JPH03228001A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法Info
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- JPH03228001A JPH03228001A JP2022447A JP2244790A JPH03228001A JP H03228001 A JPH03228001 A JP H03228001A JP 2022447 A JP2022447 A JP 2022447A JP 2244790 A JP2244790 A JP 2244790A JP H03228001 A JPH03228001 A JP H03228001A
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- film
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- resin film
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Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は同体撮像素子等に使用されるカラーフィルタ
の製造方法に関するものである。
の製造方法に関するものである。
（）ｒ来の技術
従来、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタの断面
構成図は第６図のようになっている。
構成図は第６図のようになっている。
この製造方法を順を追って説明すると、まず基板１上に
ゼラチン、カゼインなどに重クロム酸塩を架橋剤として
添加してなる染色性を有する感光性樹脂材を一様に塗布
し、所定のパターニングを行ったあと、第１の分光特性
を有する染料で染色することによって第１の色に染色さ
れた樹脂膜２ａが形成される。次に混色を防圧するため
に透明膜３を全体に塗布する。ついで、前記と同じゼラ
チンまたはカゼインなどからなる樹脂膜を全体に塗布し
、所定のパターニングをしたあと、第２の分光特性を有
する染料で染色することによって、第２の色に染色され
た樹脂膜２ｂが形成される。次にまた、混色を防止する
ために、前記と同じ性質の透明膜４を全体に塗布する。
ゼラチン、カゼインなどに重クロム酸塩を架橋剤として
添加してなる染色性を有する感光性樹脂材を一様に塗布
し、所定のパターニングを行ったあと、第１の分光特性
を有する染料で染色することによって第１の色に染色さ
れた樹脂膜２ａが形成される。次に混色を防圧するため
に透明膜３を全体に塗布する。ついで、前記と同じゼラ
チンまたはカゼインなどからなる樹脂膜を全体に塗布し
、所定のパターニングをしたあと、第２の分光特性を有
する染料で染色することによって、第２の色に染色され
た樹脂膜２ｂが形成される。次にまた、混色を防止する
ために、前記と同じ性質の透明膜４を全体に塗布する。
以上のような工程を繰り返すことにより例えばマゼンダ
、イエロシアンの着色部を形成し、最後に透明の保護膜
６を塗布してカラーフィルタが完成する。
、イエロシアンの着色部を形成し、最後に透明の保護膜
６を塗布してカラーフィルタが完成する。
発明が解決しようとする課題
以上のような従来の構成では、各透明１１１１３．４お
よび樹脂１１１２ｂ、２ｃを全面塗布する場合、それぞ
れの下地側には段差が生じているので塗布ムラが生じ、
カラーフィルタとして使用した場合白ムラとなるので、
カラーフィルタ製造歩留を著しく低下する原因となって
いた。また、下地側に段差がある上側でのパターニング
はパターンが微細化し、隣接の樹脂層が近接するにつれ
所望通りのパターニングが困難となり、いわゆるパター
ン（ずれが生じ、偽信号発生をもたらし画像不良の原因
となっている。
よび樹脂１１１２ｂ、２ｃを全面塗布する場合、それぞ
れの下地側には段差が生じているので塗布ムラが生じ、
カラーフィルタとして使用した場合白ムラとなるので、
カラーフィルタ製造歩留を著しく低下する原因となって
いた。また、下地側に段差がある上側でのパターニング
はパターンが微細化し、隣接の樹脂層が近接するにつれ
所望通りのパターニングが困難となり、いわゆるパター
ン（ずれが生じ、偽信号発生をもたらし画像不良の原因
となっている。
課題を解決するための手段
この問題を解決するために本発明のカラーフィルタ製造
法は、基板全体−様に塗布し染色されるべきパターニン
グされた樹脂膜を単層で形成してしまう。その後混色防
止膜となる透明膜により、所定の染色されるべき樹脂膜
パターンの箇所のみ開口し染色する。この透明膜形成と
樹脂膜染色の工程を繰返すことによってカラーフィルタ
を製造するようにしたものである。
法は、基板全体−様に塗布し染色されるべきパターニン
グされた樹脂膜を単層で形成してしまう。その後混色防
止膜となる透明膜により、所定の染色されるべき樹脂膜
パターンの箇所のみ開口し染色する。この透明膜形成と
樹脂膜染色の工程を繰返すことによってカラーフィルタ
を製造するようにしたものである。
作用
本発明におけるカラーフィルタの製造方法では、平滑な
基板上に樹脂膜を単層に塗布し、且つ各画素を一括バタ
ーニングしてしまうため、各染色の樹脂膜を単層構造で
構成できる。従って各染色の樹脂膜は塗布ムラが解消さ
れ、また精度のよい樹脂膜パターニングが可能である。
基板上に樹脂膜を単層に塗布し、且つ各画素を一括バタ
ーニングしてしまうため、各染色の樹脂膜を単層構造で
構成できる。従って各染色の樹脂膜は塗布ムラが解消さ
れ、また精度のよい樹脂膜パターニングが可能である。
また透明膜によるパターニング精度は樹脂膜のパターニ
ング精度よりゆるくてもよいので、位置合せが容易に行
うことができる。
ング精度よりゆるくてもよいので、位置合せが容易に行
うことができる。
以上により、色ムラのない且つ良好なパターン精度によ
り、偽信号発生のない良質なカラーフィルタを製造する
ことができる。
り、偽信号発生のない良質なカラーフィルタを製造する
ことができる。
実施例
以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１図
から第５図は本発明の一実施例を説明する工程断面図で
ある。
から第５図は本発明の一実施例を説明する工程断面図で
ある。
第１図において、基板１上にゼラチンまたはカゼイン等
に重クロム酸塩を架橋剤として添加してなる染色性を有
する感光性樹脂材を一様に塗布し、各画素に対応した位
置に所定のパターニングを行って樹脂膜２ａ、２ｂ、２
ｃを形成する。次に透明膜を全体に塗布し、第２図に示
すように第１の染色をほどこす樹脂膜２ａのみを開口し
、パターニングされた透明１１１３が形成される。パタ
ーニング精度は樹脂膜２ａと２ｂの間でパターニングさ
れておれば良（、樹脂膜パターンと一致する必要はない
。次に透明１１１３をカバーに樹脂膜２ａを例えばマゼ
ンダに染色する。次に透明膜３は混色防止膜としてその
まま残存させる。次にこの残存させた透明膜３の上面−
様に透明膜４を全体に塗布し、第３図に示すように第２
の色たとえばイエローに染色すべき樹脂膜２ｂのみを開
口するようパターニングする。そのあと、イエローに染
色する。透明膜４はそのまま残す。同様にして第４図に
示す如（、透明膜５を一様に塗布、パターニングし、樹
脂膜２ｃを第３の色たとえばシアンに染色する。以上の
工程をへることによって、マゼンダに染色された樹脂膜
２ａ、イエローに染色された樹脂膜２ｂ、シアンに染色
された樹脂膜２ｃが単層で構成されたことになる。最後
に透明保護膜６を全体に塗布して、カラーフィルタがで
きあがる。
に重クロム酸塩を架橋剤として添加してなる染色性を有
する感光性樹脂材を一様に塗布し、各画素に対応した位
置に所定のパターニングを行って樹脂膜２ａ、２ｂ、２
ｃを形成する。次に透明膜を全体に塗布し、第２図に示
すように第１の染色をほどこす樹脂膜２ａのみを開口し
、パターニングされた透明１１１３が形成される。パタ
ーニング精度は樹脂膜２ａと２ｂの間でパターニングさ
れておれば良（、樹脂膜パターンと一致する必要はない
。次に透明１１１３をカバーに樹脂膜２ａを例えばマゼ
ンダに染色する。次に透明膜３は混色防止膜としてその
まま残存させる。次にこの残存させた透明膜３の上面−
様に透明膜４を全体に塗布し、第３図に示すように第２
の色たとえばイエローに染色すべき樹脂膜２ｂのみを開
口するようパターニングする。そのあと、イエローに染
色する。透明膜４はそのまま残す。同様にして第４図に
示す如（、透明膜５を一様に塗布、パターニングし、樹
脂膜２ｃを第３の色たとえばシアンに染色する。以上の
工程をへることによって、マゼンダに染色された樹脂膜
２ａ、イエローに染色された樹脂膜２ｂ、シアンに染色
された樹脂膜２ｃが単層で構成されたことになる。最後
に透明保護膜６を全体に塗布して、カラーフィルタがで
きあがる。
発明の効果
以上のように、本発明に係わるカラーフィルタの製造方
法によれば、単層で樹脂膜が平滑な基板の上に構成され
ているので、下地段差に起因する塗布ムラが発生せず且
つ平坦な樹脂膜であるのでパターニング精度が良好であ
る。また透明膜を用いて染色時の混色を防止しているの
で、混色のない所望の分光特性を有した良質のカラーフ
ィルタを製造することができる。
法によれば、単層で樹脂膜が平滑な基板の上に構成され
ているので、下地段差に起因する塗布ムラが発生せず且
つ平坦な樹脂膜であるのでパターニング精度が良好であ
る。また透明膜を用いて染色時の混色を防止しているの
で、混色のない所望の分光特性を有した良質のカラーフ
ィルタを製造することができる。
第１図から第５図までは本発明の一実施例によるカラー
フィルタの製造方法の断面工程図、第６図は従来の方法
によるカラーフィルタの断面構成図である。 １・・・・・・基板、２ａ、２ｂ、２ｃ・・・・・・樹
脂膜、３．４．５・・・・・・透明膜、６・・・・・・
保護膜。
フィルタの製造方法の断面工程図、第６図は従来の方法
によるカラーフィルタの断面構成図である。 １・・・・・・基板、２ａ、２ｂ、２ｃ・・・・・・樹
脂膜、３．４．５・・・・・・透明膜、６・・・・・・
保護膜。
Claims (1)
- 基板上に単層からなるパターニングされた樹脂膜を形成
し、次に第１の色に染色すべき当該樹脂膜のみを開口し
てなる第１の透明膜を形成し、当該開口してなる樹脂膜
を第１の色に染色し、次に第２の色に染色すべき当該樹
脂膜のみを開口し、且つ第１の色に染色された樹脂膜を
おおうように第２の透明膜を形成し、当該開口部の樹脂
膜を第２の色に染色し、次に前記単層のパターニングさ
れた樹脂膜を透明膜をカバーに順次所定の色に染色する
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022447A JPH03228001A (ja) | 1990-02-01 | 1990-02-01 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022447A JPH03228001A (ja) | 1990-02-01 | 1990-02-01 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03228001A true JPH03228001A (ja) | 1991-10-09 |
Family
ID=12082970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022447A Pending JPH03228001A (ja) | 1990-02-01 | 1990-02-01 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03228001A (ja) |
-
1990
- 1990-02-01 JP JP2022447A patent/JPH03228001A/ja active Pending
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