JPS623650A - 蛍光x線分析方法 - Google Patents
蛍光x線分析方法Info
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- JPS623650A JPS623650A JP14341485A JP14341485A JPS623650A JP S623650 A JPS623650 A JP S623650A JP 14341485 A JP14341485 A JP 14341485A JP 14341485 A JP14341485 A JP 14341485A JP S623650 A JPS623650 A JP S623650A
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- Japan
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- fluorescent
- rays
- angle
- sheet
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は金属材表面に形成された単相又は合金相である
被膜の組成及び/又は付着量を定量する蛍光X線分析方
法に関する。
被膜の組成及び/又は付着量を定量する蛍光X線分析方
法に関する。
合金メッキ被膜の組成、付着量の定量分析は、被膜を酸
で溶解して行う化学分析が一般に用いられている。
で溶解して行う化学分析が一般に用いられている。
この他には、第7図に示すように蛍光X線分析法を利用
して合金めっき被膜に対する励起X線の入射角と合金め
っき被膜に対する蛍光X線の取出角とを所定の低角度φ
1.ψ1に、また、所定の高角度φ2.ψ2にした2系
列の角度で測定する方法I (特開昭58−22304
7号)がある。
して合金めっき被膜に対する励起X線の入射角と合金め
っき被膜に対する蛍光X線の取出角とを所定の低角度φ
1.ψ1に、また、所定の高角度φ2.ψ2にした2系
列の角度で測定する方法I (特開昭58−22304
7号)がある。
また同じく蛍光X線分析法を利用してに系列とL系列の
蛍光X線の強度を夫々所定の入射角φ。
蛍光X線の強度を夫々所定の入射角φ。
取出角ψにて測定し、夫々の測定値に基づいて定量する
方法■ (特願昭59−60357号)がある。
方法■ (特願昭59−60357号)がある。
しかし、上記方法■、■による場合は、入射角。
取出角を固定して測定するので、測定可能な狭い付着量
−組成の範囲に限定されてしまい、用途に応じては広い
付着量−組成の範囲で意図的に変えられる合金めっき被
膜に対しては分析できないことがあった。
−組成の範囲に限定されてしまい、用途に応じては広い
付着量−組成の範囲で意図的に変えられる合金めっき被
膜に対しては分析できないことがあった。
また、この他にX線回折分析法により鋼板の回折線強度
を測定してめっき被膜の組成、付着量を分析する方法も
あるが、この方法による場合は鋼板が集合組織となって
いると集合組織により影響を受けるため測定精度が劣る
。測定精度を向上させるためには回折線強度を集合組織
の程度に応じて補正すればよいが、その補正のための測
定に時間を要するため迅速な分析には不通であり、また
測定時の回折角度が固定のため前同様に適用できる付着
量−組成の範囲が限定されるという問題点がある。
を測定してめっき被膜の組成、付着量を分析する方法も
あるが、この方法による場合は鋼板が集合組織となって
いると集合組織により影響を受けるため測定精度が劣る
。測定精度を向上させるためには回折線強度を集合組織
の程度に応じて補正すればよいが、その補正のための測
定に時間を要するため迅速な分析には不通であり、また
測定時の回折角度が固定のため前同様に適用できる付着
量−組成の範囲が限定されるという問題点がある。
更に、グロー放電発光分光分析法により定量する方法も
ある。しかしこの方法は、スパッタリングによりめっき
被膜を破壊して分析する方法であるため、被膜が同一組
成であっても合金相の状態、例えば酸化状態によりスパ
ッタリング速度が異なり、測定精度が劣るという難点が
あった。
ある。しかしこの方法は、スパッタリングによりめっき
被膜を破壊して分析する方法であるため、被膜が同一組
成であっても合金相の状態、例えば酸化状態によりスパ
ッタリング速度が異なり、測定精度が劣るという難点が
あった。
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、X線
の透過距離が長くなると吸収される量が多くなるという
性質を利用し、入射角φ、取出角ψを低角度にして被膜
の表層からの蛍光X線の強度を測定して組成を定量し、
次いでφ、ψを高角度にして蛍光X線強度をIO定し、
被膜からの蛍光X線と鋼板等の下地金属からの蛍光X線
とにおける特定元素の蛍光X線強度が変化するという現
象に基づき付着量を定量することにより、被膜の付着量
−組成の変化量が大きくても、また、被膜に集合組織が
存在していても迅速かつ正確に定量分析でき、更に被膜
表面が酸化されていてもこれを略正確に定量分析できる
蛍光X線分析方法を提供することを目的とする。
の透過距離が長くなると吸収される量が多くなるという
性質を利用し、入射角φ、取出角ψを低角度にして被膜
の表層からの蛍光X線の強度を測定して組成を定量し、
次いでφ、ψを高角度にして蛍光X線強度をIO定し、
被膜からの蛍光X線と鋼板等の下地金属からの蛍光X線
とにおける特定元素の蛍光X線強度が変化するという現
象に基づき付着量を定量することにより、被膜の付着量
−組成の変化量が大きくても、また、被膜に集合組織が
存在していても迅速かつ正確に定量分析でき、更に被膜
表面が酸化されていてもこれを略正確に定量分析できる
蛍光X線分析方法を提供することを目的とする。
本発明に係る蛍光X線分析方法は、金属材表面に形成さ
れた被膜へ励起X線を照射して蛍光X線強度を測定し、
その組成及び付着量を定量分析する方法において、金属
材からの蛍光X線強度が小さい入射角で励起X線を被膜
へ照射し、また同じく金属材からの蛍光X線強度が小さ
い取出角で蛍光X線強度を測定して被膜の組成を定量し
、次いで、入射角及び/又は取出角を組成定量時の角度
よりも高角度(複数)にて蛍光X線強度を測定し、その
測定値と、入射角、取出角と一定の関係を有する理論蛍
光X線強度の算出値との大小関係に基づき被膜の付着量
を定量することを特徴とする。
れた被膜へ励起X線を照射して蛍光X線強度を測定し、
その組成及び付着量を定量分析する方法において、金属
材からの蛍光X線強度が小さい入射角で励起X線を被膜
へ照射し、また同じく金属材からの蛍光X線強度が小さ
い取出角で蛍光X線強度を測定して被膜の組成を定量し
、次いで、入射角及び/又は取出角を組成定量時の角度
よりも高角度(複数)にて蛍光X線強度を測定し、その
測定値と、入射角、取出角と一定の関係を有する理論蛍
光X線強度の算出値との大小関係に基づき被膜の付着量
を定量することを特徴とする。
まず発明の分析原理について説明する。第1図はその原
理説明図であり、鋼板Ib上に2元素のFe−Zn合金
被膜1aが形成されたFe−Znめっき鋼板1に励起X
線を入射角φで照射し、その蛍光X線を取出角ψで取出
す状態を示す。Fe−Zn合金被膜1a。
理説明図であり、鋼板Ib上に2元素のFe−Zn合金
被膜1aが形成されたFe−Znめっき鋼板1に励起X
線を入射角φで照射し、その蛍光X線を取出角ψで取出
す状態を示す。Fe−Zn合金被膜1a。
鋼板1bからの蛍光X線はZnL、、+ FeKa +
ZnLa +ZnK、等であり、そのうちの例えばZ
nLa 、FeLaについての蛍光X線強度T Z1%
L111 r Fa Laは夫々下記fil、 (2
1式にて表わされることが知られている。
ZnLa +ZnK、等であり、そのうちの例えばZ
nLa 、FeLaについての蛍光X線強度T Z1%
L111 r Fa Laは夫々下記fil、 (2
1式にて表わされることが知られている。
(以下余白)
’ZnLir
kZ、、La ” O’ WZn
sin ψ
μFe −ム μFe −’ln□+□
sin φ sin ψ
・・・(1)
I Fe La
kFe La ’ T O’ WFesin ψ
μr0−h μRシA
□+□
sin φ sin ψ
k Fe Lg ・ IO
+ □
sin ψ
sin φ sin ψ
μFe μFee L“
□+□
sin φ sin ψ
・・・(2)
但し、■o 二人射X線の強度
w2.l w、a:合金被膜中のZn、Fe重量分比ρ
Fe −Zn ’合金被膜の密度 t :合金被膜の厚さ kZn工+kFe工:定数 μへ−に合金被膜に対する入射X線(λ)の質量吸収係
数 (−μ八・Wた+μン。・W2゜ =μ八へ(μ全7−μ八)・W2.) μFe ”In ’合金被膜に対するZnLヶ線の質量
吸収係数 (=μi、n Lll 、 W Fa十μZHL“−W
2゜=μAa Lm +(μi2 Lm−μf、h L
m ) ・w 2n )μRは7合金被膜に対するF
eL、a線の質量吸収係数 (= /’ F: ” ’ WFe+μ豚” ・W 2
n−pp、”+ (μq”−pp、”) −WF、1
μ八、μり。: F e + Z nに対する入射X線
(λ)の質量吸収係数 μθL“+ /’ ja” : Fe、Znに対する
Zn L 。
Fe −Zn ’合金被膜の密度 t :合金被膜の厚さ kZn工+kFe工:定数 μへ−に合金被膜に対する入射X線(λ)の質量吸収係
数 (−μ八・Wた+μン。・W2゜ =μ八へ(μ全7−μ八)・W2.) μFe ”In ’合金被膜に対するZnLヶ線の質量
吸収係数 (=μi、n Lll 、 W Fa十μZHL“−W
2゜=μAa Lm +(μi2 Lm−μf、h L
m ) ・w 2n )μRは7合金被膜に対するF
eL、a線の質量吸収係数 (= /’ F: ” ’ WFe+μ豚” ・W 2
n−pp、”+ (μq”−pp、”) −WF、1
μ八、μり。: F e + Z nに対する入射X線
(λ)の質量吸収係数 μθL“+ /’ ja” : Fe、Znに対する
Zn L 。
線の質量吸収係数
11 F: ” + u に” : Fe+ Znに
対するFeL。
対するFeL。
線の質量吸収係数
上記(1)式又は(2)式において、I 2nl−z+
I Fe La共に未知数はφ、ψ、付着量に関す
るρ1.1・を及び組成に関するw2.、W、、である
。したがってφ。
I Fe La共に未知数はφ、ψ、付着量に関す
るρ1.1・を及び組成に関するw2.、W、、である
。したがってφ。
ψを低角度としてI Zn Lm + I Fs L
、を測定することにより、合金被膜1aの組成の定量が
可能である。
、を測定することにより、合金被膜1aの組成の定量が
可能である。
これを詳述すると、φを低角度とした場合には励起X線
の合金被膜表面入射位置から表面下の一定深さ位置まで
の経路が長くなり、その経路中での励起X線の吸収量が
多(なり、その結果励起X線が鋼板1bにまで到達しに
く(なる。またψを低角度とした場合には表面下の一定
深さ位置から蛍光X線の合金被膜表面取出位置までの経
路が長くなり、その経路中での蛍光X線の吸収量が多く
なり、その結果合金被膜1aの組成の定量分析に際して
鋼板1bからの蛍光X線により悪影響を受けるのを抑制
でき、合金被膜表層部を測定できることになる。
の合金被膜表面入射位置から表面下の一定深さ位置まで
の経路が長くなり、その経路中での励起X線の吸収量が
多(なり、その結果励起X線が鋼板1bにまで到達しに
く(なる。またψを低角度とした場合には表面下の一定
深さ位置から蛍光X線の合金被膜表面取出位置までの経
路が長くなり、その経路中での蛍光X線の吸収量が多く
なり、その結果合金被膜1aの組成の定量分析に際して
鋼板1bからの蛍光X線により悪影響を受けるのを抑制
でき、合金被膜表層部を測定できることになる。
従ってφ、ψが低角度であるので−(11,(21式に
おける右辺の の項は一〇に近似でき、これにより合金被膜1a、fi
Jのみの組成の蛍光X線分析が可能となる。
おける右辺の の項は一〇に近似でき、これにより合金被膜1a、fi
Jのみの組成の蛍光X線分析が可能となる。
また前記fiJ式を示す線を検量線として使用すること
によっても組成を定量できる。
によっても組成を定量できる。
第2図は横軸にFe%をとり、縦軸にznL、線強度(
cpsXIO’)をとって、φ=30°、ψ=5°のと
きの(1)式を示したグラフであり、この図の・印は合
金被膜のFe%が種々異なるときの測定結果を示す。こ
の図より理解される如く、図中に示す線を検量線として
使用し、低角度のφ、ψで測定したZn L a線強度
及びその検量線に基づいて読取ることにより組成を測定
できる。
cpsXIO’)をとって、φ=30°、ψ=5°のと
きの(1)式を示したグラフであり、この図の・印は合
金被膜のFe%が種々異なるときの測定結果を示す。こ
の図より理解される如く、図中に示す線を検量線として
使用し、低角度のφ、ψで測定したZn L a線強度
及びその検量線に基づいて読取ることにより組成を測定
できる。
次いで、例えばφを一定角度に維持したままψを漸次高
角度に変更すると、I ZnLaはある角度で急に強度
が低下し、逆にT Fa Lヶは同一の角度で急に強度
が増加する。つまり、上記とは逆の理由によりψが高角
度となるにつれて蛍光X線のFe−Znめっき鋼板1中
での透過経路が短くなり、ある角度になると鋼板1bか
らのFeLヶ線が増加してI Fa Lyが急に強くな
り始め、逆に”ZnLaが急に弱くなり始める現象が起
こる。
角度に変更すると、I ZnLaはある角度で急に強度
が低下し、逆にT Fa Lヶは同一の角度で急に強度
が増加する。つまり、上記とは逆の理由によりψが高角
度となるにつれて蛍光X線のFe−Znめっき鋼板1中
での透過経路が短くなり、ある角度になると鋼板1bか
らのFeLヶ線が増加してI Fa Lyが急に強くな
り始め、逆に”ZnLaが急に弱くなり始める現象が起
こる。
第3図は横軸に取出角(度)をとり、縦軸にZn L
a線強度(cps X 1O−3)をトッテ、組成別、
付着量刑に両者の関係を示したグラフであり、図中上
段4つの線はFe80%−Zn20%の合金被膜の場合
の測定結果、下段3つの線はFe90%−Zn10%の
合金被膜の場合のそれであり、1印は合金被膜の付着量
が1g7m2の場合の測定結果、○印、X印、・印は夫
々それが2g/m2.3g/m2.4g/m2の場合の
それを示す。この図より理解される如(例えば付着量が
1g7m2と少ない合金被膜では取出角が小さいときに
ZnLa線強度が弱まる。そしてそれよりも付着量が多
い2g/m2.3g/m2.4g/m2の合金被膜では
1g7m2のときの取出角よりも段階的に大きいときに
ZnL、l線強度が弱まっている。
a線強度(cps X 1O−3)をトッテ、組成別、
付着量刑に両者の関係を示したグラフであり、図中上
段4つの線はFe80%−Zn20%の合金被膜の場合
の測定結果、下段3つの線はFe90%−Zn10%の
合金被膜の場合のそれであり、1印は合金被膜の付着量
が1g7m2の場合の測定結果、○印、X印、・印は夫
々それが2g/m2.3g/m2.4g/m2の場合の
それを示す。この図より理解される如(例えば付着量が
1g7m2と少ない合金被膜では取出角が小さいときに
ZnLa線強度が弱まる。そしてそれよりも付着量が多
い2g/m2.3g/m2.4g/m2の合金被膜では
1g7m2のときの取出角よりも段階的に大きいときに
ZnL、l線強度が弱まっている。
この現象はφ、ψを共に高角度とする場合、或いはψを
一定角度に維持してφを高角度と変更する場合にも同様
に現れる。そしてこの現象を利用することにより、合金
被膜1aの付着量の定量が可能である。即ち、■2゜工
又はT Fe L、並びにφ、ψがわかっているのでこ
れらを(1)弐又は(2)式に代入することにより、或
いは第2図の線をφ、ψ1組成、組成量付着量て各別に
求めておき、これを検量線として使用し、測定されたZ
nLLヶ線強度及びその測定条件に該当する検量線に基
づいて読取ることにより、付着量(=ρ1−1・t)を
測定できる。
一定角度に維持してφを高角度と変更する場合にも同様
に現れる。そしてこの現象を利用することにより、合金
被膜1aの付着量の定量が可能である。即ち、■2゜工
又はT Fe L、並びにφ、ψがわかっているのでこ
れらを(1)弐又は(2)式に代入することにより、或
いは第2図の線をφ、ψ1組成、組成量付着量て各別に
求めておき、これを検量線として使用し、測定されたZ
nLLヶ線強度及びその測定条件に該当する検量線に基
づいて読取ることにより、付着量(=ρ1−1・t)を
測定できる。
以下に本発明を図面に基づき具体的に説明する。
第4図は本発明の実施例を示す模式図であり、図中1は
Fe−Znめっき鋼板を示す。Fe−Znめっき鋼板1
は鋼板1bの表面に2元素のFe−Zn合金被膜1aが
形成されており、ホルダ(図示せず)に支持されている
。Fe−Znめっき鋼板1の上方を少し外れた位置には
励起X線をFe−Znめっき鋼板1に向けて照射するX
線源2が図示しないX線源用支持装置にて支持されて設
けられており、支持装置はX線源2をFe−Znめっき
鋼板1を中心とする円弧上を移動させて入射角φを変更
できるようになっている。
Fe−Znめっき鋼板を示す。Fe−Znめっき鋼板1
は鋼板1bの表面に2元素のFe−Zn合金被膜1aが
形成されており、ホルダ(図示せず)に支持されている
。Fe−Znめっき鋼板1の上方を少し外れた位置には
励起X線をFe−Znめっき鋼板1に向けて照射するX
線源2が図示しないX線源用支持装置にて支持されて設
けられており、支持装置はX線源2をFe−Znめっき
鋼板1を中心とする円弧上を移動させて入射角φを変更
できるようになっている。
X線線源2は励起X線を発生するターゲツト板(陰極)
より発生する例えば40kv −50mAのCrの励起
X線をX線源2の照射面側に設けたスリット板3を介し
て照射できる。
より発生する例えば40kv −50mAのCrの励起
X線をX線源2の照射面側に設けたスリット板3を介し
て照射できる。
Fe−Znめっき鋼板1に励起X線が照射されるとFe
−Znめっき鋼板1より蛍光X線が発生し、その進路上
には例えばエネルギー分散型のX線検出器4が図示しな
いX線検出用支持装置にて支持されて設けられており、
その支持装置はX線検出器4をFe−Znめっき鋼板1
を中心とする第2の円弧上を移動させて取出角ψを変更
できるようになっている。
−Znめっき鋼板1より蛍光X線が発生し、その進路上
には例えばエネルギー分散型のX線検出器4が図示しな
いX線検出用支持装置にて支持されて設けられており、
その支持装置はX線検出器4をFe−Znめっき鋼板1
を中心とする第2の円弧上を移動させて取出角ψを変更
できるようになっている。
検出器4にて検出された蛍光X線はここで電気信号に変
換され、電気信号は増幅器5へ送られた後に波高分析器
6及び計数器7によって所定の金属元素の蛍光X線強度
に変換される。
換され、電気信号は増幅器5へ送られた後に波高分析器
6及び計数器7によって所定の金属元素の蛍光X線強度
に変換される。
計数器7の蛍光X線強度に対応する出力は演算制御装置
8に導かれる。この演算制御装置8には前記411式(
又は(2)式)が設定されており、演算制御装置8は(
1)式(又は(2)式)及び入力信号、即ち蛍光X線強
度及び入力されたその測定条件たるTo。
8に導かれる。この演算制御装置8には前記411式(
又は(2)式)が設定されており、演算制御装置8は(
1)式(又は(2)式)及び入力信号、即ち蛍光X線強
度及び入力されたその測定条件たるTo。
λ、に2゜Lx (又はkFaLj+μ八−1,μ4丸
φ。
φ。
ψ等に基づいてFe−Zn合金被膜1aの厚さ及び組成
を算出し、その算出値を表示器9に表示させる。
を算出し、その算出値を表示器9に表示させる。
また演算制御装置8は角度制御装置10及び11を駆動
させて、X線源2と検出器4とをFe−Znめっき鋼板
1に対して入射角φ、取出角ψが夫々予め定めた複数の
所定値となる角度にセットできるようになっている。
させて、X線源2と検出器4とをFe−Znめっき鋼板
1に対して入射角φ、取出角ψが夫々予め定めた複数の
所定値となる角度にセットできるようになっている。
このように構成された本発明に係る蛍光X線分析装置に
よる本発明の分析方法を以下に説明する。
よる本発明の分析方法を以下に説明する。
まず演算制御装置8は付着量を測定すべくX線源2及び
検出器4のFe−Znめっき鋼板1に対する入射角φ、
取出角ψを共に鋼板1bからのFeLa線力(検出され
ず、’ 2n Laの検出比率が最高値(又はI Fa
Laが最低値)となる低角度例えば30°、5゜程度
でFe−Znめっき鋼板1からのZn L a線の強度
(又はFeLz線の強度)を測定し、(1)式(又は(
2)式)に基づいてZn%(又はFe%)を定量し、定
量値即ちZn%、 Fe%(=1−Zn%)を表示器9
に表示させる。
検出器4のFe−Znめっき鋼板1に対する入射角φ、
取出角ψを共に鋼板1bからのFeLa線力(検出され
ず、’ 2n Laの検出比率が最高値(又はI Fa
Laが最低値)となる低角度例えば30°、5゜程度
でFe−Znめっき鋼板1からのZn L a線の強度
(又はFeLz線の強度)を測定し、(1)式(又は(
2)式)に基づいてZn%(又はFe%)を定量し、定
量値即ちZn%、 Fe%(=1−Zn%)を表示器9
に表示させる。
次いで演算制御装置8はφを記憶値に維持したままψを
記憶値よりも漸次大きくして12.L、、(又は■Fe
ry )を測定し、T 211La (I FeL−
)が急激に減少(増加)するときそのX線強度及びφ、
ψを記憶してfi1式(又は(2)式)により付着量を
求め、その付着量を表示器9に表示させる。
記憶値よりも漸次大きくして12.L、、(又は■Fe
ry )を測定し、T 211La (I FeL−
)が急激に減少(増加)するときそのX線強度及びφ、
ψを記憶してfi1式(又は(2)式)により付着量を
求め、その付着量を表示器9に表示させる。
従って本発明は用途に応じて付着量−組成が広い範囲で
変えられた合金被膜の組成、付着量を、合金被膜の集合
組織に影響されず迅速かつ正確に測定でき、また合金被
膜表面が酸化状態となっていても測定領域が表面から励
起X線の透過深さまでの層部分の蛍光X線の強度に基づ
くため、若干の影響を受けても略正確な定量分析が可能
である。
変えられた合金被膜の組成、付着量を、合金被膜の集合
組織に影響されず迅速かつ正確に測定でき、また合金被
膜表面が酸化状態となっていても測定領域が表面から励
起X線の透過深さまでの層部分の蛍光X線の強度に基づ
くため、若干の影響を受けても略正確な定量分析が可能
である。
第5図はFe%が83%、86%、88%、91%、9
5%。
5%。
100%の合金被膜の標準試料を本発明により組成を定
量した結果を示すグラフであり、横軸に標準試料のFe
%をとり、縦軸に本発明によるFe%測定値をとって示
している。
量した結果を示すグラフであり、横軸に標準試料のFe
%をとり、縦軸に本発明によるFe%測定値をとって示
している。
また、第6図は上記標準試料のうち付着量が2g/m2
.2.4g/m2.2.9g/m2.3.2g/m2の
4試料について本発明によりその付着量を測定した結果
を示すグラフであり、横軸に標準試料の付着量(g/m
2)をとり、縦軸に本発明による付着量(g/l112
)測定値をとって示している。
.2.4g/m2.2.9g/m2.3.2g/m2の
4試料について本発明によりその付着量を測定した結果
を示すグラフであり、横軸に標準試料の付着量(g/m
2)をとり、縦軸に本発明による付着量(g/l112
)測定値をとって示している。
これら両図より理解される如く本発明による場合には組
成及び付着量を夫々正確に測定できた。
成及び付着量を夫々正確に測定できた。
なお、上記実施例では付着量を定量する際、φ。
ψを低角度−高角度へと変更しているが、本発明はφ、
ψを高角度−低角度へと変更しても実施できることは勿
論である。
ψを高角度−低角度へと変更しても実施できることは勿
論である。
また、上記実施例では’ ZnLa+ IFa L&
を用いて合金被膜の組成、付着量を測定しているが、本
発明は■ZnK、+ I Fe Kgを用いても測定
できる。IZn Ka +I Fa Kaを用いた場合
は測定深さが深いため合金被膜の厚みが厚いものの分析
に有効である。
を用いて合金被膜の組成、付着量を測定しているが、本
発明は■ZnK、+ I Fe Kgを用いても測定
できる。IZn Ka +I Fa Kaを用いた場合
は測定深さが深いため合金被膜の厚みが厚いものの分析
に有効である。
更に、上記実施例ではFe−Zn合金被膜について定量
分析を行っているが、本発明はこれに限らず他の2元系
合金被膜及び単相の金属被膜についても同様に定量分析
できることは勿論である。
分析を行っているが、本発明はこれに限らず他の2元系
合金被膜及び単相の金属被膜についても同様に定量分析
できることは勿論である。
以上詳述した如く本発明はX線の透過、吸収についての
性質を利用し、φ、ψを低角度として被膜の組成を定量
し、次いでφ及び/又はψを高角度として被膜の付着量
を定量するので、如何なる厚みの被膜に対しても被膜の
集合組織に関係せず迅速かつ正確に定量分析でき、また
被膜表面が酸化されていても略正確に定量分析できる等
優れた効果を奏する
性質を利用し、φ、ψを低角度として被膜の組成を定量
し、次いでφ及び/又はψを高角度として被膜の付着量
を定量するので、如何なる厚みの被膜に対しても被膜の
集合組織に関係せず迅速かつ正確に定量分析でき、また
被膜表面が酸化されていても略正確に定量分析できる等
優れた効果を奏する
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の原理説明図、第2図は本発明の組成の
定量に使用する検量線例を示すグラフ、第3図は本発明
の付着量の定量に使用する検量線例を示すグラフ、第4
図は本発明の実施状態を示す模式図、第5図、第6図は
夫々本発明により定量した組成、付着量を標準試料のそ
れと対比して示すグラフ、第7図は従来技術の説明図で
ある。 1・・・Fe−Znめっき鋼板 2・・・X線源 4・
・・検出器 8・・・演算制御装置 特 許 出願人 住友金属工業株式会社代理人 弁理
士 河 野 登 夫lし、Fe版 薄 1 区 Fe % 茸 2 図 取上色 ψ C亀) 箋 3 凹
定量に使用する検量線例を示すグラフ、第3図は本発明
の付着量の定量に使用する検量線例を示すグラフ、第4
図は本発明の実施状態を示す模式図、第5図、第6図は
夫々本発明により定量した組成、付着量を標準試料のそ
れと対比して示すグラフ、第7図は従来技術の説明図で
ある。 1・・・Fe−Znめっき鋼板 2・・・X線源 4・
・・検出器 8・・・演算制御装置 特 許 出願人 住友金属工業株式会社代理人 弁理
士 河 野 登 夫lし、Fe版 薄 1 区 Fe % 茸 2 図 取上色 ψ C亀) 箋 3 凹
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、金属材表面に形成された被膜へ励起X線を照射して
蛍光X線強度を測定し、その組成及び付着量を定量分析
する方法において、 金属材からの蛍光X線強度が小さい入射角 で励起X線を被膜へ照射し、また同じく金属材からの蛍
光X線強度が小さい取出角で蛍光X線強度を測定して被
膜の組成を定量し、 次いで、入射角及び/又は取出角を組成定 量時の角度よりも高角度(複数)にて蛍光X線強度を測
定し、その測定値と、入射角、取出角と一定の関係を有
する理論蛍光X線強度の算出値との大小関係に基づき被
膜の付着量を定量することを特徴とする蛍光X線分析方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14341485A JPS623650A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 蛍光x線分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14341485A JPS623650A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 蛍光x線分析方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS623650A true JPS623650A (ja) | 1987-01-09 |
Family
ID=15338211
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14341485A Pending JPS623650A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 蛍光x線分析方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS623650A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4959848A (en) * | 1987-12-16 | 1990-09-25 | Axic Inc. | Apparatus for the measurement of the thickness and concentration of elements in thin films by means of X-ray analysis |
US5081658A (en) * | 1989-03-30 | 1992-01-14 | Nkk Corporation | Method of measuring plating amount and plating film composition of plated steel plate and apparatus therefor |
US5113421A (en) * | 1988-05-13 | 1992-05-12 | Data Measurement Corporation | Method and apparatus for measuring the thickness of a coating on a substrate |
JP2021156744A (ja) * | 2020-03-27 | 2021-10-07 | 日本電子株式会社 | 分析方法および蛍光x線分析装置 |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP14341485A patent/JPS623650A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4959848A (en) * | 1987-12-16 | 1990-09-25 | Axic Inc. | Apparatus for the measurement of the thickness and concentration of elements in thin films by means of X-ray analysis |
US5113421A (en) * | 1988-05-13 | 1992-05-12 | Data Measurement Corporation | Method and apparatus for measuring the thickness of a coating on a substrate |
US5081658A (en) * | 1989-03-30 | 1992-01-14 | Nkk Corporation | Method of measuring plating amount and plating film composition of plated steel plate and apparatus therefor |
JP2021156744A (ja) * | 2020-03-27 | 2021-10-07 | 日本電子株式会社 | 分析方法および蛍光x線分析装置 |
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