JPS5870214A - エレクトロクロミツク表示素子の製造方法 - Google Patents
エレクトロクロミツク表示素子の製造方法Info
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- JPS5870214A JPS5870214A JP16961481A JP16961481A JPS5870214A JP S5870214 A JPS5870214 A JP S5870214A JP 16961481 A JP16961481 A JP 16961481A JP 16961481 A JP16961481 A JP 16961481A JP S5870214 A JPS5870214 A JP S5870214A
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- resist
- film
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/15—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on an electrochromic effect
- G02F1/153—Constructional details
- G02F1/1533—Constructional details structural features not otherwise provided for
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はエレクトロクロミック表示素子（以下ＥＣＤと
称す）に関し、特に２種類のエレクトロクロミック物質
（以下ＥＣ物質と称す）を使用し、それぞれの着色が視
覚効果に寄与する型式のＥＣＤに関するものである。
称す）に関し、特に２種類のエレクトロクロミック物質
（以下ＥＣ物質と称す）を使用し、それぞれの着色が視
覚効果に寄与する型式のＥＣＤに関するものである。
電気化学反応により物質の光吸収特性が変化する現象を
エレクトロクロミズムと称し、このような現象を示す物
質即ちＥＣ物質の中で反応の可逆性が高く視覚効果の良
好な物質を表示装置に応用したものがＥＣＤである。Ｅ
ＣＤに用いられるＥＣ物質には数多くのものが知られて
いる（例えば、エレクトロニクス昭和５５年８月号Ｐ、
８８２〜８３５）。このＥＣ物質は観点により種々の分
類が可能である。例えば化学組成に着目して無機物と有
機物とに大きく分けることができる。ＥＣ反応に伴なう
相変化に着目すれば次のように分類することができる。
エレクトロクロミズムと称し、このような現象を示す物
質即ちＥＣ物質の中で反応の可逆性が高く視覚効果の良
好な物質を表示装置に応用したものがＥＣＤである。Ｅ
ＣＤに用いられるＥＣ物質には数多くのものが知られて
いる（例えば、エレクトロニクス昭和５５年８月号Ｐ、
８８２〜８３５）。このＥＣ物質は観点により種々の分
類が可能である。例えば化学組成に着目して無機物と有
機物とに大きく分けることができる。ＥＣ反応に伴なう
相変化に着目すれば次のように分類することができる。
液体５固体：析出型
固体ａ固体のものはＥＣ反応に必要なイオンの供給源と
して固体を用いるか液体（即ち電解液）を用いるかによ
って全固体型と半固体型とに分類される。固体のイオン
供給源としては狭義の本質的に固体電解質を用いる場合
と、誘電体薄膜を用−いる場合とがある。後者では誘電
体薄膜に吸着された水分が分解して生じるＨ あるいは
０）（−がＥＣ反応に寄与する。本明細書では便宜上両
者をまとめて固体電解質と呼ぶこととする。析出型は、
電解液中に溶解しているＥＣ物質が電気化学反応により
不溶性の膜となって電極面上に析出するものである。単
純液体型ではＥＣ物質は着色反応に於いても液体のまま
であるが、着色種が拡散していくのでニジミが生じると
いう欠点を有する。この欠点を避ける為に工夫されたの
が次の三者である。自己消去型は、電解液中に消去剤を
添加し、拡散していった着色種を化学的に消去するもの
である。拡散型は、電気的に賦勢されていない時に着色
しているように電解液を調製し、電気的に賦勢された時
に消色反応を行なわせ背景材の色が見えるようにしたも
のである。
して固体を用いるか液体（即ち電解液）を用いるかによ
って全固体型と半固体型とに分類される。固体のイオン
供給源としては狭義の本質的に固体電解質を用いる場合
と、誘電体薄膜を用−いる場合とがある。後者では誘電
体薄膜に吸着された水分が分解して生じるＨ あるいは
０）（−がＥＣ反応に寄与する。本明細書では便宜上両
者をまとめて固体電解質と呼ぶこととする。析出型は、
電解液中に溶解しているＥＣ物質が電気化学反応により
不溶性の膜となって電極面上に析出するものである。単
純液体型ではＥＣ物質は着色反応に於いても液体のまま
であるが、着色種が拡散していくのでニジミが生じると
いう欠点を有する。この欠点を避ける為に工夫されたの
が次の三者である。自己消去型は、電解液中に消去剤を
添加し、拡散していった着色種を化学的に消去するもの
である。拡散型は、電気的に賦勢されていない時に着色
しているように電解液を調製し、電気的に賦勢された時
に消色反応を行なわせ背景材の色が見えるようにしたも
のである。
また、色の変化に注目すれば、単色（無色透明−有色）
、二色あるいは多色（色相が変化する。）に分類できる
。さらに単色のものは還元発色型と酸化発色型とに区分
される。
、二色あるいは多色（色相が変化する。）に分類できる
。さらに単色のものは還元発色型と酸化発色型とに区分
される。
具体的な例を挙げれば、ＷＯ３は無機物、全固体型ある
いは半固体型、単色、還元発色型であり、ＩｒＯ２は無
機物、全固体型あるいは半固体型、単色、酸化発色型で
ある。ビオロゲンは有機物、析出型、単色、還元発色型
であり、シフタロジアニンルテチウムは有機物、半固体
型、多色である。
いは半固体型、単色、還元発色型であり、ＩｒＯ２は無
機物、全固体型あるいは半固体型、単色、酸化発色型で
ある。ビオロゲンは有機物、析出型、単色、還元発色型
であり、シフタロジアニンルテチウムは有機物、半固体
型、多色である。
表示形態によれば、ポジ表示とネガ表示、透過型と反射
型に区別される。反射型は、さらに金属の反射電極を用
いたものと透明電極を用い素子内部に背景材を設けたも
のとに分けられる。
型に区別される。反射型は、さらに金属の反射電極を用
いたものと透明電極を用い素子内部に背景材を設けたも
のとに分けられる。
ＥＣＤは電解セルの一種である。ある方向に通電するこ
とにより一方の電極で酸化反応が生じれば他方の電極で
はこれと当量の還元反応が生じ、逆方向に通電すればそ
れぞれの電極で逆の反応が生じる。従来の典型的なＥＣ
Ｄでは一方の電極（表示電極）での反応による着色、変
色のみを表示に利用し他方の電極（即ち対向電極）は背
景材の背後に視覚的に隠蔽されるように構成されていた
。
とにより一方の電極で酸化反応が生じれば他方の電極で
はこれと当量の還元反応が生じ、逆方向に通電すればそ
れぞれの電極で逆の反応が生じる。従来の典型的なＥＣ
Ｄでは一方の電極（表示電極）での反応による着色、変
色のみを表示に利用し他方の電極（即ち対向電極）は背
景材の背後に視覚的に隠蔽されるように構成されていた
。
このように対向電極を背景材により隠蔽しなければなら
ない理由は次の通りである。対向電極での電気化学反応
に関与する物質（活物質）として表示電極で反応を起こ
させるＥＣ物質と同じものを用いると表示電極と対向電
極のいずれか一方が着色している時他方は消色しており
、一方が消色していると他方は着色していることになり
このため両者を重ねて見るといずれの状態でも着色して
見え、通電による着消色の変化が観察され難くなるだめ
である。また、対向電極としてカーボン焼結体のように
反射率の低い物質を用いる場合であっても、そのままで
は表示電極の変化を観察することができないからである
。
ない理由は次の通りである。対向電極での電気化学反応
に関与する物質（活物質）として表示電極で反応を起こ
させるＥＣ物質と同じものを用いると表示電極と対向電
極のいずれか一方が着色している時他方は消色しており
、一方が消色していると他方は着色していることになり
このため両者を重ねて見るといずれの状態でも着色して
見え、通電による着消色の変化が観察され難くなるだめ
である。また、対向電極としてカーボン焼結体のように
反射率の低い物質を用いる場合であっても、そのままで
は表示電極の変化を観察することができないからである
。
一方、本発明の適用される型０ＥＣＤは、表示電極と対
向電極とを区別せず、一方の電極には酸化発色型ＥＣ物
質、他方の電極には還元発色型ＥＣ物質を設け、両者の
間に固体電解質層を介設した構造を有する、一方向の通
電で両電極のＥＣ物質は同時に着色するが、両者間に背
景材を介設しないだめそれぞれの着色の重ね合わされた
色彩が観察されるので同一電荷量を通電した時のコント
ラスト比は従来のものに比べてはるかに向上する。
向電極とを区別せず、一方の電極には酸化発色型ＥＣ物
質、他方の電極には還元発色型ＥＣ物質を設け、両者の
間に固体電解質層を介設した構造を有する、一方向の通
電で両電極のＥＣ物質は同時に着色するが、両者間に背
景材を介設しないだめそれぞれの着色の重ね合わされた
色彩が観察されるので同一電荷量を通電した時のコント
ラスト比は従来のものに比べてはるかに向上する。
反対方向に通電すれば両者は同時に消色されることとな
る。
る。
このような型式のＥＣＤに於いて、ＥＣ物質を予めパタ
ーン化し、また必要に応じてそれを複数の小部分（セグ
メント）に分割し、それらを選択的に駆動して種々の情
報を表示する場合、従来の製造プロセスでは次のような
点が問題となっていた。即ち、第１のＥＣ物質層、固体
電解質層、第２のＥＣ物質層（これらがこの順に積層さ
れたものを以下着色層と称す）及び絶縁層の４種の層の
それぞれを個々にマスク蒸着、エツチング等の方法でパ
ターン化しなければならず工程が非常に煩雑になる。ま
た、これら４層間相互のパターン合せの精度は非常に高
くしなければならない。この理由は仮に第１のＥＣ層、
固体電解質、第２のＥＣ層の３層が正確に合致して積層
されずはみ出ている部分が存在すると、その部分の応答
時間が非常に遅くなるため縁取りを施したようになり、
表示品位を損なうことになる。まだ絶縁膜は一対の電極
間のリークを防止するだめのものであり従って着色層の
設けられていない部分を完全に覆うように配置しなけれ
ばなければならない。
ーン化し、また必要に応じてそれを複数の小部分（セグ
メント）に分割し、それらを選択的に駆動して種々の情
報を表示する場合、従来の製造プロセスでは次のような
点が問題となっていた。即ち、第１のＥＣ物質層、固体
電解質層、第２のＥＣ物質層（これらがこの順に積層さ
れたものを以下着色層と称す）及び絶縁層の４種の層の
それぞれを個々にマスク蒸着、エツチング等の方法でパ
ターン化しなければならず工程が非常に煩雑になる。ま
た、これら４層間相互のパターン合せの精度は非常に高
くしなければならない。この理由は仮に第１のＥＣ層、
固体電解質、第２のＥＣ層の３層が正確に合致して積層
されずはみ出ている部分が存在すると、その部分の応答
時間が非常に遅くなるため縁取りを施したようになり、
表示品位を損なうことになる。まだ絶縁膜は一対の電極
間のリークを防止するだめのものであり従って着色層の
設けられていない部分を完全に覆うように配置しなけれ
ばなければならない。
本発明は以上のような問題を解決するものであり、単一
のマスク部材を用いて第１のＥＣ層、固体電解質層、第
２のＥＣ層から成る着色層及び絶縁膜のパターン化を行
なうことにより工程を簡略化した新規有用なＥＣＤの製
造方法を提供することを目的とするものである。
のマスク部材を用いて第１のＥＣ層、固体電解質層、第
２のＥＣ層から成る着色層及び絶縁膜のパターン化を行
なうことにより工程を簡略化した新規有用なＥＣＤの製
造方法を提供することを目的とするものである。
以下本発明を実施例に従って図面を診照しながら詳説す
る。
る。
予め第１の電極の設けられた基板上に全面に絶縁膜を設
け、次いでこの絶縁膜を残すべき部分の上にレジスト層
を設け、レジスト層の設けられなかった部分の絶縁膜を
エツチングにより除去する。
け、次いでこの絶縁膜を残すべき部分の上にレジスト層
を設け、レジスト層の設けられなかった部分の絶縁膜を
エツチングにより除去する。
通常のパターン化法ではここでレジストを剥離するが、
以下の実施例ではこのレジストを次に設ける着色層のパ
ターン化のためのリフトオフレジストとして用いる。即
ち、レジストを残したままその上に着色層を積層しその
後にレジストを剥離しその部分の着色層を除去する。こ
のような方法によれば着色層と絶縁膜のエツジは正確に
合致し、オーバーラツプも隙間も生じない。尚、第１の
ＥＣ物質層、固体電解質層、第２のＥＣ物質層の３層は
着色層として１層のように扱ったがこれらは順次積層さ
れ同一のレジストで同時にパターン化されるのでそれら
のエツジは揃いズレは生じていないＯ 尚、ここでは絶縁膜を先に設けその後着色層を設ける場
合の説明を行なったが、着色層と絶縁膜を設ける順序を
入れ換えても全く同様にパターン化できることは当然で
あ７る。
以下の実施例ではこのレジストを次に設ける着色層のパ
ターン化のためのリフトオフレジストとして用いる。即
ち、レジストを残したままその上に着色層を積層しその
後にレジストを剥離しその部分の着色層を除去する。こ
のような方法によれば着色層と絶縁膜のエツジは正確に
合致し、オーバーラツプも隙間も生じない。尚、第１の
ＥＣ物質層、固体電解質層、第２のＥＣ物質層の３層は
着色層として１層のように扱ったがこれらは順次積層さ
れ同一のレジストで同時にパターン化されるのでそれら
のエツジは揃いズレは生じていないＯ 尚、ここでは絶縁膜を先に設けその後着色層を設ける場
合の説明を行なったが、着色層と絶縁膜を設ける順序を
入れ換えても全く同様にパターン化できることは当然で
あ７る。
以下、図面に示す実施例について説明する。
第１図乃至第７図は本発明の１実施例を示すＥＣＤの製
造工程説明図である。工程（Ａ）：基板１の片面に導電
膜を設け、必要に応じてパターン化し第１の電極２とす
る。基板１にはガラス、セラミックが用いられるが場合
によっては高分子材料も使用できる。導電膜にはＩｎ２
Ｏ３を主とするＩＴＯ膜＋ ５ｎ０２を主とするＮＥＳ
Ａ膜が用いられる。ＩＴＯ膜のパターン化は湿式エツチ
ング法ＮＥＳＡ膜の場合はリフトオフ法によるのが便利
である。この工程を第１図に示す。工程（Ｂ）二次にこ
の上に絶縁膜３を全面に設ける。絶縁膜３としては５ｉ
０２．Ｓ’ｉ３Ｎ４が用いられる。これらを設ける方法
としてはＣＶＤ法、スパッタ法イオンブレーティング法
あるいは熱分解法がある。この工程を第２図に示す。工
程（０：次にリード部等の絶縁膜３を残したい部分にス
クリーン印刷等の方法でレジスト４を設ける。レジスト
４としては無機系レジストが好捷しい。有機系レジスト
は樹脂分が主成分で耐熱性に乏しく加熱されると黒化し
剥離し難くなってしまうだめである。まだ後述のＥＣ物
質を設ける際にガスを放出し特性に悪影響を与えるとい
う欠点がある。これに対して無機系レジストはフィラー
分（無機物粉末、炭素、金属粉）を主成分とし、これに
少量の樹脂分と溶剤を加えペースト状にしたもので、予
め焼成することによりフィラー分だけが残り有機系レジ
ストの場合のような問題は生じない。また水、希酸等で
容易に剥離することができる。本実施例ではＢａＣ０ａ
。
造工程説明図である。工程（Ａ）：基板１の片面に導電
膜を設け、必要に応じてパターン化し第１の電極２とす
る。基板１にはガラス、セラミックが用いられるが場合
によっては高分子材料も使用できる。導電膜にはＩｎ２
Ｏ３を主とするＩＴＯ膜＋ ５ｎ０２を主とするＮＥＳ
Ａ膜が用いられる。ＩＴＯ膜のパターン化は湿式エツチ
ング法ＮＥＳＡ膜の場合はリフトオフ法によるのが便利
である。この工程を第１図に示す。工程（Ｂ）二次にこ
の上に絶縁膜３を全面に設ける。絶縁膜３としては５ｉ
０２．Ｓ’ｉ３Ｎ４が用いられる。これらを設ける方法
としてはＣＶＤ法、スパッタ法イオンブレーティング法
あるいは熱分解法がある。この工程を第２図に示す。工
程（０：次にリード部等の絶縁膜３を残したい部分にス
クリーン印刷等の方法でレジスト４を設ける。レジスト
４としては無機系レジストが好捷しい。有機系レジスト
は樹脂分が主成分で耐熱性に乏しく加熱されると黒化し
剥離し難くなってしまうだめである。まだ後述のＥＣ物
質を設ける際にガスを放出し特性に悪影響を与えるとい
う欠点がある。これに対して無機系レジストはフィラー
分（無機物粉末、炭素、金属粉）を主成分とし、これに
少量の樹脂分と溶剤を加えペースト状にしたもので、予
め焼成することによりフィラー分だけが残り有機系レジ
ストの場合のような問題は生じない。また水、希酸等で
容易に剥離することができる。本実施例ではＢａＣ０ａ
。
ＣａＣＯ３を主成分とするレジスト例えばＭＳＫ−４２
Ｂ （Ｍ Ｉ ＮＥＴＣＨ社製）、バニー・・イトＳ（
日本黒鉛工業社製）が特に良好な結果を与えた。この工
程を第３図に示す。工程（Ｄ）二次にレジスト４に覆わ
れていない部分（ＥＣ物質を設ける部分及び端子部）の
絶縁膜３をドライエツチング法により除去し、導電膜２
を露出させる。エツチングガスとしてＣＦ４を用いると
Ｓ ｉ０２のみがエツチングされ導電膜は損傷を受けな
かった。この工程を第４図に示す。工程（Ｅ）：次に端
子部をマスクしてその他の部分に第１のＥＣ物質層５．
固体電解質層６、第２のＥＣ物質層７を順次積層する。
Ｂ （Ｍ Ｉ ＮＥＴＣＨ社製）、バニー・・イトＳ（
日本黒鉛工業社製）が特に良好な結果を与えた。この工
程を第３図に示す。工程（Ｄ）二次にレジスト４に覆わ
れていない部分（ＥＣ物質を設ける部分及び端子部）の
絶縁膜３をドライエツチング法により除去し、導電膜２
を露出させる。エツチングガスとしてＣＦ４を用いると
Ｓ ｉ０２のみがエツチングされ導電膜は損傷を受けな
かった。この工程を第４図に示す。工程（Ｅ）：次に端
子部をマスクしてその他の部分に第１のＥＣ物質層５．
固体電解質層６、第２のＥＣ物質層７を順次積層する。
第１のＥＣ物質層５．第２のＥＣ物質層７のいずれか一
方は還元発色性ＥＣ物質としてＷ２ＢあるいはＭｏＯ３
、他方は酸化発色性ＥＣ物質としてＮｉＯあるいはＩｒ
Ｏ２とし、真空蒸着、スパッタ、イオンブレーティング
等の方法で層設する。また、固体電解質層６としてはＬ
ｉ３Ｎ等の純固体電解質あるいは５ｉ０２．ＣａＦ２Ｍ
ｇＦ２等のポーラスな蒸着膜が用いられる。ポーラスな
蒸着膜では吸着された水分がＥＣ反応に必要なイオンの
供給源となる。
方は還元発色性ＥＣ物質としてＷ２ＢあるいはＭｏＯ３
、他方は酸化発色性ＥＣ物質としてＮｉＯあるいはＩｒ
Ｏ２とし、真空蒸着、スパッタ、イオンブレーティング
等の方法で層設する。また、固体電解質層６としてはＬ
ｉ３Ｎ等の純固体電解質あるいは５ｉ０２．ＣａＦ２Ｍ
ｇＦ２等のポーラスな蒸着膜が用いられる。ポーラスな
蒸着膜では吸着された水分がＥＣ反応に必要なイオンの
供給源となる。
この工程を第５図に示す。工程（Ｆ）二次に希塩酸でレ
ジスト４を剥離すると第１のＥＣ物質層５、固体電解質
層６、第２のＥＣ物質層７が所望の表示パターン形状に
成形される。この工程を第６図に示す。工程（Ｇ）：最
後に第２の電極８となる導電膜を第２のＥＣ物質層７と
接するように層設してＥＣＤが完成される。この後必要
に応じて保護の為に樹脂コーティングを施したり、保護
板を貼付けてもよい。尚、着色層はパターン化されセグ
メント毎に分離されているので第２の電極８の方は分割
する心安はない。基板１、第１の電極２、第２の電極８
のいずれもが実質的に透明であれば透過型ＥＣＤとなり
両全面のいずれからでも表示パターンを観察することが
できる、１捷だ、基板１としてガラス又はセラミックに
観料を混入して得られる白色または淡色の不透明基板を
用いるかあるいは電＋ｌｉ２，８のいずれか一方に金属
膜を用いると反射型となる。
ジスト４を剥離すると第１のＥＣ物質層５、固体電解質
層６、第２のＥＣ物質層７が所望の表示パターン形状に
成形される。この工程を第６図に示す。工程（Ｇ）：最
後に第２の電極８となる導電膜を第２のＥＣ物質層７と
接するように層設してＥＣＤが完成される。この後必要
に応じて保護の為に樹脂コーティングを施したり、保護
板を貼付けてもよい。尚、着色層はパターン化されセグ
メント毎に分離されているので第２の電極８の方は分割
する心安はない。基板１、第１の電極２、第２の電極８
のいずれもが実質的に透明であれば透過型ＥＣＤとなり
両全面のいずれからでも表示パターンを観察することが
できる、１捷だ、基板１としてガラス又はセラミックに
観料を混入して得られる白色または淡色の不透明基板を
用いるかあるいは電＋ｌｉ２，８のいずれか一方に金属
膜を用いると反射型となる。
表示パターンをセグメントに分割しない場合には、基板
１と第１の電極２を金属板で兼用することができる。反
射型ではいずれの場合も表示と背景が密着しており、液
晶表示素子に見られるような視差を生じないので、良好
な視覚効果を得ることができる。
１と第１の電極２を金属板で兼用することができる。反
射型ではいずれの場合も表示と背景が密着しており、液
晶表示素子に見られるような視差を生じないので、良好
な視覚効果を得ることができる。
以Ｆの説明では絶縁膜３を先に設け、ドライエツチング
によりパターン化したが、これとは逆に先に第１のＥＣ
物質層５、固体電解質層６、第２のＥＣ物質層７を順次
積層し、これらを先ずドライエツチングによりパターン
化してから絶縁膜３を設け、この絶縁膜３の不要部分を
リフトオフ法で除去してもよい。本発明によれば単一の
レジストで第１のＥＣ物質層、固体電解質、第２のＥＣ
物質層絶縁膜の４者をパターン化することができ、しか
もそれらのエツジは雫ましい状態に揃えることができる
だめ、表示素子としてその効果は犬である。
によりパターン化したが、これとは逆に先に第１のＥＣ
物質層５、固体電解質層６、第２のＥＣ物質層７を順次
積層し、これらを先ずドライエツチングによりパターン
化してから絶縁膜３を設け、この絶縁膜３の不要部分を
リフトオフ法で除去してもよい。本発明によれば単一の
レジストで第１のＥＣ物質層、固体電解質、第２のＥＣ
物質層絶縁膜の４者をパターン化することができ、しか
もそれらのエツジは雫ましい状態に揃えることができる
だめ、表示素子としてその効果は犬である。
第１図乃至第７図は本発明の１実施例を示すＥ ＣＤの
製造工程説明図であるＯ ｌ・・基板、２・第１の電極、３ 絶縁膜、４・・・レ
ジスト、５・・第１のＥＣ物質層、６・一固体電解質層
、７ ・第２のＥＣ物質層、８−第２の電極。 代理人 弁理士 福 士 愛 彦
製造工程説明図であるＯ ｌ・・基板、２・第１の電極、３ 絶縁膜、４・・・レ
ジスト、５・・第１のＥＣ物質層、６・一固体電解質層
、７ ・第２のＥＣ物質層、８−第２の電極。 代理人 弁理士 福 士 愛 彦
Claims (1)
- １、固体電解質層を介して酸化発色性ＥＣ層と還元発色
性ＥＣ層を積層した着色層と絶縁層をリフトオフ法で平
面的にパターン成形することにより相互の隣接部の着色
境界を表示パターンに合致せしめることを特徴とするエ
レクトロクロミック表示素子の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16961481A JPS5870214A (ja) | 1981-10-22 | 1981-10-22 | エレクトロクロミツク表示素子の製造方法 |
| US06/434,502 US4505021A (en) | 1981-10-22 | 1982-10-15 | Method for manufacturing an electrochromic display device |
| DE19823238860 DE3238860A1 (de) | 1981-10-22 | 1982-10-20 | Elektrochrome anzeigevorrichtung und verfahren zu deren herstellung |
| GB08230028A GB2110865B (en) | 1981-10-22 | 1982-10-21 | Method of manufacture of an electrochromic display device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16961481A JPS5870214A (ja) | 1981-10-22 | 1981-10-22 | エレクトロクロミツク表示素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5870214A true JPS5870214A (ja) | 1983-04-26 |
| JPH0128928B2 JPH0128928B2 (ja) | 1989-06-06 |
Family
ID=15889758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16961481A Granted JPS5870214A (ja) | 1981-10-22 | 1981-10-22 | エレクトロクロミツク表示素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5870214A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0212793A (ja) * | 1988-06-30 | 1990-01-17 | Pioneer Electron Corp | 多色化固体表示装置の製造法 |
-
1981
- 1981-10-22 JP JP16961481A patent/JPS5870214A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0212793A (ja) * | 1988-06-30 | 1990-01-17 | Pioneer Electron Corp | 多色化固体表示装置の製造法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0128928B2 (ja) | 1989-06-06 |
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