JPS62287596A - エレクトロルミネツセンスパネルの製造方法 - Google Patents
エレクトロルミネツセンスパネルの製造方法Info
- Publication number
- JPS62287596A JPS62287596A JP61128174A JP12817486A JPS62287596A JP S62287596 A JPS62287596 A JP S62287596A JP 61128174 A JP61128174 A JP 61128174A JP 12817486 A JP12817486 A JP 12817486A JP S62287596 A JPS62287596 A JP S62287596A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defective
- manufacturing
- electroluminescent panel
- light
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 title 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000013543 active substance Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
［産業上の利用分野］
本発明はエレクトロルミネッセンスパネルの製造方法に
関するものである。
関するものである。
エレクトロルミネッセンスパネルは発光層を上下電極で
挟み、両電極間に電圧を印加して発光層を発光させる構
造であり、大面積のパネル内に多くの発光画素を包含し
ている。そして、その内の１画素でも不良画素があれば
、その影響は他の多くの画素にも波及し、甚だしい場合
にはパネル全体が不良となることもある。
挟み、両電極間に電圧を印加して発光層を発光させる構
造であり、大面積のパネル内に多くの発光画素を包含し
ている。そして、その内の１画素でも不良画素があれば
、その影響は他の多くの画素にも波及し、甚だしい場合
にはパネル全体が不良となることもある。
特に、上下電極間をショートする如き不良においては、
不良部位に接続されている両電極間が導通状態となり、
該電極間に十分な電位差を発生させることができず、該
電極に関係する全ての発光画素に対する駆動が不能とな
ってしまう。
不良部位に接続されている両電極間が導通状態となり、
該電極間に十分な電位差を発生させることができず、該
電極に関係する全ての発光画素に対する駆動が不能とな
ってしまう。
この不良箇所の断面図を第３図（Ａ）に、その上面図を
第３図（Ｂ）に示す。
第３図（Ｂ）に示す。
図中、１はエレクトロルミネッセンスパネルの基板であ
る透明ガラス、２は透明ガラス１上に形成された透明電
極（ＩＴＯ）、３は透明電極（ＩＴＯ）上に真空蒸着法
、分子線エピタキシャル法等によりＺｎ５ｅまたはＺｎ
Ｓ等の半導体層中に発光中心となる活性物質Ｍｎをドー
プした発光層、４は発光層３上に真空蒸着法により形成
されたＡ党電極である。
る透明ガラス、２は透明ガラス１上に形成された透明電
極（ＩＴＯ）、３は透明電極（ＩＴＯ）上に真空蒸着法
、分子線エピタキシャル法等によりＺｎ５ｅまたはＺｎ
Ｓ等の半導体層中に発光中心となる活性物質Ｍｎをドー
プした発光層、４は発光層３上に真空蒸着法により形成
されたＡ党電極である。
５は図示の如く、発光層３に欠陥があり、上下電極間が
ショート状態となった不良部位である。
ショート状態となった不良部位である。
この不良部位は、例えば発光層３に成長時に生じたピン
ホール部や結晶粒界による空隙部があった場合等に、上
部電極４を形成する時にこのピンホール部や空隙部にも
電極材料であるＡＡが侵入してしまうために発生する。
ホール部や結晶粒界による空隙部があった場合等に、上
部電極４を形成する時にこのピンホール部や空隙部にも
電極材料であるＡＡが侵入してしまうために発生する。
このため、両電極間がショート状態となり、充分な電位
差が得られず、両電極で挟まれた画素は発光しない。又
、大面積にわたって不良箇所無しに画素を形成すること
は難しかった。
差が得られず、両電極で挟まれた画素は発光しない。又
、大面積にわたって不良箇所無しに画素を形成すること
は難しかった。
［発明の目的］
本発明は上述した従来の技術の問題点に鑑みなされたも
ので、パネルの製造工程中に発生する不良部位を焼断分
離することにより、パネル全体が広範囲に渡って不良と
なることのない、不良率の低減したエレクトロルミネッ
センスパネルの製造方法を提供することを目的とする。
ので、パネルの製造工程中に発生する不良部位を焼断分
離することにより、パネル全体が広範囲に渡って不良と
なることのない、不良率の低減したエレクトロルミネッ
センスパネルの製造方法を提供することを目的とする。
［発明の１１η成コ
本発明の上記目的は以下の構成により達成される。
即ち、エレクトロルミネッセンスパネルの製造工程にお
いて発生する該パネルの不良部位をレーザ光により焼断
して分離するエレクトロルミネッセンスパネルの製造方
法により達成される。
いて発生する該パネルの不良部位をレーザ光により焼断
して分離するエレクトロルミネッセンスパネルの製造方
法により達成される。
［実施例］
以下、図面を参照して本発明に係る一実施例を詳細に説
明する。
明する。
第１図（Ａ）は第３図（Ａ）に示した不良部位５を含む
部位をレーザで１０の如く焼断除去してショート状態を
解除した例であり１．このレーザでショート状態を解除
した状態の上面図を第１図（Ｂ）に示す。なお、焼断深
さは、少なくとも上部電極４のショート部を焼断できる
深さとすればよい。
部位をレーザで１０の如く焼断除去してショート状態を
解除した例であり１．このレーザでショート状態を解除
した状態の上面図を第１図（Ｂ）に示す。なお、焼断深
さは、少なくとも上部電極４のショート部を焼断できる
深さとすればよい。
この不良部位の発見はパネルを製造し、続く検査工程で
行なわれる。例えば、両電極間に低電位の電圧を印加し
、正常な電位差が得らえるか否かを調べ、正常な電位差
が得られない場合には当該電極間にショート箇所がある
ものと判別する。そして両電極間の対峙する箇所を顕微
鏡観察により発見する。
行なわれる。例えば、両電極間に低電位の電圧を印加し
、正常な電位差が得らえるか否かを調べ、正常な電位差
が得られない場合には当該電極間にショート箇所がある
ものと判別する。そして両電極間の対峙する箇所を顕微
鏡観察により発見する。
また、以上の説明は不良部位５自身を焼断、除去する例
について行なったが、本発明はこれに限るものではなく
、例えば第２図（Ａ）の断面図及び第２図（Ｂ）の上面
図に示す様に、レーザで不良部位５を囲む様に焼断し、
ショート部分を正常部分より仕口させてもよい。ここで
５は不良部位、１１はレーザによる焼断部位を示す。
について行なったが、本発明はこれに限るものではなく
、例えば第２図（Ａ）の断面図及び第２図（Ｂ）の上面
図に示す様に、レーザで不良部位５を囲む様に焼断し、
ショート部分を正常部分より仕口させてもよい。ここで
５は不良部位、１１はレーザによる焼断部位を示す。
本例によれば、焼断深さは上部電極４の厚さ以上であれ
ばよい。
ばよい。
本発明のエレクトロルミネッセンスパネルにおける製造
方法は上記実施例の外に、例えば二重絶縁型のエレクト
ロルミネッセンスパネルであっても、上下電極が対峙し
ている構造の全てに応用することができる。
方法は上記実施例の外に、例えば二重絶縁型のエレクト
ロルミネッセンスパネルであっても、上下電極が対峙し
ている構造の全てに応用することができる。
以上説明した様に本実施例によれば、従来は一部にのみ
不良箇所があっても、パネル全体を不良としていたが、
不良部位のみを除去するため、除去部が非発光となるの
みで済み、大容量の表示パネルであっても歩留まりよく
製造することができる。
不良箇所があっても、パネル全体を不良としていたが、
不良部位のみを除去するため、除去部が非発光となるの
みで済み、大容量の表示パネルであっても歩留まりよく
製造することができる。
［発明の効果コ
以上説明した様に本発明によれば、非常に高い歩留まり
でエレクトロルミネッセンスパネルを製造できる。
でエレクトロルミネッセンスパネルを製造できる。
第１図（Ａ）は本発明に係る一実方孤例による不良部位
除去例を示す断面図、 第１図（Ｂ）は第１図（Ａ）の上面図、第２図（Ａ）は
本発明に係る他の実施例による不良部位除去例を示す断
面図、 第２図（Ｂ）は第２図（Ａ）の上面図、第３図（Ａ）は
エレクトロルミネッセンスパネルの不良部位を示す断面
図、 第３図（Ｂ）は第３図（Ａ）の上面図である。 図中、１・・・ガラス、２・・・透明下部電極、３・・
・発光層、４・・・上部電極、５・・・不良部位、１０
．１１・・・レーザ光による焼断除去箇所である。 特許出願人 コーア株式会社 （他２名） 代理人 弁理士 犬 塚 康 徳ｒマー−、 り 第３図 （Ｂ） 第１図 （Ａ） ＋１”１ 第２図 （Ａ） （Ｂ） （Ｂ）
除去例を示す断面図、 第１図（Ｂ）は第１図（Ａ）の上面図、第２図（Ａ）は
本発明に係る他の実施例による不良部位除去例を示す断
面図、 第２図（Ｂ）は第２図（Ａ）の上面図、第３図（Ａ）は
エレクトロルミネッセンスパネルの不良部位を示す断面
図、 第３図（Ｂ）は第３図（Ａ）の上面図である。 図中、１・・・ガラス、２・・・透明下部電極、３・・
・発光層、４・・・上部電極、５・・・不良部位、１０
．１１・・・レーザ光による焼断除去箇所である。 特許出願人 コーア株式会社 （他２名） 代理人 弁理士 犬 塚 康 徳ｒマー−、 り 第３図 （Ｂ） 第１図 （Ａ） ＋１”１ 第２図 （Ａ） （Ｂ） （Ｂ）
Claims (3)
- （１）基板上に下部電極、発光層、上部電極を積重して
エレクトロルミネツセンスパネルを製作するパネル製造
工程と、該工程において発生する前記発光層における電
極間の短絡を検出する検査工程と、該検査工程により発
見された不良部位を前記上部電極側よりレーザ光によつ
て焼断分離する工程より成ることを特徴とするエレクト
ロルミネツセンスパネルの製造方法。 - （２）不良部位の分離は不良部位自身を焼断除去して行
なうことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のエレ
クトロルミネツセンスパネルの製造方法。 - （３）不良部位の分離は不良部位周囲を囲む形で焼断し
て行なうことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
エレクトロルミネツセンスパネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61128174A JPS62287596A (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | エレクトロルミネツセンスパネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61128174A JPS62287596A (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | エレクトロルミネツセンスパネルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62287596A true JPS62287596A (ja) | 1987-12-14 |
Family
ID=14978240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61128174A Pending JPS62287596A (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | エレクトロルミネツセンスパネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62287596A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006502545A (ja) * | 2002-10-09 | 2006-01-19 | サン−ゴバン グラス フランス | 電気化学素子内に含まれる点欠陥を除去する方法 |
| JP2007066904A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Samsung Sdi Co Ltd | 有機電界発光表示装置及びその製造方法 |
| JP2009064607A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Sony Corp | 有機発光表示装置のリペア方法 |
| JP2010050081A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-03-04 | Samsung Mobile Display Co Ltd | 有機発光表示装置及びその製造方法 |
| US8432096B2 (en) | 2006-12-05 | 2013-04-30 | Sharp Kabushiki Kaisha | Single-color EL element, single-color EL backlight, display device, and method for manufacturing single-color EL element |
| JP2013114748A (ja) * | 2011-11-24 | 2013-06-10 | Panasonic Corp | 有機ｅｌ素子の製造方法 |
| JP2013114749A (ja) * | 2011-11-24 | 2013-06-10 | Panasonic Corp | 有機ｅｌ素子の製造方法 |
| US11910696B2 (en) * | 2020-11-09 | 2024-02-20 | Jdi Design And Development G.K. | Self-luminous display panel and self-luminous display panel manufacturing method |
-
1986
- 1986-06-04 JP JP61128174A patent/JPS62287596A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006502545A (ja) * | 2002-10-09 | 2006-01-19 | サン−ゴバン グラス フランス | 電気化学素子内に含まれる点欠陥を除去する方法 |
| KR101122635B1 (ko) * | 2002-10-09 | 2012-03-09 | 쌩-고벵 글래스 프랑스 | 적층물 내에 있는 결함을 제거하는 방법 및 글레이징 |
| JP2007066904A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Samsung Sdi Co Ltd | 有機電界発光表示装置及びその製造方法 |
| US7839077B2 (en) | 2005-08-30 | 2010-11-23 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Organic light emitting display and method of fabricating the same |
| US8432096B2 (en) | 2006-12-05 | 2013-04-30 | Sharp Kabushiki Kaisha | Single-color EL element, single-color EL backlight, display device, and method for manufacturing single-color EL element |
| JP2009064607A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Sony Corp | 有機発光表示装置のリペア方法 |
| US7955151B2 (en) | 2007-09-05 | 2011-06-07 | Sony Corporation | Method of repairing bright spot defect of organic light-emitting display |
| JP2010050081A (ja) * | 2008-08-20 | 2010-03-04 | Samsung Mobile Display Co Ltd | 有機発光表示装置及びその製造方法 |
| US8258692B2 (en) | 2008-08-20 | 2012-09-04 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Organic light emitting diode display and method for manufacturing the same |
| JP2013114748A (ja) * | 2011-11-24 | 2013-06-10 | Panasonic Corp | 有機ｅｌ素子の製造方法 |
| JP2013114749A (ja) * | 2011-11-24 | 2013-06-10 | Panasonic Corp | 有機ｅｌ素子の製造方法 |
| US11910696B2 (en) * | 2020-11-09 | 2024-02-20 | Jdi Design And Development G.K. | Self-luminous display panel and self-luminous display panel manufacturing method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6747728B2 (en) | Luminescent display and a method producing the same | |
| JPH0950888A (ja) | 有機エレクトロルミネセンス素子 | |
| KR20030067144A (ko) | 유기전자 발광소자와, 이의 기판 및 그 절단방법 | |
| JP2005258423A (ja) | 平板表示装置および平板表示装置の製造方法 | |
| KR20020025917A (ko) | 유기 전계발광 소자 제조 방법 | |
| JPS62287596A (ja) | エレクトロルミネツセンスパネルの製造方法 | |
| DE69811439T2 (de) | Organische Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtung | |
| CN100406968C (zh) | 液晶显示装置及其制造方法 | |
| US7394195B2 (en) | Organic EL display device and substrate for the same | |
| CN101340747A (zh) | 制造显示装置的方法以及显示装置 | |
| JP2000012238A (ja) | 有機ｅｌ素子、有機ｅｌ素子製造用マスク及び有機ｅｌ素子の製造方法 | |
| JP3968519B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
| JP2000200053A (ja) | 表示素子用基板の製造方法及び表示素子用基板 | |
| JP2812346B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
| JP2007149460A (ja) | 有機ｅｌ装置の製造方法 | |
| JP4220254B2 (ja) | ディスプレイパネル用の電極の作製方法 | |
| JP3128538B2 (ja) | 有機電界発光装置の製造方法 | |
| JP4560306B2 (ja) | 有機ｅｌ表示素子用基板及び有機ｅｌ表示素子の製造方法 | |
| JP3870591B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板と有機エレクトロルミネッセンス表示素子の製造方法 | |
| JP2000243554A (ja) | 発光ディスプレイパネルおよびその製造方法 | |
| KR100414055B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널 소자의 상판 구조 및 그 제조방법 | |
| JP2007095458A (ja) | 有機ｅｌパネル用基板、有機ｅｌパネルの検査方法及び有機ｅｌ表示装置の製造方法 | |
| JP2001118440A (ja) | 透明導電膜の形成方法 | |
| KR100590251B1 (ko) | 평판 표시 장치 패널의 제조 방법 및 그에 사용되는 절연기판 | |
| KR20030086821A (ko) | 서브 픽셀 형성을 위한 유기 전계 발광 표시 소자의 제조방법 |