JPS62212961A - デイスクチヤツキング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、磁気ディスクや光ディスクなどのディスク
を装着するためのディスクチャッキング装置に関する。

（従来の技術とその問題点） 、この種のディスクチャッキング装置としては、真空吸
着装置の吸気路を回転テーブルの表面に開口させたもの
（特開昭５７−１６１６４１号公報）が知られている。

この装置は、マニュアルまたは何らかのローディング手
段によって回転テーブル上に載せられたディスクを、上
記真空吸着装置で吸引することにより上記回転テーブル
上に固定することを主眼としたものである。

ところで、上述した磁気ディスク、光ディスクの半製品
、完成品などの表面は非常に高精度に仕上げられており
、表面にわずかな力を受けただけでも使用上問題となる
ような疵が発生するため、上記回転テーブルへの着脱に
は細心の注意を払う必要がある。

しかしながら、上記従来例の装置では、回転テ−プル上
に載置された後のディスクの固定について工夫がされて
いるだけであって、回転テーブル上に載置する際にディ
スクに疵が付がないような配慮はなされておらず、載置
の際にディスクが回転テーブルの表面に衝突してディス
ク表面に疵を付けるという問題を有する。

（発明の目的） この発明は、従来例における上記問題を解決するために
なされたもので、回転テーブルやこの回転テーブル上に
設けられたワークホルダなどのディスク支持体上へディ
スクを装着する際に、ディスクをディスク支持体のディ
スク支持表面に衝突させることがなく、ディスク装着時
の疵の発生を防止できるディスクチャッキング装置を提
供することを目的とする。

（目的を達成するための手段） 上述の目的を達成するため、この発明のディスクチャッ
キング装置では、ディスク支持体のディスク支持表面よ
り高い位置に突出し、かっこの支持表面と同一の高さに
まで変形可能なディスク着座用弾性体を、上記ディスク
支持体に設けている。

なお、この発明においては、ディスクを挟持する場合だ
けでなく、ディスクをディスク支持体に取付ける操作一
般を「チャッキング」と呼ぶ。

（実施例１） ゛第１図はこの発明の第１実施例であるディスクチャッ
キング装置の縦断面図であり、第２図（Ａ）、（Ｂ）は
そのディスク装着時の動作の説明図である。

上記装置では、図示しない回転テーブルの中央に設けた
ディスク支持体としてのワークホルダ１の上端部外周縁
に、環状のディスク着座用弾性体２を回転テーブルと同
心状に配置する。ディスク取付基準面（ディスク支持表
面）ｌａとなる上記ワークホルダ１の上端面には、ワー
クホルダ１および回転テーブル内を貫通する吸気路３が
開口しており、この吸気路３は、真空吸着装置４に連通
している。

このうち、ディスク着座用弾性体２は、上方に向は拡開
するラッパ状に形成されており、ディスり取付基準面１
ａよりも高い位置に突出している。

そして、このディスク着座用弾性体２は、ディスク取付
基準面１ａと同一の高さにまで変形可能とされている。

また、上記ワークホルダ１の上端中央部、すなわち回転
テーブルの軸心相当位置にはディスク（第２図（Ａ）、
（Ｂ）に符号５で示す）の中央穴５ａの嵌まる軸部６が
突設されている。

そして、上記吸気路３の開口３ａは、ワークホルダ１上
端のディスク取付基準面１ａのディスク着座用弾性体２
で囲まれる内側の領域に配置されている。

次に、上記装置によるディスク５のワークホルダ１への
装着動作を説明する。

まず、真空吸着装置４の吸引動作を停止させた状態で、
例えばハンドリングロボットなどにより第２図（Ａ）に
示すようにワークホルダ１の軸部６にディスク５の中央
穴５ａを嵌め合せてディスク５を解放すると、ディスク
着座用弾性体２によりディスク５がワークホルダ１のデ
ィスク取付基準面１ａよりわずかだけ上方の位置に支持
される。

この状態で真空吸着装置４を駆動すると、上記弾性体２
が気密用シール部材として働くため、吸気路３を介して
ディスク５が下方に吸引され、第２図（Ｂ）に示すよう
にディスク５は弾性体２を水平状態に押圧変形させてワ
ークホルダ１のディスク取付基準面１ａ上に吸着固定さ
れる。

この動作は緩やかなものであるため、ディスク５の表面
がディスク取付基準面１ａに強く衝突して、ディスク５
の表面に疵を付けることはない。

また、チャッキング時にはディスク着座用弾性体２がデ
ィスク取付基準面１ａの高さまで変形するため、ディス
ク５の支持は最終的にはディスク取付基準面１ａによっ
て行なわれ、ディスク着座用弾性体２の弾性による位置
ずれやガタなどは生じない。

そして、以上の固定状態のもとで、回転テーブルを回転
させることにより、ディスク５の表面検査などが行われ
る。

また、上記装着時におけるハンドリングロボットなどに
よる回転テーブル上でのディスク５の解放高さは、上記
弾性体２の緩衝作用が働くために、さほど厳密に設定す
る必要はなく、十分な許容範囲をもたせることができる
。

回転テーブルからディスク５を取り外す場合は、以上の
操作を逆に辿ることにより果すことができる。

（実施例２） 第３図はこの発明の第２実施例であるディスクチャッキ
ング装置の要部縦断面図であり、第４図（Ａ）、（Ｂ）
はそのディスク装着時の動作の説明図である。

上記装置が先の第１実施例と異なる点は、■ディスク着
座用弾性体１２が第１実施例と異なる態様で設けられて
いること、■上記ディスク着座用弾性体１２のほかに、
シール用弾性リング体７がワークホルダ１の上端に設け
られてこと、である。

このうち、ディスク着座用弾性体１２は、ディスク取付
基準面１ａ上の環状１１ｂに嵌装され、上記シール用弾
性リング体７より高く単調に上向きに突出した形状とさ
れている。そして、このディスク着座用弾性体１２の水
平方向の幅は、環状溝１ｂの溝幅よりも小さいものとさ
れており、それによって、ディスク着座用弾性体１２が
環状溝１ｂ内に押込まれた際に、このディスク着座用弾
性体１２の高さがディスク取付基準面１ａと同一の高さ
にまで変形可能とされている。

一方、上記シール用弾性リング体７は、ワークホルダコ
の軸部６の下端の外周縁に周設され、ディスク５がディ
スク取付基準面１ａに接する寸前の状態ではじめてディ
スク５に押圧される程度に、ディスク取付基準面１ａよ
りわずかに突出している。また吸気路３は、ディスク取
付基準面１ａの上記ディスク着座用弾性体２とシール用
弾性リング体７で挾まれる領域に開口させである。

この装置によるディスク装着の動作も第１実施例とほぼ
同様であるが１、この場合、第４図（Ａ）に示すように
ディスク着座用弾性体１２上にディスク５が支持された
状態から、真空吸着装置４による吸引動作が行われると
、ディスクの中央穴５ａの周縁部がシール用弾性リング
体７を押圧するため、ディスク５とディスク取付基準面
１ａの間が完全な気密状態となり、真空吸着装置４によ
る吸引の効果がさらに向上して、ディスク５の吸着固定
が一層強固に行われる。

（実施例３） 第５図はこの発明の第３実施例であるディスクチャッキ
ング装置の要部縦断面図である。

上記装置が先の第１実施例と異なる点は、ワークホルダ
１の上端の軸部６を除いた点であり、そのほかの構成は
第１実施例と同様であり、重複説明は省略する。

このように軸部６が除かれているので、この装置では半
導体ウェハなどの中央穴のないディスク５′を真空吸着
装置４の吸引作用により回転テーブル上に固定すること
ができる。そのほかの動作については第１実施例と同様
である。

（発明の効果） 以上のように、この発明のディスクチャッキング装置に
よれば、ディスク装着時にディスクはディスク着座用弾
性体で一旦受は止められてディスり支持体上に載置され
るので、ディスク支持体上方よりディスクが放されても
ディスク支持体のディスク支持表面に直接衝突すること
はなく、したがってディスク表面に疵が付くことを回避
できる。

また、ディスク着座用弾性体をディスク支持表面と同一
の高さにまで変形可能としているため、ディスク着座用
弾性体の弾性によってディスクの最終的な位置決めが不
正確になるといった不都合もなく、ディスクを正確に位
置決めすることができる。

さらに、上記ディスク着座用弾性体のＭ衝作用が働くた
め、ディスク装着時のハンドリングロボットなどによる
ディスク支持体上でのディスクの解放高さを、さほど厳
密に設定しなくてもディスクが衝撃で傷付くことはなく
、したがって解放高さの許容範囲を大きくとることがで
き、ハンドリングロボットなどの調整が容易になるなど
の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のディスクチャッキング装置の第１実
施例の概略を示す縦断面図、 第２図は第１実施例の動作を示す説明図、第３図はこの
発明のディスクチャッキング装置の第２実施例の概略を
示す縦断面図、 第４図は第２実施例の動作を示す説明図、第５図はこの
発明のディスクチャッキング装置の第３実施例の概略を
示す縦断面図である。 １・・・ワークホルダ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）ディスク支持体のディスク支持表面より高い位置
   に突出し、かつ前記支持表面と同一の高さにまで変形可
   能なディスク着座用弾性体を、前記ディスク支持体に設
   けたことを特徴とするディスクチャッキング装置。
2. （２）前記弾性体は環形である、特許請求の範囲第１項
   記載のディスクチャッキング装置。
3. （３）前記ディスク支持表面のうち、前記環形弾性体よ
   り内側の領域には、真空吸着装置の吸気路開口が設けら
   れた、特許請求の範囲第２項記載のディスクチャッキン
   グ装置。
4. （４）前記ディスク支持表面のうち、前記真空吸着装置
   の吸気路開口より内側の領域に環形のシール用弾性体が
   設けられた、特許請求の範囲第３項記載のディスクチャ
   ッキング装置。