JP2792863B2 - 撮像素子装置 - Google Patents
撮像素子装置Info
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はカラーフィルタを備えた撮像素子装置に関す
る。
る。
［従来の技術］ 例えばカラー画像情報を得るために固体撮像素子にカ
ラーフィルタを設けた撮像素子装置は、並べられた複数
の受光部を有する固体撮像素子の各受光部に相対して、
感光性樹脂を染料で３色に染め分けして形成された複数
のフィルタ層を形成し、且つ各フィルタ層に相対してフ
ィルタ層に光を導く集光層を形成したものである。
ラーフィルタを設けた撮像素子装置は、並べられた複数
の受光部を有する固体撮像素子の各受光部に相対して、
感光性樹脂を染料で３色に染め分けして形成された複数
のフィルタ層を形成し、且つ各フィルタ層に相対してフ
ィルタ層に光を導く集光層を形成したものである。
この撮像素子装置に設けられるカラーフィルタは、
赤、緑、青、あるいはイエロー、シアン、マゼンタなど
の色相に分かれた色分解用のもので、基板である平滑化
層上に前記各色のフィルタ層を形成したものである。そ
して、このカラーフィルタは、染色されやすい感光性樹
脂を写真製版技術によりパターン化し、このパターンを
染料にて染色して各フィルタ層を形成して所望の分光特
性を得る、いわゆる有機染色形（オンチップ形）のもの
である。
赤、緑、青、あるいはイエロー、シアン、マゼンタなど
の色相に分かれた色分解用のもので、基板である平滑化
層上に前記各色のフィルタ層を形成したものである。そ
して、このカラーフィルタは、染色されやすい感光性樹
脂を写真製版技術によりパターン化し、このパターンを
染料にて染色して各フィルタ層を形成して所望の分光特
性を得る、いわゆる有機染色形（オンチップ形）のもの
である。
［発明が解決しようとする問題点］ しかし、このようなカラーフィルタを備えた撮像素子
装置には次に述べる問題がある。
装置には次に述べる問題がある。
赤、緑、青の三原色の青のフィルタ層では、感光性樹
脂の染色性などの条件によりフィルタ層（感光性樹脂
層）の層厚を、他の色のフィルタ層の層厚に比較して大
変薄く形成することがある。このようにフィルタ層の層
厚が薄いと、染料で染色してフィルタ層（感光性樹脂
層）が膨潤した時の層厚も、他の色のフィルタ層（感光
性樹脂層）が膨潤した時の層厚よりも薄いことになる。
このように各フィルタ層の層厚が異なると、撮像素子装
置におけるカラー画像情報に色のにじみや色むらが生じ
ることがある。
脂の染色性などの条件によりフィルタ層（感光性樹脂
層）の層厚を、他の色のフィルタ層の層厚に比較して大
変薄く形成することがある。このようにフィルタ層の層
厚が薄いと、染料で染色してフィルタ層（感光性樹脂
層）が膨潤した時の層厚も、他の色のフィルタ層（感光
性樹脂層）が膨潤した時の層厚よりも薄いことになる。
このように各フィルタ層の層厚が異なると、撮像素子装
置におけるカラー画像情報に色のにじみや色むらが生じ
ることがある。
図３を参照して説明を加える。図中１は固体撮像素
子、２は固体撮像素子１に並べて形成された複数の受光
部、３は固体撮像素子１の表面側に各受光部２に相対し
て形成された平滑化層、４、５、６は平滑化層３の表面
側に各受光部２に相対して感光性樹脂を染料で３色に染
め分けして形成されたフィルタ層、７は各フィルタ層４
〜６の間に介在する防染層で、これは各フィルタ層４〜
６を形成する時に他のフィルタ層が不要に染色されない
ように各フィルタ層４〜６を保護する。８はフィルタ層
６および図示上側に位置する防染層７の表面を覆って形
成された上面保護層である。９は上面保護層８の表面に
各フィルタ層４〜６に相対して形成された各フィルタ層
４〜６に光を導く複数の集光層である。これにより各受
光部２、各フィルタ層４〜６および各集光層９は互いに
重なり合う位置になる。
子、２は固体撮像素子１に並べて形成された複数の受光
部、３は固体撮像素子１の表面側に各受光部２に相対し
て形成された平滑化層、４、５、６は平滑化層３の表面
側に各受光部２に相対して感光性樹脂を染料で３色に染
め分けして形成されたフィルタ層、７は各フィルタ層４
〜６の間に介在する防染層で、これは各フィルタ層４〜
６を形成する時に他のフィルタ層が不要に染色されない
ように各フィルタ層４〜６を保護する。８はフィルタ層
６および図示上側に位置する防染層７の表面を覆って形
成された上面保護層である。９は上面保護層８の表面に
各フィルタ層４〜６に相対して形成された各フィルタ層
４〜６に光を導く複数の集光層である。これにより各受
光部２、各フィルタ層４〜６および各集光層９は互いに
重なり合う位置になる。
ここで、例えばある色のフィルタ層６の層厚が他の色
のフィルタ層４、５の層厚より薄いものとする。すなわ
ち、フィルタ層４、５は一定の厚さで形成されている
が、フィルタ層６はその一定の層厚より薄いものとす
る。そして、上面保護層８を一定の層厚で形成すると、
フィルタ層６の上側に位置する上面保護層８の部分は、
他の部分よりもフィルタ層６の層厚が薄い分だけ落ち込
んで窪みが生じる。さらに、集光層９を一定の厚さで形
成すると、上面保護層８における窪んだ部分（フィルタ
層６の上側に位置する部分）に位置する集光層9Aの部分
は、上面保護層８の窪みに応じて中央部が凹部に窪んだ
形状になる。なお、一定の層厚のフィルタ層４、５に相
対する位置にある集光層９の部分は窪んだ形状にならな
い。
のフィルタ層４、５の層厚より薄いものとする。すなわ
ち、フィルタ層４、５は一定の厚さで形成されている
が、フィルタ層６はその一定の層厚より薄いものとす
る。そして、上面保護層８を一定の層厚で形成すると、
フィルタ層６の上側に位置する上面保護層８の部分は、
他の部分よりもフィルタ層６の層厚が薄い分だけ落ち込
んで窪みが生じる。さらに、集光層９を一定の厚さで形
成すると、上面保護層８における窪んだ部分（フィルタ
層６の上側に位置する部分）に位置する集光層9Aの部分
は、上面保護層８の窪みに応じて中央部が凹部に窪んだ
形状になる。なお、一定の層厚のフィルタ層４、５に相
対する位置にある集光層９の部分は窪んだ形状にならな
い。
そして、光は図３の破線に示すように外側から各集光
層９を通過して、この集光層９に相対する位置にあるフ
ィルタ層４〜６に導かれ、さらにフィルタ層４〜６を通
過してフィルタ層４〜６に相対する位置にある各受光部
２に到達する。窪んだ形状でない集光層９を通過した光
はそのまま相対するフィルタ層６に導かれる。
層９を通過して、この集光層９に相対する位置にあるフ
ィルタ層４〜６に導かれ、さらにフィルタ層４〜６を通
過してフィルタ層４〜６に相対する位置にある各受光部
２に到達する。窪んだ形状でない集光層９を通過した光
はそのまま相対するフィルタ層６に導かれる。
ところが、光が中央部が凹部に窪んだ形状の集光層9A
を通過すると、集光層9Aの作用により光の一部が屈曲さ
れて外側へ向けて拡散される。また、光は上面保護層８
における窪んだ部分（フィルタ層６の上側に位置する部
分）を通過する時にも、上面保護層８の作用により光の
一部が屈曲して外側へ向けて拡散される場合もある。そ
うすると、拡散された光はフィルタ層６を通過した後
に、フィルタ層６に隣接する他のフィルタ層５およびフ
ィルタ層４に相対する受光部２に到達する。これにより
他のフィルタ層５およびフィルタ層４に相対する受光部
２では、フィルタ層５およびフィルタ層４を通過した光
とフィルタ層６を通過した光の両方が到達することにな
り、カラー画像情報に色のにじみや色むらが生じる。
を通過すると、集光層9Aの作用により光の一部が屈曲さ
れて外側へ向けて拡散される。また、光は上面保護層８
における窪んだ部分（フィルタ層６の上側に位置する部
分）を通過する時にも、上面保護層８の作用により光の
一部が屈曲して外側へ向けて拡散される場合もある。そ
うすると、拡散された光はフィルタ層６を通過した後
に、フィルタ層６に隣接する他のフィルタ層５およびフ
ィルタ層４に相対する受光部２に到達する。これにより
他のフィルタ層５およびフィルタ層４に相対する受光部
２では、フィルタ層５およびフィルタ層４を通過した光
とフィルタ層６を通過した光の両方が到達することにな
り、カラー画像情報に色のにじみや色むらが生じる。
本発明は前記事情に基づいてなされたもので、層厚が
他のフィルタ層の層厚より薄いフィルタ層を透明層に重
ねて形成して全体の厚さを他のフィルタ層の層厚と同じ
にすることにより、フィルタ層の層厚が薄いことによる
集光層の変形を防止して、この結果色のにじみや色むら
がないカラー画像を得ることができる撮像素子装置を提
供することを目的とする。
他のフィルタ層の層厚より薄いフィルタ層を透明層に重
ねて形成して全体の厚さを他のフィルタ層の層厚と同じ
にすることにより、フィルタ層の層厚が薄いことによる
集光層の変形を防止して、この結果色のにじみや色むら
がないカラー画像を得ることができる撮像素子装置を提
供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 本発明の撮像素子装置は、並べられた複数の受光部を
有する撮像素子と、この撮像素子の前記受光部に相対し
て位置し感光性樹脂を染料で３色に染め分けして形成さ
れた複数のフィルタ層と、これら各フィルタ層に対して
その光入射側に位置し前記フィルタ層に光を導く集光層
とを備えた撮像素子装置において、 前記３色のうち染色性の良い１色のフィルタ層の層厚
が他の色のフィルタ層の層厚よりも薄く、且つこの層厚
の薄いフィルタ層における前記受光素子側に、前記他の
色のフィルタ層の層厚から前記層厚の薄いフィルタ層の
層厚を差し引いた厚さの透明層が形成され、この透明層
に重ねて前記層厚の薄いフィルタ層が形成されているこ
とを特徴とする。
有する撮像素子と、この撮像素子の前記受光部に相対し
て位置し感光性樹脂を染料で３色に染め分けして形成さ
れた複数のフィルタ層と、これら各フィルタ層に対して
その光入射側に位置し前記フィルタ層に光を導く集光層
とを備えた撮像素子装置において、 前記３色のうち染色性の良い１色のフィルタ層の層厚
が他の色のフィルタ層の層厚よりも薄く、且つこの層厚
の薄いフィルタ層における前記受光素子側に、前記他の
色のフィルタ層の層厚から前記層厚の薄いフィルタ層の
層厚を差し引いた厚さの透明層が形成され、この透明層
に重ねて前記層厚の薄いフィルタ層が形成されているこ
とを特徴とする。
［作用］ この構成によれば、層厚が他のフィルタ層の層厚より
薄いフィルタ層を透明層に重ねて形成して薄いフィルタ
層と透明層の厚さの和を他のフィルタ層の層厚と同じと
している。このため、層厚が他のフィルタ層の層厚より
薄いフィルタ層に相対する集光層は窪みが発生せずに正
常な形態で形成される。これにより層厚が薄いフィルタ
層に相対する集光層を通過した光は、この層厚が薄いフ
ィルタ層に導かれ、さらにこの層厚が薄いフィルタ層を
通過して層厚が薄いフィルタ層に相対する位置にある受
光部に到達する。
薄いフィルタ層を透明層に重ねて形成して薄いフィルタ
層と透明層の厚さの和を他のフィルタ層の層厚と同じと
している。このため、層厚が他のフィルタ層の層厚より
薄いフィルタ層に相対する集光層は窪みが発生せずに正
常な形態で形成される。これにより層厚が薄いフィルタ
層に相対する集光層を通過した光は、この層厚が薄いフ
ィルタ層に導かれ、さらにこの層厚が薄いフィルタ層を
通過して層厚が薄いフィルタ層に相対する位置にある受
光部に到達する。
すなわち、層厚が他のフィルタ層の層厚より薄いフィ
ルタ層に相対する集光層を通過した光が外側へ向けて拡
散されて、層厚が薄いフィルタ層を通過した後にフィル
タ層に隣接する他のフィルタ層に相対する受光部に到達
すいるという現象が発生することがなく、色のにじみや
色むらの発生を防止することができる。
ルタ層に相対する集光層を通過した光が外側へ向けて拡
散されて、層厚が薄いフィルタ層を通過した後にフィル
タ層に隣接する他のフィルタ層に相対する受光部に到達
すいるという現象が発生することがなく、色のにじみや
色むらの発生を防止することができる。
以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
本発明を固体撮像素子上に赤、緑、青の三原色のフィ
ルタ層を形成したカラーフィルタに適用した実施例を、
第１図および第２図を参照して説明する。第１図は、こ
の実施例の構成を模式的に示している。
ルタ層を形成したカラーフィルタに適用した実施例を、
第１図および第２図を参照して説明する。第１図は、こ
の実施例の構成を模式的に示している。
図中11は電荷転送形の固体撮像素子で、その内部には
受光部12が並べて形成してあり、表面部には各受光部12
の間に沿って格子状に配線層13が突出形成してある。固
体撮像素子11の表面（光入射側面）上には、配線層13の
高さより厚い層厚を持つ透明樹脂からなる平滑化層14が
形成してある。この平滑化層14の上面（光入射側面）に
は、赤のフィルタ層15と、青のフィルタ層17と、緑のフ
ィルタ層16が夫々固体撮像素子11の各受光部12に対向し
て防染膜21を介しながら並べて形成してある。すなわ
ち、これらフィルタ層15〜17は３色に染め分けしてなる
もので、夫々多数並べて形成される。各フィルタ層15,1
6,17は、ゼラチンなどの天然樹脂に重クロム酸カリウム
などを添加してなるネガ形の水溶性感光性樹脂層を形成
し、この感光性樹脂層に酸性染料、塩基性染料などの染
料で所定の色相に染色して形成したものである。また、
この防染膜21は一つの色の染料が他の色相のフィルタに
染まらないように設けたものである。
受光部12が並べて形成してあり、表面部には各受光部12
の間に沿って格子状に配線層13が突出形成してある。固
体撮像素子11の表面（光入射側面）上には、配線層13の
高さより厚い層厚を持つ透明樹脂からなる平滑化層14が
形成してある。この平滑化層14の上面（光入射側面）に
は、赤のフィルタ層15と、青のフィルタ層17と、緑のフ
ィルタ層16が夫々固体撮像素子11の各受光部12に対向し
て防染膜21を介しながら並べて形成してある。すなわ
ち、これらフィルタ層15〜17は３色に染め分けしてなる
もので、夫々多数並べて形成される。各フィルタ層15,1
6,17は、ゼラチンなどの天然樹脂に重クロム酸カリウム
などを添加してなるネガ形の水溶性感光性樹脂層を形成
し、この感光性樹脂層に酸性染料、塩基性染料などの染
料で所定の色相に染色して形成したものである。また、
この防染膜21は一つの色の染料が他の色相のフィルタに
染まらないように設けたものである。
ここで、赤のフィルタ層15の層厚と緑のフィルタ層16
の層厚とは同じ厚さであり、青のフィルタ層17の層厚は
赤のフィルタ層15と緑のフィルタ層16の層厚に比較して
薄くなっている。これは青のフィルタ層17の染色性など
の条件によるものであり、これらの特性を適切に考慮し
て設定した層厚が赤のフィルタ層15と、緑のフィルタ層
16の各層厚よりも薄くなるためである。そこで、青のフ
ィルタ層17を形成する各部分に夫々青のフィルタ層17と
同じ形状の透明樹脂からなる透明層18が形成してあり、
この各透明層18の上に重ねて青のフィルタ層17を夫々形
成してある。すなわち、赤および緑のフィルタ層15,16
の層厚から青のフィルタ層17の層厚を差引いた厚さを持
って透明層18を形成し、この透明層18の形成後に、透明
層18の表面上に青のフィルタ層17を形成して、透明層18
の厚さとフィルタ層17の厚さとを合せた層厚が、赤およ
び緑のフィルタ層15,16の層厚と同じ大きさになるよう
にしてある。なお、透明層18は青のフィルタ層17の形成
前に形成すればよく、その形成時点は特定されない。ま
た、透明層18の上側に青のフィルタ層17が形成されてい
る理由は、一つには後述する集光層20からの距離を均一
にするためであり、このため、各色の受光量を均一にし
てしまう効果があるためである。二つめには、青のフィ
ルタ層17を形成するとき、他色の凹部の底に染色前の樹
脂を流し込まなければならないが、この場合にはスピン
コート等の手段でも均一に樹脂を流し込むのが困難だか
らである。
の層厚とは同じ厚さであり、青のフィルタ層17の層厚は
赤のフィルタ層15と緑のフィルタ層16の層厚に比較して
薄くなっている。これは青のフィルタ層17の染色性など
の条件によるものであり、これらの特性を適切に考慮し
て設定した層厚が赤のフィルタ層15と、緑のフィルタ層
16の各層厚よりも薄くなるためである。そこで、青のフ
ィルタ層17を形成する各部分に夫々青のフィルタ層17と
同じ形状の透明樹脂からなる透明層18が形成してあり、
この各透明層18の上に重ねて青のフィルタ層17を夫々形
成してある。すなわち、赤および緑のフィルタ層15,16
の層厚から青のフィルタ層17の層厚を差引いた厚さを持
って透明層18を形成し、この透明層18の形成後に、透明
層18の表面上に青のフィルタ層17を形成して、透明層18
の厚さとフィルタ層17の厚さとを合せた層厚が、赤およ
び緑のフィルタ層15,16の層厚と同じ大きさになるよう
にしてある。なお、透明層18は青のフィルタ層17の形成
前に形成すればよく、その形成時点は特定されない。ま
た、透明層18の上側に青のフィルタ層17が形成されてい
る理由は、一つには後述する集光層20からの距離を均一
にするためであり、このため、各色の受光量を均一にし
てしまう効果があるためである。二つめには、青のフィ
ルタ層17を形成するとき、他色の凹部の底に染色前の樹
脂を流し込まなければならないが、この場合にはスピン
コート等の手段でも均一に樹脂を流し込むのが困難だか
らである。
各フィルタ層の層厚について具体的にみると赤および
緑のフィルタ層15,16用の感光性樹脂層の染色前の層厚
は約9000〜120000Å、青のフィルタ層17用の感光性樹脂
層の染色前の層厚は約3000Åである。そして、赤および
緑のフィルタ層15,16用の感光性樹脂層の染色後の層厚
は約14000〜15000Å、青のフィルタ層17用の感光性樹脂
層の染色後の層厚は約5000Åである。このままでは赤お
よび緑のフィルタ層15,16と青のフィルタ層17との間に
は最大１μｍの層厚の差が生じる。そこで、青のフィル
タ層17の下側に重ねて形成する透明層18は約9000〜1000
0Åの層厚で形成する。これによりフィルタ層厚と透明
層18の層厚との和はフィルタ層15,16の層厚と等しくな
る。
緑のフィルタ層15,16用の感光性樹脂層の染色前の層厚
は約9000〜120000Å、青のフィルタ層17用の感光性樹脂
層の染色前の層厚は約3000Åである。そして、赤および
緑のフィルタ層15,16用の感光性樹脂層の染色後の層厚
は約14000〜15000Å、青のフィルタ層17用の感光性樹脂
層の染色後の層厚は約5000Åである。このままでは赤お
よび緑のフィルタ層15,16と青のフィルタ層17との間に
は最大１μｍの層厚の差が生じる。そこで、青のフィル
タ層17の下側に重ねて形成する透明層18は約9000〜1000
0Åの層厚で形成する。これによりフィルタ層厚と透明
層18の層厚との和はフィルタ層15,16の層厚と等しくな
る。
また、フィルタ層17および図示上側に位置する防染層
21の表面を覆って上面保護層19が形成されている。この
上面保護層19の表面には、各フィルタ層15〜17に光を導
く複数の集光層20が各フィルタ層15〜17に相対して形成
されている。これにより各受光部12、各フィルタ層15〜
17および各集光層20は上下に互いに重なり合う位置に配
置される。
21の表面を覆って上面保護層19が形成されている。この
上面保護層19の表面には、各フィルタ層15〜17に光を導
く複数の集光層20が各フィルタ層15〜17に相対して形成
されている。これにより各受光部12、各フィルタ層15〜
17および各集光層20は上下に互いに重なり合う位置に配
置される。
このように構成された撮像素子装置では、光は図２の
破線に示すように外側から各集光層20を通過して、この
集光層20に相対する位置にあるフィルタ層15〜17に導か
れ、更にフィルタ層15〜17に相対する位置にある各受光
部12に到達する。
破線に示すように外側から各集光層20を通過して、この
集光層20に相対する位置にあるフィルタ層15〜17に導か
れ、更にフィルタ層15〜17に相対する位置にある各受光
部12に到達する。
ここで、層厚が他のフィルタ層15、16の層厚より薄い
フィルタ層17は透明層18に重ねて形成されて、そのフィ
ルタ層17の層厚と透明層18の層厚との和が他のフィルタ
層15、16の層厚と同じとなっている。このため、層厚が
他のフィルタ層15、16の層厚より薄いフィルタ層17に相
対する集光層20は窪みが発生せずに正常な形態で形成さ
れる。これにより層厚が薄いフィルタ層17に相対する集
光層20を通過した光は、この集光層20に相対する位置に
あるフィルタ層17に導かれ、更にフィルタ層17に相対す
る位置にある受光部12に到達する。
フィルタ層17は透明層18に重ねて形成されて、そのフィ
ルタ層17の層厚と透明層18の層厚との和が他のフィルタ
層15、16の層厚と同じとなっている。このため、層厚が
他のフィルタ層15、16の層厚より薄いフィルタ層17に相
対する集光層20は窪みが発生せずに正常な形態で形成さ
れる。これにより層厚が薄いフィルタ層17に相対する集
光層20を通過した光は、この集光層20に相対する位置に
あるフィルタ層17に導かれ、更にフィルタ層17に相対す
る位置にある受光部12に到達する。
すなわち、層厚が他のフィルタ層15、16の層厚より薄
いフィルタ層17に相対する集光層20を通過した光が外側
へ向けて拡散されて、フィルタ層17を通過した後に、こ
のフィルタ層17に隣接する他のフィルタ層15,16に相対
する受光部12に到達するという現象が発生することがな
い。このため、本発明の撮像素子装置では、カラー画像
における色のにじみや色むらの発生を防止することがで
きる。
いフィルタ層17に相対する集光層20を通過した光が外側
へ向けて拡散されて、フィルタ層17を通過した後に、こ
のフィルタ層17に隣接する他のフィルタ層15,16に相対
する受光部12に到達するという現象が発生することがな
い。このため、本発明の撮像素子装置では、カラー画像
における色のにじみや色むらの発生を防止することがで
きる。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明の撮像素子装置によれば、
層厚が他のフィルタ層の層厚より薄いフィルタ層が透明
層に重ねて形成されて、そのフィルタ層と透明層の層厚
の和が他のフィルタ層の層厚と同じ大きさになってい
る。このため、層厚が他のフィルタ層の層厚より薄いフ
ィルタ層に相対する集光層は窪みが発生せずに正常な形
態で形成される。これにより層厚が他のフィルタ層の層
厚より薄いフィルタ層に相対する集光層を通過した光
は、層厚が薄いフィルタ層に導かれ、さらに層厚が薄い
フィルタ層を通過してフィルタ層に相対する位置にある
受光部に到達する。
層厚が他のフィルタ層の層厚より薄いフィルタ層が透明
層に重ねて形成されて、そのフィルタ層と透明層の層厚
の和が他のフィルタ層の層厚と同じ大きさになってい
る。このため、層厚が他のフィルタ層の層厚より薄いフ
ィルタ層に相対する集光層は窪みが発生せずに正常な形
態で形成される。これにより層厚が他のフィルタ層の層
厚より薄いフィルタ層に相対する集光層を通過した光
は、層厚が薄いフィルタ層に導かれ、さらに層厚が薄い
フィルタ層を通過してフィルタ層に相対する位置にある
受光部に到達する。
すなわち、層厚が他のフィルタ層の層厚より薄いフィ
ルタ層に相対する集光層を通過した光が外側へ向けて拡
散されて、層厚が薄いフィルタ層を通過した後にフィル
タ層に隣接する他のフィルタ層に相対する受光部に到達
するという現象が発生することがない。従って、フィル
タ層の層厚が薄いことによる集光層の変形を原因とする
色のにじみや色むらがないカラー画像を得ることができ
る。
ルタ層に相対する集光層を通過した光が外側へ向けて拡
散されて、層厚が薄いフィルタ層を通過した後にフィル
タ層に隣接する他のフィルタ層に相対する受光部に到達
するという現象が発生することがない。従って、フィル
タ層の層厚が薄いことによる集光層の変形を原因とする
色のにじみや色むらがないカラー画像を得ることができ
る。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例の撮像素子装置を示す断面
図、第２図は同実施例の撮像素子装置における光通過状
態を説明する図、第３図は従来例の撮像素子装置におけ
る光通過状態を説明する図である。 11……固体撮像素子、 12……受光部、 13……配線層、 14……平滑化層、 15……フィルタ層、 16……フィルタ層、 17……フィルタ層、 18……透明層、 19……上面保護層、 20……集光層、 21……防染層。
図、第２図は同実施例の撮像素子装置における光通過状
態を説明する図、第３図は従来例の撮像素子装置におけ
る光通過状態を説明する図である。 11……固体撮像素子、 12……受光部、 13……配線層、 14……平滑化層、 15……フィルタ層、 16……フィルタ層、 17……フィルタ層、 18……透明層、 19……上面保護層、 20……集光層、 21……防染層。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 合議体 審判長 片寄 武彦 審判官 東森 秀朋 審判官 柏崎 正男 (56)参考文献 特開 昭61−77005（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−81603（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02B 5/20 101 H01L 27/14 H04N 9/07
Claims (1)
- 【請求項１】並べられた複数の受光部を有する撮像素子
と、この撮像素子の前記受光部に相対して位置し感光性
樹脂を染料で３色に染め分けして形成された複数のフィ
ルタ層と、これら各フィルタ層に相対して位置し前記フ
ィルタ層に光を導く集光層とを備えた撮像素子装置にお
いて、 前記３色のうち染色性の良い１色のフィルタ層の層厚が
他の色のフィルタ層の層厚よりも薄く、且つこの層厚の
薄いフィルタ層における前記受光素子側に、前記他の色
のフィルタ層の層厚から前記層厚の薄いフィルタ層の層
厚を差し引いた厚さの透明層が形成され、この透明層に
重ねて前記層厚の薄いフィルタ層が形成されていること
を特徴とする撮像素子装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19838288A JP2792863B2 (ja) | 1988-08-09 | 1988-08-09 | 撮像素子装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19838288A JP2792863B2 (ja) | 1988-08-09 | 1988-08-09 | 撮像素子装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0247604A JPH0247604A (ja) | 1990-02-16 |
| JP2792863B2 true JP2792863B2 (ja) | 1998-09-03 |
Family
ID=16390194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19838288A Expired - Fee Related JP2792863B2 (ja) | 1988-08-09 | 1988-08-09 | 撮像素子装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2792863B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150061964A (ko) * | 2013-11-28 | 2015-06-05 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6214422U (ja) * | 1985-07-11 | 1987-01-28 | ||
| JPS6228715A (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラ−液晶表示装置 |
| JPS6252503A (ja) * | 1985-08-31 | 1987-03-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 光学フイルタ−素子及びその製造法 |
| JPS6281603A (ja) * | 1985-10-07 | 1987-04-15 | Seiko Epson Corp | カラ−フイルタ−の製造方法 |
-
1988
- 1988-08-09 JP JP19838288A patent/JP2792863B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150061964A (ko) * | 2013-11-28 | 2015-06-05 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
| KR102126061B1 (ko) * | 2013-11-28 | 2020-06-23 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0247604A (ja) | 1990-02-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |