JPS62239348A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ、産業上の利用分野 本発明は光磁気記録媒体、特に磁気光学記憶素子に関す
るものである。

口、従来技術 光ディスクは、高密度、大容鼠、高速アクセスの特徴を
持ち、種々の研究開発が行われている。

このうち、一度だけ追加記録できる光ディスクの記録媒
体としては、ＴｃＯｘ　、ＴｅＣ，’ｌ’ｅ　−３ｎ−
３ｅ等が知られ、一部商品化されている。　一方、書き
換えが可能である光記録としては、光磁気記録が注目さ
れている。

光磁気記録媒体としては、ＭｎＢ１　％　ＭｎＣｕＢ１
などの多結晶薄膜、ＴｂＦｅ　、ＧｄＦｅ　５ＧｄＣｏ
　％ＤｙＦｅ　、ＧｄＴｂＦｅ　、ＴｂＤｙＦｅなどの
非晶質ｅ’ｉＶ膜などが知られている。　例えば、特開
昭５９−１７１０５５号公報には、希土類−遷移金属ア
モルファス合金薄膜（例えばＧｄＴｂＦｅ）と、酸素を
含有しないＡＩＮ又はＳ　Ｌ＋　Ｎ　４からなる透明誘
電体膜と、Ｔｉ又はＴｉＮからなる反射膜とをこの順に
て基板上に積層せしめた磁気光学記憶素子が示されてい
る。

しかしながら、上記のように、磁性層に希土類金属を用
いた場合、非常に酸化されやすく、磁気光学特性が劣化
しやすい。　ところが、これまでの媒体においては、そ
うした酸化による経時変化を十分には防止できていない
。

ハ０発明の目的 本発明の目的は、酸化による経時変化が防止され、再生
信号の品質の向上した光磁気記録媒体を提供することに
ある。

ニ０発明の構成及びその作用効果 即ら、本発明は、金属薄ｊ１！２からなる光磁気記録層
と、反射膜とが積層されている光磁気記録媒体において
、前記反射膜が鉛系合金（特に、鉛を８５ａ　ｔｏｍ　
ｉｃ％以上含有する合金）によって形成されていること
を特徴とする光磁気記録媒体に係るものである。

本発明によれば、上記組成の反射膜を設けているので、
カー回転角の増大に加え、光磁気記録層の酸化防止効果
が十分となることが判明した。

これは、上記反射膜を構成する合金元素が酸素の拡散を
阻止する作用をもつからであると考えられる。

本発明の目的を達成する上で、上記反射膜は鉛含有量が
８５ａｔｏｍｉｃ％以上であるのが望ましく、例えば、
Ｐｂ　−Ｃｕ−Ｂｉ金合金９９ａ　ｔｏａ＋　ｉｃ％Ｐ
ｂ。

最高０．０８ａＬｏｍｉｃ％Ｃｕ　、、最高０．００５
ａｔｏｍｉｃ％Ｂｉ）をはじめ、Ｐｂ　−Ｃｕ　−Ｂｉ
−Ｔｃ合金（９９，８５ａｔｏｍｉｃ％Ｐｂ　、ｉ高０
　、０８５ａ　ｔｏｍ　ｉｃ％Ｃｕ　、Ｑ高０．００５
ａＬｏｍｉｃ％Ｂｉ　、　０．０５ａｔｏｍｉｃ％Ｔｅ
）、Ｐｂ　−３ｎ合金（４〜１０ａｔｏｍｉｃ％Ｓｎｓ
残部Ｐｂ）等から形成可能である。

他方、上記光磁気記録層は、膜面に垂直方向に磁化容易
軸を有するものであって、公知の材質、即らＴｂＦｅ　
、ＧｄＦｅ　、ＧｄＴｂＦｅＣｏ　、ＧｄＣ。

等の希土類−遷移金属アモルファス合金で構成すること
ができる。　その製膜には、公知のようにスパッタリン
グを採用してよい。

また、この光磁気記録層上には、上記反射膜との間に透
明誘電体膜が設けられるが、こうした誘電体としては、
Ｓｉ３Ｎ４をはじめＡｊ！Ｎ、５ｉｆｔ、ＺｎＳ、　Ｉ
　ＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　　Ｔｉｎ　　０ｘｉｄｅ）等が
挙げられる。　この誘電体膜はスパッタリングによって
光磁気記録層上に積層して設けることができるが、光磁
気記録層と基板との間にも設けて光磁気記録層を誘電体
膜でサンドインチした構造としてもよい。　このサンド
インチ構造にすれば、基板として樹脂基板を用いるとき
に生じがちな基板からの酸素の取り込みが膜形成時に生
じ難くなるので、有利であると考えられる。

また、基板の構成材料は種々のものが採用“可能である
が、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニル、三
酢酸セルロース、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリ
アミド、ポリメチルメタクリレ−１・の如きプラスチッ
クスがある。　ガラス等、セラミックス等からなる基板
も使用可能である。

或いは金属基板も使用してもよい。　基板又は基体の形
状はシート、カード、ディスク、ドラムの他、長尺テー
プ状でもよい。

第１図は、基板１上に、誘電体１１り５と光磁気韻！ｉ
層２と誘電体膜３と反射膜４とが順次積層された、本発
明に基づく光磁気記録媒体の一例を示すものである。　
ここで、各層の厚みは、誘′電体膜５がｔｏｏｏ〜２０
００人、光磁気記録層２が２００〜４００人、誘電体膜
３が３００〜７００人、反射膜４が２５０〜１０００人
であるのがよい。　この反射膜４の存在によって、耐蝕
性の向上に加えてカー回転角の増大、Ｓ／Ｎの向上が得
られる。

ホ、実施例 以下、本発明を実施例について更に詳細に説明する。

ス」１匹 透明ポリカーボネートＷ板上に、膜厚１４００人の５ｉ
ｉＮｎＷ電体膜と膜厚２５０人のＣｄＴｂＦｅＣ。

非晶質合金薄膜とがスパッタリングによって順次形成さ
れ、その上に、膜厚５００人の３ｉ３Ｎ４誘電体膜（保
護１ＰＪ）が窒素雰囲気中での反応性スパッタリングに
よって形成された。　更にその上に、１ｏｏｏ人のＰｂ
　−Ｃｕ　　Ｂｉ　系合金膜（９９ａｔｏｍｉｃ％ｐｂ
、Ｂ高０．０８ａｔｏｍｔｃ％Ｃｕ　、　最高０　、０
０５ａ　ｔｏｍ　ｉｃ％Ｂｉ）がスパッタリングによっ
て反射膜として形成された。

ごのようにして作製された光磁気記録媒体を温度６０℃
、相対湿度８０％の恒温恒湿槽に入れて、耐腐蝕性試験
を行った。

几５け１ 実施例において、反射膜としてＴｉ膜を用いた以外は同
様の記録媒体を作成し、これを上記した耐腐蝕性試験に
供した。

以上の結果を第２図に示したが、θｋ（カー凹転角）に
ついては両者ともそれ程度化がないが、Ｈｃ　　（保磁
力）については反射膜が′ｒｉの場合よりも本発明に基
づ＜ｐｂ系合金の場合の方が変化がずっと少ないことが
分かる。

以上、本発明を例示したが、上述の例は本発明の技術的
思芯に基づいて更に変形可能である。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は光
磁気記録媒体の断面図、 第２図は耐腐蝕試験の結果を比較して示すグラフ である。 なお、図面に示す符号に於いて、 ■−・・・・・・・・・一基板 ２−・−・・・・光磁気記録層 ３．５−−−−一・−・・−誘電体膜 ４−−−−−−−−・−・反射膜 である。 代理人　弁理士　逢　坂　　　宏 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、金属薄膜からなる光磁気記録層と、反射膜とが積層
   されている光磁気記録媒体において、前記反射膜が鉛系
   合金によって形成されていることを特徴とする光磁気記
   録媒体。