JPS61270734A - エレクトロクロミツク素子 - Google Patents
エレクトロクロミツク素子Info
- Publication number
- JPS61270734A JPS61270734A JP11218485A JP11218485A JPS61270734A JP S61270734 A JPS61270734 A JP S61270734A JP 11218485 A JP11218485 A JP 11218485A JP 11218485 A JP11218485 A JP 11218485A JP S61270734 A JPS61270734 A JP S61270734A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electrochromic
- layer
- hole
- upper counter
- Prior art date
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- Pending
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- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はエレクトロクロ１．り素子に関する。
エレクトロクロミック素子の構成例を第３図に示す。
この素子は、透明基体１上に、下部表示電極及びその引
出し部２、エレクトロクロミック層３及び上部対向電極
４を順次積層した構造を有し、前記エレクトロクロｉ
ｙり層３は、例えば、Ｉｒ０ｚ、Ｎ１（ＯＨ）２等の酸
化発色性物質で構成される第１エレクトロクロミック層
５ 、 Ｔａ２０５ 、ＺｒＯ２等の酸化物、ＬｉＦ
、 ＭｇＦ２等のフッ化物誘電体から成る中間絶縁層６
、 ＷＯ５等の還元発色性物質で構成される第２エレ
クトロクロはツク層７を有している。透明基体１はガラ
ス板、ポリイミド等透明樹脂板などで構成され、下部表
示電極２は、ＩＴＯ膜（Ｉｎ２Ｏ５中に５ｎ０２をドー
プしたもの）やネサ膜（８ｎ０２ ）で構成される。
出し部２、エレクトロクロミック層３及び上部対向電極
４を順次積層した構造を有し、前記エレクトロクロｉ
ｙり層３は、例えば、Ｉｒ０ｚ、Ｎ１（ＯＨ）２等の酸
化発色性物質で構成される第１エレクトロクロミック層
５ 、 Ｔａ２０５ 、ＺｒＯ２等の酸化物、ＬｉＦ
、 ＭｇＦ２等のフッ化物誘電体から成る中間絶縁層６
、 ＷＯ５等の還元発色性物質で構成される第２エレ
クトロクロはツク層７を有している。透明基体１はガラ
ス板、ポリイミド等透明樹脂板などで構成され、下部表
示電極２は、ＩＴＯ膜（Ｉｎ２Ｏ５中に５ｎ０２をドー
プしたもの）やネサ膜（８ｎ０２ ）で構成される。
８は、絶縁体の層を示している。
この様な構成のエレクトロクロミック素子は、電極２．
６間に電圧を印加することによって電気化学反応が誘起
され、着色・消色を行なう。
６間に電圧を印加することによって電気化学反応が誘起
され、着色・消色を行なう。
例えば、層５をＩｒ０１．層７をＷＯ５で構成し、層５
側をプラス（＋）、層７側をマイナス（−）に印加する
と、ＩｒＯｘ及びｗｏ５は、それぞれ、ＩｒＯ２＋ ｙ
Ｈ２０ｍｄ ＋＋） Ｉｒ０ｘ（ＯＨ）ｙ ＋ ｙＨ”
＋ ｙｅ−ＷＯ５＋ ｙＨ” ＋ｙｓ−−＋ ＨｙＷ
Ｏ５（但し、Ｈ２０ａｄは素子中に含まれる吸着水を示
す・） なる反応により、着色種Ｉｒ０ｘ（ＯＨ）ｙ 、 Ｈｙ
ＷＯｓが生成して発色し、電界を逆転することＫよシ上
記と逆の反応が起シ消色するものと考えられている。
側をプラス（＋）、層７側をマイナス（−）に印加する
と、ＩｒＯｘ及びｗｏ５は、それぞれ、ＩｒＯ２＋ ｙ
Ｈ２０ｍｄ ＋＋） Ｉｒ０ｘ（ＯＨ）ｙ ＋ ｙＨ”
＋ ｙｅ−ＷＯ５＋ ｙＨ” ＋ｙｓ−−＋ ＨｙＷ
Ｏ５（但し、Ｈ２０ａｄは素子中に含まれる吸着水を示
す・） なる反応により、着色種Ｉｒ０ｘ（ＯＨ）ｙ 、 Ｈｙ
ＷＯｓが生成して発色し、電界を逆転することＫよシ上
記と逆の反応が起シ消色するものと考えられている。
この発消色反応において、中間絶縁層６は、Ｈ２０ａｄ
の供給源であると同時に、着色種の再結合による逆反応
を防ぐこと、換言すれば、イオンの導通と電子のブロッ
キングを行うという働きを有する。
の供給源であると同時に、着色種の再結合による逆反応
を防ぐこと、換言すれば、イオンの導通と電子のブロッ
キングを行うという働きを有する。
従来、この様なエレクトロクロミック素子を駆動するた
めの設備として、基体１上に、エレクトロクロミック層
３とを８１０２等で構成される絶縁層８によシ隔絶させ
て下部表示電極２の引出し電極を配置し、一方で、マス
ク蒸着などの方法によシ上部対向電極４を形成する際Ｋ
、引出し部４′を一体に形成して基体上に配置させてい
たため、引出し電極８と引出し部４′との高さに断差が
生じ、ゼブラ電極等の接触電極を用いてリード部を引出
す際には、接触不良の原因になシ易かりた。また、エレ
クトロクロＺ９り層３が上部対向電極４よシも７〜１０
倍厚いため、電極４と引出し部４′との接続や導通不良
が生ずるといった問題点があった。
めの設備として、基体１上に、エレクトロクロミック層
３とを８１０２等で構成される絶縁層８によシ隔絶させ
て下部表示電極２の引出し電極を配置し、一方で、マス
ク蒸着などの方法によシ上部対向電極４を形成する際Ｋ
、引出し部４′を一体に形成して基体上に配置させてい
たため、引出し電極８と引出し部４′との高さに断差が
生じ、ゼブラ電極等の接触電極を用いてリード部を引出
す際には、接触不良の原因になシ易かりた。また、エレ
クトロクロＺ９り層３が上部対向電極４よシも７〜１０
倍厚いため、電極４と引出し部４′との接続や導通不良
が生ずるといった問題点があった。
本発明は、上述した従来の問題点、即ち、エレクトロク
ロミ、り素子の駆動の際に生ずる電極の接触不良、導通
不良等の問題点を解決するためになされたものである。
ロミ、り素子の駆動の際に生ずる電極の接触不良、導通
不良等の問題点を解決するためになされたものである。
上記問題点は、基体上に積層された下部表示電極、エレ
クトロクロミック層及び上部対向電極を有するエレクト
ロクロず、り素子において、前記基体上に前記上部対向
電極の引出し電極が配置され、この引出し電極の上に位
置する層を貫通するスルホールを介して前記上部対向電
極と接続されていることを特徴とする本発明のエレクト
ロクロミ、り素子によって達成される。
クトロクロミック層及び上部対向電極を有するエレクト
ロクロず、り素子において、前記基体上に前記上部対向
電極の引出し電極が配置され、この引出し電極の上に位
置する層を貫通するスルホールを介して前記上部対向電
極と接続されていることを特徴とする本発明のエレクト
ロクロミ、り素子によって達成される。
以下、添付した図面に示した実施例に即して、本発明を
更に詳しく説明する。
更に詳しく説明する。
第３図と同一の要素を同一の符号で表わすと、第１図の
例では、絶縁体層８と基体１との間に上部対向電極の引
出し電極１１が配置され、この電極ｌｌ上に位置する絶
縁体層８、中間絶縁層６及び第２エレクトロクロミック
層７を通して、スルホール１２が設けられ、このスルホ
ール１２を介して上部対向電極４と引出し電極１１とが
接続され、電気的導通を得る様にしている。
例では、絶縁体層８と基体１との間に上部対向電極の引
出し電極１１が配置され、この電極ｌｌ上に位置する絶
縁体層８、中間絶縁層６及び第２エレクトロクロミック
層７を通して、スルホール１２が設けられ、このスルホ
ール１２を介して上部対向電極４と引出し電極１１とが
接続され、電気的導通を得る様にしている。
この様な構成のエレクトロクロミック素子を製造するＫ
は、まず、下部表示電極およびその引き出し部２と上部
対向電極の引き出し電極１１を備えた基板上に例えばＩ
ｒＯｘ膜をスバ、り法で形成しパターニングする。
は、まず、下部表示電極およびその引き出し部２と上部
対向電極の引き出し電極１１を備えた基板上に例えばＩ
ｒＯｘ膜をスバ、り法で形成しパターニングする。
次に上記の引出し電極形状とセグメント形状のレジスト
パターンとスルホール１２部分を形成し、その上に８１
０２を蒸着、リフトオフし、引出し電極上のオーバーコ
ートを形成する。次にスルホール部分をレジストで覆っ
た後電極上をマスクで覆い、Ｔ負２０５ 、 ＷＯ３を
マスク蒸着する。スルホール部のり７トオフ後、上部対
向電極４をマスク蒸着する。
パターンとスルホール１２部分を形成し、その上に８１
０２を蒸着、リフトオフし、引出し電極上のオーバーコ
ートを形成する。次にスルホール部分をレジストで覆っ
た後電極上をマスクで覆い、Ｔ負２０５ 、 ＷＯ３を
マスク蒸着する。スルホール部のり７トオフ後、上部対
向電極４をマスク蒸着する。
なお、スルホール部分でのリークが問題となる場合は、
スルホール部分の周辺を絶縁層でコートすることができ
る。
スルホール部分の周辺を絶縁層でコートすることができ
る。
上部対向電極４を蒸着する前に、スルホール部分の周辺
のみを除いてレジストコー） Ｌ、 ３１０２ 金蒸着
した後、リフトオフし、上部電極を蒸着することにより
５ｔｏ２コートされ九スルホール導電部ｔ−形成する
ことができる。
のみを除いてレジストコー） Ｌ、 ３１０２ 金蒸着
した後、リフトオフし、上部電極を蒸着することにより
５ｔｏ２コートされ九スルホール導電部ｔ−形成する
ことができる。
また、第１図に示した実施例において、Ｔａ２０５゜Ｗ
Ｏ３の蒸着時のマスクにスルホール部分を覆うものを用
いると、第２図の様に、絶縁層でかこまれたスルホール
を形成することが容易にできる。
Ｏ３の蒸着時のマスクにスルホール部分を覆うものを用
いると、第２図の様に、絶縁層でかこまれたスルホール
を形成することが容易にできる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、従来問題となっていたエレクトロクロ
ミック素子駆動の際に生ずる電極の接触不良、導通不良
等の問題点が解決される。
ミック素子駆動の際に生ずる電極の接触不良、導通不良
等の問題点が解決される。
第１図は本発明のエレクトロクロはツク素子の１構成例
を説明するための縦断面図である。 第２図は本発明のエレクトロクロミック層子の他の構成
例を説明するための縦断面図である。 第３図は従来のエレクトロクロｉ、り素子の構成例を説
明するための縦断面図である。 １・・・基体、２・・・下部表示電極及び引出し部、３
・・・エレクトロクロミック層、４・・・上部対向電極
、１１・・・引出し電極、１２・・・スルホール。 代理人 弁理士 山 下 積 子 弟１図 第２ｒ：Ａ 第３図
を説明するための縦断面図である。 第２図は本発明のエレクトロクロミック層子の他の構成
例を説明するための縦断面図である。 第３図は従来のエレクトロクロｉ、り素子の構成例を説
明するための縦断面図である。 １・・・基体、２・・・下部表示電極及び引出し部、３
・・・エレクトロクロミック層、４・・・上部対向電極
、１１・・・引出し電極、１２・・・スルホール。 代理人 弁理士 山 下 積 子 弟１図 第２ｒ：Ａ 第３図
Claims (1)
- 基体上に積層された下部表示電極、エレクトロクロミッ
ク層及び上部対向電極を有するエレクトロクロミック素
子において、前記基体上に前記上部対向電極の引出し電
極が配置され、この引出し電極の上に位置する層を貫通
するスルホールを介して前記上部対向電極と接続されて
いることを特徴とするエレクトロクロミック素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11218485A JPS61270734A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | エレクトロクロミツク素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11218485A JPS61270734A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | エレクトロクロミツク素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61270734A true JPS61270734A (ja) | 1986-12-01 |
Family
ID=14580355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11218485A Pending JPS61270734A (ja) | 1985-05-27 | 1985-05-27 | エレクトロクロミツク素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61270734A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS622025U (ja) * | 1985-06-19 | 1987-01-08 | ||
| EP1512045A2 (en) * | 2002-06-10 | 2005-03-09 | E Ink Corporation | Components and methods for forming and testing electro-optic displays |
-
1985
- 1985-05-27 JP JP11218485A patent/JPS61270734A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS622025U (ja) * | 1985-06-19 | 1987-01-08 | ||
| EP1512045A2 (en) * | 2002-06-10 | 2005-03-09 | E Ink Corporation | Components and methods for forming and testing electro-optic displays |
| EP2930559A1 (en) * | 2002-06-10 | 2015-10-14 | E Ink Corporation | Adhesive front plane laminate for electro-optic display and process of forming an electro-optic display |
| US9563099B2 (en) | 2002-06-10 | 2017-02-07 | E Ink Corporation | Components and methods for use in electro-optic displays |
| US9733540B2 (en) | 2002-06-10 | 2017-08-15 | E Ink Corporation | Components and methods for use in electro-optic displays |
| US9778536B2 (en) | 2002-06-10 | 2017-10-03 | E Ink Corporation | Components and methods for use in electro-optic displays |
| US11294255B2 (en) | 2002-06-10 | 2022-04-05 | E Ink Corporation | Components and methods for use in electro-optic displays |
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