JPH0567187B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

〔産業上の利用分野〕 本発明は微細な電気回路パターン、特に微細な
透明電気回路パターンを有する透明回路基板の有
無を電着法により着色させることにより検出する
方法の改良に関する。 〔従来の技術〕 従来、微細な導電回路パターン、特に微細な透
明導電回路パターンを有する透明回路基板の欠陥
の有無を検出するには、顕微鏡などにより拡大し
て肉眼で判定するか、あるいは回路間の電気的導
通もしくは抵抗をチエツクして判定する方法が行
なわれて来た。 しかしながら、これらの従来の方法は種々の欠
点を有している。例えば肉眼による（あるいは光
学的手法による）方法は、透明回路基板上に透明
導電回路パターンが形成されている場合、上記回
路が形成されている部分と形成されていない部分
の屈折率の差が小さいために、回路上の欠陥の有
無を検出するのが困難でであり、また回路パター
ンが微細化されればされる程その検出は益々困難
になる。また電気的検出手法は、基本的には回路
内の導通、および隣接する回路間の導通（短絡）
を検査することにより行われるが、回路パターン
が微細になる程、微細回路に適応したプローブの
設計上の技術的問題で困難となり、また価格的に
極めて高価なものとなる。 本発明者等は、前述した従来法のこれらの欠点
を克服すると共に、経済的に微細な透明導電回路
パターンを有する透明回路基板の欠陥の有無を検
出出来る方法を種々検討した結果、先に電着法に
より導通回路部分にのみ着色せしめ、導通部分と
非導通部分の色のコントラストを強調することに
より、また電着法が導通部分にのみ極めて忠実に
着色するという電気的特性を利用することによ
り、透明導電回路パターンを有する透明回路基板
の欠陥の有無検出という目的を容易に達成しうる
ことを見出し特許出願した（特願昭61−101714号
参照）。 〔発明が解決しようとする問題点〕 上述した特願昭61−101714号の発明の方法は、
透明な導電回路パターンを有する回路基板を電着
浴中に全没させて電着法により上記導電回路パタ
ーンを選択的に着色させ、微細な透明導電回路パ
ターンを有する透明回路基板の欠陥の有無を検出
する方法である。 上記方法はそれ以前の前述した顕微鏡による方
法とその他の従来法に比較すればすぐれているの
であるが、しかしなお幾つかの問題点があること
が見出された。例えば回路基板全体を電着浴中に
浸漬させ、その上に設けられた導電回路パターン
に電着着色させるため、比較的多量の浴液を必要
とすること、検査せんとする回路全体に着色させ
るため、検査後不要となり、時には付着残存する
ことが好ましくないことのある電着物（付着物）
を全面的に除去する工程を必要とすること、また
回路自体が電気化学的に弱い材料からなるときに
は電着時および電着物除去時に変質を伴うことが
あるという問題点を有していることが判つた。 従つて本発明の目的は上述した特願昭６−
101714号の方法の問題点を克服すること、即ち微
細な電気回路パターンを有する回路基板の欠陥の
有無を電着法により着色させて検出する方法の改
良を提供することにある。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、微細な電気回路パターンを有する回
路基板の欠陥の有無を電着法により着色させて検
出する方法において、上記回路パターンの端部の
みを電着塗料浴中に浸漬し、対極との間に直流電
圧を印加して、上記浸漬部のみに着色させること
からなる微細な電気回路パターンを有する回路基
板の欠陥の有無検出方法にある。 本発明方法で使用する電着法は、水あるいは非
水系の媒体中に、色素および電荷付与剤を溶解も
しくは微粒子状に分散せしめた液を電着浴とし、
浴液中に被検体である上記導電回路パターンの端
部のみおよび対極を浸漬し、透明導電回路と対極
の間に直流電圧を印加させることにより、被検体
の必要導電回路の上記浸漬部のみに色素を電着さ
せるのである。 以下に上記電着法の構成について詳細に説明す
る。 電着浴の主成分は色素、電荷付与剤およびこれ
らを溶解あるいは分散させる媒体からなる。 色素は導電回路パターンの着色部分を非電着部
分と比較して明確に識別させる機能を果させるた
め、この目的に合つた色の色素を使用する。この
ための色素としては染料および顔料の何れでも使
用しうる。一般に安価で安定なカーボンブラツ
ク、酸化鉄系、フタロシアニン系、ジスアゾ系な
どの顔料または染料が使用できる。 電荷付与剤としては一般的に、極性基をもつた
高分子化合物が使用できる。また非水系の媒体を
使用する際には、その媒体中でイオン化しうる無
機あるいは有機の低分子物質も使用することがで
きる。媒体の主成分が水の場合には、高分子化合
物としてポリカルボン酸系重合体あるいはポリア
ミン系重合体が使用できる。ポリカルボン酸系重
合体はこれにアルカリ性物質を反応させることに
より、水中で解離して負に帯電し、電着浴中で色
素と合体して浴中の正極へ電着する。またポリア
ミン系重合体は、これに酸性物質を反応させるこ
とにより、水中で解離して正に帯電し、同様に電
着浴中で色素と合体して浴中の負極へ電着する。
ポリカルボン酸系重合体としては、アクル系、ポ
リエステル系、マレイン化油系、エポキシ系、ポ
リオレフイン系などの重合体があり、またポリア
ミン系重合体としてはエポキシ系、ウレタン系、
ポリオレフイン系、アクリル系などの重合体があ
る。 非水系の媒体としては、ハイドロカーボン、ア
ルコール、エステル、ケトンなどが使用できる
が、媒体の比抵抗が10¹¹Ωcm以下であることが導
電回路の導通部分のみに付着させることにおいて
好ましく、このためアルコール、エステル、ケト
ン等が好ましい媒体である。媒体の比抵抗が10¹¹
Ωcmを越えると非導通部分にも色素が付着し易く
なり、回路欠陥の識別、検出が難しくなることが
あり好ましくない。非水系で用いる電荷付与剤と
しては極性をもつた重合体も使用しうるが、イオ
ン化しうる低分子物質も使用できる。この例とし
ては硫酸、リン酸などの無機酸；水酸化ナトリウ
ム、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイドな
どのアルカリ性物質；ナフテン酸カルシウム、オ
クチル酸ジルコニウム、硝酸ランタン、硝酸アル
ミニユウムなどの金属塩などが挙げられ、それら
はそれぞれ単独あるいは併用して使用できる。 電着浴には上述した成分以外に浴安定性などの
実用性を付与させるために界面活性剤、分散剤な
どを添加するとよい。 電着浴は通常１〜20重量％の固形分で10〜30℃
で使用する。非水系媒体の場合は低固形分域で使
用することができる。 本発明方法を実施することにより、種々の電気
回路パターンについてその欠陥の有無を検出する
ことができるが、実用的には微細な透明導電回路
パターンを有する透明回路基板の欠陥の有無を検
出するのに最も有用であるため、以下においては
主としてそれについて説明する。 電着操作は、電着浴中に被検体である透明導電
回路パターンの端部のみと、対極とを浸漬し、透
明回路基板上の透明導電回路と対極の間に直流電
圧を印加することにより行う。印加電圧は数Ｖ〜
数百Ｖで約30秒以下の時間で行うことができる。
非水系媒体の場合には比較的高電圧、短時間で、
水系の場合には低電圧で操作するとよい。 被検体には、例えばガラスもしくはプラスチツ
ク基板材料上にITO（錫をドープした酸化インジ
ウム）あるいはNESA（アンチモンをドープした
酸化錫）の透明導電性物質を所望回路状にパター
ニングした透明基板がある。このパターニングさ
れた透明導電回路の端部即ち浸漬部上に色素が電
着しうるように外部電源と接続する。例えば単純
マトリツクス駆動の液晶表示体用の電極は、通常
ガラス基板材料上に幅約100〜400μの透明導電回
路（ライン）が約20〜50μの間隔（スペース）を
置いて、ストライプ状に形成されているが、この
場合には先ず相互に隣接しない、即ち一本おきの
ラインに電着せしめ、次に上記電着を行わなわつ
たラインに別の色を同様に電着し着色させる。こ
の場合断線していれば、そのラインの端部（浸漬
部）に着色しないものが生じ、ストライプに欠陥
のあることを明示する。また隣接した回路と短絡
していれば最初の電着時に、本来着色しない筈の
非導通導電回路の端部（浸漬部）にも着色を生ず
る。 被検体回路の着色すべき端部（浸漬部）の長さ
は識別しうる最少の長さにすればよい。 〔作用〕 本発明方法は例えば透明な導電回路の識別に必
要な端部のみを電着浴中に浸漬して、電着法によ
り着色させて、その端部（浸漬部）の着色の有無
により、被検体回路の断線、短絡などの欠陥の有
無を検出できる。即ち着色しない端部を有する回
路は電気的に導通していない（即ち断線してい
る）ことが判る。また隣接回路を同時に電着させ
ず、一本おきの回路を選択して、選択した回路の
みを電着させたとき、非選択回路の端部（浸漬
部）にも着色を生じていれば隣接回路間に短絡を
生じていることが判る。また着色する色の選択に
よつてコントラストを大にして識別検出を容易に
することができる。 〔実施例〕 以下実施例により本発明を説明する。 以下の各実施例で使用した各材料は次のとおり
である。 １ 透明導電回路パターンを有する透明回路基板
（被検体）： (A) 第１図に示す如く厚さ1.1mm、面積15cm×10
cmのガラス基板１上に幅200μのITO（60Ω／平
方）回路２および2′を40μの間隙を置いて
（240μピツチ）、平行直線に形成した。このと
き第１図に示す如く、ITO回路２の一方の端部
は、１本おきに５mm長く形成してITO回路２′
との間に段差を設け、他端は全回路端部を揃え
て形成した。 (B) 第２図に示す如く厚さ１mm、A4版の大きさ
のガラス基板１上に200μCのITO（10Ω／平方）
回路３および３′を15μの間隙を置いて（215μ
ピツチ）平行直線に形成した。このとき第２図
に示す如く、ITO回路３および３′は１本おき
にそれぞれ両端から相互に侵入した櫛状に電極
を形成した。 ２ 電着浴： (A) 下記に示す組成の２種の水系電着浴液を作成
した。

【表】

【表】 上記各組成の電着浴液は、水を除いた各成分
を実験室用３本ロールミル（小平製作所製）に
入れ、水の一部を加えて各顔料の平均粒径が
1μmになるまで（粒径はコールターカウンター
N4、コールターカウンター社製で測定）混練
し、これに残りの水を加えて作つた。 (B) 下記に示す組成の３種の非水系電着浴液を作
成した。

【表】

〔発明の効果〕

本発明方法によれば、回路の電気的導通に従つ
て、その端部のみが着色される機構であるため、
その着色の有無、および本来着色されない部分
（隣接回路）への着色の有無により、肉眼でそれ
ぞれの回路の断線の有無および短絡の有無を容易
に検出できると共に、上記回路の着色部分を必要
回路（使用に供する回路部分）外に予め余分の回
路として形成しておき、これを切り取ることによ
つて必要回路部分の汚染、変質を生じさせること
をなくすることができる。また僅かの端部のみを
電着させるため、僅かの電着液を使用するだけで
回路の欠陥の有無を検査することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は透明導電回路を有する透
明回路基板の平面図、第３図は第１図の、第４図
は第２図の回路基板を電着する場合の説明図であ
る。 １……ガラス基板、２，２′，３，３′……ITO
回路、４……銅テープ、５，５′……共通電極、
６……電着槽、７……電着溶液、ａ……浸漬部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 微細な電気回路パターンを有する回路基板の
   欠陥の有無を電着法により着色させて検出する方
   法において、上記電気回路パターンの端部のみを
   電着塗料浴中に浸漬し、対極との間に直流電圧を
   印加して、上記浸漬部のみに着色させることを特
   徴とする微細な電気回路パターンを有する回路基
   板の欠陥の有無検出法。 ２ 電気回路が透明導電回路である特許請求の範
   囲第１項記載の回路基板の欠陥の有無検出法。 ３ 電気回路パターンが多数の線状回路からなる
   特許請求の範囲第１項または第２項記載の回路基
   板の欠陥の有無検出法。 ４ 多数の線状回路の相互に隣接しない線状回路
   を選択する特許請求の範囲第３項記載の回路基板
   の欠陥の有無検出法。