JPS6252927U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6252927U JPS6252927U JP14461485U JP14461485U JPS6252927U JP S6252927 U JPS6252927 U JP S6252927U JP 14461485 U JP14461485 U JP 14461485U JP 14461485 U JP14461485 U JP 14461485U JP S6252927 U JPS6252927 U JP S6252927U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- infrared lamp
- tube
- reaction tube
- susceptor
- conductive mesh
- Prior art date
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- Granted
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
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Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案ＣＶＤ装置の断面模式図、第２
図はそのＡ―Ａ′断面模式図、第３図は反応ガス
の供給量とシリコン層の成長速度の関係を示す特
性図である。 １……反応管、２……ガス導入管、３……排気
管、４……サセプタ、５……赤外線ランプ、７…
…熱電体、８……直流電源、９……コイル、１０
……高周波電源、１１……メツシユ、１２……第
２の直流電源。
図はそのＡ―Ａ′断面模式図、第３図は反応ガス
の供給量とシリコン層の成長速度の関係を示す特
性図である。 １……反応管、２……ガス導入管、３……排気
管、４……サセプタ、５……赤外線ランプ、７…
…熱電体、８……直流電源、９……コイル、１０
……高周波電源、１１……メツシユ、１２……第
２の直流電源。
Claims (1)
- 基台上にシリコン層を気相成長せしめるＣＶＤ
装置において、一端に反応ガスを導入するガス導
入管を有し、他端に排気管を具備した反応管と、
この反応管内に配されるサセプタと、上記反応管
外周部所定位置に設けられ、上記サセプタを加熱
するための赤外線ランプと、この赤外線ランプ内
周部に設けられた導電性のメツシユと、このメツ
シユに正電圧を印加する電圧印加手段と、から成
るＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14461485U JPH058671Y2 (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14461485U JPH058671Y2 (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6252927U true JPS6252927U (ja) | 1987-04-02 |
| JPH058671Y2 JPH058671Y2 (ja) | 1993-03-04 |
Family
ID=31055379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14461485U Expired - Lifetime JPH058671Y2 (ja) | 1985-09-20 | 1985-09-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH058671Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-09-20 JP JP14461485U patent/JPH058671Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH058671Y2 (ja) | 1993-03-04 |