JPS62267702A - 色分離フイルタの製造方法 - Google Patents
色分離フイルタの製造方法Info
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- JPS62267702A JPS62267702A JP61110482A JP11048286A JPS62267702A JP S62267702 A JPS62267702 A JP S62267702A JP 61110482 A JP61110482 A JP 61110482A JP 11048286 A JP11048286 A JP 11048286A JP S62267702 A JPS62267702 A JP S62267702A
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- magenta
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- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 8
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 abstract description 6
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 abstract description 6
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 abstract description 6
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 abstract description 6
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 abstract description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract description 4
- 108010025899 gelatin film Proteins 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、単板式カラー固体カメラに用いることのでき
る色分離フィルタ（以下１色フィルタと略す）の製造方
法に関するものである。
る色分離フィルタ（以下１色フィルタと略す）の製造方
法に関するものである。
（従来の技術）
従来の色フィルタを第２図により説明する。第２図は従
来の色フィルタの色要素構成図であるが、その色要素の
構成及び配置については、本発明の色フィルタのものと
同じである。同図において、１０は色フィルタ、１１は
固体撮像素子の画素を示す。
来の色フィルタの色要素構成図であるが、その色要素の
構成及び配置については、本発明の色フィルタのものと
同じである。同図において、１０は色フィルタ、１１は
固体撮像素子の画素を示す。
色フィルタの色要素構成は２列８行が基本構成で、第１
行、３行、５行及び７行目がシアンと黄の繰 ・り返
し、第２行及び４行目がマゼンタと緑、第６行と８行目
が緑のマゼンタのそれぞれ繰り返しから構成されている
。
行、３行、５行及び７行目がシアンと黄の繰 ・り返
し、第２行及び４行目がマゼンタと緑、第６行と８行目
が緑のマゼンタのそれぞれ繰り返しから構成されている
。
従来の色フィルタの製造方法は、それぞれの色要素用の
マスクを用いてマスク露光法によりシアン、黄、緑及び
マゼンタの４色要素が形成される。
マスクを用いてマスク露光法によりシアン、黄、緑及び
マゼンタの４色要素が形成される。
（発明が解決しようとする問題点）
従来の色フィルタを用いたカラー固体撮像素子では、撮
像素子の１画素に２色要素が対応し、その画素面上にそ
れら２色要素の境界が存在する。
像素子の１画素に２色要素が対応し、その画素面上にそ
れら２色要素の境界が存在する。
一方、従来の色フィルタの製造方法では、各色要素パタ
ーンの位置決め精度により色要素同士のオーバーラツプ
（複数の色要素の重ね合わせ部分）が生じたり、あるい
は色要素間に間隙が生じたりする可能性がある。
ーンの位置決め精度により色要素同士のオーバーラツプ
（複数の色要素の重ね合わせ部分）が生じたり、あるい
は色要素間に間隙が生じたりする可能性がある。
言い換えれば１色フィルタの製造精度により色要素同士
のオーバーラツプ、または色要素間に間隙が発生し、撮
像素子の画素の受光量が変わりカラー特性を劣化させる
ことになる。
のオーバーラツプ、または色要素間に間隙が発生し、撮
像素子の画素の受光量が変わりカラー特性を劣化させる
ことになる。
本発明は、色要素同士のオーバーラツプ、または色要素
間の間隙の発生を防止できる色フィルタの＊ａ方法を提
供するものである。
間の間隙の発生を防止できる色フィルタの＊ａ方法を提
供するものである。
（問題点を解決するための手段）
上記問題点を解決するために、本発明の色フィルタの製
造方法は、両隣がシアン要素あるいは黄要素である線要
素を、前記シアン要素と前記黄要素の重ね合わせで作り
、マゼンタ要素を光選択性露光法により形成するもので
ある。
造方法は、両隣がシアン要素あるいは黄要素である線要
素を、前記シアン要素と前記黄要素の重ね合わせで作り
、マゼンタ要素を光選択性露光法により形成するもので
ある。
（作 用）
本発明の色フィルタの製造方法によれば、色フィルタの
シアン要素とマゼンタ要素間、シアン要素と緑要素間、
黄要素と緑要素間及び黄要素とマゼンタ要素間それぞれ
の境界に、オーバーラツプまたは間隙が発生しない。
シアン要素とマゼンタ要素間、シアン要素と緑要素間、
黄要素と緑要素間及び黄要素とマゼンタ要素間それぞれ
の境界に、オーバーラツプまたは間隙が発生しない。
（実施例）
本発明の色フィルタの製造方法の一実施例を第１図によ
り説明する。第１図（ａ）は第２図のＡ −Ａ断面によ
り、第１図（ｂ）は同じ＜Ｂ−Ｂ断面により色要素成形
工程を示した図である。
り説明する。第１図（ａ）は第２図のＡ −Ａ断面によ
り、第１図（ｂ）は同じ＜Ｂ−Ｂ断面により色要素成形
工程を示した図である。
第１図（ａ）の（１）ないしく４）及び第１図（ｂ）の
（１）ないしく４）に示す色要素成形工程順は同じであ
るので、その工程順の説明は第１図（１）ないし第１図
（４）として説明する。
（１）ないしく４）に示す色要素成形工程順は同じであ
るので、その工程順の説明は第１図（１）ないし第１図
（４）として説明する。
第１図において、１はシアン要素、２は黄要素、３はマ
ゼンタ要素、４は透明ガラス基板、５は色素分離膜、６
は色フイルタ保護膜である。
ゼンタ要素、４は透明ガラス基板、５は色素分離膜、６
は色フイルタ保護膜である。
まず第１図（１）では、透明ガラス基板４上に透明の色
素分離膜５が被覆される。第１図（２）では。
素分離膜５が被覆される。第１図（２）では。
シアン要素用のマスクを用いてマスク露光法で露光ゼラ
チン膜を形成しシアンに染色する。ここでシアン要ｆｉ
１が形成されたことになる。その後。
チン膜を形成しシアンに染色する。ここでシアン要ｆｉ
１が形成されたことになる。その後。
色素分離膜５が被覆される：次に第１図（３）では、黄
要素用のマスクを用いて同様に露光ゼラチン膜を形成し
黄に染色する。ここで黄要素２が形成されたことになる
が、シアン要素と黄要素が重なった部分は線要素になる
。（そのため、黄要素用のマスクには線要素の位置にも
黄要素が形成できるようにバターニングが施されている
。）その後。
要素用のマスクを用いて同様に露光ゼラチン膜を形成し
黄に染色する。ここで黄要素２が形成されたことになる
が、シアン要素と黄要素が重なった部分は線要素になる
。（そのため、黄要素用のマスクには線要素の位置にも
黄要素が形成できるようにバターニングが施されている
。）その後。
同様に色素分離膜５が被覆される１次に第１図（４）で
は、ゼラチンを全面に被覆後、マスクを使わずガラス基
板４側から露光する（従来の露光方向とは逆方向）、こ
の場合、露光に使う光は紫外光であるので、シアン要素
、黄要素及び線要素（シアン要素と黄要素の重ね合わせ
部分）は紫外光を透過させず、結局透明部のみ紫外光が
通過し。
は、ゼラチンを全面に被覆後、マスクを使わずガラス基
板４側から露光する（従来の露光方向とは逆方向）、こ
の場合、露光に使う光は紫外光であるので、シアン要素
、黄要素及び線要素（シアン要素と黄要素の重ね合わせ
部分）は紫外光を透過させず、結局透明部のみ紫外光が
通過し。
現像工程で紫外光が照射されたゼラチンのみが露光形成
されたことになる。次に、そのゼラチンをマゼンタに染
色し、マゼンタ要素３を形成する。。
されたことになる。次に、そのゼラチンをマゼンタに染
色し、マゼンタ要素３を形成する。。
最後に全面に色フイルタ保護膜６を被覆する。
以上の色要素形成工程かられかるように、シアン要素の
上に黄要素を、あるいは黄要素の上にシアン要素を形成
し線要素を１作るので、線要素とシアン要素あるいは黄
要素との境界に色要素間のオーバーラツプ、または間隙
発生の問題は起こらない、また、マゼンタ要素が他の色
要素を利用した光選択性露光法によって形成されている
ことから。
上に黄要素を、あるいは黄要素の上にシアン要素を形成
し線要素を１作るので、線要素とシアン要素あるいは黄
要素との境界に色要素間のオーバーラツプ、または間隙
発生の問題は起こらない、また、マゼンタ要素が他の色
要素を利用した光選択性露光法によって形成されている
ことから。
マゼンタ要素とシアン要素または黄要素との境界で色要
素間のオーバーラツプ、または間隙発生の問題も起こら
ない。
素間のオーバーラツプ、または間隙発生の問題も起こら
ない。
（発明の効果）
本発明の色フィルタの製造方法によれば１色フィルタの
色要素同士のオーバーラツプ、または色要素間の間隙の
問題が起きず、良好な色フィルタを得ることができ、そ
の実用的効果は大なるものがある。
色要素同士のオーバーラツプ、または色要素間の間隙の
問題が起きず、良好な色フィルタを得ることができ、そ
の実用的効果は大なるものがある。
第１図（ａ）は第２図のＡ−Ａ断面により色要素成形工
程を示した図、第１図（ｂ）は第２図のＢ−Ｂ断面によ
り色要素成形工程を示した図で、第２図は従来の色フィ
ルタの色要素構成図である。 １・・・シアン要素、 ２・・・黄要素、 ３・・・マ
ゼンタ要素、 ４・・・透明ガラス基板、 ５・・・色
素分離膜、 ６・・・色フイルタ保護膜。 特許出願人 松下電子工業株式会社 ７σ・算、 代理人 星 野恒司、、、、ｆ、；、。 ζ＋イーノ゛ 岩 上 昇 二 〇 第１図 １・・・ シアンで１ ２−灸脣敷 ３ マ（°シタｆｒｉ ４１！＊ｙｌｎ’う人乏板 ５− ｔ ｔ、分に請 ６・・・ 免）４す９Ｎ零道峡 第１図 （ｂ）
程を示した図、第１図（ｂ）は第２図のＢ−Ｂ断面によ
り色要素成形工程を示した図で、第２図は従来の色フィ
ルタの色要素構成図である。 １・・・シアン要素、 ２・・・黄要素、 ３・・・マ
ゼンタ要素、 ４・・・透明ガラス基板、 ５・・・色
素分離膜、 ６・・・色フイルタ保護膜。 特許出願人 松下電子工業株式会社 ７σ・算、 代理人 星 野恒司、、、、ｆ、；、。 ζ＋イーノ゛ 岩 上 昇 二 〇 第１図 １・・・ シアンで１ ２−灸脣敷 ３ マ（°シタｆｒｉ ４１！＊ｙｌｎ’う人乏板 ５− ｔ ｔ、分に請 ６・・・ 免）４す９Ｎ零道峡 第１図 （ｂ）
Claims (1)
- マゼンタ要素、緑要素、シアン要素及び黄要素から成る
色分離フィルタで、両隣が前記シアン要素あるいは前記
黄要素である緑要素を、前記シアン要素と前記黄要素の
重ね合わせで作り、前記マゼンタ要素を光選択性露光法
により形成することを特徴とする色分離フィルタの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61110482A JPS62267702A (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | 色分離フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61110482A JPS62267702A (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | 色分離フイルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62267702A true JPS62267702A (ja) | 1987-11-20 |
Family
ID=14536842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61110482A Pending JPS62267702A (ja) | 1986-05-16 | 1986-05-16 | 色分離フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62267702A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02902A (ja) * | 1988-05-27 | 1990-01-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS584107A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 色分離フイルタ−の製造方法 |
| JPS5910908A (ja) * | 1982-07-12 | 1984-01-20 | Hitachi Ltd | ストライプフイルタおよびその製造方法 |
| JPS6170502A (ja) * | 1984-09-14 | 1986-04-11 | Matsushita Electronics Corp | 色分離用フイルタ |
-
1986
- 1986-05-16 JP JP61110482A patent/JPS62267702A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS584107A (ja) * | 1981-06-30 | 1983-01-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 色分離フイルタ−の製造方法 |
| JPS5910908A (ja) * | 1982-07-12 | 1984-01-20 | Hitachi Ltd | ストライプフイルタおよびその製造方法 |
| JPS6170502A (ja) * | 1984-09-14 | 1986-04-11 | Matsushita Electronics Corp | 色分離用フイルタ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02902A (ja) * | 1988-05-27 | 1990-01-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
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