JPS62287135A - 電極パタ−ンの検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エ
レクトロルミ７センスデイスプレイ、エレクトロクロミ
ックディスプレイなどの画像表示装置に用いる電極のよ
うに絶縁性を有する）ｉ：板上に規則正しく配列された
電極パターンにおいて生した７Ｓ、極の断線や短絡を検
査する方法に関する。

（従来技術） 従来、上記したような電極パターンの検査には、前記電
極バクーンの各電極毎または隣接する電極毎の電気抵抗
を測定し、その測定結果から電極の断線や短絡の有無を
判定する電気的な検査方法、前記電極パターンの各電極
を裸眼もしくは顕微鏡などにより単に視覚的に検査する
方法、または前記電極パターンをする像し、その撮像さ
れた画像情報に基づいて画像処理的な手段を応用し自動
検査する方法などが用いられている。

（発明が解決しようとする問題点） 従来の電気抵抗測定による検査方法によれば、前記電極
パターンの各端子にプローブカードと称される電気抵抗
測定用の端子群を接触させ電極の両端間および隣接した
電極間の電気抵抗値を測定し、該電気抵抗値から該電極
の断線や短絡を判定するものであり、前記電極パターン
の形成されている基板を単位に前記プローブカードを正
しい位置に接続するという煩雑な作業と各電極毎に電気
抵抗を測定し、その測定結果を判断する必要性があり、
その検査には多大な時間を要することや専用の高価な検
査装置を必要とするという問題点がある。

また、視覚的に検査する方法によれば、多数の電極から
構成されている電極パターンの中から極めて微小な領域
において生した短絡や断線を発見することは困Ｈなこと
であり、信頼性や検査精度に欠けるという問題点がある
。

前記画像処理的な手段を応用したとしても電気的に短絡
や断線の生じている部分を正画に見出すことは困難であ
り、さらに装置も複雑で、かつ高価なものを必要とする
などの問題点かあそこで、本発明は前記電極パターンの
中に生じた断線や短絡の箇所を視覚的に発見し易くする
方法の提供を目的とする。

（発明の構成〕 （問題点を解決するための手段） 本発明は、絶縁基板上に形成された電極パターンから成
る製品の電極部の端部に電気泳動電着用電源を接続し、
前記電極パターンを電着浴に漬は電気泳動電着法により
色素を電着する手段と、前記電極パターンの下地との色
相の違い又は色素の電着された電極の色相パターンの乱
れを視覚的に認識し検査する手段とを設け、上記した目
的を達成したものである。

（作　用） 上記した色素を電着する手段において、前記電極パター
ンの全ての電極に対して同一の色素を用いて電着を行っ
た場合、前記電極パターン中で断線箇所を有する電極の
断、線部以降の電気的に孤立した電極部分のみ色素が電
着されないため、他の色素が電着された電極との間に色
相の違いが生し、目視検査により該断線箇所を発見する
ことができる。

そして、上記した色素を電着する手段において、前記電
極パターンの各電極毎に互い違いに色の異なった色素を
用いて電着を行った場合、前記電極バクーン中の隣合う
電極間に短絡箇所がある電極部は、前記色の異なった色
素が重なって電着されることによって欠陥のない電極部
との間の色相パターンの規則性に乱れが生し、目視検査
により該短絡箇所を容易に発見することができる。断線
箇所についても断線部以降の電気的に孤立した電極部分
には前記色素のいずれも電着されないため、他の電着さ
れた電極との間に色相の違いが生し、目視検査により容
易に発見することができる。

以上説明したように、本発明は色素を電気泳動法により
電着することによって、電極パターンの中に生じた断線
や短絡の箇所を視覚的（こ認識し易くするという作用を
有する。

さらに、また、検査の作業性や信頼性を向上させるとい
う作用も奏するものである。

（実　施　例） 以下、本発明を図示する実施例にもとづいて、さらに詳
しく説明する。

第１図および第３図は画像表示装置に用いる電極パター
ンの一例で、１はガラス基板、５は前記ガラス基板ｌの
上に透明専心性薄膜２１をパターンニングして形成した
電極部、９は端子部、そして破線に挟まれた部分２０ｆ
よ色素を電気泳動法により電着（以下、単に電着と記す
ンさせるために電着浴に浸漬した領域を示す。

第１図は前記電極パターンの中に断線部が存在する場合
の一例を、そして第３図は前記電極パターンの中に短絡
部が存在する場合の一例を示しており、第２図および第
４図（ａｌ　（ｂｌは第１図および第３図の断面図の一
部である。

電極パターンのＵＴ線検査の実施例について第１図およ
び第２区を用いて説明する。第１図において、電極パタ
ーンのすべての端子部９を電着用電源の所定の極に接続
し、電極部５を赤色電着用の電着浴に浸し、通電するこ
とによって電極部５の表面に赤色電着が施される。　と
ころが、断線部６のような断線があると該断線箇所から
先に電流が流れず赤色の色素が電着されない電極部８が
生ずる。第２図に示されるように本実施例では電着され
ないＴＬ電極部の表面は透明導電性薄膜２１が露出して
いるのに対して電着された［極部７　（斜線部）は赤色
電着層３で被われているため、両電極部の間に色相の相
違が生じ、多数の電極から成る電極パターンの中から目
視で容易に断線部６を見出すことができる。

次に、電極パターンの短絡検査の実施例について第３図
および第４図ｆａｔ　ｆｂｌを用いて説明する。

第３図において、電極パターンの各電極毎に互い違いに
色の異なった色素を用いて電着を施すために、本実施例
では、まず、端子部９に対して交互に赤色電着用電源の
所定の極を接続し、電極部５を赤色電着用の電着浴に浸
し、ａ電することによって、交互に電極部５の表面に赤
色電着を施す。次に、前記端子部９と異なる端子部９に
対して交互に青色電着用電源の所定の極を接続し、電極
部５を青色電着用の電着浴に浸し、通電することによっ
て、交互に電極部５の表面に青色電着を施す。このよう
にして、電極部５には電極１本毎に交互に赤色電着層１
６と青色電着層１７が形成されることになる。ところが
、電極パターンの中に短絡部５のような短絡があると、
該短絡箇所を介して隣合う電極部に前記した赤色の色素
と青色の色素の両方が電着されることになり、最後に電
着した電着層が前記した隣合う両電極部の表面に形成さ
れる。

第４図ｉａｌに示した実施例では短絡した電極部１８の
表面に青色電着層１７が施された状態が示されている。

そして、短絡した箇所は、赤色電着と青色電着が規則正
しく交互に施された電極の色相パターンの中に一部隣合
った二つの電極に青色電着が施されることによって色相
パターンの規則性の乱れとして認識される。

以上のようにして多数の電極から成る電極パターンの中
から短絡部１５のある電極を目視で容易に見出すことが
できる。

第４図（ｂｌは短絡を検査する別の実施例を示したもの
である。　本実施例では、まず、電極パターンのすべて
の電極に対して赤色電着層１６を形成し、次に、？ｉｌ
ｔｔｆｇパターンの各電極毎に交互に青色電着層を形成
することによって電極パターンの表面に赤色電着層と青
色電着層とが交互に形成される。そして短絡部があると
該短絡箇所を介して隣の電極部の表面（赤色電着層の表
面）に青色電着！１７が形成されることになり前記短絡
検査の実施と同様に短絡部１５を見出すことができる。

また本実施例では、第２図および第４図（ａｉ　（ｂｌ
に示したようにガラス基板の上に透明導電性薄膜をパタ
ーンニングして形成した電極パターンを検査する例を示
したが、前記電極パターンの材質は上記した透明導電性
１膜に限るものではなく、導電性を有するものであれば
何でもよく、例えばニッケルやクロムのような不透明な
金属でもよい。

さらに、また、本実施例では電極層を形成する為の基板
としてガラスを用いたが咳基（反はガラスに限るもので
はなく、絶縁性を有するものであれば何でもよい。

なお、本実施例で用いた１着液はポリエステルメラミン
樹脂塗料（ニスピア巳Ｄ・３０００神東塗料製）の固形
成分１０％溶液中に赤色顔料または青色顔料を分ｊｌｋ
させたものであるが顔料の色は上記した赤や青に限るも
のではなく前記電極層および基板と色相の異なるもので
あればよい。

さらに、前記電着層は電極パターンの検査のために形成
したものであるから本発明の検査が終了した後、有機溶
剤で洗浄し除去してもよいが、製造工程全体の流れから
見て、前記電着層がを益に利用される場合はそのまま残
してもよい。

〔発明の効果］ 本発明は、電極パターンに生した断線や短絡という電気
的に問題となる欠陥を電着という電気的な手段により前
記欠陥の状態を視覚化した後、目視検査するものである
。

そのため、本発明によれば、従来の単なる目視的な手段
を用いた検査方法や画像処理的な手段を用いた検査方法
では発見し難い微細な電極パターン（例えば電極の線巾
が１００μ程度の電極パターン）の断線や短絡を容易に
発見でき、検査工程において作業性や信頬性の向上を奏
するという効果がある。

特に透明性の導電性材料を用いた電極パターンにおいて
は、前記した従来の方法では顕微鏡で拡大して検査して
も前記欠陥部分を認識することができないのに対して、
本発明によれば、該電極パターンが電着層によって視覚
的に認識し易い状態に変換されるため、その効果は大き
い。

【図面の簡単な説明】

第１図および第３図は本発明に係る方法を実施するため
に用いた電極パターンの一例を示すパターン図、第２図
および第４図（ａｌ　ｆｂｌは第１図および第３図の断
面の一部を示す断面図である。 Ｉ・・・ガラス基板 ３・・・電着層 ５・・・電極部 ６・・・断線部 ７・・・電着された電極部 ８・・・電着されないＴ１極部 ９・・・端子部 Ｉ５・・・短絡部 １６・・・赤色電着された電Ｉｔ部 １７・・・青色電着された電極部 １８・・・短絡した電極部 ２０・・・電着浴浸漬領域 ２１・・・透明導電性薄膜

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）絶縁性を有する基板上に配列された電極パターン
   を検査する方法であって、該電極パターンの各々の端部
   に電気泳動電着用電源を接続し、該電極パターンに電気
   泳動法により色素を電着し、該電着の施された電極パタ
   ーンと電着を施す前の電極パターンとの色相の相違また
   は該電着の施された電極の色相パターンの状態を視覚的
   に認識し検査することを特徴とする電極パターンの検査
   方法。
2. （２）上記した電着が該電極パターンの各電極毎に互い
   違いに色の異なった色素を用いた電着であることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の電極パターンの検査
   方法。