JPH01144795A - カラー固体撮像装置 - Google Patents
カラー固体撮像装置Info
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- JPH01144795A JPH01144795A JP62302710A JP30271087A JPH01144795A JP H01144795 A JPH01144795 A JP H01144795A JP 62302710 A JP62302710 A JP 62302710A JP 30271087 A JP30271087 A JP 30271087A JP H01144795 A JPH01144795 A JP H01144795A
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Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は色分解フィルターが透明基板を介して、又は固
体撮像素子上に直接形成されたカラー固体撮像装置であ
って、この色分解フィルターがイエロー層とシアン層と
の組合せからなるものに関する。
体撮像素子上に直接形成されたカラー固体撮像装置であ
って、この色分解フィルターがイエロー層とシアン層と
の組合せからなるものに関する。
（従来の技術）
色分解フィルターをイエロー層（Ｙａ）とシアン層（Ｃ
ｙ ）との組合せによってイエロー域、シアン域および
グリーン域（Ｇ）を形成する場合、従来は第９図に示す
如く透明基板Ｊ上（又は固体撮像素子上）に透明な感光
性レゾスト層（例えば、ゼラチン、グリユー等を主成分
とするもの）をコーテングしたのち、フォトリングラフ
ィ法により所定ツバターニングをおこない、残存スるレ
ジスト層をイエローに染色してイエロー層２を形成し、
ついで全面に混色防止用の中間層３をコーテングしたの
ち、再び透明な感光性レジスト層を全面に形成し、再び
フォ） ＩＪソグラフィ法によシ所定のパターニングを
おこない、残存するレゾスト層をシアンに染色してシア
ン層４を形成し、最後に全面に透明な保護層５を被覆す
る方法が採られていた。
ｙ ）との組合せによってイエロー域、シアン域および
グリーン域（Ｇ）を形成する場合、従来は第９図に示す
如く透明基板Ｊ上（又は固体撮像素子上）に透明な感光
性レゾスト層（例えば、ゼラチン、グリユー等を主成分
とするもの）をコーテングしたのち、フォトリングラフ
ィ法により所定ツバターニングをおこない、残存スるレ
ジスト層をイエローに染色してイエロー層２を形成し、
ついで全面に混色防止用の中間層３をコーテングしたの
ち、再び透明な感光性レジスト層を全面に形成し、再び
フォ） ＩＪソグラフィ法によシ所定のパターニングを
おこない、残存するレゾスト層をシアンに染色してシア
ン層４を形成し、最後に全面に透明な保護層５を被覆す
る方法が採られていた。
（発明が解決しようとする問題点）
この場合、グリーン域Ｇはイエロー層２とシアン層４と
が重なり合った部分によって構成されるが、このグリー
ン域Ｇにおけるグリーン分光はイエロー域（Ｙｅ ）を
形成するためのイエロー層２とシアン域（Ｃｙ ）を形
成するためのシアン層４の各分光に依存せざるを得ない
。例えばイエロー層２のイエロー分光が第１０図に示す
波長分布、シアン層４のシアン分光が第１１図に示す波
長分布の場合、グリーン域ＣＧ）の分光は第１２図に示
すような波長分布をとシ、例えば４００ないし５００ｎ
ｍの波長成分、又は６００ないし７００ ｎｍの銀成分
を任意に増大させることができない。
が重なり合った部分によって構成されるが、このグリー
ン域Ｇにおけるグリーン分光はイエロー域（Ｙｅ ）を
形成するためのイエロー層２とシアン域（Ｃｙ ）を形
成するためのシアン層４の各分光に依存せざるを得ない
。例えばイエロー層２のイエロー分光が第１０図に示す
波長分布、シアン層４のシアン分光が第１１図に示す波
長分布の場合、グリーン域ＣＧ）の分光は第１２図に示
すような波長分布をとシ、例えば４００ないし５００ｎ
ｍの波長成分、又は６００ないし７００ ｎｍの銀成分
を任意に増大させることができない。
したがって、本発明はグリーン域の分光を任意に制御す
ることを可能とした色分解フィルターを有するカラー固
体撮像装置を提供することを目的とする。
ることを可能とした色分解フィルターを有するカラー固
体撮像装置を提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明は上記問題点を解決するため、イエロー層をイエ
ロー域を形成するだめのイエローノーとグリーン域を形
成するためのイエロー層に分割し、又はシアン層をシア
ン域を形成するためのシアン層とグリーン域を形成する
ためのシアンノーに分割するという手段を講じた。
ロー域を形成するだめのイエローノーとグリーン域を形
成するためのイエロー層に分割し、又はシアン層をシア
ン域を形成するためのシアン層とグリーン域を形成する
ためのシアンノーに分割するという手段を講じた。
さらに具体的に述べると、本発明は色分解フィルターが
透明基板を介して、又は固体撮像素子上に直接形成され
たカラー固体撮像装置でありて、該色分解フィルターが
イエロー域を構成するためのイエロー層と、シアン域を
構成するためのシアン層と、グリーン域を構成するため
のイエロー層とシアン層との重な多部分とからなり、か
つ、該グリーン域を形成するためのイエロー層又はシア
ン層のいずれか一方がイエロー域形成のためのイｘ ｏ
−層又はシアン域形成のためのシアン層トハ独立した
層として形成されていることを４？徴とするカラー固体
撮像装置を提供するものである。
透明基板を介して、又は固体撮像素子上に直接形成され
たカラー固体撮像装置でありて、該色分解フィルターが
イエロー域を構成するためのイエロー層と、シアン域を
構成するためのシアン層と、グリーン域を構成するため
のイエロー層とシアン層との重な多部分とからなり、か
つ、該グリーン域を形成するためのイエロー層又はシア
ン層のいずれか一方がイエロー域形成のためのイｘ ｏ
−層又はシアン域形成のためのシアン層トハ独立した
層として形成されていることを４？徴とするカラー固体
撮像装置を提供するものである。
（作用）
本発明によれば上述の如くイエロー層又はシアン層を分
割して２層に形成するようにしたため、グリーン域の分
光を任意、かつ容易に制御することが可能となった。
割して２層に形成するようにしたため、グリーン域の分
光を任意、かつ容易に制御することが可能となった。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例を示すものであって、イエロ
ー層を２層に分割した例を示している。すなわち、第２
図に示すように例えば透明基板１１上に透明な感光性レ
ゾスト（カゼイン、グリユー等からなるもの）を全面塗
布し、ついでイエロー域Ｃに該当する部分が残るように
フォトリングラフイー法によシ露光、現像したのち、そ
の部分をイエロー染料にて染色しイエロー層（Ｙｅ）２
２を形成する。
ー層を２層に分割した例を示している。すなわち、第２
図に示すように例えば透明基板１１上に透明な感光性レ
ゾスト（カゼイン、グリユー等からなるもの）を全面塗
布し、ついでイエロー域Ｃに該当する部分が残るように
フォトリングラフイー法によシ露光、現像したのち、そ
の部分をイエロー染料にて染色しイエロー層（Ｙｅ）２
２を形成する。
次に、全面に透明樹脂からなる混色防止用中間層１３を
塗布したのち、さらに第３図に示すように透明感光性レ
ソストを全面塗布し、ついでシアン域およびグリーン域
に該当する部分（Ａ、ｓ）および（Ｄ、Ｅ）が残るよう
にフォトリングラフイー法によシ露元、現像し、さらに
、これらをシアン染料にて染色し、シアンＭ （Ｃｙ
） Ｊ ４を形成する。
塗布したのち、さらに第３図に示すように透明感光性レ
ソストを全面塗布し、ついでシアン域およびグリーン域
に該当する部分（Ａ、ｓ）および（Ｄ、Ｅ）が残るよう
にフォトリングラフイー法によシ露元、現像し、さらに
、これらをシアン染料にて染色し、シアンＭ （Ｃｙ
） Ｊ ４を形成する。
ついで、再び全面に透明樹脂からなる混色防止用中間層
１５を塗布したのち、ＭｉＪ記同様に透明感光性レジス
トを全面に塗布し、ついでグリーン域ＢおよびＤが残る
ようにフォトリソグラフィー法によυ蕗元、現像し、さ
らにイエロー染料にて染色し、イエロー層（Ｙｅ ）
ｌ ６を形成し、さらにその上に透明保護層Ｊ７を形成
し、ｍ１図に示すＬうな色分解フィルターが得られる。
１５を塗布したのち、ＭｉＪ記同様に透明感光性レジス
トを全面に塗布し、ついでグリーン域ＢおよびＤが残る
ようにフォトリソグラフィー法によυ蕗元、現像し、さ
らにイエロー染料にて染色し、イエロー層（Ｙｅ ）
ｌ ６を形成し、さらにその上に透明保護層Ｊ７を形成
し、ｍ１図に示すＬうな色分解フィルターが得られる。
仁の場合、イエロー層１６０に厚、染色栄件をイエロー
層ノ２のものと変えることにより、例えは第４図に示す
ような波長４００ないし５００ ｎｍ成分を大キくシた
グリーン分光のグリーン域ＢおよびＤが形成される。
層ノ２のものと変えることにより、例えは第４図に示す
ような波長４００ないし５００ ｎｍ成分を大キくシた
グリーン分光のグリーン域ＢおよびＤが形成される。
次に、シアン層を２層に分割した例について祝明する。
まず、第５図に示すように、例えば透明基板２１上に透
明な感光性レジスト（カゼイン、グリユー等からなるも
の）を全面塗布し、ついでイエロー域およびグリーン域
（Ｂ、Ｃ，Ｄ）に該当する部分が残るようにフォトリン
グラフイー法によシ露光、現像したのち、その部分をイ
エロー染料にて染色しイエロー層（Ｙｅ）２２を形成す
る。
明な感光性レジスト（カゼイン、グリユー等からなるも
の）を全面塗布し、ついでイエロー域およびグリーン域
（Ｂ、Ｃ，Ｄ）に該当する部分が残るようにフォトリン
グラフイー法によシ露光、現像したのち、その部分をイ
エロー染料にて染色しイエロー層（Ｙｅ）２２を形成す
る。
次に、全面に透明樹脂からなる混色防止用中間層２３を
塗布したのち、さらに第６図に示すように透明感光性レ
ジストを全面塗布し、ついでシアン域に該当する部分Ａ
およびＥが残るようにフォトリソグラフィー法によシ露
光、現像し、さらに、これらをシアン染料にて染色し、
シアン層（Ｃｙ）２４を形成する。
塗布したのち、さらに第６図に示すように透明感光性レ
ジストを全面塗布し、ついでシアン域に該当する部分Ａ
およびＥが残るようにフォトリソグラフィー法によシ露
光、現像し、さらに、これらをシアン染料にて染色し、
シアン層（Ｃｙ）２４を形成する。
ついで、再び全面に透明樹脂からなる混色防止用中間層
２５を塗布したのち、前記同様に透明感光性レジストを
全面に塗布し、ついでグリーン域ＢおよびＤが残るよう
にフォトリソグラフィー法により露光、現像し、さらに
シアン染料にて染色し、シアン層（ｃｙ ） ２６を形
成し、さらにその上に透明保護層２７を形成し、第７図
に示すような色分解フィルターが得られる。この場合、
シアン層２６の膜厚、染色条件をシアン層２４のものと
変えることによシ、例えば第８図に示すような波長６０
０ないし７００ ｎｍ成分を大きくしたグ１７−ン分光
のグリーン域ＢおよびＤが形成される。
２５を塗布したのち、前記同様に透明感光性レジストを
全面に塗布し、ついでグリーン域ＢおよびＤが残るよう
にフォトリソグラフィー法により露光、現像し、さらに
シアン染料にて染色し、シアン層（ｃｙ ） ２６を形
成し、さらにその上に透明保護層２７を形成し、第７図
に示すような色分解フィルターが得られる。この場合、
シアン層２６の膜厚、染色条件をシアン層２４のものと
変えることによシ、例えば第８図に示すような波長６０
０ないし７００ ｎｍ成分を大きくしたグ１７−ン分光
のグリーン域ＢおよびＤが形成される。
（発明の効果）
以上、詳述したように、本発明によれば、イエロー層と
シアン層との組合せによシイエロー域、シアン域および
グリーン域を形成するようにした色分解フィルターにお
いて、グリーン域を形成するのに際し、イエロー層又は
シアン層を２層に分割して形成するようにしたからグリ
ーン域の分光を任意かつ容易に制御することが可能とな
った。
シアン層との組合せによシイエロー域、シアン域および
グリーン域を形成するようにした色分解フィルターにお
いて、グリーン域を形成するのに際し、イエロー層又は
シアン層を２層に分割して形成するようにしたからグリ
ーン域の分光を任意かつ容易に制御することが可能とな
った。
第１図は本発明の一実施例に係わるカラー固体撮像装置
の色分解フィルターの一部を示す断面図、第２図および
あ３図は第１図に示す色分解フィルターを作製するため
の工程を順次示す断面図、第４図は第１図の色分解フィ
ルターにおけるグＩＪ−ン分光を示す線図、第５図ない
し第７図は本発明の他の実施例に係わる色分解フィルタ
ーの作製工程を順次示す断面図、第８図は第７図の色分
解フィルターにおけるグリーン分光を示す線図、嬉９図
は従来のカラー固体撮像用色分解フィルターの例を示す
断面図、第１０図ないし第１２図は第９図の色分解フィ
ルターにおけるイエロー分光、シアン分光およびグリー
ン分光をそれぞれ示す線図である。 １・・・透明基板、２・・・イエロー層、３・・・中間
層、４・・・シアン層、１１・・・透明基板、１２・・
・イエロー層、Ｊ３・・・中間ノー、１４・・・シアン
層、１５・・・中間層、１６・・・イエロー層、Ｊ７・
・・保護層、２１・・・イエロー）ｖｔ、；ｐｔ・・・
イエローＢ４．２３ ｔ ２５・・・中間層、２４．２
６・・・シアン１曽、２７・・・保＠１−０出願人代理
人 弁理士 鈴 江 武 彦第３図 第４図 第７図 第８図 第９図 ４００ ５００ ＦＤＯ７００（ｎｍ） ４００
５００ α）０ ７００（ｎｍ）第１０図
第１１図 ４００ ５００ ６００ ７０ｏ（ｎｍ）第１２図
の色分解フィルターの一部を示す断面図、第２図および
あ３図は第１図に示す色分解フィルターを作製するため
の工程を順次示す断面図、第４図は第１図の色分解フィ
ルターにおけるグＩＪ−ン分光を示す線図、第５図ない
し第７図は本発明の他の実施例に係わる色分解フィルタ
ーの作製工程を順次示す断面図、第８図は第７図の色分
解フィルターにおけるグリーン分光を示す線図、嬉９図
は従来のカラー固体撮像用色分解フィルターの例を示す
断面図、第１０図ないし第１２図は第９図の色分解フィ
ルターにおけるイエロー分光、シアン分光およびグリー
ン分光をそれぞれ示す線図である。 １・・・透明基板、２・・・イエロー層、３・・・中間
層、４・・・シアン層、１１・・・透明基板、１２・・
・イエロー層、Ｊ３・・・中間ノー、１４・・・シアン
層、１５・・・中間層、１６・・・イエロー層、Ｊ７・
・・保護層、２１・・・イエロー）ｖｔ、；ｐｔ・・・
イエローＢ４．２３ ｔ ２５・・・中間層、２４．２
６・・・シアン１曽、２７・・・保＠１−０出願人代理
人 弁理士 鈴 江 武 彦第３図 第４図 第７図 第８図 第９図 ４００ ５００ ＦＤＯ７００（ｎｍ） ４００
５００ α）０ ７００（ｎｍ）第１０図
第１１図 ４００ ５００ ６００ ７０ｏ（ｎｍ）第１２図
Claims (3)
- （１）色分解フィルターが透明基板を介して、又は固体
撮像素子上に直接形成されたカラー固体撮像装置であっ
て、該色分解フィルターがイエロー域を構成するための
イエロー層と、シアン域を構成するためのシアン層と、
グリーン域を構成するためのイエロー層とシアン層との
重なり部分とからなり、かつ、該グリーン域を形成する
ためのイエロー層又はシアン層のいずれか一方がイエロ
ー域形成のためのイエロー層又はシアン域形成のための
シアン層とは独立した層として形成されていることを特
徴とするカラー固体撮像装置。 - （２）グリーン域を形成するためのイエロー層がイエロ
ー域を形成するためのイエロー層と異なった分光を与え
るものからなる特許請求の範囲第１項記載のカラー固体
撮像装置。 - （３）グリーン域を形成するためのシアン層がシアン域
を形成するためのシアン層と異なった分光を与えるもの
からなる特許請求の範囲第１項記載のカラー固体撮像装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62302710A JP2707563B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | カラー固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62302710A JP2707563B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | カラー固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01144795A true JPH01144795A (ja) | 1989-06-07 |
| JP2707563B2 JP2707563B2 (ja) | 1998-01-28 |
Family
ID=17912252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62302710A Expired - Fee Related JP2707563B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | カラー固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2707563B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60188902A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-26 | Mitsubishi Electric Corp | 色分解フイルタの製造方法 |
| JPS63135086A (ja) * | 1986-11-26 | 1988-06-07 | Matsushita Electronics Corp | 色分離フイルタ |
| JPS63202196A (ja) * | 1987-02-17 | 1988-08-22 | Matsushita Electronics Corp | 色分離フイルタ |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP62302710A patent/JP2707563B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60188902A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-26 | Mitsubishi Electric Corp | 色分解フイルタの製造方法 |
| JPS63135086A (ja) * | 1986-11-26 | 1988-06-07 | Matsushita Electronics Corp | 色分離フイルタ |
| JPS63202196A (ja) * | 1987-02-17 | 1988-08-22 | Matsushita Electronics Corp | 色分離フイルタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2707563B2 (ja) | 1998-01-28 |
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