JPS6252886A - Ｅｌ発光素子の製造方法 - Google Patents
Ｅｌ発光素子の製造方法Info
- Publication number
- JPS6252886A JPS6252886A JP60192407A JP19240785A JPS6252886A JP S6252886 A JPS6252886 A JP S6252886A JP 60192407 A JP60192407 A JP 60192407A JP 19240785 A JP19240785 A JP 19240785A JP S6252886 A JPS6252886 A JP S6252886A
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- JP
- Japan
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- light emitting
- electrode
- aluminum
- metal
- transparent
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は薄膜型のＥＬ発光素子の製造方法に関するもの
である。
である。
従来の技術
従来の薄膜型のＥＬ発光素子の構造は第２図に示すよう
なものであった。第２図において、２１は透明基板、２
２は透明電極、２３は誘電体、２４はＺｎＳ、２５は誘
電体、２ｅは電極である。このような発光素子は透明基
板２１、例えばガラス板の上に前記透明電極２２、誘電
体２３、ＺｎＳ ２４、誘電体２６、電極２６を順次蒸
着して作られる。
なものであった。第２図において、２１は透明基板、２
２は透明電極、２３は誘電体、２４はＺｎＳ、２５は誘
電体、２ｅは電極である。このような発光素子は透明基
板２１、例えばガラス板の上に前記透明電極２２、誘電
体２３、ＺｎＳ ２４、誘電体２６、電極２６を順次蒸
着して作られる。
一方、第３図に示すようにアルミニュウム板を陽極酸化
し、その上に透明電極を形成する方法も提案されている
。第３図において、３１はＭｎ等を含むアルミニュウム
板、３２は酸化アルミ、３３は透明電極である０このよ
うな構造の発光素子を作るには、第３図Ａに示すように
まずＭｎ等を含むアルミニュウム板３１金準備し、第３
図Ｂに示すようにしゅう酸液中で通電して前記アルミニ
ュウム板３１の表面に陽極酸化膜３２を形成する０次に
第３図Ｃに示すようにその表面に透明電極３３を形成す
ることによりＥＬ発光素子ができる。
し、その上に透明電極を形成する方法も提案されている
。第３図において、３１はＭｎ等を含むアルミニュウム
板、３２は酸化アルミ、３３は透明電極である０このよ
うな構造の発光素子を作るには、第３図Ａに示すように
まずＭｎ等を含むアルミニュウム板３１金準備し、第３
図Ｂに示すようにしゅう酸液中で通電して前記アルミニ
ュウム板３１の表面に陽極酸化膜３２を形成する０次に
第３図Ｃに示すようにその表面に透明電極３３を形成す
ることによりＥＬ発光素子ができる。
発明が解決しようとする問題点
第２図に示す構造では、ＺｎＳ２４のような特殊な材料
を使用する上、製造方法も複雑であり、上下の電極間の
ショートを防止することが困難であった。また、第３図
に示すような方法では不透明基板であるアルミニュウム
板３１上に発光層が形成されるため、その発光層の上に
透明電極を形成しなければならず、さらにその上を完全
に保護することが困難であった。
を使用する上、製造方法も複雑であり、上下の電極間の
ショートを防止することが困難であった。また、第３図
に示すような方法では不透明基板であるアルミニュウム
板３１上に発光層が形成されるため、その発光層の上に
透明電極を形成しなければならず、さらにその上を完全
に保護することが困難であった。
本発明はこのような問題点を解決するもので、ＥＬ発光
素子の発光層を容易に形成し、かつ全体が完全に保護で
きる構造を実現するための製造方法を提供するものであ
る。
素子の発光層を容易に形成し、かつ全体が完全に保護で
きる構造を実現するための製造方法を提供するものであ
る。
問題点を解決するための手段
この問題点を解決するために本発明は、透明基板上に透
明電極を形成し、その上に発光層であるアルミナ膜をア
ルミニュウムの陽極酸化法により形成しようとしたもの
である。
明電極を形成し、その上に発光層であるアルミナ膜をア
ルミニュウムの陽極酸化法により形成しようとしたもの
である。
作 用
この製造方法により、透明基板上に容易にＥＬ発光素子
を形成することができる。必要ならば裏面は全面保護コ
ートすることができる。
を形成することができる。必要ならば裏面は全面保護コ
ートすることができる。
実施例
第１図は本発明の一実施例によるＥＬ発光素子の製造方
法である。第１図において、１は透明基板、２は透明電
極、３は遷移金属、または希土類を含むアルミニュウム
膜、４は陽極端化膜、６は対向電極で透明電極または、
金属電極である。
法である。第１図において、１は透明基板、２は透明電
極、３は遷移金属、または希土類を含むアルミニュウム
膜、４は陽極端化膜、６は対向電極で透明電極または、
金属電極である。
第１図に沿って本発明による製造方法を説明する。第１
図Ａに示すごとく、透明基板１上には透明電極２が形成
される。この透明電極２として金属薄膜または金属酸化
物薄膜が用いられる。図では全面電極として示したが、
必要ならばストライプ状にパターン形成することもでき
る。つぎに第１図Ｂに示すごとく透明電極２上に遷移金
属または希土類元素を含むアルミニュウムの薄膜３を形
成する。前記遷移金属または希土類元素は発光中心とな
るべきものである。前記基板を例えばシュウ酸中に浸し
、前記透明電極２を一方の電極として陽極酸化すること
により遷移金属または希土類金倉む酸化アルミ膜３に変
換することができる。
図Ａに示すごとく、透明基板１上には透明電極２が形成
される。この透明電極２として金属薄膜または金属酸化
物薄膜が用いられる。図では全面電極として示したが、
必要ならばストライプ状にパターン形成することもでき
る。つぎに第１図Ｂに示すごとく透明電極２上に遷移金
属または希土類元素を含むアルミニュウムの薄膜３を形
成する。前記遷移金属または希土類元素は発光中心とな
るべきものである。前記基板を例えばシュウ酸中に浸し
、前記透明電極２を一方の電極として陽極酸化すること
により遷移金属または希土類金倉む酸化アルミ膜３に変
換することができる。
最後に対向電極６を形成してプロセスは終了する。
この場合、必要ならば対向電極６を全面電極ではなくパ
ターン形成された電極とした場合、その電極に対応した
場所のみ発光させることができる。
ターン形成された電極とした場合、その電極に対応した
場所のみ発光させることができる。
対向電極６として透明電極または不透明金属電極を必要
に応じて使い分けることも可能である。
に応じて使い分けることも可能である。
発明の効果
以上のように本発明によれば、透明基板上の透明電極を
一方の電極としてアルミ薄膜を陽極酸化することができ
、発光は透明基板を通して取り出される。また裏面は透
明、不透明のいずれかを選択することができる上必要な
らば保護用として樹脂を塗布することも可能である。こ
のように特殊な材料を使用することもなく、容易に製造
でき、完全な保護も図れるなどの利点をもち、工業的価
値の大なるものである。
一方の電極としてアルミ薄膜を陽極酸化することができ
、発光は透明基板を通して取り出される。また裏面は透
明、不透明のいずれかを選択することができる上必要な
らば保護用として樹脂を塗布することも可能である。こ
のように特殊な材料を使用することもなく、容易に製造
でき、完全な保護も図れるなどの利点をもち、工業的価
値の大なるものである。
第１図Ａ、Ｄは本発明の一実施例による製造工程を示す
断面図、第２図は従来の薄膜型ＥＬ発光素子の断面図、
第３図Ａ、Ｃは従来の陽極酸化法によるＥＬ発光素子の
製造工程の断面図である。 １・・・・・・透明基板、２・・・・・・透明電極、３
・・・・・・遷移金属または希土類元素を含むアルミニ
ュウム薄膜、４・・・・・・陽極酸化で形成された酸化
アルミ膜、６・・・・・・対向電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 ２Ｘ 第３図
断面図、第２図は従来の薄膜型ＥＬ発光素子の断面図、
第３図Ａ、Ｃは従来の陽極酸化法によるＥＬ発光素子の
製造工程の断面図である。 １・・・・・・透明基板、２・・・・・・透明電極、３
・・・・・・遷移金属または希土類元素を含むアルミニ
ュウム薄膜、４・・・・・・陽極酸化で形成された酸化
アルミ膜、６・・・・・・対向電極。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 ２Ｘ 第３図
Claims (2)
- （１）透明導電膜が形成された透明基板上に遷移金属
又は希土類に属する元素を少なくとも一種類含むアルミ
ニウム膜を形成する工程と、前記アルミニュウム膜を陽
極酸化して酸化アルミに変換する工程と、前記酸化アル
ミ上に金属または金属酸化物からなる電極を形成する工
程とからなるＥＬ発光素子の製造方法。 - （２）酸化アルミをはさんで形成される透明電極と金
属又は金属酸化物からなる電極がストライプ状で、かつ
互いに直交して形成されていることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のＥＬ発光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60192407A JPS6252886A (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 | Ｅｌ発光素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60192407A JPS6252886A (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 | Ｅｌ発光素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6252886A true JPS6252886A (ja) | 1987-03-07 |
Family
ID=16290801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60192407A Pending JPS6252886A (ja) | 1985-08-30 | 1985-08-30 | Ｅｌ発光素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6252886A (ja) |
-
1985
- 1985-08-30 JP JP60192407A patent/JPS6252886A/ja active Pending
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