JPH04163744A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH04163744A JPH04163744A JP28894990A JP28894990A JPH04163744A JP H04163744 A JPH04163744 A JP H04163744A JP 28894990 A JP28894990 A JP 28894990A JP 28894990 A JP28894990 A JP 28894990A JP H04163744 A JPH04163744 A JP H04163744A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- recording
- recording medium
- layer
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 51
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 claims abstract description 9
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 claims abstract description 8
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract description 25
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 7
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 abstract description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910002546 FeCo Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 3
- 229910017061 Fe Co Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光磁気ディスクに用いられる記録媒体に関し
、更に詳しくは、膜面と垂直方向に磁化容易軸を有する
磁性膜を記録層とし、レーザーなどの光ビームを照射し
た領域に反転磁区を作ることにより、情報を記録するこ
とができ、磁気光学効果を利用して読み出すことが出来
る光磁気記録媒体に関する。
、更に詳しくは、膜面と垂直方向に磁化容易軸を有する
磁性膜を記録層とし、レーザーなどの光ビームを照射し
た領域に反転磁区を作ることにより、情報を記録するこ
とができ、磁気光学効果を利用して読み出すことが出来
る光磁気記録媒体に関する。
光ディスクは、大容量ファイルメモリの一つとして注目
されている。中でも光磁気ディスクは、記録情報の書換
えが可能であると言う利点を持ついることから、コード
データファイルメモリを始め、画像ファイルメモリ等広
範囲な応用が各所で盛んに研究されている。
されている。中でも光磁気ディスクは、記録情報の書換
えが可能であると言う利点を持ついることから、コード
データファイルメモリを始め、画像ファイルメモリ等広
範囲な応用が各所で盛んに研究されている。
その記録媒体としては、Ｔ ｂ Ｆ ｅ Ｃｏ Ｊ？？
Ｇ ｄＴ ｂ Ｆ ｅ Ｔ ｂの希土類金ｉ［ＲＥと遷
移金属ＴＭとの組合せによって作成されるＲＥ−ＴＭ系
非晶質磁性合金薄膜を記録層とし、その上下に形成した
Ｓｉ３Ｎ４やＡＩＮ等の誘電体膜を保護層とした３層構
成、もしくはさらにＡＩ等の反射膜を形成した４層構成
が知られている。これらを用いた光磁気ディスクは、パ
ソコンのコードデータファイルメモリ分野を始めとして
、既に、実用レベルにある。
Ｇ ｄＴ ｂ Ｆ ｅ Ｔ ｂの希土類金ｉ［ＲＥと遷
移金属ＴＭとの組合せによって作成されるＲＥ−ＴＭ系
非晶質磁性合金薄膜を記録層とし、その上下に形成した
Ｓｉ３Ｎ４やＡＩＮ等の誘電体膜を保護層とした３層構
成、もしくはさらにＡＩ等の反射膜を形成した４層構成
が知られている。これらを用いた光磁気ディスクは、パ
ソコンのコードデータファイルメモリ分野を始めとして
、既に、実用レベルにある。
今後の光磁気ディスクの高性能化の一つとして、データ
ー転送レイトの高速化が上げられる。
ー転送レイトの高速化が上げられる。
これは、画像ファイルの様に、実時間で大量のデータを
記録再生する分野では、特に強く要請されている。
記録再生する分野では、特に強く要請されている。
データ転送レイトを高めるためには、ディスクの高速回
転時に十分な記録再生信号が得られることが必要である
ので、記録媒体には従来よりも高い記録感度と再生出力
が要求される。このため、上述した媒体構成の改善と共
に、記録層自体の改善が必要となる。
転時に十分な記録再生信号が得られることが必要である
ので、記録媒体には従来よりも高い記録感度と再生出力
が要求される。このため、上述した媒体構成の改善と共
に、記録層自体の改善が必要となる。
記録媒体に対する情報の記録は、一方向に着磁した記録
媒体にレーザ光ビームを照射して、記録層の温度をキュ
ーリー温度Ｔｃ近傍まで上昇させ、外部印加磁界と記録
媒体の反磁界によって、反転磁区を形成することにより
行われる。従って、高感度にするには、記録層のキュー
リー温度Ｔｃを低くする必要がある。
媒体にレーザ光ビームを照射して、記録層の温度をキュ
ーリー温度Ｔｃ近傍まで上昇させ、外部印加磁界と記録
媒体の反磁界によって、反転磁区を形成することにより
行われる。従って、高感度にするには、記録層のキュー
リー温度Ｔｃを低くする必要がある。
一方、再生は磁気光学効果を用いて行われる。
即ち、記録媒体の反転磁区の有無に対応して、媒体から
の反射光の偏光面が回転することを利用して、記録媒体
から情報を読み出すため、高い再生出力を得るためには
、上記偏光面の回転角即ちカー回転角θｋを大きくする
必要がある。
の反射光の偏光面が回転することを利用して、記録媒体
から情報を読み出すため、高い再生出力を得るためには
、上記偏光面の回転角即ちカー回転角θｋを大きくする
必要がある。
上述の様に、光磁気ディスクに於けるデーター転送レイ
トの高速化の要請に答えるためには、低いキューリー温
度Ｔｃで高いカー回転角θｋを有する記録層が必要であ
る。然るに、ＴｂＦｅＣ。
トの高速化の要請に答えるためには、低いキューリー温
度Ｔｃで高いカー回転角θｋを有する記録層が必要であ
る。然るに、ＴｂＦｅＣ。
やＧｄ Ｔ ｂ Ｆ ｅ Ｃｏに代表される従来のＲＥ
−ＴＭ系非晶質磁性合金ｎｉＨにおいては、一般に、キ
ューリー温度Ｔｃが低下するに連れて、カー回転角θに
は小さくなる傾向があることが、例えば、内山等により
、昭和６０年電気学会全国大会Ｓ・３〜１に報告されて
いる。
−ＴＭ系非晶質磁性合金ｎｉＨにおいては、一般に、キ
ューリー温度Ｔｃが低下するに連れて、カー回転角θに
は小さくなる傾向があることが、例えば、内山等により
、昭和６０年電気学会全国大会Ｓ・３〜１に報告されて
いる。
例えば、コードデータファイル用にしばしば用いられる
ＲＥ量２０ａｔ％近傍の組成を有する記録媒体のカー回
転角θには、キューリー温度Ｔｃが２００℃の時０．３
７度であるが、キューリー温度Ｔｃを１５０℃に下げる
と、０．３０度迄低下する。この様に従来の記録媒体で
は、高感度化を指向すると再生出力が低下するという問
題があった。
ＲＥ量２０ａｔ％近傍の組成を有する記録媒体のカー回
転角θには、キューリー温度Ｔｃが２００℃の時０．３
７度であるが、キューリー温度Ｔｃを１５０℃に下げる
と、０．３０度迄低下する。この様に従来の記録媒体で
は、高感度化を指向すると再生出力が低下するという問
題があった。
本発明の目的は、従来より低いキューリー温度Ｔｃで高
いカー回転角θｋを有する記録層、言い換えるなら従来
より記録感度と再生出力が共に高い光磁気記録媒体を提
供することにある。
いカー回転角θｋを有する記録層、言い換えるなら従来
より記録感度と再生出力が共に高い光磁気記録媒体を提
供することにある。
本発明の光磁気記録媒体は、希土類金属薄膜と遷移金属
を主成分とする薄膜とが交互に積層された周期多層膜を
記録層とする光磁気記録媒体に於て、前記希土類金属薄
膜の一層当たりの膜厚値ｔ１に対する遷移金属を主成分
とする厚膜の一層当なりの膜厚値ｔ２の比重、’２／ｌ
ｌを１，２〜１．３としたものである。
を主成分とする薄膜とが交互に積層された周期多層膜を
記録層とする光磁気記録媒体に於て、前記希土類金属薄
膜の一層当たりの膜厚値ｔ１に対する遷移金属を主成分
とする厚膜の一層当なりの膜厚値ｔ２の比重、’２／ｌ
ｌを１，２〜１．３としたものである。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の断面図である。第図におい
て厚さ１．２ｍｍのガラス基板１上に、記録層としてＴ
ｂ膜３とＦ ｅ ｇ（、ＣＯ１０膜４とが交互に積層さ
れた厚さ８００Ａの周期多層膜２が形成され、この上に
Ｓｉ３Ｎ４膜から成る厚さ８００への保護層５が形成さ
れている。
て厚さ１．２ｍｍのガラス基板１上に、記録層としてＴ
ｂ膜３とＦ ｅ ｇ（、ＣＯ１０膜４とが交互に積層さ
れた厚さ８００Ａの周期多層膜２が形成され、この上に
Ｓｉ３Ｎ４膜から成る厚さ８００への保護層５が形成さ
れている。
記録層としての周期多層膜２は、第２図に示す２元ＤＣ
マグネトロンスパッタ装置で作成される。第２図に示す
様に、記録層は、ガラス基板１を回転しながら、Ｔｂタ
ーゲット８とＦｅ９゜Ｃｏ １．）のターゲット９に、
各々独立にＤＣｔ力を投入して同時成膜（共スパッタ）
する事により作成される。記録膜の周期構造を決めるＴ
ｂ膜とＦｅＣｏ膜それぞれ一層当たりの膜厚ｔ１とｔ２
は、基板回転数、ＤＣ投入電力により選択される。表１
に、主なスパッタ条件を示す。
マグネトロンスパッタ装置で作成される。第２図に示す
様に、記録層は、ガラス基板１を回転しながら、Ｔｂタ
ーゲット８とＦｅ９゜Ｃｏ １．）のターゲット９に、
各々独立にＤＣｔ力を投入して同時成膜（共スパッタ）
する事により作成される。記録膜の周期構造を決めるＴ
ｂ膜とＦｅＣｏ膜それぞれ一層当たりの膜厚ｔ１とｔ２
は、基板回転数、ＤＣ投入電力により選択される。表１
に、主なスパッタ条件を示す。
Ｓｉ３Ｎ４膜から成る厚さ８００Ａの保護層５は、Ｓｉ
ターゲットを用い、ＡｒとＮ２の混合ガス（５０％Ｎ２
）をスパッタガスとした反応性スパッタ装置により、
パワー密度８ ｗ ／ ａＡ、スパッ表１ スパッタ条
件 第３図及び第４図に、上記記録膜のカー回転角θｋ及び
キューリー温度ＴｃとＴｂ膜−肩当たりの膜厚ｔ１に対
するＦｅＣｏ膜−肩当たりの膜厚ｔ２の比ｔ ２／ｌ
１との関係をＴｂ膜−肩当なりの膜厚ｔ１をパラメータ
にしてそれぞれ示す。
ターゲットを用い、ＡｒとＮ２の混合ガス（５０％Ｎ２
）をスパッタガスとした反応性スパッタ装置により、
パワー密度８ ｗ ／ ａＡ、スパッ表１ スパッタ条
件 第３図及び第４図に、上記記録膜のカー回転角θｋ及び
キューリー温度ＴｃとＴｂ膜−肩当たりの膜厚ｔ１に対
するＦｅＣｏ膜−肩当たりの膜厚ｔ２の比ｔ ２／ｌ
１との関係をＴｂ膜−肩当なりの膜厚ｔ１をパラメータ
にしてそれぞれ示す。
通常、記録膜中のＦｅＣｏ量がＴｂ量に対して相対的に
多いほど、θｋ及びＴｃは共に単調に増加することが知
られている。従って、上記周期多層膜の場合にも、ｔ
２／ｌ １が大きくなるに連れて、θｋ及びＴｃは共に
単調に増加することが予想される。
多いほど、θｋ及びＴｃは共に単調に増加することが知
られている。従って、上記周期多層膜の場合にも、ｔ
２／ｌ １が大きくなるに連れて、θｋ及びＴｃは共に
単調に増加することが予想される。
しかし、発明者の実験によれば、第３図に示したように
、θにはｔ ２／ｌ １が１．４以上では、ｔ ２／ｌ
１の増加に伴い、はぼリニアに増加するが、ｔ ２／
ｌ １が１．４以下では、ｔ ２／ｌ １−１．２５近
傍で極大値を持つことが分かる。またｔ２／１ｌ＝１．
２５近傍に於けるθにの値は、ｔｌが大きいほど大きい
傾向がある。一方Ｔｃは、第４図に示したように、予想
通りｔ ２／ｌ ］の増加に伴い単調に増加し、θにの
棟にｔ２／１ｌ＝１．．２５近傍で極大値を持つような
ことはない。
、θにはｔ ２／ｌ １が１．４以上では、ｔ ２／ｌ
１の増加に伴い、はぼリニアに増加するが、ｔ ２／
ｌ １が１．４以下では、ｔ ２／ｌ １−１．２５近
傍で極大値を持つことが分かる。またｔ２／１ｌ＝１．
２５近傍に於けるθにの値は、ｔｌが大きいほど大きい
傾向がある。一方Ｔｃは、第４図に示したように、予想
通りｔ ２／ｌ ］の増加に伴い単調に増加し、θにの
棟にｔ２／１ｌ＝１．．２５近傍で極大値を持つような
ことはない。
従って、例えばＴｂ膜−肩当たりの膜厚ｔ１が６．４八
でカー回転角θにとして０．４１５度得る場合を想定す
ると、第３図中に示すように、ｔ２／ｌｌとしては１５
と１．２５の２つの場合がある。ｔ ２／ｌ １が１．
５及び１．２５の時のキューリー温度Ｔｃは第４図より
、それぞれ１９３℃及び１８３℃である。従って、ｔ
２／ｌ １を１．２５に選べはθに＝０．４１５度で、
Ｔｃ＝１８３℃の記録膜を得ることが出来る。
でカー回転角θにとして０．４１５度得る場合を想定す
ると、第３図中に示すように、ｔ２／ｌｌとしては１５
と１．２５の２つの場合がある。ｔ ２／ｌ １が１．
５及び１．２５の時のキューリー温度Ｔｃは第４図より
、それぞれ１９３℃及び１８３℃である。従って、ｔ
２／ｌ １を１．２５に選べはθに＝０．４１５度で、
Ｔｃ＝１８３℃の記録膜を得ることが出来る。
従来の記録膜では、θにとして０．４１５度得るには、
Ｔｃは１９５〜２１０℃ぐらいの大きさにならざるを得
なかったが、この場合、θｋを低下させることな（Ｔｃ
を１５〜２０℃下げることが出来ることを示している。
Ｔｃは１９５〜２１０℃ぐらいの大きさにならざるを得
なかったが、この場合、θｋを低下させることな（Ｔｃ
を１５〜２０℃下げることが出来ることを示している。
この様に、周期多層膜記録層の構造をｔ２／１ｌ＝１．
２５近傍に設定すれば、Ｔｃが小さい割に大きなθｋを
有する記録膜を得ることが出来る。
２５近傍に設定すれば、Ｔｃが小さい割に大きなθｋを
有する記録膜を得ることが出来る。
次に、この記録膜を、実際に良く使われるポリカーボネ
イト基板と５ｊ３Ｎ４保腹膜を併用したディスク構成に
適用した実施例の特性について説明する。
イト基板と５ｊ３Ｎ４保腹膜を併用したディスク構成に
適用した実施例の特性について説明する。
第５図に示すように、直径１３０ ｍ ｍ、厚さ１．２
ｍｍのポリカーボネイト基板ＩＡ上に、Ｔｂ膜３とＦｅ
Ｃｏ膜４からなる周期多層膜２を、Ｓｉ３Ｎ４膜から成
る厚さ８００Ａの保護層５Ａ及び５Ｂで挟むように形成
し、記録再生特性を測定した。記録再生特性の評価はＮ
Ａｏ、５の対物レンズを有するＰＩＮ−差動光学系を用
い、周速１１．３ｍ／ｓ（ディスク回転数１８００ｒｐ
ｍ、半径６０ｍｍ）、記録周波数２．５ＭＨｚ記録パル
スデューティ５０％、バイアス磁界２５００ｅで行った
。その結果、搬送波の２次高詞波歪が極小と成る最適記
録パワーとして、７ｍＷが得られた。この値は従来の標
準的な記録膜（Ｔｃ−２００℃、θに＝０．３７度）を
用いた場合に比べて、１〜１．５ｍＷ小さく、記録感度
の高感度化が達成された。また、キャリアノイズレベル
（ＣＮＲ）は、従来より０．５〜１ｄＢ高い、５５〜５
６ｄＢの値が得られた。
ｍｍのポリカーボネイト基板ＩＡ上に、Ｔｂ膜３とＦｅ
Ｃｏ膜４からなる周期多層膜２を、Ｓｉ３Ｎ４膜から成
る厚さ８００Ａの保護層５Ａ及び５Ｂで挟むように形成
し、記録再生特性を測定した。記録再生特性の評価はＮ
Ａｏ、５の対物レンズを有するＰＩＮ−差動光学系を用
い、周速１１．３ｍ／ｓ（ディスク回転数１８００ｒｐ
ｍ、半径６０ｍｍ）、記録周波数２．５ＭＨｚ記録パル
スデューティ５０％、バイアス磁界２５００ｅで行った
。その結果、搬送波の２次高詞波歪が極小と成る最適記
録パワーとして、７ｍＷが得られた。この値は従来の標
準的な記録膜（Ｔｃ−２００℃、θに＝０．３７度）を
用いた場合に比べて、１〜１．５ｍＷ小さく、記録感度
の高感度化が達成された。また、キャリアノイズレベル
（ＣＮＲ）は、従来より０．５〜１ｄＢ高い、５５〜５
６ｄＢの値が得られた。
ここで、希土類金属薄膜と遷移金属を主成分とする薄膜
としては、上述のものに限定されるものではない。例え
ば希土類金属薄膜として、Ｄｙ膜、Ｇｄ膜、ＧｄＴｂ合
金膜を、そして遷移金属を主成分とする薄膜としてＦｅ
！、Ｃｏ１１ｌｌ。
としては、上述のものに限定されるものではない。例え
ば希土類金属薄膜として、Ｄｙ膜、Ｇｄ膜、ＧｄＴｂ合
金膜を、そして遷移金属を主成分とする薄膜としてＦｅ
！、Ｃｏ１１ｌｌ。
ＦｅＣｏＴｉ合金膜を用いた場合でも、同様の効果がみ
ちれた。
ちれた。
以上述べたように、本発明によれば、従来より低いキュ
ーリー温度Ｔｃで高いカー回転角θｋを有する記録媒体
、すなわち従来より記録感度と再生出力が共に高い光磁
気記録媒体が得られるという効果がある。
ーリー温度Ｔｃで高いカー回転角θｋを有する記録媒体
、すなわち従来より記録感度と再生出力が共に高い光磁
気記録媒体が得られるという効果がある。
第１図及び第５図は本発明の実施例の断面図、第２図は
実施例の作製に用いるスパッタ装置の構成図、第３図及
び第４図は膜厚比とカー回転角及びキューリー温度との
関係を示す図である。 １・・・ガラス基板、ＩＡ・・・ポリカーボネイト基板
、２・・・周期多層膜、３・・・Ｔｂ膜、４・・・Ｆｅ
Ｃ。 膜、５，５Ａ、５Ｂ・・・保護膜、６・・・基板ホルダ
、７・・・スパッタチャンバ、８，９・・・ターゲット
、１０．１１−・・ターゲットホルダ、１２．１３・・
・ＤＣｔ源。
実施例の作製に用いるスパッタ装置の構成図、第３図及
び第４図は膜厚比とカー回転角及びキューリー温度との
関係を示す図である。 １・・・ガラス基板、ＩＡ・・・ポリカーボネイト基板
、２・・・周期多層膜、３・・・Ｔｂ膜、４・・・Ｆｅ
Ｃ。 膜、５，５Ａ、５Ｂ・・・保護膜、６・・・基板ホルダ
、７・・・スパッタチャンバ、８，９・・・ターゲット
、１０．１１−・・ターゲットホルダ、１２．１３・・
・ＤＣｔ源。
Claims (1)
- 希土類金属薄膜と遷移金属を主成分とする薄膜とが交
互に積層された周期多層膜を記録層とする光磁気記録媒
体に於て、前記希土類金属薄膜の一層当たりの膜厚値ｔ
１に対する遷移金属を主成分とする薄膜の一層当たりの
膜厚値ｔ２の比ｔ２／ｔ１が１．２〜１．３であること
を特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2288949A JP2957260B2 (ja) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2288949A JP2957260B2 (ja) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | 光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04163744A true JPH04163744A (ja) | 1992-06-09 |
| JP2957260B2 JP2957260B2 (ja) | 1999-10-04 |
Family
ID=17736895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2288949A Expired - Lifetime JP2957260B2 (ja) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2957260B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH087352A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-12 | Nec Corp | 光磁気記録媒体及びその製造方法 |
| WO2006109615A1 (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-19 | Namiki Seimitsu Houseki Kabushiki Kaisha | 積層型永久磁石 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61108112A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-26 | Ricoh Co Ltd | 垂直磁化膜 |
| JPH02130739A (ja) * | 1988-11-09 | 1990-05-18 | Nec Corp | 光磁気ディスク媒体 |
-
1990
- 1990-10-26 JP JP2288949A patent/JP2957260B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61108112A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-26 | Ricoh Co Ltd | 垂直磁化膜 |
| JPH02130739A (ja) * | 1988-11-09 | 1990-05-18 | Nec Corp | 光磁気ディスク媒体 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH087352A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-12 | Nec Corp | 光磁気記録媒体及びその製造方法 |
| WO2006109615A1 (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-19 | Namiki Seimitsu Houseki Kabushiki Kaisha | 積層型永久磁石 |
| JP4803398B2 (ja) * | 2005-04-05 | 2011-10-26 | 並木精密宝石株式会社 | 積層型永久磁石 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2957260B2 (ja) | 1999-10-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3072812B2 (ja) | 光磁気記録媒体及び該媒体の情報再生方法 | |
| JPH05159387A (ja) | 光磁気ディスク | |
| JPH06124500A (ja) | 光磁気記録媒体及び該媒体の再生方法 | |
| JP3164975B2 (ja) | 光磁気記録媒体及び該媒体を用いた情報再生方法 | |
| JP3354726B2 (ja) | 光磁気記録媒体及び再生方法 | |
| JPH056588A (ja) | 光磁気記録媒体及び光磁気記録方法 | |
| JPH04163744A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP3093340B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS63179435A (ja) | 磁性薄膜記録媒体 | |
| JP2647958B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS59168954A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH04219642A (ja) | 光磁気記録媒体及び光磁気記録方法 | |
| JP2929918B2 (ja) | 光磁気記録媒体及びその再生方法 | |
| JP2778761B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP3355759B2 (ja) | 光磁気記録媒体及びその再生方法 | |
| JP2607476B2 (ja) | 光磁気記録方法 | |
| Imamura | Magneto-optical recording | |
| JPS61243977A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH04186707A (ja) | 光磁気記録膜の構造 | |
| JPH06139633A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH10162441A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH0696479A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH0644624A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH04281239A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH05303777A (ja) | 光磁気記録媒体とその製造方法 |