JPS62252162A - ゲ−ト保護回路 - Google Patents
ゲ−ト保護回路Info
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- JPS62252162A JPS62252162A JP61094555A JP9455586A JPS62252162A JP S62252162 A JPS62252162 A JP S62252162A JP 61094555 A JP61094555 A JP 61094555A JP 9455586 A JP9455586 A JP 9455586A JP S62252162 A JPS62252162 A JP S62252162A
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D89/00—Aspects of integrated devices not covered by groups H10D84/00 - H10D88/00
- H10D89/60—Integrated devices comprising arrangements for electrical or thermal protection, e.g. protection circuits against electrostatic discharge [ESD]
- H10D89/601—Integrated devices comprising arrangements for electrical or thermal protection, e.g. protection circuits against electrostatic discharge [ESD] for devices having insulated gate electrodes, e.g. for IGFETs or IGBTs
- H10D89/611—Integrated devices comprising arrangements for electrical or thermal protection, e.g. protection circuits against electrostatic discharge [ESD] for devices having insulated gate electrodes, e.g. for IGFETs or IGBTs using diodes as protective elements
Landscapes
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
高性能マイコン設計において、入出力回路に含まれるゲ
ート保護回路の小型化のための回路設計に係る。特に、
入出力回路のラッチアップを効果的に抑制するゲート保
護回路の設計方法に関する。
ート保護回路の小型化のための回路設計に係る。特に、
入出力回路のラッチアップを効果的に抑制するゲート保
護回路の設計方法に関する。
近年、C1’lO3集積回路の性能は向上し、回路の集
積度も一段と増している。これらを用いたマイコンの設
計においてしばしば問題となっているのがラッチアップ
現像であり特に入出力回路では、外部からの電圧変動を
パッドを介して直接受けるため、ラッチアップが発生し
易い、ラッチアップ現像は基板中の電源電位と接地電位
にある種の電流系路が形成され、電源が入っている間は
電現電位から接地電位に電流が流れ続け、スイッチを切
らない限り止まらないものである。
積度も一段と増している。これらを用いたマイコンの設
計においてしばしば問題となっているのがラッチアップ
現像であり特に入出力回路では、外部からの電圧変動を
パッドを介して直接受けるため、ラッチアップが発生し
易い、ラッチアップ現像は基板中の電源電位と接地電位
にある種の電流系路が形成され、電源が入っている間は
電現電位から接地電位に電流が流れ続け、スイッチを切
らない限り止まらないものである。
この対策として従来の装置は、特開昭59−50557
号に記載のように、電源電位と入力端子の間に順方向に
形成したダイオードとポリシリコン抵抗を用いこの低下
の基板内に接地電位のP−ウェル層′を形成し基板に流
れ込むラッチアップ電流を吸収するものであった。
号に記載のように、電源電位と入力端子の間に順方向に
形成したダイオードとポリシリコン抵抗を用いこの低下
の基板内に接地電位のP−ウェル層′を形成し基板に流
れ込むラッチアップ電流を吸収するものであった。
しかしラッチアップ電流は、基板を介して四方に伝わる
ものであり、また今後、入出力端子数の増加とチップサ
イズの制約から更に、周辺回路としての入出力回路構成
面積が制限された場合には、いっそうラッチアップに対
しての対策が必要となってくる。
ものであり、また今後、入出力端子数の増加とチップサ
イズの制約から更に、周辺回路としての入出力回路構成
面積が制限された場合には、いっそうラッチアップに対
しての対策が必要となってくる。
本発明の目的は、ラッチ面積の増大や、集積度の低下を
引き起こすことなく、対ラッチアップ性を向上さ′せた
ゲート保護回路を提供することにある。
引き起こすことなく、対ラッチアップ性を向上さ′せた
ゲート保護回路を提供することにある。
本発明は、今後開発されるであろうVLSLに適応する
ことを前提としたものである。
ことを前提としたものである。
ラッチアップはチップ内部と外部との間で外部電圧の変
動を直接受ける入出力回路で発生し易く、特に入力回路
は、人体からの静電気などの影響を受は易いため、この
入力回路に含まれるゲート保護回路を改良することで、
ラッチアップを効果的に抑制できる。
動を直接受ける入出力回路で発生し易く、特に入力回路
は、人体からの静電気などの影響を受は易いため、この
入力回路に含まれるゲート保護回路を改良することで、
ラッチアップを効果的に抑制できる。
ゲート保護回路を構成するにおいて、N形基板上にN形
拡散層で保護抵抗を形成した場合、N膨拡散層抵抗とN
形部板を分離するため、P−ウェル層を形成する必要が
ある。
拡散層で保護抵抗を形成した場合、N膨拡散層抵抗とN
形部板を分離するため、P−ウェル層を形成する必要が
ある。
このP−ウェル層を接地電位に固定しておけば、電源電
位と入力端子間に順方向に形成した保護ダイオードの特
性により入力電圧によって基板内に流れ込む電流を吸収
する。
位と入力端子間に順方向に形成した保護ダイオードの特
性により入力電圧によって基板内に流れ込む電流を吸収
する。
従来の方式でも、特開昭59−50557号に示すよう
にポリシリコンで形成した保護抵抗下の基板内に、P−
ウェル層を形成し接地電位に固定してラッチアップ電流
を吸収するものであった。しかし、この従来例では、P
−ウェル層を保護ダイオードと内部負荷回路の間の基板
内・にしか配置していないため、保護ダイオードから基
板を介して四方に流れ出る電流が洩れる恐れがある。
にポリシリコンで形成した保護抵抗下の基板内に、P−
ウェル層を形成し接地電位に固定してラッチアップ電流
を吸収するものであった。しかし、この従来例では、P
−ウェル層を保護ダイオードと内部負荷回路の間の基板
内・にしか配置していないため、保護ダイオードから基
板を介して四方に流れ出る電流が洩れる恐れがある。
そこで本発明は、P−ウェル層を保護ダイオードと内部
回路め間だけではなく、保護ダイオードの四方の基板内
に配置する。
回路め間だけではなく、保護ダイオードの四方の基板内
に配置する。
上述の構成により、従来方式に比べ、基板に流れ込む電
流はほとんど洩らすことなく吸収できる。
流はほとんど洩らすことなく吸収できる。
圭だ、保護ダイオードの四方にP−ウェル層を配置する
ことでゲート保護回路自体のサイズは多少大きくなるも
のの、隣接した回路との間隔を狭めることも可能となり
、全体的なチップサイズにほとんど影響を与えることは
ない。
ことでゲート保護回路自体のサイズは多少大きくなるも
のの、隣接した回路との間隔を狭めることも可能となり
、全体的なチップサイズにほとんど影響を与えることは
ない。
以下、本発明の詳細を図面を用いて説明する。
外国部の対応する部分は同一の記号を用いて説明を行う
。本発明は、小面積で構成することを条件とした。ラッ
チアップに強いゲート保護回路である。第2図にラッチ
アラプリメカニズムを示す。
。本発明は、小面積で構成することを条件とした。ラッ
チアップに強いゲート保護回路である。第2図にラッチ
アラプリメカニズムを示す。
CMOSは、同一基板上にPチャネル(ah) 、Nc
hを有すものであり、その構造上基板内に寄生のトラン
ジスタが必然的に形成される。第1図の(a)は、ラッ
チアップ現象を説明する断面図、第1図の(b)は、そ
の回路図を示す、端子1から電源電圧(Vno)+ダイ
オードの順電圧(Vp)を越えた電圧が入力されたとき
、P+からN形部板に向って電流aが流れる。この電流
aによりTriで増幅された電流すが流れ、トランジス
タ2により、更に増幅された電流Cが流れる。この電流
CはN形部板(電源電位)から、N+の拡散層(接地電
位)に向って流れるもので、電源を切らない隔り、流れ
つづけるものである。
hを有すものであり、その構造上基板内に寄生のトラン
ジスタが必然的に形成される。第1図の(a)は、ラッ
チアップ現象を説明する断面図、第1図の(b)は、そ
の回路図を示す、端子1から電源電圧(Vno)+ダイ
オードの順電圧(Vp)を越えた電圧が入力されたとき
、P+からN形部板に向って電流aが流れる。この電流
aによりTriで増幅された電流すが流れ、トランジス
タ2により、更に増幅された電流Cが流れる。この電流
CはN形部板(電源電位)から、N+の拡散層(接地電
位)に向って流れるもので、電源を切らない隔り、流れ
つづけるものである。
従来、上記のようなラッチアップ現像を防ぐため、次に
述べるような方法がとられていた。(1)。
述べるような方法がとられていた。(1)。
上記した2個の寄生トランジスタの電流増幅率も減少さ
せるべく、P+とP−ウェルの距離、P−ウエル端とN
+(接地電位端の距離を大きくする。
せるべく、P+とP−ウェルの距離、P−ウエル端とN
+(接地電位端の距離を大きくする。
これにより、2つのトランジスタのベース領域の抵抗が
増し、これらのトランジスタの電流増幅率は低下する。
増し、これらのトランジスタの電流増幅率は低下する。
、(2)、保護ダイオードのP+と内部負荷回路のP−
ウェル層の間にP+を挿入し、これを接地電位に固定し
、入力電圧により流れる電流aを吸収し、トランジスタ
1のベース電流を減少させる。。
ウェル層の間にP+を挿入し、これを接地電位に固定し
、入力電圧により流れる電流aを吸収し、トランジスタ
1のベース電流を減少させる。。
しかし、(1)の方式は、距離を増加することによりチ
ップ面積の増大、及び集積密度の低下を招いてしまう6
また(2)の方式は、挿入したP+とP−ウェル層の距
離を増加する必要はないものの、このP+で吸収できる
電流は、aの電流の一部であり、基板に流れる電流と比
較すれば充分な電流を吸収できるものではない、つまり
集積変向上のため、P+とP−ウェル層を近づければや
はりラッチアップは起こり易くなる。この方法も、レイ
アウト面積を犠牲とするものであり、根本的なラッチア
ップの対策とはなり得ない。
ップ面積の増大、及び集積密度の低下を招いてしまう6
また(2)の方式は、挿入したP+とP−ウェル層の距
離を増加する必要はないものの、このP+で吸収できる
電流は、aの電流の一部であり、基板に流れる電流と比
較すれば充分な電流を吸収できるものではない、つまり
集積変向上のため、P+とP−ウェル層を近づければや
はりラッチアップは起こり易くなる。この方法も、レイ
アウト面積を犠牲とするものであり、根本的なラッチア
ップの対策とはなり得ない。
(3)また、特開昭59−50559号では、保護ダイ
オードと内部負荷回路の間に保護抵抗を形成し、抵抗下
層の基板内に接地電位に固定したゲート保護回路用の、
P−ウェル層を挿入してこのP−ウェル層で基板に流れ
込む電流を吸収するものである。この、(3)の方式は
、ゲート保護回路用のP−ウェル層を、保護ダイオード
と内部負荷回路の間にのみ配置している。しかし、ダイ
オードから基板に流れ込む電流は、四方に分散するので
1ケ所にのみ、P−ウェル層を配置しただけでは。
オードと内部負荷回路の間に保護抵抗を形成し、抵抗下
層の基板内に接地電位に固定したゲート保護回路用の、
P−ウェル層を挿入してこのP−ウェル層で基板に流れ
込む電流を吸収するものである。この、(3)の方式は
、ゲート保護回路用のP−ウェル層を、保護ダイオード
と内部負荷回路の間にのみ配置している。しかし、ダイ
オードから基板に流れ込む電流は、四方に分散するので
1ケ所にのみ、P−ウェル層を配置しただけでは。
基板に流れ込む電流を十分に吸収できない恐れがあった
。
。
そこで本発明は第1図、第3図に示すように、ゲート保
護回路を入力保護ダイオード3とN形拡散層の入力保護
抵抗5,6を用い、抵抗下層のN形基板内に抵抗を基板
を分離するゲート保護回路用のP−ウェル層を接地電位
に固定し、挿入して構成する。また従来方式に比べ、保
護ダイオード3を周囲をP−ウェル層で囲んだN形基板
内に形成し、このP−ウェル層内にN形拡散層を用いた
抵抗を形成することを特徴とする。
護回路を入力保護ダイオード3とN形拡散層の入力保護
抵抗5,6を用い、抵抗下層のN形基板内に抵抗を基板
を分離するゲート保護回路用のP−ウェル層を接地電位
に固定し、挿入して構成する。また従来方式に比べ、保
護ダイオード3を周囲をP−ウェル層で囲んだN形基板
内に形成し、このP−ウェル層内にN形拡散層を用いた
抵抗を形成することを特徴とする。
このようにゲート保護回路を構成すると、第1図の(b
)に示すように3のP+とN形基板と7のP−ウェル層
の間でできたトランジスタ3により基板に流れ込む電流
aの大部分は吸収され、電源電位の基板から接地電位の
P+に流れ込む直流電流dに比べ、電源電位の基板から
ゲートを構成している部分N+に流れ込む直流電流C(
ラッチアップ電流)は小さな値となり、内部負荷回路4
のラッチアップをより効果的に抑制できる。また保護ダ
イオードの周囲をP−ウェル層で囲んだことにより、ゲ
ート保護回路のサイズは従来方式に比べ多少大きくなる
。
)に示すように3のP+とN形基板と7のP−ウェル層
の間でできたトランジスタ3により基板に流れ込む電流
aの大部分は吸収され、電源電位の基板から接地電位の
P+に流れ込む直流電流dに比べ、電源電位の基板から
ゲートを構成している部分N+に流れ込む直流電流C(
ラッチアップ電流)は小さな値となり、内部負荷回路4
のラッチアップをより効果的に抑制できる。また保護ダ
イオードの周囲をP−ウェル層で囲んだことにより、ゲ
ート保護回路のサイズは従来方式に比べ多少大きくなる
。
しかし、前述したように、3のP+から流れ込む電流は
基板を介して四方に伝わるため隣接した他の回路との距
離も広げておく必要があったが。
基板を介して四方に伝わるため隣接した他の回路との距
離も広げておく必要があったが。
本発明を採用することにより、この距離を狭めることが
可能となるため、全体のチップサイズには、はとんど影
響を与えない。
可能となるため、全体のチップサイズには、はとんど影
響を与えない。
本発明によれば、P−ウェル層を使用することによって
、入力電圧により基板に流れだす電流(ラッチアップ電
流を引き起こす電流)を吸収し易くするもので、このP
−ウェル層をゲート保護回路の周囲に配置することで、
基板を介して四方に流れる電流を、より効果的に吸収し
ラッチアップの発生を防止する効果をもつ。
、入力電圧により基板に流れだす電流(ラッチアップ電
流を引き起こす電流)を吸収し易くするもので、このP
−ウェル層をゲート保護回路の周囲に配置することで、
基板を介して四方に流れる電流を、より効果的に吸収し
ラッチアップの発生を防止する効果をもつ。
第1図の(a)は、発明の一実施例になるゲート保護回
路の回路図、第1図の(b)は、(a)の断面図であり
、ゲート保護の動作を説明する図、第2図の(a)はラ
ッチアップ現像を説明する断面図、第2図の(b)は(
a)の回路図、第3図は1発明の一実施例におけるゲー
ト保護回路レイアウトパターンの平面図である。 3・・・入力保護ダイオード、4・・・内部回路、6・
・・入力保護抵抗、7・・・P−ウェル層、a・・・入
力電圧による電流、b・・・トランジスタ1により増幅
された電流、C・・・トランジスタ2により増幅され、
電源電位から接地電位に流れる直流電流、d・・・P−
ウ(bン 薯 Z 図 曽υ (b)
路の回路図、第1図の(b)は、(a)の断面図であり
、ゲート保護の動作を説明する図、第2図の(a)はラ
ッチアップ現像を説明する断面図、第2図の(b)は(
a)の回路図、第3図は1発明の一実施例におけるゲー
ト保護回路レイアウトパターンの平面図である。 3・・・入力保護ダイオード、4・・・内部回路、6・
・・入力保護抵抗、7・・・P−ウェル層、a・・・入
力電圧による電流、b・・・トランジスタ1により増幅
された電流、C・・・トランジスタ2により増幅され、
電源電位から接地電位に流れる直流電流、d・・・P−
ウ(bン 薯 Z 図 曽υ (b)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、CMOS集積回路において、Nチャネル基板内に入
力端子と電源電位(Vcc)の間でダイオードを順方向
に形成し、上記ダイオードの周囲をP−ウェル層で囲ん
だN形基板内に形成することを特徴とするゲート保護回
路。 2、上記のP−ウェル内にN形拡散層を用いた抵抗を形
成することを特徴とした第1項記載のゲート保護回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61094555A JPS62252162A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | ゲ−ト保護回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61094555A JPS62252162A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | ゲ−ト保護回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62252162A true JPS62252162A (ja) | 1987-11-02 |
Family
ID=14113560
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61094555A Pending JPS62252162A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | ゲ−ト保護回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62252162A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01124251A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-17 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
US5032742A (en) * | 1989-07-28 | 1991-07-16 | Dallas Semiconductor Corporation | ESD circuit for input which exceeds power supplies in normal operation |
-
1986
- 1986-04-25 JP JP61094555A patent/JPS62252162A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01124251A (ja) * | 1987-11-09 | 1989-05-17 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
US5032742A (en) * | 1989-07-28 | 1991-07-16 | Dallas Semiconductor Corporation | ESD circuit for input which exceeds power supplies in normal operation |
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