JPS62289946A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は、結晶質と非晶質との混合相である透明誘電体
膜を有する光磁気記録媒体に関する。

〔発明の背景〕

光磁気記録は、記録密度が高い、非接触で記録読み出し
が可能、高速ランダムアクセスができる、信月の並列処
理が可能、さらに書換えもできるなどの特徴を有してい
るため、近年、特に注目されている。

光磁気記録媒体の基本的構成は、透明樹脂またはガラス
を基板とし、これに希上頓−遷移金属アモルファス合金
、たとえばＧｄＦｅやＧｄＴｂＰｅ等の磁性薄膜を設け
たものである。

周知のように、光磁気記録は、記録に際して、　　　　
　　　−熱磁気記録によって磁性薄膜にレーザー光を照
射して反転磁区を形成するとともに、読み出しに際して
は、磁性薄膜にレーザーの直線偏光を入射し、記録した
磁化状Ｂ（大きさ、方向）に対応して反射光または透過
光の偏光面が回転する現象を利用するものである。反射
光の偏光面が回転する現象がカー効果、その回転角がカ
ー回転角と呼ばれている。

このカー効果を利用する読み出しでのＳＮ比は、性能指
数−〇やｘ　ＪＷ　（Ｒ：反射率）に比例し、この性能
指数は光磁気記録媒体の特性にＬとして依存する。そこ
で、従来から、カー回転角θイを増大し、ＳＮ比を高め
るために、種々の掃案がなされできた。

例えば、特開昭５６−１５６９４３号公報では、磁性薄
膜と透明基板との間に透明誘電体膜を介在させ、見掛は
上のカー回転角の増大を図っている。

しかしながら、このようにカー回転角の増大を目的とし
て透明誘電体膜を透明基板などの上に設ける場合、従来
一般ムこ用いられている誘電材は結晶質のものであるた
め、透明基板などに対する接着性が低く、膜剥れが生じ
易いものであった。

他方、前述のように、磁性薄膜は通常酸化され易い希土
類を含む希土類−遷移金属アモルファス合金を使用して
いるため、孔食やクラックを生じ易いものであった。そ
こで、たとえば特開昭５９−１）００５２号公報では、
磁性薄膜を一方が少くとも酸素を含まない透明誘電体層
で挟持する構造を提案しているけれども、十分な耐食性
を得ることができないものであった。

そこで、本発明の主たる目的は、透明基板などに対して
透明誘電体膜が優れた接着性を示し、しかも磁性薄膜の
耐食性が向上する光磁気記録媒体を提供することにある
。

Ｃ問題点を解決するための手段〕 上記目的は、透明基板と、膜面に垂直な方向に磁化容易
軸をもつ磁性薄膜と、透明誘電体層とを含む媒体におい
て；前記透明誘電体層が結晶質と非晶質との混合相であ
ることで達成される。

〔発明の具体的構成〕

以下本発明をさらに詳説する。

本発明における光磁気記録媒体は、透明基板と、膜面に
垂直な方向に磁化容易軸を有する磁性薄膜と、透明誘電
体膜とを有する構造となっている。

しかも、本発明では、前記透明誘電体膜が結晶質と非晶
質との混合相であることに特徴を有している。

この種の光磁気記録媒体は、取扱時における膜剥れかな
いことが要求されるが、従来の誘電体膜は結晶質のもの
であるため、膜剥れが生じることがあった。これに対し
て、本発明の透明誘電体膜は、結晶質と非晶質との混合
相であるため、非晶質そのものがランダムに配列してい
るために、透明基材など接触する相手との接触面積が太
き（なるため、接着性が向上する。

また、非晶質がランダム配列であるため、酸素に対する
バリヤー性が高くなり、酸素が磁性薄膜に移行すること
を防止し、結晶質のみである従来の誘電体膜による耐食
性改善効果より高い効果が得られる。

本発明において、結晶質と非晶質との混合相である透明
誘電体膜を得る手段としては、たとえばスパッタ法の場
合、ガス圧などのスパッタ条件を適宜選択することによ
って得ることができる。また蒸着法などにおいても、蒸
着条件を変えることによって可能である。

誘電体膜が結晶質であるか、非晶質であるかはたとえば
Ｘ線回折のピーク状態などに基いて判断できる。

本発明において好適に用いることができる透明誘電体と
しては、Ａ　Ａ　ＮＩ　５Ｉ３Ｎ４１　Ａ　Ａ’　ＳＩ
Ｎ等の窒化物のほか、ＣｅＦ３．　ＭｇＦｚ＋　Ｌａ５
３．　ＣａＦｚ＋　ＮａＦ、　ＺｎＳ。

Ｓｉｎ、　Ｓｉｎ、、　Ｔｉｅ、、　Ａ　ｌ１２０３１
　Ｔａ２Ｏ３等を挙げることができる。

誘電体膜の膜厚としては、２００人〜２０００人が好ま
しい。

誘電体膜の形成手段としては、スパッタ法、プラズマＣ
ＶＤ法、真空蒸着法、イオンブレーティング法などを採
用できる。

本発明の光磁気記録媒体の構造は、透明基板、磁性薄膜
、透明誘電体膜を構成要素としている限り、その順序に
限定されず、また他の機能を有する膜を含んでいてもよ
い。

たとえば、第１図のように、透明基板１、誘電体膜２、
磁性薄膜３、保護層４の順の構造、第２図のように、透
明基板１、第１誘電体膜２Ａ、磁性薄膜３、第２誘電体
膜２Ｂの順の構造、さらに、第３図のように、第２図の
構造に対して反射膜５を付加した構造などを挙げること
ができる。

本発明において用いることができる透明基板としては、
ポリメチルメタクリレ−）　（Ｐ）’ＩＭＡ）、ポリカ
ーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリイミド、ポリアミド
、エポキシ、三酢酸セルロース、ポリエチレンテレフタ
レート等の樹脂基板のほか、ガラスやセラミック等も挙
げることができる。

磁性薄膜の材質としては、希土類−遷移金属アモルファ
ス合金が一般には好ましいが、結晶体の形式であっても
よい。これらの例としては、ＧｄＦｅ。

ＴｂＦｅ、　ＧｄＣｏ、　ＤｙＦｅ、　ＧｄＴｂＦｅ、
　ＴｂＤｙＦｅ、　ＴｂＦｅＣｏ。

ＧｄＴｂＣｏ、　ＧｃｌＴｂＦｅＣｏ、　ＧｄＦｅＢ１
．　ＧｄＴｂＦｅＧｅ　；あるいはこれらにＢｉ、　Ｓ
ｒ、　Ｇｅ等の添加元素が添加されたもの；　Ｍｎ８ｉ
、　ＰｔＣｏ、　ＭｎＣｕＢｊ、　ＭｎＡ　ｊ！　Ｇｅ
等がある。

磁性薄膜の厚さは２００人〜１５００人が好ましい。

この膜形成手段としては、誘電体膜の場合と同様でよい
。

保護（オーバーコート）層としては、たとえばアクリル
系の紫外線硬化樹脂を、スピンコード法などによって形
成することによって得る。この層厚は１〜２０μｍが望
ましい。

反射膜は、Ａｇ、　Ａ　１　、　Ｓｉｎｇ、　Ｃｕ、　
Ａｒ＋銅合金、　Ｆｅ合金、　Ｎｉ合金等を用い、誘電
体膜の形成法と同じ方法をもって、望ましくは５００人
〜１０００人に成膜する。

なお、本発明は、上記構造において基板が相互に外側と
なるよう貼り合せたものも含む。

〔実施例〕

次に実施例および比較例をもって本発明の効果を明らか
にする。

（実施例） ポリカーボネート基板／誘電体膜：　　ＣＡＩＮ　　７
８００人）／磁性薄膜（ＴｂＦｅＣｏ　；　１０００人
）／誘電体膜：（Ａｌｌ；８００人）の順の層構造の試
料を作成した。この場合の窒化アルミニウムは、Ｘ線回
折の結果、ブロードなピークを示し、結晶質と非晶質と
の混合相であることが判った。

（比較例） 実施例と同材料、層構造で試料を作成した。ただし、こ
の場合の窒化アルミニウムは、結晶質であることのみを
除いて、他の条件は実施例と同一である。

（結　果） 上記実施例および比較例の各試料について、強制劣化条
件として、６０℃×８０％ＲＨの雰囲気中に放置し、抗
磁力Ｈｅの所期のそれとの比、すなわち保磁力について
の経時変化を調べたところ、第３図の結果を得た。

この結果から、誘電体膜が結晶質の場合にあっでは保磁
力の増加が認められる、耐食性に劣るのに対して、本発
明に基く結晶質と非晶質との混合相である場合には、保
磁力の増加が認められないことが判った。

他方、カー回転角の比較を行ったが、両者に有意差がな
く、また経時変化は両者とも殆んどなかった。

さらに、磁性薄膜および第２誘電体膜の形成を行わず、
第１誘電体膜のみを形成した試料を、実施例および比較
例と同条件でそれぞれ作成した。

そして、これら試料について、ビールテストを行ったと
ころ、後者の試料については、簡単にＭｎ膜が剥れてし
まったが、前者の試料については剥れなかった。

なお、ＡＩＮ以外のものについても、上記各結果と同じ
傾向が認められた。

〔発明の効果〕

以上の通り、本発明によれば、透明誘電体膜の接着性が
向上するとともに、耐食性に優れた光磁気媒体を得るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本発明に係る媒体の層構造例の断面図
、第４図は保磁力の経時変化測定結果図である。 １・・・透明基材、２．２Ａ、２Ｂ・・・誘電体膜、３
・・・磁性薄膜、４・・・保護層、５・・・反射膜。 特許出願人　小西六写真工業株式会社 代理人　弁理士　永　　井　　義　　久盛　。 ′（１゜ カ Ｈｃ Ｈｃ。 吋　聞　（Ｈ）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）透明基板と、膜面に垂直な方向に磁化容易軸をも
   つ磁性薄膜と、透明誘電体膜とを有する媒体において； 前記透明誘電体膜が結晶質と非晶質との混合相であるこ
   とを特徴とする光磁気記録媒体。
2. （２）前記透明誘電体膜がＡｌＮ、Ｓｉ＿３Ｎ＿４、Ｓ
   ｉＯ＿２、ＳｉＯ、ＭｇＦ＿２、ＬａＦ＿３、ＣａＦ＿
   ２、ＴｉＯ＿２、ＺｎＳの一種以上からなる上記第１項
   記載の光磁気記録媒体。