JPH0212793A - 多色化固体表示装置の製造法 - Google Patents
多色化固体表示装置の製造法Info
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- JPH0212793A JPH0212793A JP63160807A JP16080788A JPH0212793A JP H0212793 A JPH0212793 A JP H0212793A JP 63160807 A JP63160807 A JP 63160807A JP 16080788 A JP16080788 A JP 16080788A JP H0212793 A JPH0212793 A JP H0212793A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
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Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電子的に処理された情報を多色表示するため
のカラーデイスプレィ装置に関する。
のカラーデイスプレィ装置に関する。
情報を多色表示するためのカラーデイスプレィ装置とし
てはブラウン管が多用されているが、装置の薄型化のた
めに液晶型表示素子や固体発光型素子が利用され、とく
に表示の輝度の点からエレクトロ・ルミネッセンス固体
表示素子が好まれている。
てはブラウン管が多用されているが、装置の薄型化のた
めに液晶型表示素子や固体発光型素子が利用され、とく
に表示の輝度の点からエレクトロ・ルミネッセンス固体
表示素子が好まれている。
かかるエレクトロ・ルミネッセンス固体表示素子の多色
化に当っては、複数種類の発光素子を平面基板上に逐次
積み重ねて装置を構成する方法があるが、輝度の不足や
欠陥などの発生し易い点から、平面基板上に二次元的に
素子を配列して装置を構成する方法がより望ましい。そ
して、かかる平面型の多色化固体表示装置を製造する方
法として、ホトリソグラフ法を利用してガラス基板上に
蒸着した蛍光体薄膜を所望部位のみに残し、それ以外は
すべてレジスト膜と共に剥離除去する手法を反復して、
複数種類の蛍光体薄膜を隣り合わせに作り込む寸法が開
示されている（月刊セミコンダクター・ワールド、１９
８７．（８）、Ｐ１５６〜１５７）。かかる方法は第２
図に示すような手順に従って実施されるが、図において
１はガラス基板、２は透明電極、３は誘電層、Ｒはレジ
スト層、Ｘは第１の発光層、Ｙは第２の発光層、Ｚは第
３の発光層、４は誘電層、５は電極である。すなわち、
ガラス基板１上に透明電極２と誘電層３とを順に積層し
た上にレジストＲを塗付し、ホトリソグラフ法によって
第１の発光層Ｘを設ける部位のレジストを除去する（Ｉ
）。続いてこの上に第１の発光層Ｘを蒸着しく■）、レ
ジスｌ−Ｒと共に第１の発光層Ｘを剥離することによっ
て所望部位のみに第１の発光層Ｘを残す（ＩＩＩ）。次
に、全面にレジストＲを塗付し、上記と同様にホトリソ
グラフ法によって第２の発光層Ｙを設ける部位のレジス
トを除去し、続いてこの上に第２の発光層Ｙを蒸着しく
■）、レジストＲと共に第２の発光層Ｙを剥離すること
によって所望部位のみに第２の発光層Ｂを残し、第１の
発光層Ｘと第２の発光層Ｙとを夫々所望部位に配設した
板体が得られる（Ｖ）更に、前記同様の操作を第３の発
光層Ｚについて繰返して所定の発光層すべてを所定部位
に配設した板体を得、これを誘電Ｎ４で被覆しまたそれ
ぞれの発光層に対応する電極５を公知の手法に従ってそ
れぞれの位置に設けて固体表示装置が製造される （Ｖ
Ｉ）。
化に当っては、複数種類の発光素子を平面基板上に逐次
積み重ねて装置を構成する方法があるが、輝度の不足や
欠陥などの発生し易い点から、平面基板上に二次元的に
素子を配列して装置を構成する方法がより望ましい。そ
して、かかる平面型の多色化固体表示装置を製造する方
法として、ホトリソグラフ法を利用してガラス基板上に
蒸着した蛍光体薄膜を所望部位のみに残し、それ以外は
すべてレジスト膜と共に剥離除去する手法を反復して、
複数種類の蛍光体薄膜を隣り合わせに作り込む寸法が開
示されている（月刊セミコンダクター・ワールド、１９
８７．（８）、Ｐ１５６〜１５７）。かかる方法は第２
図に示すような手順に従って実施されるが、図において
１はガラス基板、２は透明電極、３は誘電層、Ｒはレジ
スト層、Ｘは第１の発光層、Ｙは第２の発光層、Ｚは第
３の発光層、４は誘電層、５は電極である。すなわち、
ガラス基板１上に透明電極２と誘電層３とを順に積層し
た上にレジストＲを塗付し、ホトリソグラフ法によって
第１の発光層Ｘを設ける部位のレジストを除去する（Ｉ
）。続いてこの上に第１の発光層Ｘを蒸着しく■）、レ
ジスｌ−Ｒと共に第１の発光層Ｘを剥離することによっ
て所望部位のみに第１の発光層Ｘを残す（ＩＩＩ）。次
に、全面にレジストＲを塗付し、上記と同様にホトリソ
グラフ法によって第２の発光層Ｙを設ける部位のレジス
トを除去し、続いてこの上に第２の発光層Ｙを蒸着しく
■）、レジストＲと共に第２の発光層Ｙを剥離すること
によって所望部位のみに第２の発光層Ｂを残し、第１の
発光層Ｘと第２の発光層Ｙとを夫々所望部位に配設した
板体が得られる（Ｖ）更に、前記同様の操作を第３の発
光層Ｚについて繰返して所定の発光層すべてを所定部位
に配設した板体を得、これを誘電Ｎ４で被覆しまたそれ
ぞれの発光層に対応する電極５を公知の手法に従ってそ
れぞれの位置に設けて固体表示装置が製造される （Ｖ
Ｉ）。
上述のような従来方法では、レジスト層に形成した孔の
部分に付着堆積した発光層を残して、レジスト層上の発
光層をレジスト層と共に剥離して除去するので、基板の
全面にわたってレジスト層のパタン形状を精密に形成す
る必要があり、また発光層の堆積厚さなどを正確に制御
する必要がある。このような素子製造方法においては、
パタンの微細化と共に工程管理の厳密さが要求されるの
で、パタンの高密度化に限度がある。
部分に付着堆積した発光層を残して、レジスト層上の発
光層をレジスト層と共に剥離して除去するので、基板の
全面にわたってレジスト層のパタン形状を精密に形成す
る必要があり、また発光層の堆積厚さなどを正確に制御
する必要がある。このような素子製造方法においては、
パタンの微細化と共に工程管理の厳密さが要求されるの
で、パタンの高密度化に限度がある。
そこで本発明においては、工程管理に困難さがなく、パ
タンの高密度化が容易に達成できる多色化固体表示装置
の製造法を提供しようとするものである。
タンの高密度化が容易に達成できる多色化固体表示装置
の製造法を提供しようとするものである。
前述の目的を達成できる本発明の多色化固体表示装置の
製造法は、電極を設けた基板面上に第１の色表示層とレ
ジスト層とを順に積層しフォトリソグラフ法を適用して
所定部位以外の該第１の色表示層のすべてを除去するこ
とにより所定パタンの第１の色表示部のみを形成した第
１の色表示板を得、次いで該第１の色表示板面上に第２
の色表示層とレジスト層とを順に積層しフォトリソグラ
フ法を適用して所定部位以外の該第２の色表示層のすべ
てを除去することにより所定パタンの第１の色表示部と
第２の色表示部とを形成した第２の色表示板を得、更に
該第２の色表示板に対し前記と同様な手法を適用し、こ
れを反覆することにより少くとも３種の所定パターンの
色表示部を形成した色表示板を得ることを特徴とするも
のである。
製造法は、電極を設けた基板面上に第１の色表示層とレ
ジスト層とを順に積層しフォトリソグラフ法を適用して
所定部位以外の該第１の色表示層のすべてを除去するこ
とにより所定パタンの第１の色表示部のみを形成した第
１の色表示板を得、次いで該第１の色表示板面上に第２
の色表示層とレジスト層とを順に積層しフォトリソグラ
フ法を適用して所定部位以外の該第２の色表示層のすべ
てを除去することにより所定パタンの第１の色表示部と
第２の色表示部とを形成した第２の色表示板を得、更に
該第２の色表示板に対し前記と同様な手法を適用し、こ
れを反覆することにより少くとも３種の所定パターンの
色表示部を形成した色表示板を得ることを特徴とするも
のである。
以下、第１図によって本発明の製造法を更に詳細に説明
する。なお、図における記号は、便宜のために従来技術
の説明のために第２図において使用した記号と同じもの
を用いた。
する。なお、図における記号は、便宜のために従来技術
の説明のために第２図において使用した記号と同じもの
を用いた。
本発明においては、ガラス基板１の面上に透明電極２と
誘電層３とを順に積層したものを用意すすることは従来
と同様であるが、その上に第１の色表示層Ａをたとえば
蒸着などの方法によって設け、次いでレジストｊｌＲを
塗布する（ａ）。このレジスト層Ｒにホトリソグラフ法
を適用して第１の色表示ＮＡを残すパタンに応じたレジ
ストＮＲを残す（ｂ）。次に第１の色表示層Ａをエツチ
ングし、レジストＩＲを剥離除去することによって、所
望のパタンの第１の色表示層Ａを形成した第１の色表示
板イを得る（Ｃ）。
誘電層３とを順に積層したものを用意すすることは従来
と同様であるが、その上に第１の色表示層Ａをたとえば
蒸着などの方法によって設け、次いでレジストｊｌＲを
塗布する（ａ）。このレジスト層Ｒにホトリソグラフ法
を適用して第１の色表示ＮＡを残すパタンに応じたレジ
ストＮＲを残す（ｂ）。次に第１の色表示層Ａをエツチ
ングし、レジストＩＲを剥離除去することによって、所
望のパタンの第１の色表示層Ａを形成した第１の色表示
板イを得る（Ｃ）。
この第１の色表示板イの面上に第２の色表示層Ｂをたと
えば蒸着などの方法によってたとえば第１の色表示層Ａ
より少し薄く設け（ｄ）、更にその上にレジストＮＲを
塗布する（ｅ）。次いで前記と同様にホトリソグラフ法
を適用して所望の第２の色表示層Ｂを残すパタンに応じ
たレジスト層Ｒを残しくｆ）、エツチングによってレジ
スト層Ｒが残った部分以外の第２の色表示層Ｂを除去す
る。このとき、不必要な第２の色表示層Ｂの部分を完全
に除去するために強目にエツチングをかけると、第１の
色表示層Ａの上の第２の色表示層Ｂが消失すると共に第
１の色表示層Ａの膜厚も減少するが、第２の色表示層Ｂ
の蒸着厚さと等しい膜厚で止るようにエツチングするの
がよい。こうしてエツチングをしたのちレジスト層Ｒを
除去することによって第２の色表示板口が得られる（ｇ
）。
えば蒸着などの方法によってたとえば第１の色表示層Ａ
より少し薄く設け（ｄ）、更にその上にレジストＮＲを
塗布する（ｅ）。次いで前記と同様にホトリソグラフ法
を適用して所望の第２の色表示層Ｂを残すパタンに応じ
たレジスト層Ｒを残しくｆ）、エツチングによってレジ
スト層Ｒが残った部分以外の第２の色表示層Ｂを除去す
る。このとき、不必要な第２の色表示層Ｂの部分を完全
に除去するために強目にエツチングをかけると、第１の
色表示層Ａの上の第２の色表示層Ｂが消失すると共に第
１の色表示層Ａの膜厚も減少するが、第２の色表示層Ｂ
の蒸着厚さと等しい膜厚で止るようにエツチングするの
がよい。こうしてエツチングをしたのちレジスト層Ｒを
除去することによって第２の色表示板口が得られる（ｇ
）。
更に、この第２の色表示板口の面上に第３の色表示１ｃ
を前記と同様な方法でたとえば第２の色表示層Ｂより少
し薄く設け、その上にレジスト層Ｒを塗布しくｈ）、前
記と同様にホトリソグラフおよびエツチングを行なって
、所望のパタンを有する第３の色表示層Ｃを残すが、そ
のとき第１の色表示層Ａおよび第２の色表示層Ｂも少し
エツチングを受けて第３の色表示１１ｃと厚さが等しく
なるようにするのがよい。次いで残るレジスト層Ｒを除
去して第３の色表示板ハが得られる（ｉ）。
を前記と同様な方法でたとえば第２の色表示層Ｂより少
し薄く設け、その上にレジスト層Ｒを塗布しくｈ）、前
記と同様にホトリソグラフおよびエツチングを行なって
、所望のパタンを有する第３の色表示層Ｃを残すが、そ
のとき第１の色表示層Ａおよび第２の色表示層Ｂも少し
エツチングを受けて第３の色表示１１ｃと厚さが等しく
なるようにするのがよい。次いで残るレジスト層Ｒを除
去して第３の色表示板ハが得られる（ｉ）。
このようにして得られた第３の色表示板ハは、第１の色
表示層Ａ、第２の色表示層Ｂ、および第３の色表示層Ｃ
を、それぞれ所望のパタンに従って設けてなるものであ
り、これらの色表示層がエレクトロ・ルミネッセンス発
光材料からなるものであるときは、この色表示板ハ上に
更に誘電層４を被着し、さらにそれぞれの色表示層のパ
タンに対応した電極を公知の手段を用い設けることによ
って、多色化されたエレクトロ・ルミネンセンス固体表
示装置が得られる。
表示層Ａ、第２の色表示層Ｂ、および第３の色表示層Ｃ
を、それぞれ所望のパタンに従って設けてなるものであ
り、これらの色表示層がエレクトロ・ルミネッセンス発
光材料からなるものであるときは、この色表示板ハ上に
更に誘電層４を被着し、さらにそれぞれの色表示層のパ
タンに対応した電極を公知の手段を用い設けることによ
って、多色化されたエレクトロ・ルミネンセンス固体表
示装置が得られる。
また色表示層が電子線あるいはイオンなどの刺激によっ
て発光する蛍光体などであるときは、ブラウン管やプラ
ズマデイスプレィなどの表示面として用いることができ
、あるいは電子またはイオンの注入によって吸光特性が
変化するエレクトロクコミック材料などや電圧印加によ
って屈折率が変化する材料などを色表示層として用いて
、それぞれ各種の固体表示装置を構成するにも適用する
ことができ、固体表示装置の態様については特に限定さ
れるものではない。
て発光する蛍光体などであるときは、ブラウン管やプラ
ズマデイスプレィなどの表示面として用いることができ
、あるいは電子またはイオンの注入によって吸光特性が
変化するエレクトロクコミック材料などや電圧印加によ
って屈折率が変化する材料などを色表示層として用いて
、それぞれ各種の固体表示装置を構成するにも適用する
ことができ、固体表示装置の態様については特に限定さ
れるものではない。
本発明の多色化固体表示装置の製造法は、従来の方法の
ように耐熱性のないレジスト層上に発光層を堆積させる
ものでなく、色表示層を耐熱性のある下層の上に直接に
堆積させるので、色表示層の成膜条件の選択には何等制
限がない。従って、色表示層の特性に応じて適当な成膜
条件を採用することができ、また従来公知のホトリソグ
ラフ法やエツチング法を適用することができるので、工
程管理が容易であってかつ性能の優れた多色化固体表示
装置を効率よく生産できる特長がある。
ように耐熱性のないレジスト層上に発光層を堆積させる
ものでなく、色表示層を耐熱性のある下層の上に直接に
堆積させるので、色表示層の成膜条件の選択には何等制
限がない。従って、色表示層の特性に応じて適当な成膜
条件を採用することができ、また従来公知のホトリソグ
ラフ法やエツチング法を適用することができるので、工
程管理が容易であってかつ性能の優れた多色化固体表示
装置を効率よく生産できる特長がある。
第１図は本発明の多色化固体表示装置の製造法の手順の
説明図、 第２図は従来の多色化固体表示装置を製造する方法の手
順の説明図である。 ■・・・基板、２・・・透明電極、３，４・・・誘電層
、５・・・電極、Ｒ・・・レジスト層、Ａ・・・第１の
色表示層、Ｂ・・・第２の色表示層、Ｃ・・・第３の色
表示層。
説明図、 第２図は従来の多色化固体表示装置を製造する方法の手
順の説明図である。 ■・・・基板、２・・・透明電極、３，４・・・誘電層
、５・・・電極、Ｒ・・・レジスト層、Ａ・・・第１の
色表示層、Ｂ・・・第２の色表示層、Ｃ・・・第３の色
表示層。
Claims (3)
- （１） 電極を設けた基板面上に第１の色表示層とレジ
スト層とを順に積層しフォトリソグラフ法を適用して所
定部位以外の該第１の色表示層のすべてを除去すること
により所定パタンの第１の色表示部のみを形成した第１
の色表示板を得、次いで該第１の色表示板面上に第２の
色表示層とレジスト層とを順に積層しフォトリソグラフ
法を適用して所定部位以外の該第２の色表示層のすべて
を除去することにより所定パタンの第１の色表示部と第
２の色表示部とを形成した第２の色表示板を得、更に該
第２の色表示板に対し前記と同様な手法を適用し、これ
を反覆することにより少くとも３種の所定パターンの色
表示部を形成した色表示板を得ることを特徴とする、多
色化固体表示装置の製造法。 - （２） 色表示部がエレクトロ・ルミネッセンスなどを
利用した発光型色表示材料か、エレクトロクロミズムな
どを利用した非発光型色表示材料によって形成されたも
のである、特許請求の範囲第１項記載の多色化固体表示
装置の製造法。 - （３） 基板として透明なガラス板上に透明電極層と第
１誘電体層とを順次積層してなるものを用い、更に形成
された色表示部を少くとも被覆する第２誘電体層を設け
たのち該色表示部の夫々に対応して該第２誘電体層の表
面上に夫々電極層を形成することを特徴とする、特許請
求の範囲第１項記載の多色化固体表示装置の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63160807A JPH0212793A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 多色化固体表示装置の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63160807A JPH0212793A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 多色化固体表示装置の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0212793A true JPH0212793A (ja) | 1990-01-17 |
Family
ID=15722859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63160807A Pending JPH0212793A (ja) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 多色化固体表示装置の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0212793A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6428079A (en) * | 1988-06-28 | 1989-01-30 | Kubota Ltd | Crawler traveling device for working vehicle |
| JPH01301477A (ja) * | 1989-04-15 | 1989-12-05 | Kubota Ltd | 作業車のクローラ走行装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5870214A (ja) * | 1981-10-22 | 1983-04-26 | Sharp Corp | エレクトロクロミツク表示素子の製造方法 |
| JPS61107696A (ja) * | 1984-10-30 | 1986-05-26 | シャープ株式会社 | 薄膜ｅｌ素子 |
| JPS61203591A (ja) * | 1985-03-05 | 1986-09-09 | 松下電器産業株式会社 | 薄膜ｅｌ素子の製造方法 |
| JPS61260594A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | 松下電器産業株式会社 | 多色発光ｅｌ素子の製造法 |
-
1988
- 1988-06-30 JP JP63160807A patent/JPH0212793A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5870214A (ja) * | 1981-10-22 | 1983-04-26 | Sharp Corp | エレクトロクロミツク表示素子の製造方法 |
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| JPS61203591A (ja) * | 1985-03-05 | 1986-09-09 | 松下電器産業株式会社 | 薄膜ｅｌ素子の製造方法 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6428079A (en) * | 1988-06-28 | 1989-01-30 | Kubota Ltd | Crawler traveling device for working vehicle |
| JPH01301477A (ja) * | 1989-04-15 | 1989-12-05 | Kubota Ltd | 作業車のクローラ走行装置 |
| JPH07100461B2 (ja) * | 1989-04-15 | 1995-11-01 | 株式会社クボタ | 作業車のクローラ走行装置 |
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