JPS6357451A

JPS6357451A - 板状物搬送装置

Info

Publication number: JPS6357451A
Application number: JP61197140A
Authority: JP
Inventors: Yutaka Ohashi; 豊大橋; Yoshiiku Sano; 佐野　喜育; Tsugio Tanigawa; 谷川　二男
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1986-08-25
Filing date: 1986-08-25
Publication date: 1988-03-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、板状物搬送装置、特に、板状物を立てた状態
で搬送する技術に関し、例えば、半導体装置の製造工程
において、ウェハを搬送するのに利用して有効なものに
閏する。

〔従来の技術〕

半導体装置の製造工程において、ウェハを搬送する装置
として、水平に敷設されたベルトコンベアまたはエアコ
ンベアにウェハを載せて搬送するように構成されている
ものがある。

なお、ウェハの搬送技術を述べである例としては、株式
会社工業調査会発行「電子材料１９８２年１１月号別冊
」昭和５７年１１月１８日発行Ｐ１０９〜Ｐ１１６、が
ある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、このようなウェハの搬送装置においては、いず
れのものもウェハが水平な状態で搬送さるため、搬送中
、浮遊塵埃がウェハの上面に舞い下りて付着し、ウェハ
の主面が汚染されるという問題点があることが、本発明
者によって明らかにされた。

本発明の目的は、板状物の主面に対する塵埃の舞い下り
を防止することができる板状物搬送装置を提供すること
にある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

（問題点を解決するための手段〕本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、次の通りである。

すなわち、板状物の外周における下部をコンベア等で支
持して板状物を略立てた状態で搬送するようにしたもの
である。

〔作用〕

前記した手段によれば、板状物が立てた状態で搬送され
るため、板状物主面の水平面に対する面積が小さくなり
、浮遊塵埃が板状物の主面に舞い下りる確率は小さくな
る。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例であるウェハ搬送装置を示す
斜視図、第２図は第１！５の■−■線に沿う断面図であ
る。

本実施例において、この搬送装置は板状物としてのウェ
ハ１を搬送するように構成されており、一対のベルトコ
ンベア２．３を備えている０両コンベア２．３は両端を
略揃えられて上下に配され、それぞれ略水平に敷設され
ている。上側のコンベア２は一対のプーリ２１．２２と
、一方のプーリ２１を回転駆動するサーボモータ２３と
、両プーリ２１，２２間に張設されているゴムベルト２
４とを備えており、下側のコンベア３は同様にプーリ３
１．３２、サーボモータ３３、ゴムベルト３４を備えて
いる。上下のコンベア２．３は同一形状に形成されて路
上下対称に配置されているが、第２図に示されているよ
うに、搬送に使用されるベルト２４．２５の往路部２５
．３５は上側コンベア２の往路部２５における外周面が
、下側コンベア３の往路部３５における上面の略中央部
に対向するように配置されている。

上下のコンベア２．３にはベルト２４．３４の送り速度
を測定するための速度センサ２６．３６がそれぞれ設け
られており、両コンベア２．３は両速度センサ２６．３
６の測定結果に基づいてモータ２３．２４を制御するこ
とにより、ベルト往路部２５．３５の送り速度を常に同
期させるように構成されている。

両コンベア２．３の一端側（以下、前側とする。

）にはローダ４が設備されており、ローダ４は複数枚の
ウェハ１を互いに平行に並べて収容されているキャリア
治具５と、キャリア治具５からウェハ１を１枚宛押し出
すブツシャ６と、押し出されたウェハ１をコンベア２．
３に案内するガイド７と、キャリア治具５をコンベアと
直角方向に水平送りさせるテーブル８とを備えている。

両コンベア２．３の後端側にはアンローダ９が設備され
ており、アンローダ９にはウェハ１の裏面に吸着してこ
れを保持する吸着ヘッド１０が設けられている。吸着ヘ
ッド１０はロボ７）のアーム等（図示せず）により３次
元的に移動されるように構成されている。

次に作用を説明する。

ローダ４において、キャリア治具５が上面開口がコンベ
ア２．３側を向くように横倒しされてテーブル８上にセ
ットされる。続いて、テーブル８がピッチ送りされて治
具５内の１枚のウェハ１がコンベア２．３に対向させる
と、ブツシャ６が作動されて、そのウェハ１はガイド７
を摺動されて両コンベア２．３に押し出される。

両コンベア２．３に押し出されたウェハｌは、その外周
における下側面が下側コンベア３のベルト３４における
往路部３５上に載せられるとともに、その裏面の上部が
上側コンベア２のベルト２４における往路部２５の外周
面に当接される。

両コンベア２．３にウェハ１が供給されると、上下のサ
ーボモータ２３．３３が同期して回転することにより、
ベルト２４．３４が同一方向に同一速度で送られ、これ
に伴って、ウェハ１はアンローダ９側へ搬送される。こ
のとき、ウェハ１は下側のコンベア３で重さを支えられ
、上側のコンベア２によって裏面を受けられて立てた状
態を維持される。

このようにして立てた状態でウェハ１が搬送されること
により水平面内の面積が小さくなるため、浮遊塵埃がウ
ェハ１の主面に舞い下りる確率は殆どなく、ウェハ１の
主面が汚染されることはない。

ウェハｌがアンローダ９に搬送されると、サーボモータ
２３．３３が停止され、ウェハｌは定置される、続い−
Ｃ，吸着吸着ヘッドがウェハ１の裏面に吸着され、ウェ
ハ１は吸着ヘッド１０に保持されて３次元的に移動され
、他の場所（図示せず）に移載される。

以後、前記作動が繰り返されることにより、キャリア治
具５に収容されたウェハ１は１枚宛コンベア２．３の協
働により搬送されて、吸着ヘッド９により他の場所へ移
載されて行（。

前記実施例によれば次の効果が得られる。

＋１１　　ウェハの外周における下部をコンベアで支持
してウェハを略立てた状態で搬送するように構成するこ
とにより、ウェハの主面の水平面に対する面積が小さく
なるため、浮遊塵埃がウェハ主面に舞い下りる確率を小
さくさせることができる。

（２）　　ウェハに浮遊塵埃がウェハ主面に舞い下りる
確率を小さくさせることにより、ウェハが汚染されるの
を抑制することができるため、製造歩留りを高めること
ができるとともに、製品の品質並びに信頼性を高めるこ
とができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

例えば、コンベアは上下に一対敷設するに限らず、下側
コンベアのみを敷設して上側にはウェハの裏面に摺接し
てこれを案内するガイドを敷設してもよい。

コンベアはベルトコンベアに限らず、チェーンコンベア
等であってもよい。

ローダおよびアンローダは前記構成に躍らず、他の構造
の吸着ヘッドや受は渡し装置等を使用することができる
。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるウェハ搬送装置に通
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、ホトマスクやガラス板等のような板状物を搬
送する搬送装置全般に適用することができる。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。

板状物の外周下部をコンベアで支持して板状物を略立て
た状態で搬送するように構成することにより、板状物の
主面の水平面に対する面積が小さくなるため、浮遊塵埃
が板状物主面に舞い下りる確率が少なくなり、板状物主
面の汚染を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるウェハ搬送装置を示す
斜視図、第２図は第１図のｎ−ｕ線に沿う断面図である。１・・・ウェハ（板状物）、２・・・上側コンベア、３
・・・下側コンベア、４・・・ローダ、５・・・キャリ
ア治具、６・・・ブツシャ、７・・・ガイド、８・・・
テーブル、９・・・アンローダ、ｌＯ・・・吸着ヘッド
、２１．２２．３１．３２・・・プーリ、２３．３３・
・・サーボモータ、２４．３４・・　ゴムヘルド、２６
．３６・・・速度センサ。

Claims

【特許請求の範囲】１、板状物の外周における下部をコンベアで支持して板
状物を略立てた状態で搬送するように構成されているこ
とを特徴とする板状物搬送装置。２、コンベアが一対、上下に敷設されており、下側のコ
ンベアは板状物の外周における一部を支持し、上側のコ
ンベアは板状物の裏面を支持するように構成されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の板状物搬
送装置。