JPH02130739A - 光磁気ディスク媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は光磁気ディスク媒体に関し、さらに詳しくは高
感度な光磁気ディスクの記録媒体膜に関するものである
。

［従来の技術］ 光磁気ディスクの記録媒体膜には遷移金属と希土類金属
とからなるアモルファス合金膜が用いられており、これ
らの媒体膜の構造としては、遷移金属と希土類金属の合
金を用いてスパッタ法等により成膜した単一膜と、それ
ぞれの金属の２個のターゲットを用いて交互に積層した
、いわゆる組成変調膜とが用いられている。

このうち、従来の組成変調膜においては、１層当りの膜
厚比および周期は固定されていた。また、合金ターゲッ
トより作製した膜と記録膜としての特性上は大きな差は
なかった。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、光磁気ディスクの記録膜に要求される特性と
しては、高い転送レートを実現するため、高回転数ディ
スクに適した高感度な特性を有することが挙げられる。

しかしながら、従来の媒体においては、高感度とするた
めにキュリー温度の低い材料を用いて作製した場合には
、カー回転角の低下が起り、Ｃ／Ｎの確保ができないと
いう問題がめった。

［課題を解決するための手段］ 本発明者は、組成変調膜において、読出し側（レーザ照
射面側）で遷移金属層の厚さを厚くすることによりカー
回転角の増大が起り、高感度な特性が得られることを見
出し、本発明に至った。

すなわち本発明は、遷移金属と希土類金属とを交互に積
層した組成変調多層膜を記録膜とする光磁気ディスク媒
体において、 ■記録膜が続出し層と書込み層の２層からなり、■読出
し層は、記録膜のレーザ入射側の５０Å以上、記録膜全
膜厚の５０％以下の厚さを有し、■読出し層の遷移金属
層１層当りの厚さが６．０〜１２人であり、 ■書込み層の遷移金属層１層当りの厚さが４．５〜５，
５人でおり、 ■希土類金属層１層当りの厚さが読出し層、書込み層と
もに３．０〜５．０Å、 でおることを特徴とする光磁気ディスク媒体でおる。

本発明において、読出し層の層厚は５０Å以上とする。

５０人未満ではカー回転角のエンハンス効果が不十分な
ためである。また、その層厚は記録膜全厚の５０％以下
とする。５０％を超えるとノイズの上昇が著し・く、実
用的なＣ／Ｎが確保できなくなる。

また、希土類金属層の１層当りの膜厚は全記録膜を通じ
て３，０〜５、〇八とする。このような範囲内とするこ
とにより、遷移金属層の厚さを後述の如く制御するだけ
で、読出し層、書込み層に適した特性が得られる。

遷移金属層の厚さは、読出し層においては６．０〜１２
人とし、書込み層においでは４．５〜５．５人とする。

読出し層の層厚が６人未満ではカー回転角のエンハンス
効果が十分に現れず、１２人を超えるとノイズが急増し
、キャリアが急減するので好ましくない。また、書込み
層の層厚が上記の範囲外になると、ノイズが低レベルに
保持されなくなる。

［作用］ 本発明は、２層膜方式の高感度媒体と、その作用におい
ては、はぼ共通すると考えられる。即ち、読出し層を単
独に取出した場合には補償温度を室温以下にもち、室温
における保磁力の大きさも希土類元素により異なるが、
約３　ｋＯｅ以下で、そのキュリー温度は書込み層と比
べ高い。また書込み層と比べ、大きなカー回転角をもつ
。一方、書込み層は補償温度が室温付近にあり、保磁力
の大きさも約５　ｋＯｅ以上と大きい。またカー回転角
は、読出し層に比べて小さいが、キュリー温度は低い。

これら２層の膜は交換結合している。

このような２層膜では、感度はほぼ書込み層のキュリー
温度で決定され、カー回転角は読出し層のカー回転角で
決定される。保磁力は各層の磁化、膜厚、界面磁壁エネ
ルギーによって決定されるが、ごく簡単に述べれば２層
の中間的な大きさとなる。

これにより、高感度媒体としての作用を示すものと推測
される。

［実施例］ 以下、本発明の実施例について詳細に説明する。

Ｎ　ｄ　１５Ｄ　ＶＢ５ターゲットとＦｅ８５ＣＯ１５
ターゲツトを用い、共スパッタ法によって、組成変調膜
を作製した。

まず、ＮｄＤｙのパワーを３００Ｗ、ＦｅＣ０のパワー
を１ｏｏｏ　ｗとして、射出成形したポリカーボネート
基板を２０　ｒｐｍで公転させ、各ターゲット上を交互
に通過させた。この時、ＮｄＤｙは１層当り４人成膜さ
れ、ＦｅＣｏは８人成膜されていた。この条件で読出し
層として１４４人（１２周期）成膜した。

次いで、ＮｄＤｙのパワーは変えず、ＦｅＣ０のパワー
を６５０Ｗとし、上記と同様にして成膜した。この時、
ＮｄＤｙは１層当り４人で、ＦｅＣ０は１層当り５．２
人となった。この条件で６００人書込み層を成膜した。

以上のようにして形成した記録膜は、ＳｉＮスパッタ膜
によりザンドイッチ状に保護した。

得られた媒体は線速１１．３　ｍ／Ｓ、５ＭＨｚの巾記
録において、Ｃ／Ｎ　５６　ｄＢを示し、最適記録パワ
ーは６．５　ｍＷであった。

比較のため、書込み層の条件で７５０人作製した記録膜
の場合を同じ条件で測定したところ、Ｃ／Ｎ　５５　ｄ
Ｂヲ示し、最適記録パワーは９　ｍＷであった。

なお、本実施例ではＮｄＤｙとＦｅＣ０ターゲットによ
る共スパッタ膜による例を示したが、このほかにもＴｂ
とＦｅＣｏ、ＴｂＧｄとＦｅＣｏ。

ＤｙＧｄとＦｅＣｏ等においても、全く同様の結果が得
られた。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の光磁気ディスク媒体は、
従来の媒体と比較して高感度で、かつ十分なＣ／Ｎが得
られる。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）遷移金属と希土類金属とを交互に積層した組成変
   調多層膜を記録膜とする光磁気ディスク媒体において、 ［１］記録膜が読出し層と書込み層の２層からなり、［
   ２］読出し層は、記録膜のレーザ入射側の５０Å以上、
   記録膜全膜厚の５０％以下の厚さを有し、［３］読出し
   層の遷移金属層１層当りの厚さが６．０〜１２Åであり
   、 ［４］書込み層の遷移金属層１層当りの厚さが４．５〜
   ５．５Åであり、 ［５］希土類金属層１層当りの厚さが読出し層、書込み
   層ともに３．０〜５．０Å、 であることを特徴とする光磁気ディスク媒体。