JPS62261410A - プリヒ−タ装置 - Google Patents
プリヒ−タ装置Info
- Publication number
- JPS62261410A JPS62261410A JP10541686A JP10541686A JPS62261410A JP S62261410 A JPS62261410 A JP S62261410A JP 10541686 A JP10541686 A JP 10541686A JP 10541686 A JP10541686 A JP 10541686A JP S62261410 A JPS62261410 A JP S62261410A
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- JP
- Japan
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- tablet
- electric field
- lower electrode
- upper electrode
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- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 16
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 abstract description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 abstract description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 2
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C45/46—Means for plasticising or homogenising the moulding material or forcing it into the mould
- B29C45/462—Injection of preformed charges of material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は半導体装置の樹脂封止等罠用いられるプリヒ
ータ装置に関するものである。
ータ装置に関するものである。
第４図ないし第６図は従来のプリヒータ装置を説明する
斜視図で第４図は全体斜視図、第５図および第６図はヒ
ータ部分の拡大斜視図である。まず、第４図において、
１ｆ′ｉ高周波高電圧電界を形成する板状の下電極、２
は下電極１に高周波高電圧電界を伝達する定盤、３は高
周波高電圧電界を形成する上電極、４はタブレット、５
はタブレット４を一定速度で回転させる２本のローラ、
６は上電極３を取付けてこの上電極３の位置を可変する
調整ハンドル、７は蓋であり、との蓋７には前述した調
整ハンドル６が取り付けられ、開閉が可能であり、プリ
ヒート中には閉じられる。なお、第４図および第５図に
おいて、下電極１は板状体で形成され、第６図に示す下
電極１は２本のａ−ラ５内に棒状体で形成されている。
斜視図で第４図は全体斜視図、第５図および第６図はヒ
ータ部分の拡大斜視図である。まず、第４図において、
１ｆ′ｉ高周波高電圧電界を形成する板状の下電極、２
は下電極１に高周波高電圧電界を伝達する定盤、３は高
周波高電圧電界を形成する上電極、４はタブレット、５
はタブレット４を一定速度で回転させる２本のローラ、
６は上電極３を取付けてこの上電極３の位置を可変する
調整ハンドル、７は蓋であり、との蓋７には前述した調
整ハンドル６が取り付けられ、開閉が可能であり、プリ
ヒート中には閉じられる。なお、第４図および第５図に
おいて、下電極１は板状体で形成され、第６図に示す下
電極１は２本のａ−ラ５内に棒状体で形成されている。
仁のように構成されるプリヒータ装置は、予め下電極１
および上電極３とタブレット４との間の間隔を、２本の
ローラ５の間隔および調整ハンドル６により適当に設定
しておき、タブレット４をローラ５の上に装着する。次
すで蓋７を閉じ、ロー２５を回転させることにより、タ
ブレット４を回転させながら、高周波高電圧を発生させ
る。これによって高周波高電圧電界は下電極１および定
盤２と上電極３との間に形成され、タブレット４は加熱
される。
および上電極３とタブレット４との間の間隔を、２本の
ローラ５の間隔および調整ハンドル６により適当に設定
しておき、タブレット４をローラ５の上に装着する。次
すで蓋７を閉じ、ロー２５を回転させることにより、タ
ブレット４を回転させながら、高周波高電圧を発生させ
る。これによって高周波高電圧電界は下電極１および定
盤２と上電極３との間に形成され、タブレット４は加熱
される。
しかしながら、このように構成されるプリヒータ装置は
、下電極１および上電極３がタブレット４に対して大き
く、タブレット４の外側にも電界が形成され、タブレッ
ト４のまわシの電界は、タブレット４は誘電率が高いの
で、タブレット４の両端に集中し、中央部よりも両端部
の方が高温度に加熱され、温度むらが生じるという問題
点があった。
、下電極１および上電極３がタブレット４に対して大き
く、タブレット４の外側にも電界が形成され、タブレッ
ト４のまわシの電界は、タブレット４は誘電率が高いの
で、タブレット４の両端に集中し、中央部よりも両端部
の方が高温度に加熱され、温度むらが生じるという問題
点があった。
この発明は前述のような問題点を解消するためになされ
たもので、タブレットの両端と中央部とが均一に加熱す
ることができるプリヒータ装置を得ることを目的として
いる。
たもので、タブレットの両端と中央部とが均一に加熱す
ることができるプリヒータ装置を得ることを目的として
いる。
この発明に係るプリヒータ装置は、下電極および上電極
の高周波高電圧電界面寸法を、タブレットの投影面とほ
ぼ等しい大きさに設定するものである。具体的には下電
極および上電極のタブレット投影面寸法以外の部分に絶
縁部材を設けたものである。
の高周波高電圧電界面寸法を、タブレットの投影面とほ
ぼ等しい大きさに設定するものである。具体的には下電
極および上電極のタブレット投影面寸法以外の部分に絶
縁部材を設けたものである。
この発明におけるプリヒータ装置は、高周波高電圧電界
がタブレットにおいて下電極と上電極との間で均一に形
成され、両端と中央部とで温度むらがなくな９、均一に
加熱される。
がタブレットにおいて下電極と上電極との間で均一に形
成され、両端と中央部とで温度むらがなくな９、均一に
加熱される。
以下図面を用いてこの発明の実施例を詳細に説明する。
第１図および第２図はこの発明によるプリヒータ装置の
一実施例を説明するためのモータ部分の拡大図であシ、
第１図は斜視図、第２図は断面図を示し、前述の図と同
一部分には同−符号分付しである。これらの図において
、下電極１および上電極３のタブレット４投影面以外の
部分には、例えばテフロン、絶縁磁器等の誘電率の低い
絶縁部材８が取シ付けられており、電気的に絶縁されて
いる。なお、上電極３は図示されないが、第４図に示す
ような調整ハンドル６に取付けられてその位置を可変す
ることができ、この調整ハンドル６は開閉可能な蓋７に
取付けられ、蓋７はプリヒート中には閉じられる。
一実施例を説明するためのモータ部分の拡大図であシ、
第１図は斜視図、第２図は断面図を示し、前述の図と同
一部分には同−符号分付しである。これらの図において
、下電極１および上電極３のタブレット４投影面以外の
部分には、例えばテフロン、絶縁磁器等の誘電率の低い
絶縁部材８が取シ付けられており、電気的に絶縁されて
いる。なお、上電極３は図示されないが、第４図に示す
ような調整ハンドル６に取付けられてその位置を可変す
ることができ、この調整ハンドル６は開閉可能な蓋７に
取付けられ、蓋７はプリヒート中には閉じられる。
このような構成において、予め下電極１および上電極３
とタブレット４との間隔を２本のロー２５の間隔および
図示しない調整ハンドル６で適当に設定しておき、タブ
レット４を２本のロー２５に装着する０次いで蓋７を閉
じ、ロー２５を回転させることにより、タブレット４を
回転させながら、高周波高電圧を発生させる。これによ
って高周波高電圧電界は定盤２を通って下電極１と上電
極３との間に形成される。この場合１両電極１゜３の両
端部に配設された絶縁部材８の上には電界が形成されず
、また、電界面がタブレット４の投影面と等しいので、
タブレット４において電界が均一となり、タブレット４
０両端と中央部とで温度むらがなく加熱されることにな
る。
とタブレット４との間隔を２本のロー２５の間隔および
図示しない調整ハンドル６で適当に設定しておき、タブ
レット４を２本のロー２５に装着する０次いで蓋７を閉
じ、ロー２５を回転させることにより、タブレット４を
回転させながら、高周波高電圧を発生させる。これによ
って高周波高電圧電界は定盤２を通って下電極１と上電
極３との間に形成される。この場合１両電極１゜３の両
端部に配設された絶縁部材８の上には電界が形成されず
、また、電界面がタブレット４の投影面と等しいので、
タブレット４において電界が均一となり、タブレット４
０両端と中央部とで温度むらがなく加熱されることにな
る。
なお、前述した実施例においては、下電極１を平坦面を
有する角柱体で形成した場合について説明したが、第３
図に示すように円弧状の曲面を有する凹状体で形成して
も同様な効果が得られる。
有する角柱体で形成した場合について説明したが、第３
図に示すように円弧状の曲面を有する凹状体で形成して
も同様な効果が得られる。
また、前述した実施例では、半導体装置の樹脂封止用プ
リヒータ装置について説明したが、他のトランスファー
成形装置におけるタブレットのプリヒータ装置であって
も前述の実施例と同様の効果が得られる。
リヒータ装置について説明したが、他のトランスファー
成形装置におけるタブレットのプリヒータ装置であって
も前述の実施例と同様の効果が得られる。
以上説明したようにこの発明によれば、下電極および上
電極の高周波高電圧電界面寸法を、タブレット投影面と
ほぼ等しい大きさに設定したことにより、タブレットの
両端と中央部とで温度むらがなく、加熱することができ
るという極めて優れた効果が得られる。
電極の高周波高電圧電界面寸法を、タブレット投影面と
ほぼ等しい大きさに設定したことにより、タブレットの
両端と中央部とで温度むらがなく、加熱することができ
るという極めて優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明によるプリヒータ装置の一実施例を示
すヒータ部分の拡大斜視図、第２図は第１図の断面図、
第３図はこの発明の他の実施例を示す下電極の斜視図、
第４図ないし第６図は従来のプリヒータ装置を説明する
斜視図である。 １・・・・下電極、２・・・・定盤、３・・・・上電極
、４・・・・タブレット、５・・・・ローラ、６・・・
・調整ハンドル、７・・・φ蓋、８・・・・絶縁部材。
すヒータ部分の拡大斜視図、第２図は第１図の断面図、
第３図はこの発明の他の実施例を示す下電極の斜視図、
第４図ないし第６図は従来のプリヒータ装置を説明する
斜視図である。 １・・・・下電極、２・・・・定盤、３・・・・上電極
、４・・・・タブレット、５・・・・ローラ、６・・・
・調整ハンドル、７・・・φ蓋、８・・・・絶縁部材。
Claims (2)
- （１）一対の上、下電極間に高周波高電圧電界を発生さ
せ、該電界内にタブレットを配置して加熱加工するプリ
ヒータ装置において、前記上、下電極の高周波高電圧電
界面寸法を、タブレット投影面とほぼ等しい大きさに設
定することを特徴としたプリヒータ装置。 - （２）前記両電極のタブレット投影面寸法以外を絶縁部
材で形成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のプリヒータ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10541686A JPS62261410A (ja) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | プリヒ−タ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10541686A JPS62261410A (ja) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | プリヒ−タ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62261410A true JPS62261410A (ja) | 1987-11-13 |
Family
ID=14407001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10541686A Pending JPS62261410A (ja) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | プリヒ−タ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62261410A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105437407A (zh) * | 2015-12-08 | 2016-03-30 | 江苏神马电力股份有限公司 | 一种复合绝缘子用预热机 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60109812A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-15 | Toshiba Corp | 可動電極形プレヒ−タ− |
| JPS6176332A (ja) * | 1985-09-17 | 1986-04-18 | Hitachi Ltd | 高周波予備加熱装置 |
-
1986
- 1986-05-08 JP JP10541686A patent/JPS62261410A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60109812A (ja) * | 1983-11-18 | 1985-06-15 | Toshiba Corp | 可動電極形プレヒ−タ− |
| JPS6176332A (ja) * | 1985-09-17 | 1986-04-18 | Hitachi Ltd | 高周波予備加熱装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105437407A (zh) * | 2015-12-08 | 2016-03-30 | 江苏神马电力股份有限公司 | 一种复合绝缘子用预热机 |
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