JPS61204601U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61204601U JPS61204601U JP8626285U JP8626285U JPS61204601U JP S61204601 U JPS61204601 U JP S61204601U JP 8626285 U JP8626285 U JP 8626285U JP 8626285 U JP8626285 U JP 8626285U JP S61204601 U JPS61204601 U JP S61204601U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction tube
- metal vapor
- supply device
- vapor supply
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 4
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図及び第２図は金属蒸気の供給装置の実施
例で、第１図ａは一例の反応管の長さ方向断面図
、第１図ｂは反応管の半径方向断面図、第２図ａ
は他の例の反応管の長さ方向断面図、第２図ｂは
反応管の半径方向断面図、第３図は従来のものの
長さ方向断面図、第４図は第３図の装置の温度分
布曲線図である。 図中、１は反応管、２は原料金属、３は容器、
３ａは障壁部、４はヒータ、６は敷板である。
例で、第１図ａは一例の反応管の長さ方向断面図
、第１図ｂは反応管の半径方向断面図、第２図ａ
は他の例の反応管の長さ方向断面図、第２図ｂは
反応管の半径方向断面図、第３図は従来のものの
長さ方向断面図、第４図は第３図の装置の温度分
布曲線図である。 図中、１は反応管、２は原料金属、３は容器、
３ａは障壁部、４はヒータ、６は敷板である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 高温に保持した反応管内に原料金属を入れ
た容器を置き、この反応管内にキヤリアガスを流
して上記原料金属を金属蒸気として送出するもの
において、上記容器には上記反応管内のキヤリア
ガス導入側に障壁部を一体に備えたことを特徴と
する金属蒸気の供給装置。 (2) 上記障壁部と反応管内壁との間は最大１mm
以下の間隙としたことを特徴とする実用新案登録
請求の範囲第１項記載の金属蒸気の供給装置。 (3) 上記障壁部の管軸方向長さを反応管内径の
１２以上の長さとしたことを特徴とする実用新案
登録請求の範囲第１項記載の金属蒸気の供給装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8626285U JPS61204601U (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8626285U JPS61204601U (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61204601U true JPS61204601U (ja) | 1986-12-23 |
Family
ID=30637404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8626285U Pending JPS61204601U (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61204601U (ja) |
-
1985
- 1985-06-10 JP JP8626285U patent/JPS61204601U/ja active Pending