정하는 공정이다.

따라서, 전기적 특성 검사를 통하여 정해진 규격에 의해 웨이퍼의 정상 여부를 판정하는 공정이므로 매우 중요한 공정이라 할 수 있다.

반도체 제조 공정중 실제 소자 변수를 측정할 필요가 있고, 이 측정은 웨이퍼 상의 특정한 소자 영역에서 테스트하며, 반도체 제조 공정이 완료된 후에 실제 소자는 더욱 완전히 조사된다.

이러한 테스트 공정은 전기적 테스트 공정을 통해 공정 진행의 많은 정보가 얻어지며, 이러한 전기적 테스트를 하는데 필요한 기본적인 장비는 소자에 바늘 같은 탐침(probe)을 짚을 수 있는 프로브 머신(probe machine), 적당한 전압·전류·극성을 소정의 영역에 형성된 테스트 소자에 거는 스위치 박스(switch box), 결과를 나타내는 오실로스코프(oscilloscope)가 있다.

제1도는 웨이퍼의 전기적 특성 테스트 장치의 개략도이다.

먼저, 탐침(30)이 웨이퍼(10) 상의 소정의 영역에 형성된 테스트 패드(20) 상부면에 전기적으로 접촉되어 있고, 그 탐침(30)은 연결 와이어(40)에 의하여 전기적으로 스위치 박스(50)와 연결되어 있다.

상기 스위치 박스(30)는 테스트에 알맞은 전압 및 전류를 테스트 소자에 인가하는 장치이며, 그 스위치 박스(30)와 연결된 오실로스코프(60)는 테스트 결과를 나타낸다.

즉, 이와 같은 웨이퍼의 전기적 테스트 장치에서는 상기 웨이퍼(10)의 소정의 영역에 형성된 상기 테스트 패드(20) 상부면에 뾰족한 금속 막대인 상기 탐침(30)을 직접 접촉시켜서 테스트를 실시하는 방법을 사용하고 있다.

그러나, 상기 테스트 패드(20)에 접촉되는 측정 단자인 상기 탐침(30)이 정확하게 접촉되었는지의 단락 여부를 테스트하는 장치가 없으므로 정확한 테스트를 진행하였는지에 대한 신뢰성이 떨어지게 된다.

이는 반도체 제조 공정시 발생하는 불량의 용인을 정확하게 확인하지 못하여 제품의 신뢰성을 저하시키고, 제품 경쟁력을 약화시키는 단점(短點)이 있었다.

본 발명의 목적은 웨이퍼 테스트 장치의 단자에 대한 전기적 단락 여부를 테스트하기 위하여 테스트 회로를 갖는 인쇄 회로 기판을 제공함으로서 정확한 테스트를 실시할 수 있는 장치를 제공하는데 있다.

제1도는 웨이퍼의 전기적 특성 테스트 장치의 개략도.

제2도는 본 발명에 의한 각 단자 사이에 일정한 저항을 갖는 저항기를 연결한 모양을 나타내는 테스트 장치의 회로도.

제3도는 본 발명에 의한 테스트 장치에 실장될 수 있는 테스트 회로 보드의 평면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10:웨이퍼 20:테스트 패드

30:탐침(probe) 40:연결 와이어

50:스위치 박스 60:오실로스코프

70:연결 단자 75:연결 동판

80:저항 90:출력 단자

100:인쇄 회로 기판

상기 목적을 달성하기 위하여 반도체의 전기적 특성을 검사하는 프로브 테스트 장치에 있어서, 복수 개의 프로브와 각각 대응되는 전기적 연결 동판들; 상기 연결 동판들과 각기 전기적으로 연결된 연결 단자들; 상기 연결 단자들과 각기 대응되는 저항들; 상기 저항들을 연결하여 외부와 신호를 전달하기 위한 출력 단자; 들이 형성되어 있는 인쇄 회로 기판을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 전기적 테스트 장치를 제공한다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명하고자 한다.

제2도는 본 발명에 의한 각 단자 사이에 일정한 저항을 갖은 저항기를 연결한 모습을 나타낸 테스트 장치의 회로도이다.

제3도는 본 발명에 의한 테스트 장치에 실장될 수 있는 테스트 회로 보드에 평면도이다.

먼저, 제2도는 복수 개의 연결 단자들(70)과 각기 대응되는 저항(80)들이 연결되어 있으며, 이 저항(80)들은 하나의 출력 단자(90)로 묶여 있는 회로도를 나타내고 있다.

상기 연결 단자들(70)은 웨이퍼의 소정의 영역에 형성된 테스트 패드들과 직접 전기적으로 접촉되는 탐침들과 각기 대응되어 연결되며, 각각의 연결 단자(70)들과 대응되어 연결되어 있는 탐침에 일정 전압을 가하여 상기 저항(80)들에 전류를 인가한다.

즉, 각 상기 저항(80)들 사이에 흐르는 전류를 측정하고, 상기 저항(80)들이 갖고 있는 고유 저항 값을 비교하여 상기 탐침과 테스트 패드의 단락 여부를 확인할 수 있다.

또한, 상기 저항(80)들이 갖고 있는 고유 저항 값과 측정된 저항 값을 비교하여 누설 전류를 측정함으로써 탐침의 노화를 검진할 수 있다.

제3도는 제2도의 회로를 인쇄 회로 기판 상에 구현한 것으로써, 전기 절연 재료인 인쇄 회로 기판(100) 상에 복수 개의 탐침들과 각기 대응되어 연결될 연결 동판(75)들이 형성되어 있고, 그 연결 동판(75)들과 각각 전기적으로 대응 연결되어 있는 연결 단자(70)들과 저항(80)들이 형성되어 있다.

그리고, 상기 저항(80)들은 각기 다른 값을 갖는 저항기를 설치할 수 있고, 이는 웨이퍼의 전기적 테스트시 상기 저항(80)들의 각기 다른 고유 저항 값을 이용하여 어떤 단자에서 접촉이 불량하였는지를 판단할 수 있다.

웨이퍼의 테스트 패드들과 직접 전기적으로 접촉하는 탐침과의 전기적 단락 여부를 판단할 수 있는 회로를 갖는 인쇄 회로 기판을 제공하여 테스트 공정의 신뢰성을 제공하는 이점(利點)이 있다.

Claims (2)

1. 반도체의 전기적 특성을 검사하는 프로브 테스트 장치에 있어서, 복수 개의 프로브와 각각 대응되는 전기적 연결 동판들; 상기 연결 동판들과 각기 전기적으로 연결된 연결 단자들; 상기 연결 단자들과 각기 전기적 대응 연결되어 있는 저항들; 상기 저항들을 연결하여 외부와 신호를 전달하기 위한 출력 단자; 들이 형성되어 있는 인쇄 회로 기판을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 전기적 테스트 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 저하들이 고유의 각기 저항 값들을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 전기적 테스트 장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.