JPH01278039A

JPH01278039A - ウエハ搬送方式

Info

Publication number: JPH01278039A
Application number: JP63107301A
Authority: JP
Inventors: Junichi Mori; 順一森; Masuzo Ikumi; 生見　益三; Takayuki Naka; 仲　孝幸; Hiroshi Suzuki; 弘鈴木; Hisato Nakamura; 寿人中村
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1988-04-28
Filing date: 1988-04-28
Publication date: 1989-11-08

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コ本発明はウェハ搬送方式に関する。更に詳細には、本発
明はウェハのサイズが変更されても搬送装置を調整し直
す必要のないウェハ搬送方式に関する。

［従来の技術］装置から装置へとウェハを送る搬送機構に空気搬送方式
がある。

この搬送方式は第３図に示されるように、搬送路１００
の表面に穿設された空気噴き出し孔１１０より、ウェハ
１２０の裏面側から斜め上方に空気を吹き付けてウェハ
を浮上させると共に、一方向への推進力を与えるもので
ある。

この方式は〜ｌ　ｍ／ｓという高速搬送が可能なため、
装置内部の゛みならず、装置と装置の間の長距離搬送に
も適している。また、ウェハが他の材質と接触しないた
め発塵がなく、可動部品が少ないので故障が少なく、保
守が容易であるという特徴を有する。

更に、ベルト搬送方式もある。これは、ゴム製の二本の
ベル）　ｌ−にウェハを乗せて搬送するものである。

［発明が解決しようとする課題］しかし、この空気搬送方式では、搬送路１００の横幅が
固定されているので一種類のサイズのウェハしか搬送で
きない。

同様に、ベルト搬送方式でも、ウェハのサイズが変史さ
れた場合、ガイドプレートの取付位置の変史や、ストッ
パ、搬送爪等の部品交換が必要であった。

従って、本発明の目的はウェハのサイズが変更されても
、搬送機構を調整し直す必要のないウェハ搬送方式を提
供することである。

［課題を解決するための手段コ前記目的を達成するために、本発明のウェハ搬送力式に
おいては、サイズの異なる各種ウェハを、その裏面から
進退ｔ＋Ｊ能な真空吸着ヘッドにより吸着し、搬送する
こととしている。

真空吸着ヘッドはタイミングベルトにより進退可能に構
成されている。

［作用］前記のように、本発明のウェハ搬送方式では、ウェハの
裏面からＩ℃空吸着ヘッドによりウェハを吸着した状態
で搬送する。

従って、本発明の搬送方式によれば、従来のような横幅
の固定された搬送ベルトあるいは搬送路は使用されない
し、また、ウェハのサイズが変更されても吸着ヘッドを
変更する必要がないので、いかなるサイズのウェハも自
由に搬送することができる。

その結果、搬送機構の構造自体も極めて簡略化され、装
置のコストダウンが図られる。

［実施例コ以ド、図面を参照しながら本発明のウェハ搬送方式の一
例について更に詳細に説明する。

第１図は本発明のウェハ搬送力式の一例を示す概要模式
図である。

図示されているように、ウェハ吸着用の真空敷石ヘッド
１は」を側のタイミングベルト３に保持させる。タイミ
ングベルト３はタイミングギア５に装架されている。真
空吸着ヘッド１のｔ而には吸引孔７が配設されており、
この吸引孔７は可撓性ホース等の適当な接続手段９で、
図示されていない適当な真空排気手段（例えば、真空ポ
ンプまたは１−場排気系）に接続されている。

次に、本発明のウェハ搬送方式の具体的動作について説
明する。

Ｉ゛〔空吸着へラド１は最初、図面に向かって右側のタ
イミングギア付近の位置で待機している。カセット等の
収納手段から枚葉的に取り出されたウェハ１１は公知の
ハンドリング手段（図示されていない）により真空吸着
ヘッド１の上面に載置される。真空吸着ヘッド１の待機
位置に配設されたセンサ１３がウェハを検知したら、真
空吸引を開始し、それと共に、タイミングギア５の駆動
も開始させる。そして、このまま、反対方向のタイミン
グギアに向かって１ｌｉｊ進させる。ウェハの搬送終点
位置にもセンサ１５が配設されている。この終点センサ
１５がウェハを検知したら、タイミングギア５の駆動お
よび真空吸引が停止される。従って、センサ１３および
１５はタイミングギアの駆動源および真空排気手段の駆
動源の制御回路（図示されていない）に接続されている
。センサとしては光電変換素ｒ等の常用丁段を使用する
ことができる。

終点まで搬送されてきたウェハは、例えば、第２図に示
されるような、ウェハのサイズに応じた複数の受段１７
を有するウェハ搬送爪１９に受は渡される。ウェハ搬送
爪１９は進退可能に加えて１、Ｌ下動可能にも構成され
ていることが好ましい。

その後、ウェハ搬送爪１９はウェハをスピンナーおよび
ベータ炉等へ搬送する。また、真空吸着ヘッド１からウ
ェハ１１が取り除かれたことがセンサ１５により検知さ
れたら、タイミングギア５が逆回転されて吸着ヘッド１
を最初の待機位置まで後退させる。

ローダ系およびアンローダ系を一木の搬送機構で兼用す
る場合、吸着ヘッド１を最初の待機位置まで後退させる
際に、処理済みウェハを吸着搬送することができる。た
だし、ローダ側カセットおよびアンローダ側カセット間
を往復できるようにするため、本発明のウェハ搬送機構
はＸ方向だけでなくＸ方向にも運動可能に構成すること
ができる。

吸着ヘッド１の大きさ自体は本発明の必須要件ではない
。ウェハを確実に載置し、搬送するのに７殼１−分な大
きさであればよい。

吸着ヘッドの材質も本発明の必須髪件ではない。

ステンレス等の慣用の材料カーら構成することができる
。

また、吸着ヘッドの進退駆動にはタイミングベルトに限
らず、エアーシリンダ、リニアモータ、ボールスクリュ
ー等の直線運動可能な公知のＴ段を使用することもでき
る。

「発明の効果コ以」―説明したように、本発明のウェハ搬送方式では、
ウェハの裏面から真空吸着ヘッドによりウェハを吸着し
た状態で搬送する。

従って、本発明の搬送方式によれば、従来のような横幅
の固定された搬送ベルトあるいは搬送路は使用されない
し、また、ウェハのサイズが変更されても吸着へ・ソド
を変更する必要がないので、いかなるサイズのウェハも
自由に搬送することができる。

その結果、搬送機構の構造自体も極めて簡略化され、装
置のコストダウンが図られるばかりか、ウェハ処理工程
のスループットが大幅に向上される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のウェハ搬送方式の一例を示す概要模式
図であり、第２図はウェハ搬送爪の概略図であり、第３
図は従来の空気搬送方式の概要斜視図である。 ■・・・ウェハ吸着ヘッド。３・・・タイミングベルト。５・・・タイミングギア。７・・・吸引孔。９・・・接続手段。１１・・・ウェハ。１３および１５・・・センサ。１９・・・ウェハ搬送爪

Claims

【特許請求の範囲】

（１）サイズの異なる各種ウェハを、その裏面から進退
可能な真空吸着ヘッドにより吸着し、搬送することを特
徴とするウェハ搬送方式。
（２）真空吸着ヘッドはタイミングベルトにより進退可
能に構成されていることを特徴とする請求項（１）記載
のウェハ搬送方式。