JPS62295219A - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS62295219A JPS62295219A JP13798986A JP13798986A JPS62295219A JP S62295219 A JPS62295219 A JP S62295219A JP 13798986 A JP13798986 A JP 13798986A JP 13798986 A JP13798986 A JP 13798986A JP S62295219 A JPS62295219 A JP S62295219A
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は、記録媒体磁性面に対して垂直方向の残留磁化
を利用して信号記録を行う、いわゆる垂直磁気記録方式
において使用される垂直磁気記録媒体の製造方法に関す
るものであり、詳細には二源蒸着法によるＣｏ−Ｃｒ垂
直磁気記録媒体の作製技術に関するものである。
を利用して信号記録を行う、いわゆる垂直磁気記録方式
において使用される垂直磁気記録媒体の製造方法に関す
るものであり、詳細には二源蒸着法によるＣｏ−Ｃｒ垂
直磁気記録媒体の作製技術に関するものである。
本発明は、非磁性支持体上に二源１着法によりＣｏ−Ｃ
ｒ磁性膜を形成するに際し、Ｃｒ蒸発源を板状蒸発源と
することにより、 Ｃｏ−Ｃｒ合金組成の制御精度を改善し特に長尺状の垂
直磁気記録媒体の組成ムラの抑制を図ろうとするもので
ある。
ｒ磁性膜を形成するに際し、Ｃｒ蒸発源を板状蒸発源と
することにより、 Ｃｏ−Ｃｒ合金組成の制御精度を改善し特に長尺状の垂
直磁気記録媒体の組成ムラの抑制を図ろうとするもので
ある。
従来、磁気記録の分野においては高密度記録化や短波長
記録化等が要望され、これに応えるべく垂直磁気記録方
式が提案され、開発が進められていることは周知である
。
記録化等が要望され、これに応えるべく垂直磁気記録方
式が提案され、開発が進められていることは周知である
。
上記垂直磁気記録方式によれば、記録波長が短波長にな
るに従い反磁界が小さくなり、したがって短波長記録を
行った際に残留磁束密度が減衰し再生出力が低下すると
いう虞れがなくなり、高密度記録化という点で面内方向
磁化による記録方式よりも有利である。
るに従い反磁界が小さくなり、したがって短波長記録を
行った際に残留磁束密度が減衰し再生出力が低下すると
いう虞れがなくなり、高密度記録化という点で面内方向
磁化による記録方式よりも有利である。
ところで、この垂直磁気記録方式に使用する垂直磁気記
録媒体の磁性層は、膜面に対して垂直方向に磁化容品軸
を有することが必要であり、例えばＣｏ−Ｃｒ合金薄膜
に代表される垂直異方性膜の連続作製が試みられている
。
録媒体の磁性層は、膜面に対して垂直方向に磁化容品軸
を有することが必要であり、例えばＣｏ−Ｃｒ合金薄膜
に代表される垂直異方性膜の連続作製が試みられている
。
この場合、垂直異方性膜の作製方法としては、スパッタ
リング法や真空蒸着法が代表的なものであるが、特に真
空蒸着法によれば成膜速度を大きくすることができ、生
産性の点で有利である。
リング法や真空蒸着法が代表的なものであるが、特に真
空蒸着法によれば成膜速度を大きくすることができ、生
産性の点で有利である。
しかしながら、真空蒸着法においてＣｏ−Ｃｒ合金を蒸
発源とする通常の方法では、Ｃｒの蒸気圧がＣｏの蒸気
圧と比べて６〜７倍大きいことから、膜組成が蒸発源組
成からずれ、しがもそのずれの程度は蒸発の経過と共に
変化することが知られている。したがって、長尺状の媒
体を作製するとその長手方向で組成が変化し、それに伴
って飽和磁化、保磁力、磁気異方性等の磁気特性が変化
する等、磁気記録媒体として好ましいものではない。Ｃ
ＯＣｒ合金を蒸着源とする場合の上記難点を避けるため
、いわゆるロンドライード法等も提案されているが、フ
ィード速度や投入電力等の条件の設定が難しい。
発源とする通常の方法では、Ｃｒの蒸気圧がＣｏの蒸気
圧と比べて６〜７倍大きいことから、膜組成が蒸発源組
成からずれ、しがもそのずれの程度は蒸発の経過と共に
変化することが知られている。したがって、長尺状の媒
体を作製するとその長手方向で組成が変化し、それに伴
って飽和磁化、保磁力、磁気異方性等の磁気特性が変化
する等、磁気記録媒体として好ましいものではない。Ｃ
ＯＣｒ合金を蒸着源とする場合の上記難点を避けるため
、いわゆるロンドライード法等も提案されているが、フ
ィード速度や投入電力等の条件の設定が難しい。
一方、Ｃｏ−Ｃｒ膜の膜組成を制御するにコよ、Ｃｏと
Ｃｒを別々の蒸発源から独立に蒸発速度を制御して蒸発
させる所謂二源蒸着法が原理的に優れていると言われて
いる。ところが、本発明者等の実験によれば、Ｃｒは昇
華性物質であるため、通常の入手形態である粒状のＣｒ
蒸発源を用いたのでは蒸発速度を安定に制御することが
できないことが判明した。したがって、粒状のＣｒ蒸発
源を用いた真空蒸着法では、膜組成の制御を充分に行う
ことも困難である。
Ｃｒを別々の蒸発源から独立に蒸発速度を制御して蒸発
させる所謂二源蒸着法が原理的に優れていると言われて
いる。ところが、本発明者等の実験によれば、Ｃｒは昇
華性物質であるため、通常の入手形態である粒状のＣｒ
蒸発源を用いたのでは蒸発速度を安定に制御することが
できないことが判明した。したがって、粒状のＣｒ蒸発
源を用いた真空蒸着法では、膜組成の制御を充分に行う
ことも困難である。
そこで本発明は、かかる従来の実情に鑑みて提案された
ものであって、膜組成の朋Ｉ御状態の改善を図り、膜の
厚み方向の組成ムラ、長手方向の組成ムラが少なく、磁
気特性の均一性に優れた垂直磁気記録媒体の製造方法を
提供することを目的とする。
ものであって、膜組成の朋Ｉ御状態の改善を図り、膜の
厚み方向の組成ムラ、長手方向の組成ムラが少なく、磁
気特性の均一性に優れた垂直磁気記録媒体の製造方法を
提供することを目的とする。
本発明者等は、上述の目的を達成せんものと鋭意研究の
結果、Ｃｒ蒸発源の形態が蒸発状態に影響を及ぼしてい
るとの結論を得るに至った０本発明はこのような知見に
基づいて完成されたものであって、非磁性支持体上に二
ａ蒸着法によりＣ。
結果、Ｃｒ蒸発源の形態が蒸発状態に影響を及ぼしてい
るとの結論を得るに至った０本発明はこのような知見に
基づいて完成されたものであって、非磁性支持体上に二
ａ蒸着法によりＣ。
−Ｃｒ磁性膜を形成するに際し、Ｃｒ蒸発源を板状蒸発
源としたことを特徴とするものである。
源としたことを特徴とするものである。
ここで、板状蒸発源とは、それぞれがス発ａ総面積の１
／１０以上の面積を有する蒸発源を言うものとする。
／１０以上の面積を有する蒸発源を言うものとする。
第１図に示すように、蒸発面の法線と角ψをなし、蒸発
ａ（１）から距＾ｉｌｒだけ離れ、蒸発分子の方向と法
線がθだけ傾いた基板（２）面に付着する単位面積当た
りの物質の質量ｍ、は、下記の（１）式によって与えら
れる。
ａ（１）から距＾ｉｌｒだけ離れ、蒸発分子の方向と法
線がθだけ傾いた基板（２）面に付着する単位面積当た
りの物質の質量ｍ、は、下記の（１）式によって与えら
れる。
πｒ２
（但し、Ｓは付着係数を表し、Ｍ８は蒸発した物質の全
質量である。） したがって、基板（２）上の位置が決まっても、蒸発ａ
（１）に対する傾きψが変化すれば付着量ｍ。
質量である。） したがって、基板（２）上の位置が決まっても、蒸発ａ
（１）に対する傾きψが変化すれば付着量ｍ。
は変化することになる。そこで、板状の１発源を用いて
傾きψを常に一定に保つことによってＣｒの蒸発量を一
定に保とうとするのが本発明の趣旨である。板状蒸発源
の具体的な形としては、傾きψをなるべく一定にするも
のが良く、本発明者等の実験によれば蒸着源（，８面積
のｌ／１０以上の面積を有する板状Ｃｒ蒸発源を使用す
れば良いことがわかった。
傾きψを常に一定に保つことによってＣｒの蒸発量を一
定に保とうとするのが本発明の趣旨である。板状蒸発源
の具体的な形としては、傾きψをなるべく一定にするも
のが良く、本発明者等の実験によれば蒸着源（，８面積
のｌ／１０以上の面積を有する板状Ｃｒ蒸発源を使用す
れば良いことがわかった。
これに対して、粒状のＣｒ蒸発源を使用した場合には、
傾きψが分布しており、また蒸発の進行に伴って傾きψ
の分布状態が変化することが安定な蒸発状態が得られな
い理由であると考えられる。
傾きψが分布しており、また蒸発の進行に伴って傾きψ
の分布状態が変化することが安定な蒸発状態が得られな
い理由であると考えられる。
（実施例）
以下、具体的な実験結果に基づいて本発明を説明するが
、本発明がこれに限定されるものでないことは言うまで
もない。
、本発明がこれに限定されるものでないことは言うまで
もない。
先ず、粒状Ｃｒ蒸発源と板状Ｃｒ蒸発源を用い、電子線
加熱方式でＣｒを蒸発（昇華）させ、蒸発速度制御をセ
ンチネル２００ （Ｉｎｆｉｃｏｎ社製）で行いながら
、蒸発速度を３１０人／ｓｅｃに設定したときの蒸発速
度の制御状態（蒸発速度のバラツキ）を調べた。結果を
次表に示す。
加熱方式でＣｒを蒸発（昇華）させ、蒸発速度制御をセ
ンチネル２００ （Ｉｎｆｉｃｏｎ社製）で行いながら
、蒸発速度を３１０人／ｓｅｃに設定したときの蒸発速
度の制御状態（蒸発速度のバラツキ）を調べた。結果を
次表に示す。
表
表より、板状のＣｒ蒸発源を用いることによって蒸発速
度の制御状態が改善されたことがわがつた。
度の制御状態が改善されたことがわがつた。
次に、ＣｏとＣｒの二源１着法によってＣｏ−Ｃｒ合金
膜を作製したときに、蒸発速度比（Ｃｒの蒸発速度（設
定値）とＣＯとＣｒの蒸発速度の和（設定値）の比〕と
得られるＣｏ−Ｃｒ合金膜中のＣｒ量（重量％）との関
係を調べた。なお、得られたＣｏ−Ｃｒ合金膜の膜組成
は、ＥＰ八へＡ法（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｐｒｏｂｅ Ｍ
ｉｃｒｏ−Ａｎａｌｙｓｉｓ）によって分析した。結果
を第２図に示す。
膜を作製したときに、蒸発速度比（Ｃｒの蒸発速度（設
定値）とＣＯとＣｒの蒸発速度の和（設定値）の比〕と
得られるＣｏ−Ｃｒ合金膜中のＣｒ量（重量％）との関
係を調べた。なお、得られたＣｏ−Ｃｒ合金膜の膜組成
は、ＥＰ八へＡ法（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｐｒｏｂｅ Ｍ
ｉｃｒｏ−Ａｎａｌｙｓｉｓ）によって分析した。結果
を第２図に示す。
第２図において、・は板状Ｃｒ蒸発源を使用した場゛合
を、Ｃは粒状Ｃｒ蒸発源を使用した場合をそれぞれ示す
。この第２回より、板状のＣｒ蒸発源を蒸発源として用
いることにより、蒸発速度比に対する膜組成のバラツキ
が大幅に改善されたことがわかった。
を、Ｃは粒状Ｃｒ蒸発源を使用した場合をそれぞれ示す
。この第２回より、板状のＣｒ蒸発源を蒸発源として用
いることにより、蒸発速度比に対する膜組成のバラツキ
が大幅に改善されたことがわかった。
以上の説明からも明らかなように、本発明においては、
Ｃｏ−Ｃｒ合金膜を二源窯着するに際し、Ｃｒ蒸発源を
板状蒸発源としているので、Ｃｒの蒸発状態が大幅に改
善され、得られるＣｏ−Ｃｒ合金膜は膜組成の均一性に
優れたものとなる。したがって本発明によれば、磁気特
性の均一性に優れた垂直磁気記録媒体の作製が可能であ
る。特に、長尺状の垂直磁気記録媒体を作製する場合に
長手方向の組成ムラが少なくなり、効果が高い。
Ｃｏ−Ｃｒ合金膜を二源窯着するに際し、Ｃｒ蒸発源を
板状蒸発源としているので、Ｃｒの蒸発状態が大幅に改
善され、得られるＣｏ−Ｃｒ合金膜は膜組成の均一性に
優れたものとなる。したがって本発明によれば、磁気特
性の均一性に優れた垂直磁気記録媒体の作製が可能であ
る。特に、長尺状の垂直磁気記録媒体を作製する場合に
長手方向の組成ムラが少なくなり、効果が高い。
第１図は基板面における蒸発分子の入射方向を説明する
模式図であり、第２図は蒸発速度比と得られるＣｏ−Ｃ
ｒ合金膜の膜組成の関係を板状蒸発源を使用した場合と
粒状藩発源を使用した場合とを比較して示す特性図であ
る。
模式図であり、第２図は蒸発速度比と得られるＣｏ−Ｃ
ｒ合金膜の膜組成の関係を板状蒸発源を使用した場合と
粒状藩発源を使用した場合とを比較して示す特性図であ
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 非磁性支持体上に二源蒸着法によりＣｏ−Ｃｒ磁性膜
を形成するに際し、 Ｃｒ蒸発源を板状蒸発源としたことを特徴とする垂直磁
気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13798986A JPS62295219A (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13798986A JPS62295219A (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62295219A true JPS62295219A (ja) | 1987-12-22 |
Family
ID=15211457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13798986A Pending JPS62295219A (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62295219A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993023586A1 (en) * | 1992-05-11 | 1993-11-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Vapor deposition material and production method thereof |
-
1986
- 1986-06-13 JP JP13798986A patent/JPS62295219A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993023586A1 (en) * | 1992-05-11 | 1993-11-25 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Vapor deposition material and production method thereof |
| US5441010A (en) * | 1992-05-11 | 1995-08-15 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Evaporation material and method of preparing the same |
| US6126760A (en) * | 1992-05-11 | 2000-10-03 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Evaporation material |
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