JPS62239349A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS62239349A JPS62239349A JP8166686A JP8166686A JPS62239349A JP S62239349 A JPS62239349 A JP S62239349A JP 8166686 A JP8166686 A JP 8166686A JP 8166686 A JP8166686 A JP 8166686A JP S62239349 A JPS62239349 A JP S62239349A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明は光磁気記録媒体、特に磁気光学記憶素子に関す
るものである。
るものである。
口、従来技術。
光ディスクは、高密度、大容量、高速アクセスの特徴を
持ち、種々の研究開発が行われている。
持ち、種々の研究開発が行われている。
このうち、一度だけ追加記録できる光ディスクの記録媒
体としては、ＴｅＯｘ、ＴｅＣ，Ｔｅ−３ｎ−３ｅ等が
知られ、一部商品化されている。
体としては、ＴｅＯｘ、ＴｅＣ，Ｔｅ−３ｎ−３ｅ等が
知られ、一部商品化されている。
一方、書き換えが可能である光記録としては、光磁気配
ｔ、★が注目されでいる。
ｔ、★が注目されでいる。
光磁気記録媒体としては、ＭｎＢ ｉ、ＭｎＣｕＢ ｉ
などの多結晶薄膜、ＴｂＦｅ、ＧｄＦｅ、ＧｄＣｏ、Ｄ
ｙＦｅ、ＧｄＴｂＦｅ、、ＴｂＤｙＦｅなどの非晶質薄
膜などが知られている。例えば、特開昭５９−１７１０
５５号公報には、希土類−遷移金属アモルファス合金薄
膜（例えばＧｄＴｂＦａ）と、酸素を含有しないＡＩＮ
又はＳｉ３Ｎ４からなる透明誘電体膜と、Ｔｉ又はＴ
ｉ Ｎからなる反射膜とをこの順にて基板上に積層せし
めた磁気光学記憶素子が示されている。
などの多結晶薄膜、ＴｂＦｅ、ＧｄＦｅ、ＧｄＣｏ、Ｄ
ｙＦｅ、ＧｄＴｂＦｅ、、ＴｂＤｙＦｅなどの非晶質薄
膜などが知られている。例えば、特開昭５９−１７１０
５５号公報には、希土類−遷移金属アモルファス合金薄
膜（例えばＧｄＴｂＦａ）と、酸素を含有しないＡＩＮ
又はＳｉ３Ｎ４からなる透明誘電体膜と、Ｔｉ又はＴ
ｉ Ｎからなる反射膜とをこの順にて基板上に積層せし
めた磁気光学記憶素子が示されている。
しかしながら、上記のように、磁性層に希土類金属を用
いた場合、非常に酸化されやすり、磁気光学特性が劣化
しやすい。ところが、これまでの媒体においては、そう
した酸化による経時変化を十分には防止できていない。
いた場合、非常に酸化されやすり、磁気光学特性が劣化
しやすい。ところが、これまでの媒体においては、そう
した酸化による経時変化を十分には防止できていない。
ハ０発明の目的
本発明の目的は、酸化による経時変化が防止され、再生
信号の品質の向上した光磁気記録媒体を提供することに
ある。
信号の品質の向上した光磁気記録媒体を提供することに
ある。
二０発明の構成及びその作用効果
即ち、本発明は、金属薄膜からなる光磁気記録層と、反
射膜とが積層されている光磁気記録媒体において、前記
反射膜がアルミニウム系合金（特に、ＡＮが８０ａ ｔ
ｏａ＋ ｉｃ％以上）によって形成されていることを特
徴とする光磁気記録媒体に係るものである。
射膜とが積層されている光磁気記録媒体において、前記
反射膜がアルミニウム系合金（特に、ＡＮが８０ａ ｔ
ｏａ＋ ｉｃ％以上）によって形成されていることを特
徴とする光磁気記録媒体に係るものである。
本発明によれば、上記組成の反射膜を設けているので、
カー回転角の増大に加え、光磁気記録層の酸化防止効果
が十分となることが判明した。これは、上記反射膜を構
成する合金元素が酸素の拡散を阻止する作用をもつから
であると考えられる。
カー回転角の増大に加え、光磁気記録層の酸化防止効果
が十分となることが判明した。これは、上記反射膜を構
成する合金元素が酸素の拡散を阻止する作用をもつから
であると考えられる。
本発明の目的を達成する上で、上記反射膜は、ＡＩ含有
量が８０ａｔｏｍｉｃ％（以下「％」はａｔｏｍｉｃ％
を表わす。）以上であるのが望ましく、例えば、ジュラ
ルミン系合金（４，０％Ｃｕ 、 ０．５％Ｍｇ。
量が８０ａｔｏｍｉｃ％（以下「％」はａｔｏｍｉｃ％
を表わす。）以上であるのが望ましく、例えば、ジュラ
ルミン系合金（４，０％Ｃｕ 、 ０．５％Ｍｇ。
０．５％Ｍ ｎ ％残部Ａｌ） 、Ａｎ！−Ｍｇ−３ｉ
合金（０，７％Ｓｉ、１．３％Ｍ ｇ 、 ０．２５％
Ｃｒ ％残部ＡＺ）、Ａβ−Ｓｉ合金（５〜１２％Ｓｉ
、残部Ａｌ）、ＡＪ−Ｍｇ合金（３，８〜１０％Ｍ ｇ
、残部Ａｌ１）、Ａ Ｎ−Ｍｎ合金（Ｍｎ５２％、残部
ＡＪ）などがあり、これらはほぼ同等の効果を示す。
合金（０，７％Ｓｉ、１．３％Ｍ ｇ 、 ０．２５％
Ｃｒ ％残部ＡＺ）、Ａβ−Ｓｉ合金（５〜１２％Ｓｉ
、残部Ａｌ）、ＡＪ−Ｍｇ合金（３，８〜１０％Ｍ ｇ
、残部Ａｌ１）、Ａ Ｎ−Ｍｎ合金（Ｍｎ５２％、残部
ＡＪ）などがあり、これらはほぼ同等の効果を示す。
他方、上記光磁気記録層は、膜面に垂直方向に磁化容易
軸を有するものであって、公知の材質、即ちＴｂＦｅ、
ＧｄＦｅ、、ＧｄＴｂＦｅＣｏ。
軸を有するものであって、公知の材質、即ちＴｂＦｅ、
ＧｄＦｅ、、ＧｄＴｂＦｅＣｏ。
ＧｄＣｏ等の希土類−遷移金属アモルファス合金で構成
することができる。その製膜には、公知のようにスパッ
タリングを採用してよい。
することができる。その製膜には、公知のようにスパッ
タリングを採用してよい。
また、この光磁気記録層上には、上記反射膜との間に透
明誘電体膜が設けられるが、こうした誘電体としては、
Ｓｉ、Ｎ、をはじめＡＩＮ、Ｓ ｉｏ、 、 Ｚｎ
Ｓ、 Ｉ ＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ
０ｘｉｄｅ）等が挙げられる。この誘電体膜はスパッタ
リングによって光磁気記録層上に積層して設けることが
できるが、光磁気記録層と基板との間にも設けて光磁気
記録層を誘電体膜でサンドインチした構造としてもよい
。このサンドイッチ構造にすれば、基板として樹脂基板
を用いるときに生じがちな基板からの酸素の取り込みが
膜形成時に生じ難くなるので、有利であると考えられる
。
明誘電体膜が設けられるが、こうした誘電体としては、
Ｓｉ、Ｎ、をはじめＡＩＮ、Ｓ ｉｏ、 、 Ｚｎ
Ｓ、 Ｉ ＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ
０ｘｉｄｅ）等が挙げられる。この誘電体膜はスパッタ
リングによって光磁気記録層上に積層して設けることが
できるが、光磁気記録層と基板との間にも設けて光磁気
記録層を誘電体膜でサンドインチした構造としてもよい
。このサンドイッチ構造にすれば、基板として樹脂基板
を用いるときに生じがちな基板からの酸素の取り込みが
膜形成時に生じ難くなるので、有利であると考えられる
。
また、基板の構成材料は種々のものが採用可能であるが
、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニル、三酢
酸セルロース、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリア
ミド、ポリメチルメタクリレートの如きプラスチックス
がある。ガラス等、セラミックス等からなる基板も使用
可能である。或いは金属基板も使用してもよい。基板又
は基体の形状はシート、カード、ディスク、ドラムの他
、長尺テープ状でもよい。
、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニル、三酢
酸セルロース、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリア
ミド、ポリメチルメタクリレートの如きプラスチックス
がある。ガラス等、セラミックス等からなる基板も使用
可能である。或いは金属基板も使用してもよい。基板又
は基体の形状はシート、カード、ディスク、ドラムの他
、長尺テープ状でもよい。
第１図は、基板ｌ上に、誘電体膜５と光磁気記録層２と
誘電体膜３と反射膜４とが順次積層された、本発明に基
づく光磁気記録媒体の一例を示すものである。
誘電体膜３と反射膜４とが順次積層された、本発明に基
づく光磁気記録媒体の一例を示すものである。
ここで、各層の厚みは誘電体膜５が１０００〜２０００
人、光磁気記録層２が２００〜４００人、誘電体膜３が
３００〜７００人、反射膜４が２５０〜１０００人であ
るのがよい。この反射膜４の存在によって、耐蝕性の向
上に加えてカー回転角の増大、Ｓ／Ｎの向上が得られる
。
人、光磁気記録層２が２００〜４００人、誘電体膜３が
３００〜７００人、反射膜４が２５０〜１０００人であ
るのがよい。この反射膜４の存在によって、耐蝕性の向
上に加えてカー回転角の増大、Ｓ／Ｎの向上が得られる
。
ホ、実施例
以下、本発明を実施例について更に詳細に説明する。
災施勇
透明ポリカーボネート基板上に、膜厚１４００人のｓｉ
、Ｎ４ｆｉ電体膜と膜厚２５０人のＧｄＴｂＦｅＣ。
、Ｎ４ｆｉ電体膜と膜厚２５０人のＧｄＴｂＦｅＣ。
非晶質合金薄膜とがスパッタリングによって順次形成さ
れ、その上に、膜厚５００人のＳｉ、Ｎ４誘電体膜（保
護膜）が窒素雰囲気中での反応性スパッタリングによっ
て形成された。更にその上に、１０００人のＡ１−Ｍｎ
系合金膜（Ｍｎ５２％、残部Ａｌ）がスパッタリングに
よって反射膜として形成された。
れ、その上に、膜厚５００人のＳｉ、Ｎ４誘電体膜（保
護膜）が窒素雰囲気中での反応性スパッタリングによっ
て形成された。更にその上に、１０００人のＡ１−Ｍｎ
系合金膜（Ｍｎ５２％、残部Ａｌ）がスパッタリングに
よって反射膜として形成された。
このようにして作製された光磁気記録媒体を温度６０℃
、相対温度８０％の恒温恒湿槽に入れて、耐腐蝕性試験
を行った。
、相対温度８０％の恒温恒湿槽に入れて、耐腐蝕性試験
を行った。
ル較■
実施例において、反射膜としてＴｉ膜を用いた以外は同
様の記録媒体を作成し、これを上記した耐腐蝕性試験に
供した。
様の記録媒体を作成し、これを上記した耐腐蝕性試験に
供した。
以上の結果を第２図に示したが、θｋ（カー回転角）に
ついては両者ともそれ程度化がないが、Ｈｃ（保磁力）
については反射膜がＴｉの場合よりも本発明に基づ＜Ａ
Ｎ系合金の場合の方が変化がずっと少ないことが分かる
。
ついては両者ともそれ程度化がないが、Ｈｃ（保磁力）
については反射膜がＴｉの場合よりも本発明に基づ＜Ａ
Ｎ系合金の場合の方が変化がずっと少ないことが分かる
。
以上、本発明を例示したが、上述の例は本発明の技術的
思想に基づいて更に変形可能である。
思想に基づいて更に変形可能である。
図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は光
磁気記録媒体の断面図、 第２図は耐腐蝕試験の結果を比較して示すグラフ である。 なお、図面に示す符号に於いて、 ｌ・・・・・基板 ２・・・・・光磁気記録層 ３．５・・・誘電体膜 ４・・・・・反射膜 である。 代理人 弁理士 逢 坂 宏 第１図 第２図
磁気記録媒体の断面図、 第２図は耐腐蝕試験の結果を比較して示すグラフ である。 なお、図面に示す符号に於いて、 ｌ・・・・・基板 ２・・・・・光磁気記録層 ３．５・・・誘電体膜 ４・・・・・反射膜 である。 代理人 弁理士 逢 坂 宏 第１図 第２図
Claims (1)
- １、金属薄膜からなる光磁気記録層と、反射膜とが積層
されている光磁気記録媒体において、前記反射膜がアル
ミニウム系合金によって形成されていることを特徴とす
る光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8166686A JPS62239349A (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8166686A JPS62239349A (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62239349A true JPS62239349A (ja) | 1987-10-20 |
Family
ID=13752656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8166686A Pending JPS62239349A (ja) | 1986-04-09 | 1986-04-09 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62239349A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01171142A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-06 | Mitsubishi Kasei Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPH01287848A (ja) * | 1988-05-16 | 1989-11-20 | Mitsubishi Kasei Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPH02152050A (ja) * | 1988-12-05 | 1990-06-12 | Hitachi Ltd | 光磁気デイクス |
| JPH02302947A (ja) * | 1989-05-16 | 1990-12-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| US5093174A (en) * | 1989-07-04 | 1992-03-03 | Teijin Limited | Optical recording medium |
| JPH04176037A (ja) * | 1990-11-08 | 1992-06-23 | Nec Corp | 光磁気記録媒体 |
| US5612133A (en) * | 1993-04-22 | 1997-03-18 | Mitsubishi Materials Corporation | Magneto-optical recording medium having a refelecting layer of a silver-magnesium alloy having a magnesium oxide coating |
-
1986
- 1986-04-09 JP JP8166686A patent/JPS62239349A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01171142A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-06 | Mitsubishi Kasei Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPH01287848A (ja) * | 1988-05-16 | 1989-11-20 | Mitsubishi Kasei Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPH02152050A (ja) * | 1988-12-05 | 1990-06-12 | Hitachi Ltd | 光磁気デイクス |
| JPH02302947A (ja) * | 1989-05-16 | 1990-12-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| US5093174A (en) * | 1989-07-04 | 1992-03-03 | Teijin Limited | Optical recording medium |
| JPH04176037A (ja) * | 1990-11-08 | 1992-06-23 | Nec Corp | 光磁気記録媒体 |
| US5612133A (en) * | 1993-04-22 | 1997-03-18 | Mitsubishi Materials Corporation | Magneto-optical recording medium having a refelecting layer of a silver-magnesium alloy having a magnesium oxide coating |
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