JP3128538B2 - 有機電界発光装置の製造方法 - Google Patents
有機電界発光装置の製造方法Info
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- JP3128538B2 JP3128538B2 JP09359755A JP35975597A JP3128538B2 JP 3128538 B2 JP3128538 B2 JP 3128538B2 JP 09359755 A JP09359755 A JP 09359755A JP 35975597 A JP35975597 A JP 35975597A JP 3128538 B2 JP3128538 B2 JP 3128538B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機物質の電界発
光（エレクトロ・ルミネッセンス：ＥＬ）現象を利用し
た有機電界発光装置の製造方法に関する。
光（エレクトロ・ルミネッセンス：ＥＬ）現象を利用し
た有機電界発光装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】電界発光素子としては有機電界発光素子
と無機電界発光素子とが知られており、殊に有機電界発
光素子は低電圧駆動が可能なため、近年ディスプレイと
して使われるようになってきた。
と無機電界発光素子とが知られており、殊に有機電界発
光素子は低電圧駆動が可能なため、近年ディスプレイと
して使われるようになってきた。
【０００３】この有機電界発光素子をディスプレイとし
て用いたときのその表示装置の断面図を図３に示し、更
にこの図のＡ−Ａ断面を図４に示す。
て用いたときのその表示装置の断面図を図３に示し、更
にこの図のＡ−Ａ断面を図４に示す。
【０００４】ガラス基板１上には、図３の紙面に対して
垂直方向に、帯状に第１電極である複数の透明電極２が
それぞれ平行に形成され、この電極２を含む基板１上全
面には有機電界発光層７が積層形成される。更にこの有
機電界発光層７上には、透明電極２と交差するように複
数の第２電極である背面電極６が形成され、これらが互
いに正対することで１つのＥＬセルを形成し、これが１
絵素となっている。
垂直方向に、帯状に第１電極である複数の透明電極２が
それぞれ平行に形成され、この電極２を含む基板１上全
面には有機電界発光層７が積層形成される。更にこの有
機電界発光層７上には、透明電極２と交差するように複
数の第２電極である背面電極６が形成され、これらが互
いに正対することで１つのＥＬセルを形成し、これが１
絵素となっている。
【０００５】ここで、有機電界発光層７は、有機質ホー
ル注入輸送層３、発光層４、及び有機質電子注入輸送層
５が順次積層形成されたものとなっている。
ル注入輸送層３、発光層４、及び有機質電子注入輸送層
５が順次積層形成されたものとなっている。
【０００６】なお、透明電極２は酸化インジウム錫（Ｉ
ＴＯ）、酸化錫（ＳｎＯ２）等からなり、有機質ホール
注入輸送層３はＮ、Ｎ´−Ｄｉｐｈｅｎｙｌ−Ｎ、Ｎ´
−ｂｉｓ（３ｍｅｔｈｙｌｐｈｅｎｙｌ）−１、１´−
ｂｉｐｈｅｎｙｌ−４、４´−ｄｉａｍｉｎｅ（通称Ｔ
ＰＤ）からなり、発光層４は１２−ｐｈｔｈａｌｏｐｅ
ｒｉｎｏｎｅ ｄｅｒｉｖａｔｉｖｅ（通称フタロペリ
ノン誘導体）からなり、有機質電子注入輸送層５は３、
４、９、１０−ｐｅｒｙｌｅｎｅ ｔｅｔｒａｃａｒｂ
ｏｘｙｌｉｃ−ｂｉｓ ｂｅｎｚｉｍｉｄａｚｏｌｅ
（通称ＰＶ）からなり、また背面電極６はＭｇＩｎから
なっている。
ＴＯ）、酸化錫（ＳｎＯ２）等からなり、有機質ホール
注入輸送層３はＮ、Ｎ´−Ｄｉｐｈｅｎｙｌ−Ｎ、Ｎ´
−ｂｉｓ（３ｍｅｔｈｙｌｐｈｅｎｙｌ）−１、１´−
ｂｉｐｈｅｎｙｌ−４、４´−ｄｉａｍｉｎｅ（通称Ｔ
ＰＤ）からなり、発光層４は１２−ｐｈｔｈａｌｏｐｅ
ｒｉｎｏｎｅ ｄｅｒｉｖａｔｉｖｅ（通称フタロペリ
ノン誘導体）からなり、有機質電子注入輸送層５は３、
４、９、１０−ｐｅｒｙｌｅｎｅ ｔｅｔｒａｃａｒｂ
ｏｘｙｌｉｃ−ｂｉｓ ｂｅｎｚｉｍｉｄａｚｏｌｅ
（通称ＰＶ）からなり、また背面電極６はＭｇＩｎから
なっている。
【０００７】前述の装置において、ガラス基板１上の透
明電極２の層厚は約１０００Åであり、この電極２を含
む基板１上全面には層厚が１０００〜１５００Åの有機
電界発光層７が積層形成される。
明電極２の層厚は約１０００Åであり、この電極２を含
む基板１上全面には層厚が１０００〜１５００Åの有機
電界発光層７が積層形成される。
【０００８】有機電界発光表示装置を駆動させるには、
任意の絵素に対応する電極間に１０〜２０Ｖ程度の電圧
を印加すればよく、このとき有機質電子注入輸送層５か
ら発光層４に注入された電子が、発光層４中で、有機質
ホール注入輸送層３から発光層４に注入されたホールと
再結合することによって絵素が発光する。
任意の絵素に対応する電極間に１０〜２０Ｖ程度の電圧
を印加すればよく、このとき有機質電子注入輸送層５か
ら発光層４に注入された電子が、発光層４中で、有機質
ホール注入輸送層３から発光層４に注入されたホールと
再結合することによって絵素が発光する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
表示装置においては、透明電極２の層厚に比較して、有
機電界発光層７の層厚がそれ程厚くないため、有機電界
発光層７を特に真空蒸着法などのドライプロセスで積層
形成した場合には、その有機電界発光層７の表面に凹凸
が生じ、透明電極２のエッジ部において、背面電極６と
の間に挟まれる有機電界発光層７（図３中のＮ部）の層
厚が薄くなる。
表示装置においては、透明電極２の層厚に比較して、有
機電界発光層７の層厚がそれ程厚くないため、有機電界
発光層７を特に真空蒸着法などのドライプロセスで積層
形成した場合には、その有機電界発光層７の表面に凹凸
が生じ、透明電極２のエッジ部において、背面電極６と
の間に挟まれる有機電界発光層７（図３中のＮ部）の層
厚が薄くなる。
【００１０】この結果、絵素の領域のうち、特に層厚の
薄いＮ部では、有機電界発光層７の層厚が厚く抵抗が大
きいＭ部より大きな電流が流れ、有機電界発光層７のＮ
部のみが明るく発光するようになり、耐電圧性が低下す
る。
薄いＮ部では、有機電界発光層７の層厚が厚く抵抗が大
きいＭ部より大きな電流が流れ、有機電界発光層７のＮ
部のみが明るく発光するようになり、耐電圧性が低下す
る。
【００１１】更に、背面電極６表面にも凹凸が生じ、凸
部が損傷を受けたり、亀裂が入ったりする。
部が損傷を受けたり、亀裂が入ったりする。
【００１２】したがって、本発明の有機電界発光装置の
製造方法は、上記の問題に鑑み為されたものであって、
第１電極と第２電極とに挟まれる絵素の領域全面にわた
って均一な発光が安定して得られるようになると共に、
第２電極が損傷を受けることがない有機電界発光装置を
提供することを目的とする。
製造方法は、上記の問題に鑑み為されたものであって、
第１電極と第２電極とに挟まれる絵素の領域全面にわた
って均一な発光が安定して得られるようになると共に、
第２電極が損傷を受けることがない有機電界発光装置を
提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の有機電界発光装
置の製造方法は、絶縁基板の主面上に複数の第１電極を
帯状に離間形成する第１の工程と、前記第１電極を直接
的に覆い且つ前記第１電極の隣接間隔部の上面に、絶縁
物により共通面を形成する第２の工程と、前記共通面を
プラズマエッチングして、前記第１電極の表面を露出さ
せ且つ該表面と前記プラズマエッチングされた絶縁物と
で平坦面を形成する第３の工程と、前記平坦面の上に、
有機電界発光層を形成する第４の工程と、前記有機電界
発光層の上に、第２電極を構成する第５の工程とからな
ることを特徴とする。また、前記絶縁物は、ポリイミド
からなることを特徴とする。
置の製造方法は、絶縁基板の主面上に複数の第１電極を
帯状に離間形成する第１の工程と、前記第１電極を直接
的に覆い且つ前記第１電極の隣接間隔部の上面に、絶縁
物により共通面を形成する第２の工程と、前記共通面を
プラズマエッチングして、前記第１電極の表面を露出さ
せ且つ該表面と前記プラズマエッチングされた絶縁物と
で平坦面を形成する第３の工程と、前記平坦面の上に、
有機電界発光層を形成する第４の工程と、前記有機電界
発光層の上に、第２電極を構成する第５の工程とからな
ることを特徴とする。また、前記絶縁物は、ポリイミド
からなることを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の第１の有機電界発光装置
の製造（形成）工程を図１（ａ）〜（ｄ）に示し、従来
と同一機能を有する構成には同一番号を付している。
の製造（形成）工程を図１（ａ）〜（ｄ）に示し、従来
と同一機能を有する構成には同一番号を付している。
【００１５】図１（ａ）に示す様に、ガラス基板１上に
帯状（紙面に対し垂直方向）に複数の透明電極２をそれ
ぞれ平行にパターニング形成する。
帯状（紙面に対し垂直方向）に複数の透明電極２をそれ
ぞれ平行にパターニング形成する。
【００１６】次に、図１（ｂ）に示す様に、透明電極２
を含むガラス基板１上全面に層厚１μｍのポリイミド層
８をキャスティング法により形成し、この後、ポリイミ
ド層８の表面を透明電極２が現れるまで、プラズマエッ
チングすると、その表面は図１（ｃ）の様な平坦面とな
る。
を含むガラス基板１上全面に層厚１μｍのポリイミド層
８をキャスティング法により形成し、この後、ポリイミ
ド層８の表面を透明電極２が現れるまで、プラズマエッ
チングすると、その表面は図１（ｃ）の様な平坦面とな
る。
【００１７】この後、図１（ｄ）に示すように、平坦面
上全面に有機電界発光層７を形成した後、この有機電界
発光層７上に背面電極６を透明電極２に交差するように
真空蒸着法により形成する。
上全面に有機電界発光層７を形成した後、この有機電界
発光層７上に背面電極６を透明電極２に交差するように
真空蒸着法により形成する。
【００１８】このように、ポリイミド層８が隣接する透
明電極２間の凹所を埋めることによって、透明電極２間
の凹所と透明電極２との表面は面一致となり、このポリ
イミド層８並びに透明電極２上全面に順次有機電界発光
層７及び背面電極６を積層形成しても、これらの表面は
凹凸とはならないと共に、有機電界発光層７において均
一な層厚を得ることができる。
明電極２間の凹所を埋めることによって、透明電極２間
の凹所と透明電極２との表面は面一致となり、このポリ
イミド層８並びに透明電極２上全面に順次有機電界発光
層７及び背面電極６を積層形成しても、これらの表面は
凹凸とはならないと共に、有機電界発光層７において均
一な層厚を得ることができる。
【００１９】従って、有機電界発光装置を駆動させる場
合でも、電極形状に一致した、均一な発光が得られ、更
に背面電極６の表面が損傷を受けることはなくなる。
合でも、電極形状に一致した、均一な発光が得られ、更
に背面電極６の表面が損傷を受けることはなくなる。
【００２０】ここで、前述の実施の形態では、透明電極
２間の凹所内をポリイミド層８で埋めたが、これに限ら
れることはなく、絶縁物であればよい。
２間の凹所内をポリイミド層８で埋めたが、これに限ら
れることはなく、絶縁物であればよい。
【００２１】他方、図２には第２の有機電界発光装置を
示す。第１の表示装置と異なるところは、ポリイミド層
８を用いないで、有機電界発光層７の層厚を均一にして
いる点である。
示す。第１の表示装置と異なるところは、ポリイミド層
８を用いないで、有機電界発光層７の層厚を均一にして
いる点である。
【００２２】即ち、ガラス基板１の主面上に帯状の凹所
を離間形成し、上記主面と共に平坦面を形成するように
凹所内に透明電極２を形成した後、この電極２を含みガ
ラス基板１上全面に平坦な有機電界発光層７を形成し、
この有機電界発光層７上に透明電極２と交差するように
背面電極６を形成している。
を離間形成し、上記主面と共に平坦面を形成するように
凹所内に透明電極２を形成した後、この電極２を含みガ
ラス基板１上全面に平坦な有機電界発光層７を形成し、
この有機電界発光層７上に透明電極２と交差するように
背面電極６を形成している。
【００２３】ここで、前述の実施の形態では、有機電界
発光層７が、いわゆる３層構造のもののみしか述べてい
ないが、有機質ホール注入輸送層３、発光層４からなる
２層構造のものでもよい。
発光層７が、いわゆる３層構造のもののみしか述べてい
ないが、有機質ホール注入輸送層３、発光層４からなる
２層構造のものでもよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明の有機電界発光装置の製造方法に
よれば、有機電界発光層が平坦面上に形成されるので、
その全面に亘って層の厚さが均一となり、均一な発光が
安定して得られる。更に、厚さの均一な有機電界発光層
の上に、第２電極が形成されるので、凹凸に起因する第
２電極が損傷するという虞も無くなる等の効果を奏す
る。
よれば、有機電界発光層が平坦面上に形成されるので、
その全面に亘って層の厚さが均一となり、均一な発光が
安定して得られる。更に、厚さの均一な有機電界発光層
の上に、第２電極が形成されるので、凹凸に起因する第
２電極が損傷するという虞も無くなる等の効果を奏す
る。
【図１】本発明における第１の有機電界発光装置の作製
工程図である。
工程図である。
【図２】本発明における第２の有機電界発光装置の断面
図である。
図である。
【図３】従来の有機電界発光装置の断面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。
１…ガラス基板 ２…透明電極 ６…背面電極 ７…有機電界発光層 ８…絶縁物
フロントページの続き (72)発明者 黒木 和彦 大阪府守口市京阪本通２丁目５番５号 三洋電機株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−91385（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−185607（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−219776（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−162684（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−4484（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−213291（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−115693（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】 絶縁基板の主面上に複数の第１電極を帯
状に離間形成する第１の工程と、 前記第１電極を直接的に覆い且つ前記第１電極の隣接間
隔部の上面に、絶縁物により共通面を形成する第２の工
程と、 前記共通面をプラズマエッチングして、前記第１電極の
表面を露出させ且つ該表面と前記プラズマエッチングさ
れた絶縁物とで平坦面を形成する第３の工程と、 前記平坦面の上に、有機電界発光層を形成する第４の工
程と、 前記有機電界発光層の上に、第２電極を構成する第５の
工程とからなることを特徴とする有機電界発光装置の製
造方法。 - 【請求項２】 前記絶縁物は、ポリイミドからなること
を特徴とする請求項１記載の有機電界発光装置の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09359755A JP3128538B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 有機電界発光装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09359755A JP3128538B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 有機電界発光装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10172764A JPH10172764A (ja) | 1998-06-26 |
| JP3128538B2 true JP3128538B2 (ja) | 2001-01-29 |
Family
ID=18466136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09359755A Expired - Fee Related JP3128538B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 有機電界発光装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3128538B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04118331A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-04-20 | Kenji Takahashi | 車輛に於いて出された方向指示信号を自動的に解除する方向指示装置 |
| KR101793028B1 (ko) * | 2017-06-23 | 2017-11-02 | (주)데코엘 | 교체성 및 안정성을 겸비한 엘이디 도로 교통안전 표지판 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6106352A (en) * | 1998-03-18 | 2000-08-22 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method for fabrication of organic electroluminescent device |
| KR20010091194A (ko) * | 2000-03-14 | 2001-10-23 | 서승정 | 식각처리된 투명전극을 이용한 분산형 전계발광램프 |
| JP2009048814A (ja) * | 2007-08-16 | 2009-03-05 | Nec Lighting Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス照明装置及びその製造方法 |
-
1997
- 1997-12-26 JP JP09359755A patent/JP3128538B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04118331A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-04-20 | Kenji Takahashi | 車輛に於いて出された方向指示信号を自動的に解除する方向指示装置 |
| KR101793028B1 (ko) * | 2017-06-23 | 2017-11-02 | (주)데코엘 | 교체성 및 안정성을 겸비한 엘이디 도로 교통안전 표지판 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10172764A (ja) | 1998-06-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081110 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081110 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |