JPS62172692A - 薄膜ｅｌ表示素子 - Google Patents
薄膜ｅｌ表示素子Info
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- JPS62172692A JPS62172692A JP61014249A JP1424986A JPS62172692A JP S62172692 A JPS62172692 A JP S62172692A JP 61014249 A JP61014249 A JP 61014249A JP 1424986 A JP1424986 A JP 1424986A JP S62172692 A JPS62172692 A JP S62172692A
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Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「技術分野」
本発明は、ＥＬ発光膜の背面側に形成された複数の電圧
印加用電極に交流電圧を印加して、ＥＬ発光膜の表示面
側に形成された等電位面形成の働きをする透明導電膜を
介して交旋電界を付与し、それによってＥＬ発光膜を発
光させるようにした薄膜ＥＬ表示素子に関する。
印加用電極に交流電圧を印加して、ＥＬ発光膜の表示面
側に形成された等電位面形成の働きをする透明導電膜を
介して交旋電界を付与し、それによってＥＬ発光膜を発
光させるようにした薄膜ＥＬ表示素子に関する。
「従来技術およびその問題点」
従来の薄膜ＥＬ表示素子は−例えば第５図に示すように
、透明ガラス基板１上に、透明電極２と、第１の絶縁膜
３と、ＥＬ発光ｎ々４と、第２の絶縁膜５と、対向電極
６とを順次積層した８層構造で構成されていた。この薄
膜ＥＬ表示素子は、透明電極２と対向電極Ｂとの間に数
１０Ｈｚから数ＫＨｚの交流電界を印加することにより
、 ＥＬ発光膜４の内の活性種イオンが励起され、発光
するようになっている。この薄膜ＥＬ表示素子は、近年
各種装置のディスプレイに応用されつつある。
、透明ガラス基板１上に、透明電極２と、第１の絶縁膜
３と、ＥＬ発光ｎ々４と、第２の絶縁膜５と、対向電極
６とを順次積層した８層構造で構成されていた。この薄
膜ＥＬ表示素子は、透明電極２と対向電極Ｂとの間に数
１０Ｈｚから数ＫＨｚの交流電界を印加することにより
、 ＥＬ発光膜４の内の活性種イオンが励起され、発光
するようになっている。この薄膜ＥＬ表示素子は、近年
各種装置のディスプレイに応用されつつある。
しかしながら、従来のｆＪ膜ＥＬ表示素子は、その構造
から電極の取出しをＥＬ発光膜の上下より行なう必要が
あり、電極の取出し処理が複雑となっていた。また、各
種装置のディスプレイとしての使用が増加するに伴なっ
て表示分解能の向上が要求されている。ところが、ＥＬ
光発光取出す側の電極ｒｍ （通常透明ガラスノ、（板
側の電８ｉｎり）は透明導電膜である必要があり、現在
の技術水準において透明導電膜の比抵抗は約２ＸＩＯ−
’Ω・ｃａ程度であるという制限がある。このため、表
示分解能の向上を目的としてパターン幅を細くしようと
すると、導通抵抗が増加してしまい、このことが表示分
解能の向上のネックとなっていた。
から電極の取出しをＥＬ発光膜の上下より行なう必要が
あり、電極の取出し処理が複雑となっていた。また、各
種装置のディスプレイとしての使用が増加するに伴なっ
て表示分解能の向上が要求されている。ところが、ＥＬ
光発光取出す側の電極ｒｍ （通常透明ガラスノ、（板
側の電８ｉｎり）は透明導電膜である必要があり、現在
の技術水準において透明導電膜の比抵抗は約２ＸＩＯ−
’Ω・ｃａ程度であるという制限がある。このため、表
示分解能の向上を目的としてパターン幅を細くしようと
すると、導通抵抗が増加してしまい、このことが表示分
解能の向上のネックとなっていた。
そこで１本発明者は、第３図および第４図に示すような
構造の薄ＩＩＩＥＬ表示素子を既に提案している（特願
昭８０−１２３８８０号、特願昭８０−１２１８８１号
、特願昭６０−１２３８８２号参照）。この薄膜ＥＬ表
示素子は、透明ガラス基板ｌｌ上に、透明導電膜１２と
、絶縁膜１３と、 ＥＬ発光膜１４と、絶縁膜１５と、
電圧印加用電極ＩＪ １７とを順次積層して構成され
ている。
構造の薄ＩＩＩＥＬ表示素子を既に提案している（特願
昭８０−１２３８８０号、特願昭８０−１２１８８１号
、特願昭６０−１２３８８２号参照）。この薄膜ＥＬ表
示素子は、透明ガラス基板ｌｌ上に、透明導電膜１２と
、絶縁膜１３と、 ＥＬ発光膜１４と、絶縁膜１５と、
電圧印加用電極ＩＪ １７とを順次積層して構成され
ている。
この場合、電圧印加用電極１６、！７は、電気的に接続
されない少なくとも一組のものからなり、これらの電圧
印加用電極１Ｂ、１７と透明導電膜１２とは互いに重な
るように構成されている。そして、−組の電圧印加用電
極１６．１７間に交流電圧を印加すると、交流電圧によ
る電界は、電圧印加用電極１６．１７と等電位面形成の
働きをする透明導電膜１２との間に付与される。その結
果、電圧印加用電極ｔｅ、１７と透明導電膜１２との間
に配置されたＥＬ発光膜１４が発光するようになってい
る。なお、ＥＬ発光膜１４の発光部分は、電圧印加用電
極１Ｇ、１７と透明導電膜１２とが重なった部分、すな
わち第４図における斜線部分Ｓとなっている。
されない少なくとも一組のものからなり、これらの電圧
印加用電極１Ｂ、１７と透明導電膜１２とは互いに重な
るように構成されている。そして、−組の電圧印加用電
極１６．１７間に交流電圧を印加すると、交流電圧によ
る電界は、電圧印加用電極１６．１７と等電位面形成の
働きをする透明導電膜１２との間に付与される。その結
果、電圧印加用電極ｔｅ、１７と透明導電膜１２との間
に配置されたＥＬ発光膜１４が発光するようになってい
る。なお、ＥＬ発光膜１４の発光部分は、電圧印加用電
極１Ｇ、１７と透明導電膜１２とが重なった部分、すな
わち第４図における斜線部分Ｓとなっている。
しかしながら、この薄膜ＥＬ表示素子では、−組の電圧
印加用電極１Ｂ、１７を例えばマトリクス状等に配置す
るような場合には、電圧印加用電極１６．１７の少なく
とも一方の電極取出しラインを立体配線する必要が生じ
る。その場合、例えば電極ＩＣ上に絶縁膜を介して電極
１７の電極取出しラインを立体配線することになるが、
製造工程が複雑化するという問題点があった。また、基
板の周辺部から電圧印加用電極ｌｆｔ、 １７の電極を
取出すので、有効表示面積が小さくなるという問題点も
あった。さらに、成膜工程と立体配線工程とを連続して
行なわなければならず、工程の複雑化に伴ない完成品の
歩留りが低下するという問題点もあった。
印加用電極１Ｂ、１７を例えばマトリクス状等に配置す
るような場合には、電圧印加用電極１６．１７の少なく
とも一方の電極取出しラインを立体配線する必要が生じ
る。その場合、例えば電極ＩＣ上に絶縁膜を介して電極
１７の電極取出しラインを立体配線することになるが、
製造工程が複雑化するという問題点があった。また、基
板の周辺部から電圧印加用電極ｌｆｔ、 １７の電極を
取出すので、有効表示面積が小さくなるという問題点も
あった。さらに、成膜工程と立体配線工程とを連続して
行なわなければならず、工程の複雑化に伴ない完成品の
歩留りが低下するという問題点もあった。
「発明の目的」
本発明の目的は、電極の取出し処理を簡略化することが
でき、有効表示面積を広くとることができ、かつ、完成
品の歩留りを向上させることができるようにした薄膜Ｅ
Ｌ表示素子を提供することにある。
でき、有効表示面積を広くとることができ、かつ、完成
品の歩留りを向上させることができるようにした薄膜Ｅ
Ｌ表示素子を提供することにある。
「発明の構成」
本発明による薄膜ＥＬ表示素子は、立体配線がなされて
いる基板と、この基板上に形成された電気的に接続され
ていない少なくとも一組の電圧印加用電極と、この電圧
印加用電極上に直接もしくは絶縁膜を介して形成された
ＥＬ発光膜と、このＥＬ発光膜上に直接もしくは絶縁ｎ
父を介して形成された透明溝ｍ膜とを備えていることを
特徴とする。
いる基板と、この基板上に形成された電気的に接続され
ていない少なくとも一組の電圧印加用電極と、この電圧
印加用電極上に直接もしくは絶縁膜を介して形成された
ＥＬ発光膜と、このＥＬ発光膜上に直接もしくは絶縁ｎ
父を介して形成された透明溝ｍ膜とを備えていることを
特徴とする。
このように、あらかじめ立体配線がなされた基板上にＥ
Ｌ表示素子を構成したので、立体配線基板を利用して電
圧印加用電極の電極取出しを行なうことができ、かつ、
基板にＩＣ等を直接搭載することも可能となる。また、
立体配線基板を利用して電極取出しを行なうので、有効
表示面積を広くとることができる。さらに、立体配線基
板を製造する工程と、その上に成膜する工程との２つに
製造工程を分けることができるので、それぞれの工程で
不良等のチェックができ、完成品での歩留りが向上する
。なお、立体配線基板としては１例えば多層印刷配線板
などを用いることができる。
Ｌ表示素子を構成したので、立体配線基板を利用して電
圧印加用電極の電極取出しを行なうことができ、かつ、
基板にＩＣ等を直接搭載することも可能となる。また、
立体配線基板を利用して電極取出しを行なうので、有効
表示面積を広くとることができる。さらに、立体配線基
板を製造する工程と、その上に成膜する工程との２つに
製造工程を分けることができるので、それぞれの工程で
不良等のチェックができ、完成品での歩留りが向上する
。なお、立体配線基板としては１例えば多層印刷配線板
などを用いることができる。
「発明の実施例」
第１図および第２図には、本発明による薄膜ＥＬ表示素
子の実施例が示されている。
子の実施例が示されている。
この薄膜ＥＬ表示素子では、多層印刷配線板２１を用い
ている。そして、この多層印刷配線板２１上に電圧印加
用電極用のアルミニウムをスパッタリング法により厚さ
約２０００人に形成する。このアルミニウムを第２図中
の点線で示すようにエツチングして、電気的に接続され
ていない一組の電圧印加用電極２Ｂ、２７を形成する。
ている。そして、この多層印刷配線板２１上に電圧印加
用電極用のアルミニウムをスパッタリング法により厚さ
約２０００人に形成する。このアルミニウムを第２図中
の点線で示すようにエツチングして、電気的に接続され
ていない一組の電圧印加用電極２Ｂ、２７を形成する。
なお、電圧印加用電極２８、２７は、多層印刷配線板２
１の立体配線２８．２９にそれぞれ接続されるようにす
る。次に、電圧印加用電極２６．２７上に、Ｔａ２０５
からなる絶縁１模２５を反応性スパッタリング法により
厚さ約３０００人に形成する。さらに、絶縁膜２５上に
、マンガンをドープした硫化亜鉛（Ｚｎ！Ｊ二Ｍｎ、１
ｌＩｎ−０，３ａｔ％）からなるＥＬ発光膜２４をスパ
ッタリング法により厚さ約８０００人に形成する。そし
て、ＥＬ発光膜１４上にＴａ２０５からなる絶縁膜２３
を厚さ約１０００人に形成する。最後に、Ｉｎ２ｏ ３
− ＳｎＱ、系の透明導電１１’２２２をスパッタリン
グ法により厚さ約２０００人に形成する。透明導電膜２
２は、エツチングにより第２図中の実線で示すようにパ
ターン化する。なお、この透明導電膜２２上に図示しな
い透明なパッシベーション膜等を設けてもよい。
１の立体配線２８．２９にそれぞれ接続されるようにす
る。次に、電圧印加用電極２６．２７上に、Ｔａ２０５
からなる絶縁１模２５を反応性スパッタリング法により
厚さ約３０００人に形成する。さらに、絶縁膜２５上に
、マンガンをドープした硫化亜鉛（Ｚｎ！Ｊ二Ｍｎ、１
ｌＩｎ−０，３ａｔ％）からなるＥＬ発光膜２４をスパ
ッタリング法により厚さ約８０００人に形成する。そし
て、ＥＬ発光膜１４上にＴａ２０５からなる絶縁膜２３
を厚さ約１０００人に形成する。最後に、Ｉｎ２ｏ ３
− ＳｎＱ、系の透明導電１１’２２２をスパッタリン
グ法により厚さ約２０００人に形成する。透明導電膜２
２は、エツチングにより第２図中の実線で示すようにパ
ターン化する。なお、この透明導電膜２２上に図示しな
い透明なパッシベーション膜等を設けてもよい。
このｇｉ膜ＥＬ表示素子において、多層印刷配線板２１
の立体配線２８．２８を通して一組の電圧印加用電極２
６．２７間に交流電圧を印加すると、交流電界は、電圧
印加用電極２Ｂ、２７と、等電位面形成の働きをする透
明導電膜２２との間に付与される。その結果、電圧印加
用電極２Ｂ、２７と、透明導電膜２２との間に配置され
たＥＬ発光膜２４が発光し、発光部分は、電圧印加用電
極２６．２７と、透明導電膜２２とが重なった部分、す
なわち第２図における斜線部分Ｓとなる。なお、発光に
よる光は、多層印刷配線板２１の反対側、すなわち透明
導電Ｍ４２２側から取出される。
の立体配線２８．２８を通して一組の電圧印加用電極２
６．２７間に交流電圧を印加すると、交流電界は、電圧
印加用電極２Ｂ、２７と、等電位面形成の働きをする透
明導電膜２２との間に付与される。その結果、電圧印加
用電極２Ｂ、２７と、透明導電膜２２との間に配置され
たＥＬ発光膜２４が発光し、発光部分は、電圧印加用電
極２６．２７と、透明導電膜２２とが重なった部分、す
なわち第２図における斜線部分Ｓとなる。なお、発光に
よる光は、多層印刷配線板２１の反対側、すなわち透明
導電Ｍ４２２側から取出される。
この薄膜ＥＬ表示素子では、多層印刷配線板２１の立体
配線２８．２９を通して電極を取出すことができるので
、電極取出し処理が極めて簡略化され、有効表示面積も
広くとることができる。また、多層印刷配線板２１にＩ
Ｃ等を直接搭載することができるので、素子と回路とを
ユニット化し１回路設計や装置への組込みを容易にする
ことができる。さらに、多層印刷配線板２１を製造する
工程と、その上に成膜する工程との２つに製造工程を分
けることができるので、それぞれの工程で不良等のチェ
フクができ、完成品での歩留りが向上する。
配線２８．２９を通して電極を取出すことができるので
、電極取出し処理が極めて簡略化され、有効表示面積も
広くとることができる。また、多層印刷配線板２１にＩ
Ｃ等を直接搭載することができるので、素子と回路とを
ユニット化し１回路設計や装置への組込みを容易にする
ことができる。さらに、多層印刷配線板２１を製造する
工程と、その上に成膜する工程との２つに製造工程を分
けることができるので、それぞれの工程で不良等のチェ
フクができ、完成品での歩留りが向上する。
なお、同一の多層印刷配線板２１上に、第１図、第２図
に示す薄膜ＥＬ表示素子を複数個形成し、例えばマトリ
クス表示などを行なうことも可能である。その場合、電
極取出しラインは、多層印刷配線板２１内にあらかじめ
形成しておくことができる。
に示す薄膜ＥＬ表示素子を複数個形成し、例えばマトリ
クス表示などを行なうことも可能である。その場合、電
極取出しラインは、多層印刷配線板２１内にあらかじめ
形成しておくことができる。
「発明の効果」
以上説明したように、本発明によれば、あらかじめ立体
配線がなされた基板上にＥＬ表示素子を構成したので、
基板を利用して電圧印加用電極の電極取出しを行なうこ
とができ、かつ、基板にＩＣ等を直接搭載することも可
能となる。また、基板周辺部に端子部を形成する必要が
ないので、有効表示面積を広くとることができる。さら
に、立体配線基板を製造する工程と、その上に成膜する
工程との２つに製造工程を分けることができるので、そ
れぞれの工程で不良等のチェックができ、完成品での歩
留りが向上する。
配線がなされた基板上にＥＬ表示素子を構成したので、
基板を利用して電圧印加用電極の電極取出しを行なうこ
とができ、かつ、基板にＩＣ等を直接搭載することも可
能となる。また、基板周辺部に端子部を形成する必要が
ないので、有効表示面積を広くとることができる。さら
に、立体配線基板を製造する工程と、その上に成膜する
工程との２つに製造工程を分けることができるので、そ
れぞれの工程で不良等のチェックができ、完成品での歩
留りが向上する。
第１図は本発明による薄膜ＥＬ表示素子の実施例を示す
断面図、第２図は同薄膜ＥＬ表示素子の平面構成図、第
３図は本発明に先立って提案された薄膜ＥＬ表示素子の
断面図、第４図は同薄膜ＥＬ表示素子の平面構成図、第
５図は従来のＶＪ膜ＥＬ表示素子の断面図である。 図中、２１は多層印刷゛配線板、２２は透明導電膜、２
３は絶縁膜、２４はＥＬ発光膜、２５は絶縁膜、２６．
２７は電圧印加用電極、２８．２９は立体配線である。 第５図
断面図、第２図は同薄膜ＥＬ表示素子の平面構成図、第
３図は本発明に先立って提案された薄膜ＥＬ表示素子の
断面図、第４図は同薄膜ＥＬ表示素子の平面構成図、第
５図は従来のＶＪ膜ＥＬ表示素子の断面図である。 図中、２１は多層印刷゛配線板、２２は透明導電膜、２
３は絶縁膜、２４はＥＬ発光膜、２５は絶縁膜、２６．
２７は電圧印加用電極、２８．２９は立体配線である。 第５図
Claims (1)
- 立体配線がなされている基板と、この基板上に形成さ
れた電気的に接続されていない少なくとも一組の電圧印
加用電極と、この電圧印加用電極上に直接もしくは絶縁
膜を介して形成されたＥＬ発光膜と、このＥＬ発光膜上
に直接もしくは絶縁膜を介して形成された透明導電膜と
を備えていることを特徴とする薄膜ＥＬ表示素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61014249A JPS62172692A (ja) | 1986-01-25 | 1986-01-25 | 薄膜ｅｌ表示素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61014249A JPS62172692A (ja) | 1986-01-25 | 1986-01-25 | 薄膜ｅｌ表示素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62172692A true JPS62172692A (ja) | 1987-07-29 |
Family
ID=11855813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61014249A Pending JPS62172692A (ja) | 1986-01-25 | 1986-01-25 | 薄膜ｅｌ表示素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62172692A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5093703A (en) * | 1988-03-25 | 1992-03-03 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Thin film transistor with 10-15% hydrogen content |
| JPH04229594A (ja) * | 1990-12-18 | 1992-08-19 | Fuji Xerox Co Ltd | Ｅｌ発光素子 |
-
1986
- 1986-01-25 JP JP61014249A patent/JPS62172692A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5093703A (en) * | 1988-03-25 | 1992-03-03 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Thin film transistor with 10-15% hydrogen content |
| JPH04229594A (ja) * | 1990-12-18 | 1992-08-19 | Fuji Xerox Co Ltd | Ｅｌ発光素子 |
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