JPS62293542A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は、酸素含有率が特定範囲内にある透明誘電体膜
を有する光磁気記録媒体に関する。

〔発明の背景〕

光磁気記録は、記録密度が高い、非接触で記録・読み出
しが可能、高速ランダムアクセスができる、信号の並列
処理が可能、さらに書換えもできるなどの特徴を有して
いるため、近年、特に注目されている。

光磁気記録媒体の基本的構成は、透明樹脂またはガラス
を基板とし、これに希土類−遷移金属アモルファス合金
、たとえばＧｄＦｅ−ＩＰＧｄＴｂＦｅ等の磁性薄膜を
設けたものである。

周知のように、光磁気記録は、記録に際して、熱磁気記
録によって磁性薄膜にレーザー光を照射して反転磁区を
形成するとともに、読み出しに際しては、磁性薄膜にレ
ーザーの直線偏光を入射し、記録した磁化状態（大きさ
、方向）に対応して反射光または透過光の偏光面が回転
する現象を利用するものである。反射光の偏光面が回転
する現象がカー効果、その回転角がカー回転角と呼ばれ
ている。

このカー効果を利用する読み出しでのＳＮ比は、性能指
数＝θにｘ　、／Ｔ　（Ｒ：反射率）に比例し、この性
能指数は光磁気記録媒体の特性に主として依存する。そ
こで、従来から、カー回転角θ８を増大し、ＳＮ比を高
めるために、種々の提案がなされてきた。

例えば、特開昭５６−１５６９４３号公報では、磁性薄
膜と透明基板との間に透明誘電体膜を介在させ、見掛は
上のカー回転角の増大を図っている。

しかしながら、従来、透明誘電体膜を形成したものであ
っても、見掛は上のカー回転角の増大の効果は一応はみ
られるものの、未だ満足するものが得られていないのが
現状であった。そして、見掛は上のカー回転角は屈折率
に依存するが、従来の光磁気記録媒体では、この屈折率
について、あまり高いものでなかった。

そこで、本発明の主たる目的は、屈折率などの光学的特
性が優れた光磁気記録媒体を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、透明基板と、膜面に垂直な方向に磁化容易
軸を有する磁性薄膜と、透明誘電体膜とを有する光磁気
記録媒体において；前記誘電体膜中に酸素が０．１ａｔ
％〜５ａｔ％含まれていることで達成される。

〔発明の具体的構成〕

以下本発明をさらに詳説する。

本発明における光磁気記録媒体は、透明基板と、膜面に
垂直な方向に磁化容易軸を有する磁性薄膜と、透明誘電
体膜とを有する構造となっている。

しかも、本発明では、特に前記透明誘電体膜中の酸素含
有率が０．１ａｔ％〜５ａｔ％とされている。

酸素含有率がこの範囲であると、理由は定かでないが、
光学的特性、特に屈折率が高く、見掛は上のカー回転角
を増大させることができる。逆に、上記範囲の上下限を
外れると、後記実施例のように、いずれも屈折率の低下
が認められる。

また、磁性薄膜についての耐食性についても、後記実施
例で示すように、透過率の経時変化を調べた場合、上記
範囲内においては、いずれも低いレベルで推移しており
、耐食性にも優れることが判る。

本発明において好適に用いることができる透明誘電体と
しては、Ａ　Ｉ　Ｎ、　５ｉＪ４．　Ａ　１．　ＳｉＮ
等の窒化物のほか、Ｃｅｐ、、、　ＭｇＦ２１　ＬａＦ
ｚ＋　ＣａＦｚ＋　ＮａＦ＋　ＺｎＳを挙げることがで
きる。

誘電体膜の膜厚としては、２００人〜２０００人が好ま
しい。

誘電体膜の形成手段としては、スパッタ法、プラズマＣ
ＶＤ法、真空蒸着法、イオンブレーティング法などを採
用できる。

本発明において、誘電体膜中の酸素含有率を調節する方
法としては、限定されないが、スパッタ法を採用するの
がよい。すなわち、誘電材としてＡＩＮを考えた場合、
ＡｆｆまたはＡＩＮをターゲットとし、このターゲット
に不活性ガスを加速衝突させる際、主として不活性ガス
中に微量の酸素を添加してその含有率を変える、あるい
は従として、スパッタリングパワー、不活性ガス圧など
を調節する方法である。

本発明の光磁気記録媒体の構造は、透明基板、磁性薄膜
、透明誘電体膜を構成要素としている限り、その順序に
限定されず、また他の機能を有する膜を含んでいてもよ
い。

たとえば、第１図のように、透明基板１、誘電体膜２、
磁性薄膜３、保護Ｎ４の順の構造、第２図のように、透
明基板１、第１誘電体膜２Ａ、磁性薄膜３、第２誘電体
膜２Ｂの順の構造、さらに、第３図のように、第２図の
構造に対して反射膜５を付加した構造などを挙げること
ができる。

本発明において用いることができる透明基板としては、
ポリメチルメタクリレ−）　（ＰＭＭＡ）、ポリカーボ
ネート、ポリ塩化ビニル、ポリイミド、ポリアミド、エ
ポキシ、三酢酸セルロース、ポリエチレ・ンテレフタレ
ート等の樹脂基板のほか、ガラスやセラミック等も挙げ
ることができる。

磁性薄膜の材質としては、希土類−遷移金属アモルファ
ス合金が一般には好ましいが、結晶体の形式であっても
よい。これらの例としては、ＧｄＦｅ。

ＴｂＦｅ、　ＧｄＣｏ、　ＤｙＦｅ、　ＧｄＴｂＦｅ、
　ＴｂＤｙＦｅ、　ＴｂＦｅＣ０゜ＧｄＴｂＣｏ、　Ｇ
ｄＴｂＦｅＣｏ、　ＧｄＦｅＢ１．　ＧｄＴｂＦｅＧｅ
　；あるいはこれらにＢｉ、　Ｓｒ、　Ｇｅ等の添加元
素が添加されたもの；ＭｎＢ１．　ＰｔＣｏ、　ＭｎＣ
ｕＢ１．　ＭｎＡｊ２Ｇｅ等がある。

磁性薄膜の厚さは２００人〜１５００人が好ましい。こ
の膜形成手段としては、誘電体膜の場合と同様でよい。

保護（オーバーコート）層としては、たとえばアクリル
系の紫外線硬化樹脂を、スピンコード法などによって形
成することによって得る。この層厚は、１〜２０μｍが
望ましい。

反射膜は、Ａ［、＾ｔｌ＋　５ｉＯｚ、　Ｃｕ、　Ａｒ
＋銅合金。

Ｆｅ合金、　Ｎｉ合金等を用い、誘電体膜の形成法と同
じ方法をもって、望ましくは５００人〜１０００人に成
膜する。

なお、本発明は、上記構造において基板が相互に外側と
なるよう貼り合せたものも含む。

〔実施例〕

次に実施例を示す。

（実施例１） ポリカーボネート基板上に第１表に示す層順序の層構造
で、磁性薄膜をスパッタリングする際に、不活性ガス中
に酸素を添加しながら、異なる酸素含有率をもつ４種の
試料を作成した。

第　　　１　　　表 誘電体膜中の酸素含有率としては、０．０５ａｔ％。

０．１ａｔ％、５ａｔ％、６ａｔ％の４種とした。

この４種の試料について、６０℃、８０％Ｒ１１の雰囲
気中での透過率（λ−８３０ｎｍ）、保磁力、カー回転
角の変化をそれぞれ測定した。

その結果、保磁力およびカー回転角については、１０’
ｈｒまで、各試料のいずれも殆んどみられなかったが、
磁性薄膜の孔食によると考えられる光透過率の変化は、
第４図の通りであった。

一方、誘電材として５ｉＪｎを選択し、スパッタリング
時に不活性ガス中の酸素添加率を変え、誘電膜を製膜し
た。スパッタリング条件としては、パワー：６００Ｗ、
不活性ガス圧（全ガス圧）＝１０　ｍＴｏｒｒとした。

かくして得た誘電体膜中の酸素含有率が異なる各試料に
ついて、その酸素含有率と屈折率ｎとの相関を調べたと
ころ、第５図の結果を得た。

（実施例２） 実施例１での誘電材Ｓｉ３Ｎ４に代え八ＩＮを用いた以
外は実施例１と同一条件で試料を作成し、各特性を測定
した。

結果をそれぞれ第６図および第７図に示した。

（実施例３） ＡＡＳｉＮ、　ＣｅＦ３．　ＭｇＦｚ、　ＬａＦ：＋＋
　ＣａＦ、　ＺｎＳについても同様な実験を行ったが、
上記各実施例と同様の結果をみた。

（考　察） 上記各結果から、誘電体膜中の酸素含有率が０．１〜５
ａｔ％の範囲内において、十分な耐食性をもつとともに
、特に屈折率が高く、したがって光学的特性に優れた光
磁気記録媒体を得ることができることが明らかである。

また、屈折率は、特に４〜５ａｔ％が優れていることも
判る。

〔発明の効果〕

以上の通り、本発明によれば、誘電体膜中の酸素含有率
を適切な範囲内に調節することにより、光学的特性、特
に屈折率に優れたものを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本発明に係る光磁気記録媒体の構造例
の断面図、第４図〜第７図は実施例での特性測定結果の
グラフである。 １・・・透明基板、２．２Ａ、２Ｂ・・・誘電体膜、３
・・・磁性薄膜、４・・・保護膜、５・・・反射膜。 特許出願人　小西六写真工業株式会社 代理人く弁理士）　永　井　義　久 第１図 乙 第２図 ］ 第３図 第４図 第５図 ０２合肩ギ（αｔ％）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）透明基板と、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有
   する磁性薄膜と、透明誘電体膜とを有する光磁気記録媒
   体において；前記誘電体膜中に酸素が０．１ａｔ％〜５
   ａｔ％含まれていることを特徴とする光磁気記録媒体。
2. （２）前記透明誘電体膜がＡｌＮ、Ｓｉ＿３Ｎ＿４、Ａ
   ｌＳｉＮ、ＣｅＦ＿３、ＭｇＦ＿２、ＬａＦ＿３、Ｃａ
   Ｆ＿２、ＮａＦ、ＺｎＳの少くとも一種以上から形成さ
   れた上記第１項記載の光磁気記録媒体。