JPS62212957A - デイスクのチヤツキング方法 - Google Patents
デイスクのチヤツキング方法Info
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- JPS62212957A JPS62212957A JP61056281A JP5628186A JPS62212957A JP S62212957 A JPS62212957 A JP S62212957A JP 61056281 A JP61056281 A JP 61056281A JP 5628186 A JP5628186 A JP 5628186A JP S62212957 A JPS62212957 A JP S62212957A
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- deforming
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
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Landscapes
- Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、磁気ディスクや光ディスクなどのディスク
をワークホルダーＦに固定させるためのチャッキング方
法に関する。
をワークホルダーＦに固定させるためのチャッキング方
法に関する。
（従来の技術とその問題点）
第４図、第５図、第６図にそれぞれディスク表面検査装
置へのディスクのチャッキング方法の実施に使用される
従来装置の概略の縦断面図を示す。
置へのディスクのチャッキング方法の実施に使用される
従来装置の概略の縦断面図を示す。
第４図の装置【、１、回転テーブル１十に固定されるワ
ークホルダ２の中央のディスク装着用軸部２ａに嵌め込
まれたディスク３の土に、同じく上記軸部２ａに嵌まる
鋼材などからなるキャップ４を重ね、回転テーブル１．
ワークホルダ２の中央部を貫通づ゛る通気路６，７を通
じ真空吸着装Ｎ８で上記キャップ４を下方に吸引してデ
ィスク３而にキャップ４を押し付け、これによりワーク
ホルダ２とキャップ４とでディスク３を挟着固定するよ
うに構成したものである。
ークホルダ２の中央のディスク装着用軸部２ａに嵌め込
まれたディスク３の土に、同じく上記軸部２ａに嵌まる
鋼材などからなるキャップ４を重ね、回転テーブル１．
ワークホルダ２の中央部を貫通づ゛る通気路６，７を通
じ真空吸着装Ｎ８で上記キャップ４を下方に吸引してデ
ィスク３而にキャップ４を押し付け、これによりワーク
ホルダ２とキャップ４とでディスク３を挟着固定するよ
うに構成したものである。
また第５図の装置は、ワークホルダ２上に乗せられたデ
ィスク３に対し、ワークホルダ２の中央のディスク装着
用軸部２ａに嵌まるように重ねられるキャップ４を、エ
アシリンダ９を用いて引き下げることにより、ワークホ
ルダ２とキャップ４とでディスク３を挟着固定するもの
である。なお、キャップ４とエアシリンダ９０間の連結
解除は、エアシリンダ９に直結する筒状軸体１０の周壁
の横穴１０ａに遊動自在に設けられる球体１１と、キャ
ップ４により垂下される軸体１２の下端膨出部１２ａと
の係合を、上記筒状軸体１０の上動にＪ、り解いて果さ
れる。
ィスク３に対し、ワークホルダ２の中央のディスク装着
用軸部２ａに嵌まるように重ねられるキャップ４を、エ
アシリンダ９を用いて引き下げることにより、ワークホ
ルダ２とキャップ４とでディスク３を挟着固定するもの
である。なお、キャップ４とエアシリンダ９０間の連結
解除は、エアシリンダ９に直結する筒状軸体１０の周壁
の横穴１０ａに遊動自在に設けられる球体１１と、キャ
ップ４により垂下される軸体１２の下端膨出部１２ａと
の係合を、上記筒状軸体１０の上動にＪ、り解いて果さ
れる。
第６図の装置も第５図のものどけば同様の構成であり、
Ｔアシリンダ９は１ニドツブ４を引ぎ下げる方向にバネ
１３で付勢されており、［アシリング９の下部空隙９ａ
にエアーを流入さけたときに軸体１２ど筒状軸体１０ど
の連結が解除される点が異なるのみである。
Ｔアシリンダ９は１ニドツブ４を引ぎ下げる方向にバネ
１３で付勢されており、［アシリング９の下部空隙９ａ
にエアーを流入さけたときに軸体１２ど筒状軸体１０ど
の連結が解除される点が異なるのみである。
しかしながら、以上の従来例はいずれもワークホルダ２
に載せられたディスク３上に剛体材料から４にるキャッ
プ４を直接重ね、そのキャップ４を引ぎ下げることにに
リディスク３をキャップ４とワークホルダ２どで挟着固
定するものであるから、ディスク３がキャップ４によっ
て庇付いたり、汚れが付着するなどの欠点を有する。ま
た、そのチャッキング処理のための装置も、構造が複雑
になりコストが増大すると共に、この従来のチャッキン
グ方法で自動化をはかる場合には、キャップ４の着脱な
どに時間がかかり、作業能率が悪いという問題ら有する
。
に載せられたディスク３上に剛体材料から４にるキャッ
プ４を直接重ね、そのキャップ４を引ぎ下げることにに
リディスク３をキャップ４とワークホルダ２どで挟着固
定するものであるから、ディスク３がキャップ４によっ
て庇付いたり、汚れが付着するなどの欠点を有する。ま
た、そのチャッキング処理のための装置も、構造が複雑
になりコストが増大すると共に、この従来のチャッキン
グ方法で自動化をはかる場合には、キャップ４の着脱な
どに時間がかかり、作業能率が悪いという問題ら有する
。
（発明の目的）
この発明は、従来例にお【Ｊる上記問題を解決するため
になされたもので・、’Ｆ （スフに疵、汚れを付ｌｉ
ることがなく、チャフ４ング処理の１１，１間も短縮で
き、使用する装置の構造も簡単になり小形軽小化が可能
で、自動化に有効なディスクのチャッキング方法を提供
することを目的とする。
になされたもので・、’Ｆ （スフに疵、汚れを付ｌｉ
ることがなく、チャフ４ング処理の１１，１間も短縮で
き、使用する装置の構造も簡単になり小形軽小化が可能
で、自動化に有効なディスクのチャッキング方法を提供
することを目的とする。
（［１的を達成するための手段）
上述の目的を達成するため、この発明のディスクのチャ
ッキング方法は、ディスクの穴部が嵌合されるワークホ
ルダ軸部十に一体または載置して設けられた弾性体の上
部に剛性部材を配設し、前記剛性部材を前記ワークホル
ダに向って変位させることにＪ：つて前記弾性体を変形
させ、ディスク上面へ張り出す上記弾性体の変形部でデ
ィスクを前記ワークホルダ十に挟着固定するようにする
。
ッキング方法は、ディスクの穴部が嵌合されるワークホ
ルダ軸部十に一体または載置して設けられた弾性体の上
部に剛性部材を配設し、前記剛性部材を前記ワークホル
ダに向って変位させることにＪ：つて前記弾性体を変形
させ、ディスク上面へ張り出す上記弾性体の変形部でデ
ィスクを前記ワークホルダ十に挟着固定するようにする
。
（実施例１）
第１図はこの発明のディスクのチャッキング方法の実施
に使用する装置の一例の概略を示す縦断面図であり、第
２図はその要部の動作を示す縦断＝ ３ − 面図である。
に使用する装置の一例の概略を示す縦断面図であり、第
２図はその要部の動作を示す縦断＝ ３ − 面図である。
上記装置は、回転テーブル１４十に設けられたワークホ
ルダ１５、このワークホルダ１５の中央のディスク装着
用軸部１６ａ」−に載置または固定されるゴムなどから
なる弾性体１７、この弾性体１７の上部に設けられる金
属などの剛性ｔＪ Ｆ！Ｉからなる押え板１８、この押
え板１８を下方に引き下げるための真空吸引装置１９な
どにより構成されている。
ルダ１５、このワークホルダ１５の中央のディスク装着
用軸部１６ａ」−に載置または固定されるゴムなどから
なる弾性体１７、この弾性体１７の上部に設けられる金
属などの剛性ｔＪ Ｆ！Ｉからなる押え板１８、この押
え板１８を下方に引き下げるための真空吸引装置１９な
どにより構成されている。
」−記ディスク装着用軸部１６ａは、ワークホルダ１５
の筒状中央台座１６の−に部に一体形成され、この中央
台座１６の外径より小径でディスク２０の中央穴２０ａ
が嵌合する外径の円柱形をなしている。一方、−に記弾
性体１７は中央に通気穴１７ａを有する環形で、その外
径はディスク装着用軸部１６ａへのディスク２０の挿入
をさまたげないように一ト記ディスク装着用軸部１６ａ
の外径より少し小さく設定されている。この弾性体１７
の下部には、ワークボルダ１５の中央台座１６の中空部
１６ｂに嵌合づる小径部１７ｂが一体に形成されている
。そして、その弾性体１７０通気安１７ａの上面側は−
Ｌ記押え板１８によって気密状に月１されている。また
、回転テーブル１７！１．ワークボルダ１５の中央部に
は中央台座１６の中空部１６ｂと前記真空吸引装置１９
どを連通させる通気路１４ａ、１５ａが形成されている
。ワークホルダ１５と回転テーブル１４との間には、上
記通気路１４８．１５ａの接続部での空気洩れを防止す
るためのシール２１が介装されている。
の筒状中央台座１６の−に部に一体形成され、この中央
台座１６の外径より小径でディスク２０の中央穴２０ａ
が嵌合する外径の円柱形をなしている。一方、−に記弾
性体１７は中央に通気穴１７ａを有する環形で、その外
径はディスク装着用軸部１６ａへのディスク２０の挿入
をさまたげないように一ト記ディスク装着用軸部１６ａ
の外径より少し小さく設定されている。この弾性体１７
の下部には、ワークボルダ１５の中央台座１６の中空部
１６ｂに嵌合づる小径部１７ｂが一体に形成されている
。そして、その弾性体１７０通気安１７ａの上面側は−
Ｌ記押え板１８によって気密状に月１されている。また
、回転テーブル１７！１．ワークボルダ１５の中央部に
は中央台座１６の中空部１６ｂと前記真空吸引装置１９
どを連通させる通気路１４ａ、１５ａが形成されている
。ワークホルダ１５と回転テーブル１４との間には、上
記通気路１４８．１５ａの接続部での空気洩れを防止す
るためのシール２１が介装されている。
次に、上記装置によるディスク２０の回転テーブル１４
への固定動作を説明する。
への固定動作を説明する。
第１図のように、ディスク２０の中央穴２０ａをワーク
ホルダ１５のディスク装着用軸部１６８に嵌合して中央
台座１６の上端部すなわち取ｆ１基準面１６ｃ上にディ
スク２０をセラ１〜したあと、真空吸引装置１９を駆動
させると、弾性体１７の通気穴１７ａ、中央台座１６の
中空部１６ａ９通気路１５ａ、１４ａを経て空気が吸引
されるため、これによって第２図に示すように弾性体１
７上の押え板１８が引き下げられるようにゆ位し、弾性
体１７が押え板１８によって叩え（＝ｔ ｌ−１られる
。そのため、弾性体１７の外周部はディスク２０の上面
側に張り出すように弾性変形し、この弾性体１７の弾性
変形部１７ｃと、ワークホルダ１５の中央台座１６十端
の取付基準面１６ｃとて・ディスク２０が挟着固定され
る。この際において、ディスク２０に接づるのは弾性体
変形部１７ｃのみであるから、ディスク２０の表面に疵
などが付くこともない。
ホルダ１５のディスク装着用軸部１６８に嵌合して中央
台座１６の上端部すなわち取ｆ１基準面１６ｃ上にディ
スク２０をセラ１〜したあと、真空吸引装置１９を駆動
させると、弾性体１７の通気穴１７ａ、中央台座１６の
中空部１６ａ９通気路１５ａ、１４ａを経て空気が吸引
されるため、これによって第２図に示すように弾性体１
７上の押え板１８が引き下げられるようにゆ位し、弾性
体１７が押え板１８によって叩え（＝ｔ ｌ−１られる
。そのため、弾性体１７の外周部はディスク２０の上面
側に張り出すように弾性変形し、この弾性体１７の弾性
変形部１７ｃと、ワークホルダ１５の中央台座１６十端
の取付基準面１６ｃとて・ディスク２０が挟着固定され
る。この際において、ディスク２０に接づるのは弾性体
変形部１７ｃのみであるから、ディスク２０の表面に疵
などが付くこともない。
＜ｉお、ディスク２０の芯出しは、ディスク２０の中央
穴２０ａがディスク装着用軸部１６ａの外周部４イ「わ
ち基準案内面１６ａ１に案内されて装置されることによ
Ｖ）正しく行イ１ねれる。
穴２０ａがディスク装着用軸部１６ａの外周部４イ「わ
ち基準案内面１６ａ１に案内されて装置されることによ
Ｖ）正しく行イ１ねれる。
（実施例２）
第３図は、この発明のディスクのチャッキング方法の実
施に使用する装置の他の例の概略を示すｍ断面図である
。
施に使用する装置の他の例の概略を示すｍ断面図である
。
十記装首は、押え板１８を引ぎ下げるのにエアシリンダ
２２を用いた点が先の第１図の装置と異１、Ｔるのみで
、その他の構成は第１図のものとばぼ同一であり、同一
部分は同一７１号をイ・１して説明を省略づる。エアシ
リンダ２２と押え板１８とは、自在継手２３．２４を介
して接続され、これにＪ：り回転テーブル１４０回転を
許容するにうに構成されている。この装置による場合も
、先の場合と同様にしてディスク２０のチャッキング動
作が行なわれる。
２２を用いた点が先の第１図の装置と異１、Ｔるのみで
、その他の構成は第１図のものとばぼ同一であり、同一
部分は同一７１号をイ・１して説明を省略づる。エアシ
リンダ２２と押え板１８とは、自在継手２３．２４を介
して接続され、これにＪ：り回転テーブル１４０回転を
許容するにうに構成されている。この装置による場合も
、先の場合と同様にしてディスク２０のチャッキング動
作が行なわれる。
以上この発明の実施例について説明したが、この発明は
上記実施例に限定されるものではなく、たとえば、弾性
体を変形させるための割竹部材としては、板状以外の形
状を有しているものを使用してもよい。また、この割竹
部材を磁性体で形成づるとともにディスク装着用軸部１
６ａの中心部付近に電磁石を設（プ、この電磁石に通電
し−（上記磁性体を下方に引付けることによりこの磁性
体に変位をりえて弾性体を変形させてもよい。
上記実施例に限定されるものではなく、たとえば、弾性
体を変形させるための割竹部材としては、板状以外の形
状を有しているものを使用してもよい。また、この割竹
部材を磁性体で形成づるとともにディスク装着用軸部１
６ａの中心部付近に電磁石を設（プ、この電磁石に通電
し−（上記磁性体を下方に引付けることによりこの磁性
体に変位をりえて弾性体を変形させてもよい。
この発明は、半製品・完成品を問わず、種々のディスク
のチャッキングに利用できる。また、このチャッキング
方法は、ディスクの表面検査装置へのチャッキングのほ
か、記録＠置や再牛装冒へのブトツニ１ングにも利用Ｉ
Ｉ＋能である。
のチャッキングに利用できる。また、このチャッキング
方法は、ディスクの表面検査装置へのチャッキングのほ
か、記録＠置や再牛装冒へのブトツニ１ングにも利用Ｉ
Ｉ＋能である。
（発明の効果）
以１−のＪ：うに、この発明のディスクのブヤツキン／
／方法によれば、従来例のようなキャップの着脱操作を
要すること４「＜ワーク１１−シダ上へのディス／７の
固定が可能となり、Ｉ：＋７ツプのためにディスクが疵
イ・１いたり汚れが付着するのを防止できるばかりでな
く、ディスクの固定を短時間のうちに位置粘度良く行イ
１つごとができ、固定作業の能率を大幅に向上させ得る
。このため、自動化も容易に実現可能となり、そのチャ
ン４−ング処理に使用する装置自体も構造が簡単になり
、小形・軽量化が促ｊμされ設備の］ストを低減できる
なとの効果が１ｑられる。
／方法によれば、従来例のようなキャップの着脱操作を
要すること４「＜ワーク１１−シダ上へのディス／７の
固定が可能となり、Ｉ：＋７ツプのためにディスクが疵
イ・１いたり汚れが付着するのを防止できるばかりでな
く、ディスクの固定を短時間のうちに位置粘度良く行イ
１つごとができ、固定作業の能率を大幅に向上させ得る
。このため、自動化も容易に実現可能となり、そのチャ
ン４−ング処理に使用する装置自体も構造が簡単になり
、小形・軽量化が促ｊμされ設備の］ストを低減できる
なとの効果が１ｑられる。
第１図はこの発明のディスクのチャッキング方法の実施
に使用される一例の概略を示す縦断面図、第２図は第１
図の装置によるディスクのチャツー１：ング動作を示す
説明図、 第３図はこの発明のディスクのチャッキング方法の実施
に使用される装置の他の例の概略を示す縦断面図、 第４図ないし第６図は従来のディスクのチャッキング方
法の実施に使用される装置のＪＩ’、ｆ略を承り縦断面
図である。 １４・・・回転テーブル、１５・・・ワークホルダ、１
６ａ・・・ディスク装着用軸部、１７・・・弾性体、１
７ｃ・・・弾性変形部、１８・・・押え板、１つ・・・
真空吸着装置、２０・・・ディスク、２２・・・エアシ
リンダ
に使用される一例の概略を示す縦断面図、第２図は第１
図の装置によるディスクのチャツー１：ング動作を示す
説明図、 第３図はこの発明のディスクのチャッキング方法の実施
に使用される装置の他の例の概略を示す縦断面図、 第４図ないし第６図は従来のディスクのチャッキング方
法の実施に使用される装置のＪＩ’、ｆ略を承り縦断面
図である。 １４・・・回転テーブル、１５・・・ワークホルダ、１
６ａ・・・ディスク装着用軸部、１７・・・弾性体、１
７ｃ・・・弾性変形部、１８・・・押え板、１つ・・・
真空吸着装置、２０・・・ディスク、２２・・・エアシ
リンダ
Claims (1)
- （１）ディスクの穴部が嵌合されるワークホルダ軸部上
に設けられた弾性体の上部に剛性部材を配設し、前記剛
性部材を前記ワークホルダに向って変位させることによ
って前記弾性体を変形させ、ディスク上面へ張り出す前
記弾性体の変形部でディスクを前記ワークホルダ上に挟
着固定することを特徴とするディスクのチャッキング方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61056281A JPS62212957A (ja) | 1986-03-13 | 1986-03-13 | デイスクのチヤツキング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61056281A JPS62212957A (ja) | 1986-03-13 | 1986-03-13 | デイスクのチヤツキング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62212957A true JPS62212957A (ja) | 1987-09-18 |
Family
ID=13022705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61056281A Pending JPS62212957A (ja) | 1986-03-13 | 1986-03-13 | デイスクのチヤツキング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62212957A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5048005A (en) * | 1989-10-10 | 1991-09-10 | Ekhoff Donald L | Spindle clamp having a unitary lock member |
| US5644564A (en) * | 1995-03-17 | 1997-07-01 | Phase Metrics | Vacuum chuck for rotating data discs |
| US6600628B2 (en) | 2001-04-10 | 2003-07-29 | Kla-Tencor Corporation | Air centering disk chuck |
| US6954330B2 (en) * | 2001-12-04 | 2005-10-11 | Samsung Electronics, Co., Ltd. | Disk chuck |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS558159U (ja) * | 1978-06-30 | 1980-01-19 | ||
| JPS5958678A (ja) * | 1982-09-29 | 1984-04-04 | Canon Electronics Inc | 磁気デイスク装置 |
-
1986
- 1986-03-13 JP JP61056281A patent/JPS62212957A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS558159U (ja) * | 1978-06-30 | 1980-01-19 | ||
| JPS5958678A (ja) * | 1982-09-29 | 1984-04-04 | Canon Electronics Inc | 磁気デイスク装置 |
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| US5644564A (en) * | 1995-03-17 | 1997-07-01 | Phase Metrics | Vacuum chuck for rotating data discs |
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