JPS63183273U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63183273U JPS63183273U JP7353787U JP7353787U JPS63183273U JP S63183273 U JPS63183273 U JP S63183273U JP 7353787 U JP7353787 U JP 7353787U JP 7353787 U JP7353787 U JP 7353787U JP S63183273 U JPS63183273 U JP S63183273U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electric furnace
- temperature part
- high temperature
- furnace
- heating element
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910000953 kanthal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の電気炉に用いられる発熱体の
一例を示す正面図、第２図はその側面図、第３〜
４図は本考案に係る電気炉により得られた炉内温
度分布を示すグラフである。 １：ＳｉＣ発熱体、２：カンタルＡ―１発熱体
、３：カンタルＡ―１らせん巻き径。
一例を示す正面図、第２図はその側面図、第３〜
４図は本考案に係る電気炉により得られた炉内温
度分布を示すグラフである。 １：ＳｉＣ発熱体、２：カンタルＡ―１発熱体
、３：カンタルＡ―１らせん巻き径。
Claims (1)
- 炉内に高温部及び低温部の温度勾配を形成する
単結晶成長用電気炉において、前記高温部を形成
する部分に炭化けい素から成る発熱体が設けられ
ていることを特徴とする単結晶成長用電気炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7353787U JPS63183273U (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7353787U JPS63183273U (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63183273U true JPS63183273U (ja) | 1988-11-25 |
Family
ID=30917962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7353787U Pending JPS63183273U (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63183273U (ja) |
-
1987
- 1987-05-15 JP JP7353787U patent/JPS63183273U/ja active Pending