JPS63160355A - 静電チヤツク - Google Patents
静電チヤツクInfo
- Publication number
- JPS63160355A JPS63160355A JP61309551A JP30955186A JPS63160355A JP S63160355 A JPS63160355 A JP S63160355A JP 61309551 A JP61309551 A JP 61309551A JP 30955186 A JP30955186 A JP 30955186A JP S63160355 A JPS63160355 A JP S63160355A
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- JP
- Japan
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- wafer
- heater
- electrostatic chuck
- dielectric
- heated
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 abstract description 5
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
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- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は静電チャックにより吸着したウェハを高温度ま
で加熱することのできる静電チャックに関する。
で加熱することのできる静電チャックに関する。
本発明は静電チャックを構成する誘電体の裏面に加熱体
を配置することにより、加熱体からの熱伝導または輻射
熱により吸着したウェハを高温度まで加熱できる静電チ
ャックを実現した。
を配置することにより、加熱体からの熱伝導または輻射
熱により吸着したウェハを高温度まで加熱できる静電チ
ャックを実現した。
従来ウェハを加熱する場合、ウェハを保持する機構とし
て、ウェハホルダー、あるいはピン、エツジ等を介して
機械的に保持していた。
て、ウェハホルダー、あるいはピン、エツジ等を介して
機械的に保持していた。
しかしながら前記の方法によると、ｔｉａ械的な可動部
が多くなるとともに、ウェハとウェハホルダーまたは加
熱体との熱接触が均一にならず、特にウェハの周辺部あ
るいはウェハを保持しているエツジ部が加熱されにくく
均一な温度分布が得られないという欠点があった。
が多くなるとともに、ウェハとウェハホルダーまたは加
熱体との熱接触が均一にならず、特にウェハの周辺部あ
るいはウェハを保持しているエツジ部が加熱されにくく
均一な温度分布が得られないという欠点があった。
前記問題点を解決するため本発明においては。
静電チャックを用いてウェハを吸着し、さらに静電チャ
ック本体に加熱体を組み込んだ。
ック本体に加熱体を組み込んだ。
前記静電チャックを用いることにより、ウェハを吸着部
へ所定の圧力で保持できる。これによりウェハと加熱体
を有する吸着部表面とを、均一な圧力で接触させるとと
もにウェハの反りを矯正して固定できるため、加熱体か
らの熱を効率よく。
へ所定の圧力で保持できる。これによりウェハと加熱体
を有する吸着部表面とを、均一な圧力で接触させるとと
もにウェハの反りを矯正して固定できるため、加熱体か
らの熱を効率よく。
かつ均一に伝達することができる。これによりウェハを
均一な温度に加熱することができるのである。
均一な温度に加熱することができるのである。
以下に本発明の実施例について第１図ないし第２図を用
いて説明する。第１図は本発明を実施しした静電チャッ
クの断面を示すもので、金属板７の上に絶縁層６．電極
５．絶縁層４を被着して誘電体を構成している。加熱体
として本実施例ではフォイルヒータ８を用い、前記誘電
体の裏面へ接触させ熱伝導によってウェハ３を加熱する
。電源ｌは電極５へ給電するための電源、電源２はフォ
イルヒータ８へ通電するための電源である。
いて説明する。第１図は本発明を実施しした静電チャッ
クの断面を示すもので、金属板７の上に絶縁層６．電極
５．絶縁層４を被着して誘電体を構成している。加熱体
として本実施例ではフォイルヒータ８を用い、前記誘電
体の裏面へ接触させ熱伝導によってウェハ３を加熱する
。電源ｌは電極５へ給電するための電源、電源２はフォ
イルヒータ８へ通電するための電源である。
第２図に示す実施例は加熱体及びその配置の異なる例を
示すもので、金属板７の表面に絶縁層６゜電極５．絶縁
層４．を被着することにより構成された誘電体の裏側に
ヒータ９が９例えばタンタル線をコイル状に巻いて形成
し、配線されている。
示すもので、金属板７の表面に絶縁層６゜電極５．絶縁
層４．を被着することにより構成された誘電体の裏側に
ヒータ９が９例えばタンタル線をコイル状に巻いて形成
し、配線されている。
ウェハはヒータ９からの輻射熱より、誘電体を介して加
熱される。この際裏側への熱損失を防ぐため金属板数枚
からなる反射板１０が配置されている。電源１ないし電
源２は前記実施例同様に電極５、ヒータ９へ給電するた
めの電源である。
熱される。この際裏側への熱損失を防ぐため金属板数枚
からなる反射板１０が配置されている。電源１ないし電
源２は前記実施例同様に電極５、ヒータ９へ給電するた
めの電源である。
本発明の静電チャックによれば１機械的な可動部を多く
せずにウェハをチャックでき、かつウェハと加熱体との
熱接触が十分でないため温度分布が均一にならないとい
う従来の欠点を除き、ウェハを高温まで加熱できる。
せずにウェハをチャックでき、かつウェハと加熱体との
熱接触が十分でないため温度分布が均一にならないとい
う従来の欠点を除き、ウェハを高温まで加熱できる。
第１図ないし第２図本発明を実施した静電チャックの断
面を示す。 １・・・電極へ給電するための電源 ２・・・加熱体へ通電するための電源 ３・・・ウェハ ４．６・絶縁層 ５・・・電極 ７・・・金属板 ８・・・フォイルヒータ ９・・・ヒータ １０・・反射板 （４１１１名） 木范ｅ月侶天止しａＰ電ナヤ１，２７の血゛面図第１図 木発」月を実施しｋｉ１亀千τ・ノアの豹改■田裏２図
面を示す。 １・・・電極へ給電するための電源 ２・・・加熱体へ通電するための電源 ３・・・ウェハ ４．６・絶縁層 ５・・・電極 ７・・・金属板 ８・・・フォイルヒータ ９・・・ヒータ １０・・反射板 （４１１１名） 木范ｅ月侶天止しａＰ電ナヤ１，２７の血゛面図第１図 木発」月を実施しｋｉ１亀千τ・ノアの豹改■田裏２図
Claims (3)
- （１）電極表面に絶縁物を被着して誘電体を構成し、前
記誘電体上に配置されたウェハを静電気力により吸着す
る静電チャックにおいて、前記誘電体の裏面に加熱体を
配置し、ウェハを高温度まで加熱できることを特徴とす
る静電チャック。 - （２）前記加熱体を誘電体の裏面へ固定し、加熱体から
の熱伝導によりウェハを加熱することを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の静電チャック。 - （３）前記加熱体を誘電体と間隔をあけて配置し加熱体
からの輻射熱により誘電体上に吸着されたウェハを加熱
することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の静電
チャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61309551A JPS63160355A (ja) | 1986-12-24 | 1986-12-24 | 静電チヤツク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61309551A JPS63160355A (ja) | 1986-12-24 | 1986-12-24 | 静電チヤツク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63160355A true JPS63160355A (ja) | 1988-07-04 |
Family
ID=17994373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61309551A Pending JPS63160355A (ja) | 1986-12-24 | 1986-12-24 | 静電チヤツク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63160355A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63209136A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-30 | Fujitsu Ltd | 静電吸着装置 |
| JPH04304941A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-28 | Ngk Insulators Ltd | ウエハー保持具の製造方法 |
| WO1993020670A1 (en) * | 1992-03-28 | 1993-10-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Heating apparatus having thermistor of positive temperature coefficient |
| JPH09260474A (ja) * | 1996-03-22 | 1997-10-03 | Sony Corp | 静電チャックおよびウエハステージ |
| JPH1064983A (ja) * | 1996-08-16 | 1998-03-06 | Sony Corp | ウエハステージ |
| JPH1064984A (ja) * | 1996-08-16 | 1998-03-06 | Sony Corp | ウエハステージ |
| US5958140A (en) * | 1995-07-27 | 1999-09-28 | Tokyo Electron Limited | One-by-one type heat-processing apparatus |
-
1986
- 1986-12-24 JP JP61309551A patent/JPS63160355A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63209136A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-30 | Fujitsu Ltd | 静電吸着装置 |
| JPH04304941A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-28 | Ngk Insulators Ltd | ウエハー保持具の製造方法 |
| WO1993020670A1 (en) * | 1992-03-28 | 1993-10-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Heating apparatus having thermistor of positive temperature coefficient |
| GB2273232A (en) * | 1992-03-28 | 1994-06-08 | Murata Manufacturing Co | Heating apparatus having thermistor of positive temperature coefficient |
| US5428206A (en) * | 1992-03-28 | 1995-06-27 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Positive temperature coefficient thermistor heat generator |
| GB2273232B (en) * | 1992-03-28 | 1996-04-17 | Murata Manufacturing Co | Positive temperature co-efficient thermistor heat generator |
| US5958140A (en) * | 1995-07-27 | 1999-09-28 | Tokyo Electron Limited | One-by-one type heat-processing apparatus |
| JPH09260474A (ja) * | 1996-03-22 | 1997-10-03 | Sony Corp | 静電チャックおよびウエハステージ |
| JPH1064983A (ja) * | 1996-08-16 | 1998-03-06 | Sony Corp | ウエハステージ |
| JPH1064984A (ja) * | 1996-08-16 | 1998-03-06 | Sony Corp | ウエハステージ |
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