JPS62292654A - ガラスセラミツクス基板用組成物 - Google Patents
ガラスセラミツクス基板用組成物Info
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- JPS62292654A JPS62292654A JP13276786A JP13276786A JPS62292654A JP S62292654 A JPS62292654 A JP S62292654A JP 13276786 A JP13276786 A JP 13276786A JP 13276786 A JP13276786 A JP 13276786A JP S62292654 A JPS62292654 A JP S62292654A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C14/00—Glass compositions containing a non-glass component, e.g. compositions containing fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like, dispersed in a glass matrix
- C03C14/004—Glass compositions containing a non-glass component, e.g. compositions containing fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like, dispersed in a glass matrix the non-glass component being in the form of particles or flakes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2214/00—Nature of the non-vitreous component
- C03C2214/04—Particles; Flakes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
3、発明の詳細な説明
[産業上の利用分野]
本発明は、低温(1000℃以下)で焼成するガラスセ
ラミックス基板用組成物に関するものである。
ラミックス基板用組成物に関するものである。
[従来の技術]
低温(1000℃以下)で焼成する基板は、多層ハイブ
リッドIC用基板として将来の伸びか期待されている。
リッドIC用基板として将来の伸びか期待されている。
この材料としてはアルミナ−ガラス粉末の組合せが基本
となっている。しかしアルミナは誘電率が9〜lOと大
きく、ガラスも、SiO2やB201含有量の少ないも
のは誘電率が大きく信号伝搬速度が遅いので、多層ハイ
ブリットIC基板用の材料としては好ましくない。
となっている。しかしアルミナは誘電率が9〜lOと大
きく、ガラスも、SiO2やB201含有量の少ないも
のは誘電率が大きく信号伝搬速度が遅いので、多層ハイ
ブリットIC基板用の材料としては好ましくない。
[発明の解決しようとする問題点]
本発明の目的は、上記問題点を解消し、低誘電率で低温
焼成可能なセラミックス基板用組成物を提供するもので
ある。
焼成可能なセラミックス基板用組成物を提供するもので
ある。
[問題点を解決するための手段]
本発明は、無機成分がガラス粉末40〜60重量%とコ
ージェライト粉末40〜60重量%とからなり、該ガラ
ス粉末は重量%表示で本質的にSiO2 30〜5
0 8203 30〜50 Al2O35〜15 RO5〜25(Rはアルカリ土類金属)(B20++S
iO2)/RO)3 からなるガラスセラミックス基板用組成物を提供するも
のである。
ージェライト粉末40〜60重量%とからなり、該ガラ
ス粉末は重量%表示で本質的にSiO2 30〜5
0 8203 30〜50 Al2O35〜15 RO5〜25(Rはアルカリ土類金属)(B20++S
iO2)/RO)3 からなるガラスセラミックス基板用組成物を提供するも
のである。
本発明の組成物の限定理由は以下の如くである。
ガラス−コージェライト組成物において。
コージェライトを40重量%以下にすると、焼成温度が
低くなり過ぎ、焼成時に発泡する傾向にある。また強度
も弱い、70重量%以上にすると十分に焼結しない、ガ
ラス組成で、5i(hやB2O3を30%以下にすると
ガラスの誘電率が丘かり、また焼成中にガラスとコージ
ェライトが反応して緻密焼結を阻害する。
低くなり過ぎ、焼成時に発泡する傾向にある。また強度
も弱い、70重量%以上にすると十分に焼結しない、ガ
ラス組成で、5i(hやB2O3を30%以下にすると
ガラスの誘電率が丘かり、また焼成中にガラスとコージ
ェライトが反応して緻密焼結を阻害する。
一方、S i02が50%を越えるとガラスの溶解性が
低下するので好ましくない、 SiO2はより好ましく
は30〜45%の範囲である。
低下するので好ましくない、 SiO2はより好ましく
は30〜45%の範囲である。
B2O3は50%を越えるとガラスの化学的安定性が低
下するので好ましくないe B2O3はより好ましくは
30〜40%の範囲である。
下するので好ましくないe B2O3はより好ましくは
30〜40%の範囲である。
Al2O3はガラスの化学的安定性を向上するために添
加する* Al2O35%未満では添加による効果が充
分に得られず、15%を越えるとガラスの溶解性が低下
するのでいずれも好ましくない、Al2O3は丘記範囲
中5〜12範囲がより好ましい。
加する* Al2O35%未満では添加による効果が充
分に得られず、15%を越えるとガラスの溶解性が低下
するのでいずれも好ましくない、Al2O3は丘記範囲
中5〜12範囲がより好ましい。
ROは、具体的にはBad、 Cab、 SrO,Mg
Oであり、これらが単独で使用し又は併用される。RO
が、 5%未満ではガラスの溶解性が低下し25%を越
えると、ガラスとコージェライトとが反応し焼結性を損
なうので好ましくない。
Oであり、これらが単独で使用し又は併用される。RO
が、 5%未満ではガラスの溶解性が低下し25%を越
えると、ガラスとコージェライトとが反応し焼結性を損
なうので好ましくない。
また、(B203+SiO2)/ROが3以下になると
ガラスとコージェライトとが反応し易くなるので好まし
くない。
ガラスとコージェライトとが反応し易くなるので好まし
くない。
本発明によるガラス粉末は、以上の成分が合計で95%
以上あればよく、残部5%までは5b203 、 A9
203等の清澄剤、Fe?03◆等の着色剤を含有する
ことができる。
以上あればよく、残部5%までは5b203 、 A9
203等の清澄剤、Fe?03◆等の着色剤を含有する
ことができる。
なお、粒度としては特に限定されるものではないが、ガ
ラス粉末は1〜5終履のものが実用的であり、コージェ
ライト粉末は0.2〜3 gtmのものが実用的である
。
ラス粉末は1〜5終履のものが実用的であり、コージェ
ライト粉末は0.2〜3 gtmのものが実用的である
。
また、L記無機組成物は通常有機バインダーと混練し所
定の粘度を有するペースト状にし、これをグリーンシー
トに成形する。次いでこのグリーンシート導体ペースト
を印刷し、これを積層して焼成する。
定の粘度を有するペースト状にし、これをグリーンシー
トに成形する。次いでこのグリーンシート導体ペースト
を印刷し、これを積層して焼成する。
[実施例]
1、表1の上段に示されるMo1−13 のガラス粉
末を常法により製造した。次いで同表の下段に示される
量のコージェライトと上記ガラス粉末を混合し組成物を
得た。なお、各試料中ガラス粉末の量はコージェライト
の残部である。
末を常法により製造した。次いで同表の下段に示される
量のコージェライトと上記ガラス粉末を混合し組成物を
得た。なお、各試料中ガラス粉末の量はコージェライト
の残部である。
次いでこれに有機バインダーとしてポリビニルブチラー
ル、可塑剤としてフタル酸ジオクチル及びポリエチレン
グリコール並びに溶剤としてトルエン及びアルコールを
添加し混練して粘度to、000〜30,0OOcps
のペーストを作成した。
ル、可塑剤としてフタル酸ジオクチル及びポリエチレン
グリコール並びに溶剤としてトルエン及びアルコールを
添加し混練して粘度to、000〜30,0OOcps
のペーストを作成した。
次いでこのペーストを約0.5mm厚のシートにした後
60〜80℃で約2時間乾燥した。次いでこのシートを
300°0 /hrの速度で昇温し、最終的には表2に
記載の焼成温度で1時間焼成し焼結シートを製造した。
60〜80℃で約2時間乾燥した。次いでこのシートを
300°0 /hrの速度で昇温し、最終的には表2に
記載の焼成温度で1時間焼成し焼結シートを製造した。
この焼結シートについて誘電率、誘電圧接、8膨張率を
測定し、その結果を表2に示した。なお1表中試料No
、1.2,4゜6.7,10.11及び 12が本発明
による組成物であり、試料No、3.5,8.9及び1
3は比較例である。
測定し、その結果を表2に示した。なお1表中試料No
、1.2,4゜6.7,10.11及び 12が本発明
による組成物であり、試料No、3.5,8.9及び1
3は比較例である。
同表より明らかなように本発明による組成物は800°
C以下の低温度で焼成でき、焼結性もよく、かつ誘電率
の小さい基板が得られる。
C以下の低温度で焼成でき、焼結性もよく、かつ誘電率
の小さい基板が得られる。
なお、表2の焼結性の○印は、焼結体の吸水率が1%以
下であることを示す。
下であることを示す。
[発明の効果]
本発明による組成物は800〜900℃で発泡のない緻
密な焼結体を得ることができるので、これをグリーンシ
ートにして、これに導体を印刷し、これを焼成して多層
回路素子を製造した場合、湿度による劣化のない信頼性
の高い素子が得られる。しかも誘電率が低いため信号伝
搬速度の速い素子が得られる。
密な焼結体を得ることができるので、これをグリーンシ
ートにして、これに導体を印刷し、これを焼成して多層
回路素子を製造した場合、湿度による劣化のない信頼性
の高い素子が得られる。しかも誘電率が低いため信号伝
搬速度の速い素子が得られる。
Claims (2)
- (1)無機成分がガラス粉末40〜60重量%とコージ
ェライト粉末40〜60重量%とからなり、該ガラス粉
末は重量%表示で本質的に SiO_2 30〜50 B_2O_3 30〜50 Al_2O_3 5〜15 RO 5〜25(Rはアルカリ土類金属)
(B_2O_3+SiO_2)/RO>3 からなるガラスセラミックス基板用組成物。 - (2)前記ガラス粉末は重量%で本質的に SiO_2 30〜45 B_2O_3 30〜40 Al_2O_3 5〜12 RO 5〜25 (B_2O_3+SiO_2)/RO>3 からなる特許請求の範囲第1項記載の組成 物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13276786A JPS62292654A (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 | ガラスセラミツクス基板用組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13276786A JPS62292654A (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 | ガラスセラミツクス基板用組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62292654A true JPS62292654A (ja) | 1987-12-19 |
Family
ID=15089076
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13276786A Pending JPS62292654A (ja) | 1986-06-10 | 1986-06-10 | ガラスセラミツクス基板用組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62292654A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01251688A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-06 | Ngk Insulators Ltd | 配線基板 |
JPH03204995A (ja) * | 1989-10-27 | 1991-09-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | セラミック多層基板の製造方法 |
EP0478971A2 (en) * | 1990-09-04 | 1992-04-08 | Aluminum Company Of America | Dielectric composition containing cordierite and glass |
FR2698092A1 (fr) * | 1992-11-19 | 1994-05-20 | Corning Inc | Corps composite fritté de matière céramique liée par du verre. |
EP0820965A1 (en) * | 1996-07-24 | 1998-01-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Inorganic composition for low temperature firing |
US5747396A (en) * | 1996-02-29 | 1998-05-05 | Tdk Corporation | Glass and ceramic substrate using the same |
JP2011057549A (ja) * | 2008-02-28 | 2011-03-24 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 点火プラグ |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58151345A (ja) * | 1982-02-26 | 1983-09-08 | Asahi Glass Co Ltd | 低誘電率ガラス組成物 |
JPS62278145A (ja) * | 1986-05-26 | 1987-12-03 | Matsushita Electric Works Ltd | ガラスセラミツク焼結体 |
-
1986
- 1986-06-10 JP JP13276786A patent/JPS62292654A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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