JPS62219708A - Ａｔカツト振動子 - Google Patents
Ａｔカツト振動子Info
- Publication number
- JPS62219708A JPS62219708A JP6367286A JP6367286A JPS62219708A JP S62219708 A JPS62219708 A JP S62219708A JP 6367286 A JP6367286 A JP 6367286A JP 6367286 A JP6367286 A JP 6367286A JP S62219708 A JPS62219708 A JP S62219708A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cut
- vibrator
- vibration
- lengthwise direction
- cut vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 18
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明は、ＡＴカット振動子に関し、振動部と減衰部と
を一体成形し、小型化を果たしたＡＴカット振動子に関
する。
を一体成形し、小型化を果たしたＡＴカット振動子に関
する。
［従来の技術１
ＡＴカット振動子は、従来円形のものを多く使用してい
たが、小型化のため矩形状のものを使用するようになっ
た。そして支持系の固着を振動子端部で行っていた。し
かしながら、このように直接固着すると支持系での悪影
響がＡＴカット振動子に直接伝わるために、特性の劣化
を招く虞があった。
たが、小型化のため矩形状のものを使用するようになっ
た。そして支持系の固着を振動子端部で行っていた。し
かしながら、このように直接固着すると支持系での悪影
響がＡＴカット振動子に直接伝わるために、特性の劣化
を招く虞があった。
〔発明が解決しようとする問題点］
本発明は、ＡＴカット振動子を支持系へ固着する場合に
支持系の影響を受けないようにしたＡＴカット振動子に
関する。
支持系の影響を受けないようにしたＡＴカット振動子に
関する。
［本発明の構成１
本発明の構成は、矩形状の振動部と減衰部とを一体成形
したＡＴカット振動子において、該振動部長手の平行部
と減衰部との傾斜角θを２１°±７゛の範囲内にしたＡ
Ｔカット振動子である。
したＡＴカット振動子において、該振動部長手の平行部
と減衰部との傾斜角θを２１°±７゛の範囲内にしたＡ
Ｔカット振動子である。
［作用及び実施例］
第１図は、本発明のＡＴカット振動子１０の平面図であ
る。中央部に矩形状の振動部１１を設け、振動部長平方
向をＺ゛軸に取ったものである。振動部１１の端面から
は長手方向に延びるに従い短辺の幅寸法を狭く加工した
減衰部１２がある。そしてエネルギーを振動部１１にと
じ込めるために、減衰部１２を設けている。本発明では
、振動部１１長手方向と減衰部１２との傾斜角θを２１
°にしたものである。第２図は、傾斜角θに対するＡＴ
カット振動子１０のＣ１１ｉｉ！で下に凸状となり傾斜
角２１”付近に最少値が存在し、２１°±７゜近辺が良
好な値であった。振動部１１の長さ寸法Ｌ２＋幅寸法Ｗ
、、ＡＴカット振動子の長さ寸法り、。
る。中央部に矩形状の振動部１１を設け、振動部長平方
向をＺ゛軸に取ったものである。振動部１１の端面から
は長手方向に延びるに従い短辺の幅寸法を狭く加工した
減衰部１２がある。そしてエネルギーを振動部１１にと
じ込めるために、減衰部１２を設けている。本発明では
、振動部１１長手方向と減衰部１２との傾斜角θを２１
°にしたものである。第２図は、傾斜角θに対するＡＴ
カット振動子１０のＣ１１ｉｉ！で下に凸状となり傾斜
角２１”付近に最少値が存在し、２１°±７゜近辺が良
好な値であった。振動部１１の長さ寸法Ｌ２＋幅寸法Ｗ
、、ＡＴカット振動子の長さ寸法り、。
減衰部１２端面の幅寸法をＷ２とし、Ｗ２／Ｗ、は、０
．５５〜０．７５． Ｌ２／Ｌ＋は、０．７０〜０．７
５近辺にとると、傾斜角θに換算すると２１°±７°と
なる。
．５５〜０．７５． Ｌ２／Ｌ＋は、０．７０〜０．７
５近辺にとると、傾斜角θに換算すると２１°±７°と
なる。
本発明のＡＴカット振動子は、機械加工でも良いが、フ
ォトリソグラフィー法によるエツチング加工で行うと寸
法精度が良く、製造が容易となる。
ォトリソグラフィー法によるエツチング加工で行うと寸
法精度が良く、製造が容易となる。
周波数範囲としては、１０〜３０Ｍ）ｌｚ程度の基本波
である。また、減衰部１２の端部にサポートのための部
材を同時に加工することも出来る。なお、減衰部１２は
小型化に不利にならない範囲で長く伸ばしてもよい。
である。また、減衰部１２の端部にサポートのための部
材を同時に加工することも出来る。なお、減衰部１２は
小型化に不利にならない範囲で長く伸ばしてもよい。
第３図、第４図は他の実施例を示すＡＴカット据動子３
０．４０の平面図である。第３図では、振動部３Ｉと減
衰部３２との境界部分に凹部３３を設けたものである。
０．４０の平面図である。第３図では、振動部３Ｉと減
衰部３２との境界部分に凹部３３を設けたものである。
減衰部３２だけであるとエネルギーとじ込めが十分でな
い場合に、凹部３３によって鋪おうとするものである。
い場合に、凹部３３によって鋪おうとするものである。
これによってＡＴカット振動子３０の特性か向上した。
傾斜角θは、もちろん２１°±７°に設定しである。
第４図は、撮動部４１と減衰部４２との境界部分に透孔
４４を設けたものである。機能的には、第３図で示した
凹部３３と同様に、エネルギーとじ込めをより十分なも
のとするために設けているものである。これによっても
、ＡＴカット振動子４０の特性を向上することが出来た
。
４４を設けたものである。機能的には、第３図で示した
凹部３３と同様に、エネルギーとじ込めをより十分なも
のとするために設けているものである。これによっても
、ＡＴカット振動子４０の特性を向上することが出来た
。
第５図は、さらに他の実施例で第１図のＡＴカット振動
子１０をフォトリソグラフィー法によるエツチング加工
で作成した場合に、減衰部５２の端面は厳密には直線に
はならずに曲線となる場合もあるが。しかしこの場合で
あっても、振動部５１と減衰部５２との傾斜角を仮想傾
斜角θとして近似する場合にも本発明の範囲内であり、
また効果も同様である。
子１０をフォトリソグラフィー法によるエツチング加工
で作成した場合に、減衰部５２の端面は厳密には直線に
はならずに曲線となる場合もあるが。しかしこの場合で
あっても、振動部５１と減衰部５２との傾斜角を仮想傾
斜角θとして近似する場合にも本発明の範囲内であり、
また効果も同様である。
［本発明の効果１
本発明は、矩形状の撮動部と減衰部とを一体に成形した
ＡＴカット振動子で、減衰部と振動部との傾斜角を２１
°近辺に設定したものであって、この傾斜角の狭い範囲
内でＡＴカット振動子の特性最善範囲が存在した。これ
によって、全体の形状が小型化した場合であっても、こ
の傾斜角にすることによって特性を改善することが出来
た。なお、幅寸法比Ｗ２／Ｗ４、長さ寸法比Ｌ２／Ｌ、
の適度な設定によりこの傾斜角を達成出来る。また、減
衰部と振動部との境界部分に凹部や透孔を設けることに
より、エネルギーを振動部に効率良くとじ込めることも
出来、さらに特性を向上することが出来た。
ＡＴカット振動子で、減衰部と振動部との傾斜角を２１
°近辺に設定したものであって、この傾斜角の狭い範囲
内でＡＴカット振動子の特性最善範囲が存在した。これ
によって、全体の形状が小型化した場合であっても、こ
の傾斜角にすることによって特性を改善することが出来
た。なお、幅寸法比Ｗ２／Ｗ４、長さ寸法比Ｌ２／Ｌ、
の適度な設定によりこの傾斜角を達成出来る。また、減
衰部と振動部との境界部分に凹部や透孔を設けることに
より、エネルギーを振動部に効率良くとじ込めることも
出来、さらに特性を向上することが出来た。
第１図、第３図、第４園、第５図は、本発明のＡＴカッ
ト振動子の平面図。第２図は、傾斜角に対するＣＩ値の
図である。 １０．３０．４０．５０・・・・・・ＡＴカット振動子
１１．３１．４１．５１・・・・・・撮動部１２．３２
，４２．５２・・・・・・減衰部θ・・・・・・・・・
傾斜角 特許出願人 キンセキ株式会社 第１図 １４ ２１ ２８ σ（・〕 第５図
ト振動子の平面図。第２図は、傾斜角に対するＣＩ値の
図である。 １０．３０．４０．５０・・・・・・ＡＴカット振動子
１１．３１．４１．５１・・・・・・撮動部１２．３２
，４２．５２・・・・・・減衰部θ・・・・・・・・・
傾斜角 特許出願人 キンセキ株式会社 第１図 １４ ２１ ２８ σ（・〕 第５図
Claims (2)
- （１）矩形状の振動部と減衰部とを一体成形したＡＴカ
ット振動子において、該振動部長手の平行部と減衰部と
の傾斜角θを２１°±７°の範囲内にしたことを特徴と
するＡＴカット振動子。 - （２）該振動部長手方向がＺ’軸であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のＡＴカット振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6367286A JPS62219708A (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | Ａｔカツト振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6367286A JPS62219708A (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | Ａｔカツト振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62219708A true JPS62219708A (ja) | 1987-09-28 |
| JPH0580172B2 JPH0580172B2 (ja) | 1993-11-08 |
Family
ID=13236080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6367286A Granted JPS62219708A (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | Ａｔカツト振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62219708A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0389617A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Kinseki Ltd | オーバートーン水晶振動子 |
| JP2014007693A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-16 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、及び移動体 |
| JP2016111680A (ja) * | 2014-11-27 | 2016-06-20 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片および圧電振動子 |
| JP2016127594A (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片および圧電振動子 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5271188A (en) * | 1975-12-10 | 1977-06-14 | Seiko Epson Corp | Crystal resonator |
| JPS5461889A (en) * | 1977-10-26 | 1979-05-18 | Nippon Denpa Kogyo Kk | Thickness slip vibrator |
| JPS60194607A (ja) * | 1984-03-15 | 1985-10-03 | Toukiyouto | 圧電振動子 |
-
1986
- 1986-03-19 JP JP6367286A patent/JPS62219708A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5271188A (en) * | 1975-12-10 | 1977-06-14 | Seiko Epson Corp | Crystal resonator |
| JPS5461889A (en) * | 1977-10-26 | 1979-05-18 | Nippon Denpa Kogyo Kk | Thickness slip vibrator |
| JPS60194607A (ja) * | 1984-03-15 | 1985-10-03 | Toukiyouto | 圧電振動子 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0389617A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-15 | Kinseki Ltd | オーバートーン水晶振動子 |
| JP2014007693A (ja) * | 2012-06-27 | 2014-01-16 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、及び移動体 |
| JP2016111680A (ja) * | 2014-11-27 | 2016-06-20 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片および圧電振動子 |
| JP2016127594A (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片および圧電振動子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0580172B2 (ja) | 1993-11-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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