JPS62243287A - エレクトロルミネッセンスパネルの形成方法 - Google Patents
エレクトロルミネッセンスパネルの形成方法Info
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- JPS62243287A JPS62243287A JP61085379A JP8537986A JPS62243287A JP S62243287 A JPS62243287 A JP S62243287A JP 61085379 A JP61085379 A JP 61085379A JP 8537986 A JP8537986 A JP 8537986A JP S62243287 A JPS62243287 A JP S62243287A
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- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 title claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 5
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 claims description 9
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 7
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 claims description 7
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 150000003752 zinc compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 2
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 2
- CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N tetralin Chemical compound C1=CC=C2CCCCC2=C1 CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 4
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 3
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- WNAHIZMDSQCWRP-UHFFFAOYSA-N dodecane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCCCCS WNAHIZMDSQCWRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002023 dithiocarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
- 150000003566 thiocarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000003751 zinc Chemical class 0.000 description 1
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は平面ディスプレイ等に使用されるエレクトロル
ミネッセンスパネル及びその形成方法に関するものであ
る。
ミネッセンスパネル及びその形成方法に関するものであ
る。
従来の技術
従来ヨリエレクトロルミネッセンスパネルはコンピュー
タ端末や液晶のバックライト等に広く使用されている。
タ端末や液晶のバックライト等に広く使用されている。
これらのエレクトロルミネッセンスパネルはスパッタリ
ング法、蒸着法、MOCVD法等によって基板上に形成
されていた。また、スクリーン印刷法等によっても形成
されていた。
ング法、蒸着法、MOCVD法等によって基板上に形成
されていた。また、スクリーン印刷法等によっても形成
されていた。
発明が解決しようとする問題点
上記のような従来のエレクトロルミネッセンスパネルの
形成方法は、真空容器中で行われるために生産性が悪く
、連続操業が困難であるか、あるいは非常に高額の生産
設備を必要とするものであった。また、真空容器の大き
さで製品の大きさを規定され、大面積の製造が困難であ
る等の問題点を有していた。さらに、スクリーン印刷法
では、生産性が良く、大面積の製造が容易であるが、透
明なエレクトロルミネッセンスパネルを形成できない等
の問題点を有していた。
形成方法は、真空容器中で行われるために生産性が悪く
、連続操業が困難であるか、あるいは非常に高額の生産
設備を必要とするものであった。また、真空容器の大き
さで製品の大きさを規定され、大面積の製造が困難であ
る等の問題点を有していた。さらに、スクリーン印刷法
では、生産性が良く、大面積の製造が容易であるが、透
明なエレクトロルミネッセンスパネルを形成できない等
の問題点を有していた。
問題点を解決するだめの手段
上記問題点を解決するために本発明は、亜鉛−硫黄結合
を少なくと、も一つ内部に有する有機亜鉛化合物にドー
プ剤として硫黄との結合を少なくとも一つ内部に有する
有機金属化合物と混合したものを原料として用いてなる
ものである。また、本発明が上記問題点を解決するだめ
の手段は、亜鉛−硫黄結合を少なくとも一つ内部に有す
る有機亜鉛化合物にドープ剤として硫黄との結合を少な
くとも一つ内部に有する有機金属化合物と混合したもの
を基板上に形成し、酸化雰囲気中で熱分解により形成す
ることと、あるいは熱分解後不活性雰囲気中で焼成によ
り形成することである。
を少なくと、も一つ内部に有する有機亜鉛化合物にドー
プ剤として硫黄との結合を少なくとも一つ内部に有する
有機金属化合物と混合したものを原料として用いてなる
ものである。また、本発明が上記問題点を解決するだめ
の手段は、亜鉛−硫黄結合を少なくとも一つ内部に有す
る有機亜鉛化合物にドープ剤として硫黄との結合を少な
くとも一つ内部に有する有機金属化合物と混合したもの
を基板上に形成し、酸化雰囲気中で熱分解により形成す
ることと、あるいは熱分解後不活性雰囲気中で焼成によ
り形成することである。
本発明に使用できる亜鉛−硫黄結合を少なくとも一つ内
部に有する有機亜鉛化合物としては、各種亜鉛メルカプ
チド、各種チオカルボン酸、またはジチオカルボン酸の
亜鉛塩等を挙げることができる。
部に有する有機亜鉛化合物としては、各種亜鉛メルカプ
チド、各種チオカルボン酸、またはジチオカルボン酸の
亜鉛塩等を挙げることができる。
ドープ剤として硫黄との結合を少なくとも一つ内部に有
する有機金属化合物としては、マンガン等のメルカプチ
ド、チオカルボン酸塩、ジチオカルボン酸塩等を挙げる
ことができる。
する有機金属化合物としては、マンガン等のメルカプチ
ド、チオカルボン酸塩、ジチオカルボン酸塩等を挙げる
ことができる。
基板としては、熱分解温度に耐えるものであれば任意に
選ぶことができる。通常熱分解温度は320〜460′
C程度であるため、安価なソーダ石灰ガラス等を十分使
用できる。
選ぶことができる。通常熱分解温度は320〜460′
C程度であるため、安価なソーダ石灰ガラス等を十分使
用できる。
熱分解は、大気中や酸素雰囲気中等の酸化雰囲気中で行
うことにより有機分で番る炭素や水素を完全に分解する
ことができる。また、よシ焼結度を増すために高温に上
げる場合は、酸化雰囲気中で硫化亜鉛薄膜が酸化され、
酸化物が含まれた薄膜になるため、熱分解後不活性雰囲
気中で焼成することが有効である。
うことにより有機分で番る炭素や水素を完全に分解する
ことができる。また、よシ焼結度を増すために高温に上
げる場合は、酸化雰囲気中で硫化亜鉛薄膜が酸化され、
酸化物が含まれた薄膜になるため、熱分解後不活性雰囲
気中で焼成することが有効である。
作用
上記本発明の手段を用いることにより、従来の方法の問
題となっている真空容器を使用せずに、エレクトロルミ
ネッセンスパネルを形成できるため、製造に関して、生
産性の向上が計られ、かつ大面積の製造を容易に行うこ
とができ、透明のエレクトロルミネッセンスパネルを形
成できる等の作用がある。
題となっている真空容器を使用せずに、エレクトロルミ
ネッセンスパネルを形成できるため、製造に関して、生
産性の向上が計られ、かつ大面積の製造を容易に行うこ
とができ、透明のエレクトロルミネッセンスパネルを形
成できる等の作用がある。
実施例
以下、実施例により図面を参照しながら本発明を説明す
る。
る。
〈実施例1〉
図に示すように、亜鉛ラウリルメルカプチド、マンガン
オクチルメルカプチドをテトラリンに混合、溶解したも
のをパイレックスガラス1に透明電極2を設け、その上
に誘電体層3を設けた基板4上にスピナーにて塗布し、
150”(::で乾燥し溶媒を揮散させた後、大気中で
450”Q、1時間熱分解して硫化物6を形成する。そ
の上に誘電体層6を設け、アルミ電極7を設ける。そし
て、透明電極2、アルミ電極7間に交流電圧を印加した
結果、硫化亜鉛にマンガンをドープしたエレクトロルミ
ネッセンスパネル特有の黄橙色の発光が見られた。
オクチルメルカプチドをテトラリンに混合、溶解したも
のをパイレックスガラス1に透明電極2を設け、その上
に誘電体層3を設けた基板4上にスピナーにて塗布し、
150”(::で乾燥し溶媒を揮散させた後、大気中で
450”Q、1時間熱分解して硫化物6を形成する。そ
の上に誘電体層6を設け、アルミ電極7を設ける。そし
て、透明電極2、アルミ電極7間に交流電圧を印加した
結果、硫化亜鉛にマンガンをドープしたエレクトロルミ
ネッセンスパネル特有の黄橙色の発光が見られた。
〈実施例2〉
亜鉛ラウリルメルカプチド、マンガンオクチルメルカプ
チドをテトラリンに混合、溶解したものをパイレックス
ガラスに透明電極を設け、その上に誘電体層を設けた基
板上にスピナーにて塗布し、160℃で乾燥し溶媒を揮
散させた後、大気中で450’C,30分熱分解する。
チドをテトラリンに混合、溶解したものをパイレックス
ガラスに透明電極を設け、その上に誘電体層を設けた基
板上にスピナーにて塗布し、160℃で乾燥し溶媒を揮
散させた後、大気中で450’C,30分熱分解する。
その後、窒素気流中で650’C21時間焼成して硫化
物を形成する。
物を形成する。
その上に誘電体層を設け、アルミ電極を設ける。
そして、透明電極、アルミ電極間に交流電圧を印加した
結果、硫化亜鉛にマンガンをドープしたエレクトロルミ
ネッセンスパネル特有の黄橙色の発光が見られた。
結果、硫化亜鉛にマンガンをドープしたエレクトロルミ
ネッセンスパネル特有の黄橙色の発光が見られた。
発明の効果
以上のように本発明のエレクトロルミネッセンスパネル
及びその形成方法は、亜鉛−硫黄結合を少なくとも一つ
内部に有する有機亜鉛化合物にドープ剤として硫黄との
結合を少なくとも一つ内部に有する有機金属化合物と混
合したものを基板上に形成し、酸化雰囲気中で熱分解に
より形成することと、あるいは熱分解後不活性雰囲気中
で焼成により形成することにより、スパッタリング法、
蒸着法、MOCVD法に比較して、土量性の向上が計ら
れ、非常に高額の設備を必要とせず、大面積の製造を容
易に行うことができ、また透明なエレクトロルミネッセ
ンスパネルを形成することができ、その実用的効果は大
なるものがある。
及びその形成方法は、亜鉛−硫黄結合を少なくとも一つ
内部に有する有機亜鉛化合物にドープ剤として硫黄との
結合を少なくとも一つ内部に有する有機金属化合物と混
合したものを基板上に形成し、酸化雰囲気中で熱分解に
より形成することと、あるいは熱分解後不活性雰囲気中
で焼成により形成することにより、スパッタリング法、
蒸着法、MOCVD法に比較して、土量性の向上が計ら
れ、非常に高額の設備を必要とせず、大面積の製造を容
易に行うことができ、また透明なエレクトロルミネッセ
ンスパネルを形成することができ、その実用的効果は大
なるものがある。
図は本発明の実施例によるエレクトロルミネッセンスパ
ネルの構成を示す断面図である。 1・・・・・・パイレックスガラス、2・・・・・・透
明電極、3.6・・・・・・誘電体層、4・・・・・・
基板、6・・・・・・硫化物、7・・・・・・アルミ電
極。
ネルの構成を示す断面図である。 1・・・・・・パイレックスガラス、2・・・・・・透
明電極、3.6・・・・・・誘電体層、4・・・・・・
基板、6・・・・・・硫化物、7・・・・・・アルミ電
極。
Claims (3)
- (1) 亜鉛−硫黄結合を少なくとも一つ内部に有する
有機亜鉛化合物にドープ剤として硫黄との結合を少なく
とも一つ内部に有する有機金属化合物と混合したものを
原料として用いることを特徴とするエレクトロルミネッ
センスパネル。 - (2) 亜鉛−硫黄結合を少なくとも一つ内部に有する
有機亜鉛化合物にドープ剤として硫黄との結合を少なく
とも一つ内部に有する有機金属化合物と混合したものを
基板上に形成し、酸化雰囲気中で熱分解により形成する
ことを特徴とするエレクトロルミネッセンスパネルの形
成方法。 - (3) 亜鉛−硫黄結合を少なくとも一つ内部に有する
有機亜鉛化合物にドープ剤として硫黄との結合を少なく
とも一つ内部に有する有機金属化合物と混合したものを
基板上に形成し、酸化雰囲気中で熱分解した後、不活性
雰囲気中での焼成により形成することを特徴とするエレ
クトロルミネッセンスパネルの形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61085379A JPH0632303B2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | エレクトロルミネッセンスパネルの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61085379A JPH0632303B2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | エレクトロルミネッセンスパネルの形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62243287A true JPS62243287A (ja) | 1987-10-23 |
JPH0632303B2 JPH0632303B2 (ja) | 1994-04-27 |
Family
ID=13857093
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61085379A Expired - Lifetime JPH0632303B2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | エレクトロルミネッセンスパネルの形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0632303B2 (ja) |
-
1986
- 1986-04-14 JP JP61085379A patent/JPH0632303B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0632303B2 (ja) | 1994-04-27 |
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