JPS6237941A - 半導体基板収納箱の搬送方法 - Google Patents
半導体基板収納箱の搬送方法Info
- Publication number
- JPS6237941A JPS6237941A JP17734785A JP17734785A JPS6237941A JP S6237941 A JPS6237941 A JP S6237941A JP 17734785 A JP17734785 A JP 17734785A JP 17734785 A JP17734785 A JP 17734785A JP S6237941 A JPS6237941 A JP S6237941A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- semiconductor substrate
- sending
- conveying apparatus
- rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Reciprocating Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体基板製造工程において、半導体基板を
収納した半導体基板収納箱（以下キャリアと称する）を
半導体基板の処理装置に供給する搬送装置に関するもの
である。
収納した半導体基板収納箱（以下キャリアと称する）を
半導体基板の処理装置に供給する搬送装置に関するもの
である。
従来、この種の搬送装置は第３図に示す様にガイド１の
両側に２条の駆動チェーン２，２を平行に張設し、両チ
ェーン２，２に送シバ−３，・・・・・・を所定のぎッ
チで懸は渡してあり、ガイド１上に移送されたキャリア
４を後方から送シバ−３にて押し、該キャリア４に送り
を与えてこれを半導体基板の処理装置まで搬送させてい
た。
両側に２条の駆動チェーン２，２を平行に張設し、両チ
ェーン２，２に送シバ−３，・・・・・・を所定のぎッ
チで懸は渡してあり、ガイド１上に移送されたキャリア
４を後方から送シバ−３にて押し、該キャリア４に送り
を与えてこれを半導体基板の処理装置まで搬送させてい
た。
このため、キャリアの搬送装置のセットに空きができる
と、そのままの状態で送られていくため、搬送装置に収
納できるキャリアの数が減少した。
と、そのままの状態で送られていくため、搬送装置に収
納できるキャリアの数が減少した。
又、空きができると、半導体基板処理装置へキャリアが
間欠的に送られるため、半導体基板処理装置を有効に使
用できないという欠点があった。
間欠的に送られるため、半導体基板処理装置を有効に使
用できないという欠点があった。
本発明は空きピッチをなくり、連続的に半導体基板の収
納箱を処理装置に搬送する搬送装置を提供するものであ
る。
納箱を処理装置に搬送する搬送装置を提供するものであ
る。
本発明は半導体基板の収納箱を自動的にピッチ送りする
搬送装置において、前記収納箱の搬送路を長さ方向に複
数の区間に区切り、各区間毎に収納箱の送り機構を個々
に独立させて設置したことを特徴とする半導体基板収納
箱の搬送装置である。
搬送装置において、前記収納箱の搬送路を長さ方向に複
数の区間に区切り、各区間毎に収納箱の送り機構を個々
に独立させて設置したことを特徴とする半導体基板収納
箱の搬送装置である。
以下、本発明の一実施例を図によって説明する。
第１図において、本発明はガイド（搬送路）１を長さ方
向に複数の区間］、ａ、ｌｂ、ｌｃに区切り、各区間］
、ａ、ｌｂ、ｌｃ毎にキャリア４の送り機構を個々に独
立させて設置し、各区間で１キャリア分の送りを行わせ
、キャリアの空きをなくしたものである。
向に複数の区間］、ａ、ｌｂ、ｌｃに区切り、各区間］
、ａ、ｌｂ、ｌｃ毎にキャリア４の送り機構を個々に独
立させて設置し、各区間で１キャリア分の送りを行わせ
、キャリアの空きをなくしたものである。
前記送り機構は第１図、第２図に示すように構成される
。すなわち、各区間毎のガイド１には長溝５がそれぞれ
設けられ、各長溝５に沿って送り棒６が往復動可能に設
けられ、かつ該送り棒６は長溝５の始端５ａと末端５ｂ
位置で昇降させられる。
。すなわち、各区間毎のガイド１には長溝５がそれぞれ
設けられ、各長溝５に沿って送り棒６が往復動可能に設
けられ、かつ該送り棒６は長溝５の始端５ａと末端５ｂ
位置で昇降させられる。
実施例において、第１図に示すようにキャリア４がセッ
トされた場合、送り先にキャリアが見つかる迄、各送り
機構を駆動して送シを繰り返しキヤ、リア間をつめて空
きをなくり、連続してキャリア４を処理装置に搬送させ
る。キャリアの送りは第２図に示すように送シ棒６が定
位置７ａより上端位置７ｂへ上昇後、送り位置７Ｃへ水
平移動し、キャリア４を送る。その後、送り下端７ｄへ
下降し定位置へ戻る動作を１つのサイクルとする。
トされた場合、送り先にキャリアが見つかる迄、各送り
機構を駆動して送シを繰り返しキヤ、リア間をつめて空
きをなくり、連続してキャリア４を処理装置に搬送させ
る。キャリアの送りは第２図に示すように送シ棒６が定
位置７ａより上端位置７ｂへ上昇後、送り位置７Ｃへ水
平移動し、キャリア４を送る。その後、送り下端７ｄへ
下降し定位置へ戻る動作を１つのサイクルとする。
したがって、本発明によれば、各区間毎の送り機構はそ
れぞれが個々に独立しているから、個々に駆動して送り
を繰り返し行うことによって空きピッチがなくなり、連
続搬送が可能になる。
れぞれが個々に独立しているから、個々に駆動して送り
を繰り返し行うことによって空きピッチがなくなり、連
続搬送が可能になる。
以上説明したように本発明は単独の送り機構を各キャリ
ア定位置毎に取り付けるととにより、各定位置でのあき
をなくすことができ、搬送装置及び半導体基板処理装置
を有効に使用することができる効果を有するものである
。
ア定位置毎に取り付けるととにより、各定位置でのあき
をなくすことができ、搬送装置及び半導体基板処理装置
を有効に使用することができる効果を有するものである
。
第１図は本発明の一実施例を示す全体図、第２図は第１
図の搬送システム図、第３図は従来の搬送装置の全体図
である。
図の搬送システム図、第３図は従来の搬送装置の全体図
である。
Claims (1)
- （１）半導体基板の収納箱を自動的にピッチ送りする搬
送装置において、前記収納箱の搬送路を長さ方向に複数
の区間に区切り、各区間毎に収納箱の送り機構を個々に
独立させて設置したことを特徴とする半導体基板収納箱
の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17734785A JPS6237941A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 半導体基板収納箱の搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17734785A JPS6237941A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 半導体基板収納箱の搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237941A true JPS6237941A (ja) | 1987-02-18 |
| JPH0453098B2 JPH0453098B2 (ja) | 1992-08-25 |
Family
ID=16029378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17734785A Granted JPS6237941A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 半導体基板収納箱の搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237941A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10779949B2 (en) | 2006-06-30 | 2020-09-22 | Smith & Nephew, Inc. | Anatomical motion hinged prosthesis |
| JP2021104491A (ja) * | 2019-12-26 | 2021-07-26 | 株式会社安川電機 | ワーク処理システム |
-
1985
- 1985-08-12 JP JP17734785A patent/JPS6237941A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10779949B2 (en) | 2006-06-30 | 2020-09-22 | Smith & Nephew, Inc. | Anatomical motion hinged prosthesis |
| JP2021104491A (ja) * | 2019-12-26 | 2021-07-26 | 株式会社安川電機 | ワーク処理システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0453098B2 (ja) | 1992-08-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| IT8422313A0 (it) | Trasportatore di alimentazione per alimentare articoli lateralmente su un altro trasportatore, particolarmente un trasportatore di selezionamento. | |
| KR900004491A (ko) | 코일 이송시스템, 방법 및 장치 | |
| JPS6237941A (ja) | 半導体基板収納箱の搬送方法 | |
| JP5289806B2 (ja) | 搬送装置 | |
| JPH05170332A (ja) | 固形物の搬送装置 | |
| JPH1159880A (ja) | チップの１列整列１個分離搬送装置 | |
| JPS6467932A (en) | Semiconductor wafer cassette conveyor | |
| GB1565372A (en) | Apparatus for the intermittent feeding of articles delivered by a conveyor belt | |
| JPH01316147A (ja) | ワーク搬送装置 | |
| JPH01152632A (ja) | 半導体組立装置 | |
| JPS5948212B2 (ja) | コンベア列数変更装置 | |
| JPH07157078A (ja) | １対のコンベヤ用の自動パレタイザー | |
| JPH0754087Y2 (ja) | 自動包装機における物品供給装置 | |
| JPH0543043A (ja) | 回遊式搬送装置 | |
| JPH10175724A (ja) | チップの１列整列搬送用双方向フィダー | |
| JPS62157120A (ja) | 分配装置 | |
| JPH06278842A (ja) | 物品の整列搬送装置 | |
| JPH0546813U (ja) | 物品の搬送装置 | |
| JPS6025299A (ja) | 搬送方式 | |
| JPH036574Y2 (ja) | ||
| JPS61107735A (ja) | 物品搬送装置 | |
| JP2004099289A (ja) | ビン列の切出し方法および装置 | |
| JPS6357451A (ja) | 板状物搬送装置 | |
| JPH06106460A (ja) | ワーク搬送装置 | |
| JPS58216822A (ja) | 移送タイル類の分離横送り装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |