JP2894700B2 - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法Info
- Publication number
- JP2894700B2 JP2894700B2 JP63201253A JP20125388A JP2894700B2 JP 2894700 B2 JP2894700 B2 JP 2894700B2 JP 63201253 A JP63201253 A JP 63201253A JP 20125388 A JP20125388 A JP 20125388A JP 2894700 B2 JP2894700 B2 JP 2894700B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- stained
- stain
- photocell
- dyed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光受像素子に関し、特に光受像素子表面に設
けられたカラーフィルターの製造に関する。
けられたカラーフィルターの製造に関する。
従来のカラーフィルターは第３図に示す断面構造から
わかるように、フォトセル１の表面から上方向に向っ
て、例えば、層間膜3a−マゼンタ染色膜４−層間膜3b−
イエロー染色膜７−層間膜3c−シアン染色膜５−表面膜
９の順序となる多層構造を有するものであった。
わかるように、フォトセル１の表面から上方向に向っ
て、例えば、層間膜3a−マゼンタ染色膜４−層間膜3b−
イエロー染色膜７−層間膜3c−シアン染色膜５−表面膜
９の順序となる多層構造を有するものであった。
上述した従来のカラーフィルターの構造では、特に上
部二層の染色膜に入射した光は、その一部が該染色膜下
部の層間膜との境界面での回折により角度を変え隣接の
フォトセル部へと入射する事となりフォトセル間の感度
むらが大きくなる欠点がある。また上下染色膜の重なり
精度も悪くなり色ムラが出易い欠点がある。
部二層の染色膜に入射した光は、その一部が該染色膜下
部の層間膜との境界面での回折により角度を変え隣接の
フォトセル部へと入射する事となりフォトセル間の感度
むらが大きくなる欠点がある。また上下染色膜の重なり
精度も悪くなり色ムラが出易い欠点がある。
本発明はカラーフィルターの構造に工夫を施してフォ
トセル間の感度むら、色むらをなくすことを目的として
いる。
トセル間の感度むら、色むらをなくすことを目的として
いる。
本発明によるカラーフィルターは、フォトセルの表面
上設けた多層膜中、フォトセルに最も近い１つの層内に
色相の異なるすべての染色領域を設けて同一平面内に各
色相の染色膜が存在する構造となっている。
上設けた多層膜中、フォトセルに最も近い１つの層内に
色相の異なるすべての染色領域を設けて同一平面内に各
色相の染色膜が存在する構造となっている。
本発明はフォトセルに最も近い所の同一平面上に各色
相の染色膜がそれぞれ存在するため、染色膜／層間膜界
面で光が回折しても回折光は隣の染色膜あるいはフォト
セルに入射しない。このため回折光に起因するフォトセ
ル感の感度むら、色むらがなくなる。
相の染色膜がそれぞれ存在するため、染色膜／層間膜界
面で光が回折しても回折光は隣の染色膜あるいはフォト
セルに入射しない。このため回折光に起因するフォトセ
ル感の感度むら、色むらがなくなる。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ），（ｂ）は本発明によるカラーフィルタ
ーの製造途中の断面図及び最終の断面図である。フォト
セル１及びフォトシールド膜２の上に層間膜３を設けそ
の上に染色膜を形成し、この染色膜に染色領域4,5,6,7
を一度のパターニング工程を通す事により形成する。そ
の上に耐染色膜８を塗布し選択的に該耐染色膜を開孔
し、例えば第１図（ａ）の様にマゼンダの染色を通常の
方法で染色領域４に行なう。次に該耐染色膜８を除去す
る。次に再度耐染色膜を塗布し選択的に該耐染色膜を開
孔し、例えばシアンの染色を染色領域５に行なう。次に
該耐染色膜を除去する。以上の工程を繰り返す事によ
り、各染色領域に染色を施して色相の異なる染色領域を
同一平面上に形成し、最後に耐染色膜８を除去した後、
第１図（ｂ）の如く染色膜上に表面膜９を設ける。上述
した製法を経る事によりフォトセルに最も近い同層内に
色相の異なったすべての染色領域を有する構造のカラー
フィルターとなる。
ーの製造途中の断面図及び最終の断面図である。フォト
セル１及びフォトシールド膜２の上に層間膜３を設けそ
の上に染色膜を形成し、この染色膜に染色領域4,5,6,7
を一度のパターニング工程を通す事により形成する。そ
の上に耐染色膜８を塗布し選択的に該耐染色膜を開孔
し、例えば第１図（ａ）の様にマゼンダの染色を通常の
方法で染色領域４に行なう。次に該耐染色膜８を除去す
る。次に再度耐染色膜を塗布し選択的に該耐染色膜を開
孔し、例えばシアンの染色を染色領域５に行なう。次に
該耐染色膜を除去する。以上の工程を繰り返す事によ
り、各染色領域に染色を施して色相の異なる染色領域を
同一平面上に形成し、最後に耐染色膜８を除去した後、
第１図（ｂ）の如く染色膜上に表面膜９を設ける。上述
した製法を経る事によりフォトセルに最も近い同層内に
色相の異なったすべての染色領域を有する構造のカラー
フィルターとなる。
〔実施例２〕 第２図（ａ），（ｂ）は本発明の実施例２の製造途中
の断面図及び最終の断面図である。フォトセル１及びフ
ォトシールド膜２の上に層間膜３を設け、更にその上に
染色膜、耐染色膜８を設け、染色膜のパターニングは行
なわずに第２図（ａ）の様に耐染色膜８をパターニング
して選択的に染色をして染色領域４を形成する。この選
択染色工程を繰り返す事により各染色領域4,5,6,7を形
成する。最後に染色膜上に表面膜９を設けて第２図
（ｂ）となる。この実施例２では実施例１に比べて染色
パターンのパターニングが不要でありより簡略な製法に
なるという利点がある。
の断面図及び最終の断面図である。フォトセル１及びフ
ォトシールド膜２の上に層間膜３を設け、更にその上に
染色膜、耐染色膜８を設け、染色膜のパターニングは行
なわずに第２図（ａ）の様に耐染色膜８をパターニング
して選択的に染色をして染色領域４を形成する。この選
択染色工程を繰り返す事により各染色領域4,5,6,7を形
成する。最後に染色膜上に表面膜９を設けて第２図
（ｂ）となる。この実施例２では実施例１に比べて染色
パターンのパターニングが不要でありより簡略な製法に
なるという利点がある。
以上説明したように、本発明によればフォトセルに最
も近い同層内に色相の異なるすべての染色膜を有する構
造のカラーフィルターが得られ感度ムラの改善に効果が
ある。また最高でも一度のパターニングで染色パターン
が形成されるので色ムラの改善に効果がある。このよう
に本発明によれば、カラーフィルターの性能改善に効果
が大きい。
も近い同層内に色相の異なるすべての染色膜を有する構
造のカラーフィルターが得られ感度ムラの改善に効果が
ある。また最高でも一度のパターニングで染色パターン
が形成されるので色ムラの改善に効果がある。このよう
に本発明によれば、カラーフィルターの性能改善に効果
が大きい。
第１図（ａ），（ｂ）及び第２図（ａ），（ｂ）は本発
明による実施例の断面図である。第３図は従来のカラー
フィルターの断面図である。 １……フォトセル、２……フォトシールド膜、3a,3b,3c
……層間膜、４……マゼンダ染色領域、５……シアン染
色領域、６……グリーン染色領域、７……イエロー染色
領域、８……耐染色膜、９……表面膜。
明による実施例の断面図である。第３図は従来のカラー
フィルターの断面図である。 １……フォトセル、２……フォトシールド膜、3a,3b,3c
……層間膜、４……マゼンダ染色領域、５……シアン染
色領域、６……グリーン染色領域、７……イエロー染色
領域、８……耐染色膜、９……表面膜。
Claims (2)
- 【請求項１】光受像素子のフォトセル上に層間膜を設
け、前記層間膜上に各フォトセルへの入射光を相互に分
離する隔壁を設けずに、前記層間膜上に染色膜を形成す
る工程と、前記染色膜を一度のパターニング工程でパタ
ーニングして前記フォトセル１つ１つに対応した全ての
染色領域を形成する工程と、前記全ての染色領域上に耐
染色膜を塗布した後、特定の染色領域上の前記耐染色膜
を開口して染色領域を露出し、露出した染色領域を特定
の色相に染色した後、前記耐染色膜を除去する染色工程
と、前記染色された染色領域上に表面膜を形成する工程
とを有し、全ての色相が染色されるまで前記染色工程を
繰り返して、各色相の染色領域を前記フォトセルに最も
近い同一層内に形成する事を特徴とするカラーフィルタ
ーの製造方法。 - 【請求項２】光受像素子のフォトセル上に層間膜を設
け、前記層間膜上に各フォトセルへの入射光を相互に分
離する隔壁を設けずに、前記層間膜上全面にパターニン
グせずに染色膜を一様に形成する工程と、前記染色膜上
に耐染色膜を塗布した後、パターニングして特定のフォ
トセルに対応した染色膜上の前記耐染色膜を開口して染
色膜を露出し、露出した染色膜を選択的に特定色相に染
色して特定色相の染色領域を形成した後、前記耐染色膜
を除去する染色工程と、前記染色膜上に表面膜を形成す
る工程とを有し、全ての色相が染色されるまで前記染色
工程を繰り返して、前記フォトセル１つ１つに対応した
各色相の染色領域を前記フォトセルに最も近い同一染色
膜内に形成する事を特徴とするカラーフィルターの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63201253A JP2894700B2 (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | カラーフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63201253A JP2894700B2 (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | カラーフィルターの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0250478A JPH0250478A (ja) | 1990-02-20 |
| JP2894700B2 true JP2894700B2 (ja) | 1999-05-24 |
Family
ID=16437878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63201253A Expired - Lifetime JP2894700B2 (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | カラーフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2894700B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04307884A (ja) * | 1991-04-04 | 1992-10-30 | Sony Corp | 映像信号の記録再生方式 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55148476A (en) * | 1979-05-07 | 1980-11-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Solid image pickup plate and fabricating method of the same |
| JPS63143505A (ja) * | 1986-12-05 | 1988-06-15 | Matsushita Electronics Corp | カラ−固体撮像装置の製造方法 |
| JPS63173002A (ja) * | 1987-01-13 | 1988-07-16 | Fujitsu Ltd | 固体カラ−撮像素子 |
| JPS63195601A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-12 | Fujitsu Ltd | 固体撮像素子の製造方法 |
-
1988
- 1988-08-12 JP JP63201253A patent/JP2894700B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0250478A (ja) | 1990-02-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2894700B2 (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JPH03230101A (ja) | カラー固体撮像装置およびその製造方法 | |
| US6429038B2 (en) | Solid-state imaging device and method of manufacturing the same | |
| JPS62258404A (ja) | カラ−フイルタ−の製造方法 | |
| JP2707563B2 (ja) | カラー固体撮像装置 | |
| JP2702266B2 (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JPH04102371A (ja) | 固体撮像素子の製造方法 | |
| JP3202213B2 (ja) | 色分解フィルタの製造方法 | |
| JPH03255404A (ja) | カラー固体撮像装置の製造方法 | |
| JP2751375B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
| JPH03190168A (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
| JPH02285673A (ja) | 固体撮像素子及びその製造方法 | |
| JPS62161102A (ja) | 色分解フイルタ | |
| JP2911899B2 (ja) | 色分解フィルタ | |
| JP2540997B2 (ja) | 固体撮像素子の製造方法 | |
| JPH0442967A (ja) | カラー固体撮像装置の製造方法 | |
| JP2697002B2 (ja) | カラー固体撮像素子の製造方法 | |
| KR100215911B1 (ko) | Ccd영상소자의 칼라필터제조방법 | |
| JPH03280575A (ja) | カラー固体撮像装置の製造方法 | |
| US6956194B2 (en) | Systems and methods for fabricating an electro-optical device used for image sensing | |
| KR900001796Y1 (ko) | 고체 촬상소자 | |
| JP2792863B2 (ja) | 撮像素子装置 | |
| JPH01304401A (ja) | 多色カラーフィルターの製造方法 | |
| JP2558854B2 (ja) | カラー固体撮像装置 | |
| JPH03228001A (ja) | カラーフィルタの製造方法 |