JPS6240815B2 - - Google Patents
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- JPS6240815B2 JPS6240815B2 JP55149165A JP14916580A JPS6240815B2 JP S6240815 B2 JPS6240815 B2 JP S6240815B2 JP 55149165 A JP55149165 A JP 55149165A JP 14916580 A JP14916580 A JP 14916580A JP S6240815 B2 JPS6240815 B2 JP S6240815B2
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- Japan
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- scanning
- circuit
- circuits
- signal
- scanning signal
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- 239000003550 marker Substances 0.000 claims description 20
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 19
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 17
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N3/00—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages
- H04N3/10—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical
- H04N3/16—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical by deflecting electron beam in cathode-ray tube, e.g. scanning corrections
- H04N3/22—Circuits for controlling dimensions, shape or centering of picture on screen
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Details Of Television Scanning (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は表示装置に表示される試料像中の任意
の箇所を任意の倍率で且つ任意の角度回転させて
観察可能にした電子ビーム走査回路に関する。
の箇所を任意の倍率で且つ任意の角度回転させて
観察可能にした電子ビーム走査回路に関する。
［従来の技術］
走査電子顕微鏡のうちには、低倍像中に次に拡
大して表示すべき部分を指示するため輝点等のマ
ーカーを表示するようにしたものがある。このよ
うな装置においては、まず、低倍像を観察して次
に拡大して表示しようとする像の部分にこの輝点
等を移動させ、次にスイツチ操作によりこの輝点
に対応した試料上を中心として電子線により狭く
走査させ、それによりブラウン管等のような表示
装置に先に指示した低倍像中の部分を拡大して表
示するようにしている。
大して表示すべき部分を指示するため輝点等のマ
ーカーを表示するようにしたものがある。このよ
うな装置においては、まず、低倍像を観察して次
に拡大して表示しようとする像の部分にこの輝点
等を移動させ、次にスイツチ操作によりこの輝点
に対応した試料上を中心として電子線により狭く
走査させ、それによりブラウン管等のような表示
装置に先に指示した低倍像中の部分を拡大して表
示するようにしている。
さて、このような装置には、走査像を任意の角
度回転して表示装置上に表示するための走査回転
装置を付属しているものが多い。
度回転して表示装置上に表示するための走査回転
装置を付属しているものが多い。
［発明が解決しようとする問題点］
この様な従来の装置において、例えば、最初に
第２図ａに示す試料上の領域を走査しているもの
とする。但し、第２ａにおいて、Ｘ及びＹ軸Ｘ、
Ｙは走査電子顕微鏡のＸ及びＹ方向偏向コイルに
よるＸ及びＹ偏向方向を表わしており、O1は電
子線光軸を表わしているものとする。この状態で
は、ブラウン管の如き表示装置には、第３図ａに
示す如き像が表示されている。尚、第３図ａにお
いて、F′は次に拡大して表示しようとする部を
指示するためのマーカーである。さて、この状態
で走査回転装置を操作して、試料上における電子
線の走査方向を角度θａだけ回転させたとする
と、試料上における電子線の走査領域は第２図ｂ
に示す如きものとなり、このとき表示装置には第
３図ｂに示す如き像が表示される。そこで、この
像中のＪに対応した部分を中心に拡大像を表示し
ようとする場合、第３図ｂに示す試料像を観察し
ながら、まず、マーカーF′をＪの位置まで移動
させる。このとき、表示装置の画面中心からマー
カーの中心までの水平及び垂直方向の距離をＸ
１，Ｙ１とする。そこで、スイツチを操作して、
このＸ１，Ｙ１を表わす信号に基づいて第２図ａ
における試料のＪに対応した部分を中心に狭く電
子線を走査しようとすると、既に走査回転を行な
つているため、実際には第２図ｂにおける点
O2′を中心に電子線が狭く走査されてしまい、目
的とする視野の拡大像を得ることができない。
尚、第２図ｂにおいてｘ，ｙは前記距離Ｘ１及び
Ｙ１に対応した試料上の距離を表わしている。従
つて、このような事態を避けるため、従来におい
ては、低倍像の観察を行なう段階においては、走
査回転を行なわないように注意するか、走査回転
を行なわない元の状態に戻してから、拡大すべき
部分の指定を行なわなければならず、操作性に大
きな問題があつた。
第２図ａに示す試料上の領域を走査しているもの
とする。但し、第２ａにおいて、Ｘ及びＹ軸Ｘ、
Ｙは走査電子顕微鏡のＸ及びＹ方向偏向コイルに
よるＸ及びＹ偏向方向を表わしており、O1は電
子線光軸を表わしているものとする。この状態で
は、ブラウン管の如き表示装置には、第３図ａに
示す如き像が表示されている。尚、第３図ａにお
いて、F′は次に拡大して表示しようとする部を
指示するためのマーカーである。さて、この状態
で走査回転装置を操作して、試料上における電子
線の走査方向を角度θａだけ回転させたとする
と、試料上における電子線の走査領域は第２図ｂ
に示す如きものとなり、このとき表示装置には第
３図ｂに示す如き像が表示される。そこで、この
像中のＪに対応した部分を中心に拡大像を表示し
ようとする場合、第３図ｂに示す試料像を観察し
ながら、まず、マーカーF′をＪの位置まで移動
させる。このとき、表示装置の画面中心からマー
カーの中心までの水平及び垂直方向の距離をＸ
１，Ｙ１とする。そこで、スイツチを操作して、
このＸ１，Ｙ１を表わす信号に基づいて第２図ａ
における試料のＪに対応した部分を中心に狭く電
子線を走査しようとすると、既に走査回転を行な
つているため、実際には第２図ｂにおける点
O2′を中心に電子線が狭く走査されてしまい、目
的とする視野の拡大像を得ることができない。
尚、第２図ｂにおいてｘ，ｙは前記距離Ｘ１及び
Ｙ１に対応した試料上の距離を表わしている。従
つて、このような事態を避けるため、従来におい
ては、低倍像の観察を行なう段階においては、走
査回転を行なわないように注意するか、走査回転
を行なわない元の状態に戻してから、拡大すべき
部分の指定を行なわなければならず、操作性に大
きな問題があつた。
本発明はこのような従来の問題を解決し、低倍
像の観察の段階で像を回転した後マーカーにより
次に拡大すべき部分を指示した場合にも、スイツ
チ操作を行なうだけで確実にマーカーで指示した
部分を中心とする拡大像を表示することのできる
走査電子顕微鏡等における電子ビーム走査回路を
提供することを目的としている。
像の観察の段階で像を回転した後マーカーにより
次に拡大すべき部分を指示した場合にも、スイツ
チ操作を行なうだけで確実にマーカーで指示した
部分を中心とする拡大像を表示することのできる
走査電子顕微鏡等における電子ビーム走査回路を
提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
このような目的を達成するため、本発明の電子
ビーム走査回路は、電子ビーム走査用偏向手段５
Ｘ，５Ｙ、走査信号発生回路８Ｘ，８Ｙ、該走査
信号発生回路８Ｘ，８Ｙよりの走査信号の供給に
基づいて走査される表示手段７、該表示手段７上
に次に拡大して表示すべき部分を指示するための
マーカーF′を試料像に重畳して表示するための
手段１６、該マーカーF′の位置を指定する任意
な直流信号を発生する為の中心位置設定回路１４
Ｘ，１４Ｙ、任意な角度θの正弦値sinθと余弦
値cosθに対応した出力を発生する角度信号発生
器１１、前記走査信号発生回路８Ｘ，８Ｙからの
水平走査信号Ｈ及び垂直走査信号Ｖと前記角度信
号発生器１１の出力cosθ及びsinθとから （Ｈ cosθ＋Ｖ sinθ）、（Ｖ cosθ−Ｈ sin
θ） なる走査信号を作成する第１座標変換回路１２
Ｘ，１２Ｙ、該回路１２Ｘ，１２Ｙからの走査信
号の走査幅を設定する補助倍率制御回路１３Ｘ，
１３Ｙとを備えた回路において、前記中心位置設
定回路１４Ｘ，１４Ｙからの出力Ｘ，Ｙを前記角
度信号発生器１１の出力cosθ，sinθに基づい
て、夫々（Ｘ cosθ＋Ｙ sinθ）、（Ｙ cosθ
−Ｘ sinθ）の如く座標変換する第２座標変換
回路１５Ｘ，１５Ｙを備え、前記第２座標変換回
路１５Ｘ，１５Ｙの出力と前記補助倍率制御回路
１３Ｘ，１３Ｙを介した前記第１座標変換回路１
２Ｘ，１２Ｙの出力とをスイツチs1及びs2の操作
により加算して前記走査用偏向手段５Ｘ，５Ｙに
送る様にしたことを特徴としている。
ビーム走査回路は、電子ビーム走査用偏向手段５
Ｘ，５Ｙ、走査信号発生回路８Ｘ，８Ｙ、該走査
信号発生回路８Ｘ，８Ｙよりの走査信号の供給に
基づいて走査される表示手段７、該表示手段７上
に次に拡大して表示すべき部分を指示するための
マーカーF′を試料像に重畳して表示するための
手段１６、該マーカーF′の位置を指定する任意
な直流信号を発生する為の中心位置設定回路１４
Ｘ，１４Ｙ、任意な角度θの正弦値sinθと余弦
値cosθに対応した出力を発生する角度信号発生
器１１、前記走査信号発生回路８Ｘ，８Ｙからの
水平走査信号Ｈ及び垂直走査信号Ｖと前記角度信
号発生器１１の出力cosθ及びsinθとから （Ｈ cosθ＋Ｖ sinθ）、（Ｖ cosθ−Ｈ sin
θ） なる走査信号を作成する第１座標変換回路１２
Ｘ，１２Ｙ、該回路１２Ｘ，１２Ｙからの走査信
号の走査幅を設定する補助倍率制御回路１３Ｘ，
１３Ｙとを備えた回路において、前記中心位置設
定回路１４Ｘ，１４Ｙからの出力Ｘ，Ｙを前記角
度信号発生器１１の出力cosθ，sinθに基づい
て、夫々（Ｘ cosθ＋Ｙ sinθ）、（Ｙ cosθ
−Ｘ sinθ）の如く座標変換する第２座標変換
回路１５Ｘ，１５Ｙを備え、前記第２座標変換回
路１５Ｘ，１５Ｙの出力と前記補助倍率制御回路
１３Ｘ，１３Ｙを介した前記第１座標変換回路１
２Ｘ，１２Ｙの出力とをスイツチs1及びs2の操作
により加算して前記走査用偏向手段５Ｘ，５Ｙに
送る様にしたことを特徴としている。
［実施例］
第１図は、本発明の一実施例を示した走査電子
顕微鏡の概略図である。図中１は顕微鏡筒で、顕
微鏡筒内の適宜な位置に設けられた電子銃２から
射出された電子ビームは、試料４上に集束される
と同時に、試料走査用偏向コイル５Ｘ，５Ｙによ
り試料上を走査する。該走査により試料４から発
生した二次電子、反射電子等は検出器６によつて
検出され、陰極線管７のグリツドに送られるの
で、該陰極線管の画面上には、試料像が表示され
る。通常の観察によつて基準走査像をブラウン管
（CRT）７の画面上に表示するには、スイツチ
s1，s2，s3を夫々端子ａ，ｃ，ｅに接続するこの
時、水平走査回路８Ｘと垂直走査回路８Ｙは、加
算回路１７Ｘ，１７Ｙ、倍率制御回路９Ｘ，９Ｙ
を介して水平走査信号と垂直走査信号を夫々偏向
コイル５Ｘ，５Ｙへ供給すると共に、CRT７の
偏向コイル１０Ｘ，１０Ｙへも供給する。
顕微鏡の概略図である。図中１は顕微鏡筒で、顕
微鏡筒内の適宜な位置に設けられた電子銃２から
射出された電子ビームは、試料４上に集束される
と同時に、試料走査用偏向コイル５Ｘ，５Ｙによ
り試料上を走査する。該走査により試料４から発
生した二次電子、反射電子等は検出器６によつて
検出され、陰極線管７のグリツドに送られるの
で、該陰極線管の画面上には、試料像が表示され
る。通常の観察によつて基準走査像をブラウン管
（CRT）７の画面上に表示するには、スイツチ
s1，s2，s3を夫々端子ａ，ｃ，ｅに接続するこの
時、水平走査回路８Ｘと垂直走査回路８Ｙは、加
算回路１７Ｘ，１７Ｙ、倍率制御回路９Ｘ，９Ｙ
を介して水平走査信号と垂直走査信号を夫々偏向
コイル５Ｘ，５Ｙへ供給すると共に、CRT７の
偏向コイル１０Ｘ，１０Ｙへも供給する。
図に示す角度信号発生回路１１を手動操作によ
つて、前記基準走査像に対応する試料走査領域の
中心で電子線の走査方向を角度θ回転させる様に
指定すると、sinθとcosθの信号を発生する。こ
の信号は、第１座標変換回路１２Ｘ，１２Ｙに印
加され、これらの回路は、水平走査回路８Ｘから
の水平走査信号Ｈと垂直走査回路８Ｙからの垂直
走査信号Ｖを変換して夫々（Ｈ cosθ＋Ｖ sin
θ）と（Ｖ cosθ−Ｈ sinθ）の出力信号を発
生する。これらの変換された信号は、補助倍率制
御回路１３Ｘ，１３Ｙに供給されて、１以下の減
衰率で減衰される。この減衰率は、基準走査像を
どの程度ズームアツプするかに応じて手動で制御
される。
つて、前記基準走査像に対応する試料走査領域の
中心で電子線の走査方向を角度θ回転させる様に
指定すると、sinθとcosθの信号を発生する。こ
の信号は、第１座標変換回路１２Ｘ，１２Ｙに印
加され、これらの回路は、水平走査回路８Ｘから
の水平走査信号Ｈと垂直走査回路８Ｙからの垂直
走査信号Ｖを変換して夫々（Ｈ cosθ＋Ｖ sin
θ）と（Ｖ cosθ−Ｈ sinθ）の出力信号を発
生する。これらの変換された信号は、補助倍率制
御回路１３Ｘ，１３Ｙに供給されて、１以下の減
衰率で減衰される。この減衰率は、基準走査像を
どの程度ズームアツプするかに応じて手動で制御
される。
中心位置設定回路１４Ｘ，１４Ｙは、直流信号
Ｘ，Ｙを発生して、第２座標変換回路１５Ｘ，１
５Ｙへ供給する。この第２座標変換回路１５Ｘ，
１５Ｙには、前記角度信号発生回路１１からsin
θ，cosθの信号が供給されており、夫々（Ｘ
cosθ＋Ｙ sinθ）、（Ｙ cosθ−Ｖ sinθ）の
変換信号を発生し、スイツチs2の端子ｄを介して
加算回路１７Ｘ，１７Ｙへ供給する。前記中心位
置設定回路１４Ｘ，１４Ｙの出力信号Ｘ，Ｙはス
イツチs3の端ｆを介してマーカー信号発生回路１
６にも供給されている。このマーカー信号発生回
路１６は、水平走査信号Ｈが信号Ｘと略一致し、
且つ垂直走査信号Ｖが信号Ｙと略一致した時の
み、高輝度信号を前記CRT７に出力し、該CRT
画面上の中心位置設定回路１４Ｘ，１４Ｙの出力
信号に応じた位置に試料像に重畳してマーカーを
表示させるためのものである。
Ｘ，Ｙを発生して、第２座標変換回路１５Ｘ，１
５Ｙへ供給する。この第２座標変換回路１５Ｘ，
１５Ｙには、前記角度信号発生回路１１からsin
θ，cosθの信号が供給されており、夫々（Ｘ
cosθ＋Ｙ sinθ）、（Ｙ cosθ−Ｖ sinθ）の
変換信号を発生し、スイツチs2の端子ｄを介して
加算回路１７Ｘ，１７Ｙへ供給する。前記中心位
置設定回路１４Ｘ，１４Ｙの出力信号Ｘ，Ｙはス
イツチs3の端ｆを介してマーカー信号発生回路１
６にも供給されている。このマーカー信号発生回
路１６は、水平走査信号Ｈが信号Ｘと略一致し、
且つ垂直走査信号Ｖが信号Ｙと略一致した時の
み、高輝度信号を前記CRT７に出力し、該CRT
画面上の中心位置設定回路１４Ｘ，１４Ｙの出力
信号に応じた位置に試料像に重畳してマーカーを
表示させるためのものである。
以上の構成において、基準走査像が第３図ａに
示す様に、CRT画面に基準倍率M0で表示されて
いるものとする。この時、試料４は、第２図ａに
示す如く、光軸O1を中心として電子線で走査さ
れている。又、スイツチs1，s2，s3は夫々、端子
ａ，ｃ，ｅに接続され、角度信号発生回路１１
は、θ＝０゜に指定されている。そこで、角度信
号発生回路１１によりθ＝θａ（θａは０でな
い）を指定したとすると、第１座標変換回路１２
Ｘ，１２Ｙの出力信号は夫々Ｈ cosθａ＋Ｖ
sinθａとＶ cosθａ−Ｈ sinθａとなり、試
料上における電子線の走査は第２図ｂに示す如き
ものに変化し、ブラウン管７の表示像は第３図ｂ
に示す如きものとなる。
示す様に、CRT画面に基準倍率M0で表示されて
いるものとする。この時、試料４は、第２図ａに
示す如く、光軸O1を中心として電子線で走査さ
れている。又、スイツチs1，s2，s3は夫々、端子
ａ，ｃ，ｅに接続され、角度信号発生回路１１
は、θ＝０゜に指定されている。そこで、角度信
号発生回路１１によりθ＝θａ（θａは０でな
い）を指定したとすると、第１座標変換回路１２
Ｘ，１２Ｙの出力信号は夫々Ｈ cosθａ＋Ｖ
sinθａとＶ cosθａ−Ｈ sinθａとなり、試
料上における電子線の走査は第２図ｂに示す如き
ものに変化し、ブラウン管７の表示像は第３図ｂ
に示す如きものとなる。
さて、この像中のＪに対応した部分を中心に拡
大像を表示しようとする場合、以下のようにすれ
ば良い。
大像を表示しようとする場合、以下のようにすれ
ば良い。
まず、スイツチs3を端子ｆに接続してブラウン
管７上にマーカーF′が表示できるようにした
後、中心位置設定回路１４Ｘ，１４Ｙを操作し
て、中心位置設定回路１４Ｘ，１４Ｙを操作し
て、中心位置設定回路１４Ｘ，１４Ｙよりの直流
出力を変化させると、ブラウン管７に試料像に重
畳されて表示されるマーカーF′が移動するた
め、ブラウン管７を観察してマーカーF′の中心
が像のＪの部分に重なるようにする。このとき、
中心位置設定回路１４Ｘ，１４Ｙの出力信号が
各々Ｘ，Ｙであるとすれば、第２座標変換回路１
５Ｘ，１５Ｙの出力信号は夫々Ｘ cosθａ＋Ｙ
sinθａ、Ｙ cosθａ−Ｘ sinθａとなる。
又、補助倍率制御回路１３Ｘ，１３Ｙの設定倍率
を１より小さい減衰率M1に設定する。
管７上にマーカーF′が表示できるようにした
後、中心位置設定回路１４Ｘ，１４Ｙを操作し
て、中心位置設定回路１４Ｘ，１４Ｙを操作し
て、中心位置設定回路１４Ｘ，１４Ｙよりの直流
出力を変化させると、ブラウン管７に試料像に重
畳されて表示されるマーカーF′が移動するた
め、ブラウン管７を観察してマーカーF′の中心
が像のＪの部分に重なるようにする。このとき、
中心位置設定回路１４Ｘ，１４Ｙの出力信号が
各々Ｘ，Ｙであるとすれば、第２座標変換回路１
５Ｘ，１５Ｙの出力信号は夫々Ｘ cosθａ＋Ｙ
sinθａ、Ｙ cosθａ−Ｘ sinθａとなる。
又、補助倍率制御回路１３Ｘ，１３Ｙの設定倍率
を１より小さい減衰率M1に設定する。
そこで、スイツチs1，s2を夫々端子ｂ，ｄに接
続する。するとこの瞬間から、加算回路１７Ｘ，
１７Ｙには夫々第２座標変換回路１５Ｘ，１５Ｙ
から前述した出力信号が送られると共に、補助倍
率制御回路１３Ｘ，１３Ｙを介して各々M1（Ｈ
cosθａ＋Ｖ sinθａ）とM1（Ｖ cosθａ−
Ｈ sinθａ）が送られる。前記第２座標変換回
路１５Ｘ，１５Ｙより送られる信号の和は、第２
図ｃにそのＸ偏向方向（Ｙ偏向方向については省
略している）について示すように、像の回転を考
慮した場合におけるマーカー中心に対応した信号
となつているため、電子線は試料上において第２
図ｃの点O2を中心として狭い範囲にわたつて走
査されるため、ブラウン管７には第３図ｃに示す
ように試料上のＪの部分を拡大した像が表示され
る。
続する。するとこの瞬間から、加算回路１７Ｘ，
１７Ｙには夫々第２座標変換回路１５Ｘ，１５Ｙ
から前述した出力信号が送られると共に、補助倍
率制御回路１３Ｘ，１３Ｙを介して各々M1（Ｈ
cosθａ＋Ｖ sinθａ）とM1（Ｖ cosθａ−
Ｈ sinθａ）が送られる。前記第２座標変換回
路１５Ｘ，１５Ｙより送られる信号の和は、第２
図ｃにそのＸ偏向方向（Ｙ偏向方向については省
略している）について示すように、像の回転を考
慮した場合におけるマーカー中心に対応した信号
となつているため、電子線は試料上において第２
図ｃの点O2を中心として狭い範囲にわたつて走
査されるため、ブラウン管７には第３図ｃに示す
ように試料上のＪの部分を拡大した像が表示され
る。
［発明の効果］
以上の実施例装置の説明からも明らかな様に、
本発明においては、走査回転した低倍像における
マーカー位置を表わす信号を第２座標変換回路に
送ることにより、マーカー位置に対応した試料上
の点に対応した信号を該第２座標変換回路より出
力せしめるようにしているため、低倍像の観察段
階で走査回転を行なつた場合にも、スイツチ操作
を行なうだけで確実にマーカーで指示した部分を
中心とする拡大像を表示装置に表示することがで
きる。
本発明においては、走査回転した低倍像における
マーカー位置を表わす信号を第２座標変換回路に
送ることにより、マーカー位置に対応した試料上
の点に対応した信号を該第２座標変換回路より出
力せしめるようにしているため、低倍像の観察段
階で走査回転を行なつた場合にも、スイツチ操作
を行なうだけで確実にマーカーで指示した部分を
中心とする拡大像を表示装置に表示することがで
きる。
尚、本発明は、上述した実施例装置に限定され
るものでは無く、例えば、試料上を走査する電子
線の偏向手段として、電磁偏向ではなく、静電偏
向を利用するものであつてもよく、又、走査電子
顕微鏡の代りに、Ｘ線マイクロアナライザに適用
する事も容易である。
るものでは無く、例えば、試料上を走査する電子
線の偏向手段として、電磁偏向ではなく、静電偏
向を利用するものであつてもよく、又、走査電子
顕微鏡の代りに、Ｘ線マイクロアナライザに適用
する事も容易である。
第１図は本発明の一実施例を示した走査電子顕
微鏡の概略図、第２図及び第３図は本発明の動作
の説明を補足する為の図である。 ２：電子銃、３：電子レンズ、４：試料、６：
検出器、７：ブラウン管（CRT）、８ｘ：水平走
査回路、８Ｙ：垂直走査回路、９Ｘ，９Ｙ：倍率
制御回路、１１：角度信号発生回路、１２Ｘ，１
２Ｙ：第１座標変換回路、１３Ｘ，１３Ｙ：補助
倍率制御回路、１４Ｘ，１４Ｙ：中心位置設定回
路、１５Ｘ，１５Ｙ：第２座標変換回路、１７
Ｘ，１７Ｙ：加算回路。
微鏡の概略図、第２図及び第３図は本発明の動作
の説明を補足する為の図である。 ２：電子銃、３：電子レンズ、４：試料、６：
検出器、７：ブラウン管（CRT）、８ｘ：水平走
査回路、８Ｙ：垂直走査回路、９Ｘ，９Ｙ：倍率
制御回路、１１：角度信号発生回路、１２Ｘ，１
２Ｙ：第１座標変換回路、１３Ｘ，１３Ｙ：補助
倍率制御回路、１４Ｘ，１４Ｙ：中心位置設定回
路、１５Ｘ，１５Ｙ：第２座標変換回路、１７
Ｘ，１７Ｙ：加算回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 電子ビーム走査用偏向手段５Ｘ，５Ｙ、走査
信号発生回路８Ｘ，８Ｙ、該走査信号発生回路８
Ｘ，８Ｙよりの走査信号の供給に基づいて走査さ
れる表示手段７、該表示手段７上に次に拡大して
表示すべき部分を指示するためのマーカーF′を
試料像に重畳して表示するための手段１６、該マ
ーカーF′の位置を指定する任意な直流信号を発
生する為の中心位置設定回路１４Ｘ，１４Ｙ、任
意な角度θの正弦値sinθと余弦値cosθに対応し
た出力を発生する角度信号発生部１１、前記走査
信号発生回路８Ｘ，８Ｙからの水平走査信号Ｈ及
び垂直走査信号Ｖと前記角度信号発生器１１の出
力cosθ及びsinθとから （Ｈ cosθ＋Ｖ sinθ）、（Ｖ cosθ−Ｈ sin
θ） なる走査信号を作成する第１座標変換回路１２
Ｘ，１２Ｙ、該回路１２Ｘ，１２Ｙからの走査信
号の走査幅を設定する補助倍率制御回路１３Ｘ，
１３Ｙとを備えた回路において、前記中心位置設
定回路１４Ｘ，１４Ｙからの出力Ｘ，Ｙを前記角
度信号発生器１１の出力cosθ，sinθに基づい
て、夫々（Ｘ cosθ＋Ｙ sinθ）、（Ｙ cosθ
−Ｘ sinθ）の如く座標変換する第２座標変換
回路１５Ｘ，１５Ｙを備え、前記第２座標変換回
路１５Ｘ，１５Ｙの出力と前記補助倍率制御回路
１３Ｘ，１３Ｙを介した前記第１座標変換回路１
２Ｘ，１２Ｙの出力とをスイツチs1及びs2の操作
により加算して前記走査用偏向手段５Ｘ，５Ｙに
送る様にしたことを特徴とする電子ビーム走査回
路。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55149165A JPS5773573A (en) | 1980-10-24 | 1980-10-24 | Electronic beam scanning circuit |
| DE3140869A DE3140869C2 (de) | 1980-10-24 | 1981-10-14 | Abtasteinrichtung zum Abtasten einer Probe mittels eines geladenen Teilchenstrahls, insbesondere Elektronenstrahls |
| US06/312,955 US4439681A (en) | 1980-10-24 | 1981-10-20 | Charged particle beam scanning device |
| FR8119964A FR2493041B1 (fr) | 1980-10-24 | 1981-10-23 | Dispositif de balayage a faisceau de particules chargees |
| GB8132261A GB2086182B (en) | 1980-10-24 | 1981-10-26 | A charged particle beam scanning device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55149165A JPS5773573A (en) | 1980-10-24 | 1980-10-24 | Electronic beam scanning circuit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5773573A JPS5773573A (en) | 1982-05-08 |
| JPS6240815B2 true JPS6240815B2 (ja) | 1987-08-31 |
Family
ID=15469212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55149165A Granted JPS5773573A (en) | 1980-10-24 | 1980-10-24 | Electronic beam scanning circuit |
Country Status (5)
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| JP (1) | JPS5773573A (ja) |
| DE (1) | DE3140869C2 (ja) |
| FR (1) | FR2493041B1 (ja) |
| GB (1) | GB2086182B (ja) |
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- 1981-10-23 FR FR8119964A patent/FR2493041B1/fr not_active Expired
- 1981-10-26 GB GB8132261A patent/GB2086182B/en not_active Expired
Also Published As
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