JPH04220648A

JPH04220648A - マスク落下防止マスクカセット

Info

Publication number: JPH04220648A
Application number: JP2412724A
Authority: JP
Inventors: Kazuyuki Harumi; 和之春見
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1990-12-21
Filing date: 1990-12-21
Publication date: 1992-08-11
Anticipated expiration: 2015-08-14
Also published as: JP3076379B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、露光装置に用いられる
、マスクの保持を吸着によって行なうマスクカセットに
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、マスクの保持に磁気吸着を利用し
たマスクカセットが、特開平２−１００３１１号公報に
開示されている。

【０００３】以下、前記マスクカセットの構成について
図７を用いて説明する。

【０００４】マスクカセットはカセット本体７０１とカ
セットカバー７０２で構成され、カセット本体７０１と
カセットカバー７０２を結合することによりマスクカセ
ット内は密閉され、外部のゴミなどがマスクに付着する
のを防止する。マスク７０３のマスクカセットへの保持
は、カセット本体７０１内に放射状に配置されている複
数個のマスクステージ７０４に縦置に行なわれるが、各
マスクステージ７０４のマスク７０３の吸着面にそれぞ
れ複数個ずつ埋め込まれている磁石７０５によって磁気
吸着される。磁気吸着の解除は、カセット本体７０１の
内部または外部に設けた不図示の電源で磁気回路を駆動
し、磁石７０５の磁界を打ち消すような磁界を発生させ
ることで行なわれる。

【０００５】

【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
記従来のマスクカセットにおいては、マスクはマスク面
に対して垂直方向の力のみで磁気吸着されているだけな
ので、マスクカセット運搬時などにマスクカセットをぶ
つけるなどしてマスクカセットに外部より衝撃が加わる
と、マスクカセットは剛性が高いため外部からの衝撃が
そのままマスク収納部に伝わり、マスクがマスクステー
ジからずれたり落下するおそれがあった。マスクがマス
クステージからずれたり落下すると、マスクカセットを
露光装置に設置し露光を行なう際、マスクを露光ステー
ジまで正常に搬送できなくなったり、マスクに機械的な
傷、変形、破損が発生し、マスクが使用できなくなると
いう問題点があった。

【０００６】本発明の目的は、マスクカセット運搬時等
にマスクカセットに外部から衝撃が加わっても、マスク
がマスクステージからずれたり落下しにくいマスクカセ
ットを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明のマスク落下防止マスクカセットは、それぞれ吸
着手段を有する複数のマスクステージを備えた、マスク
を縦置に保持するマスクカセットにおいて、前記各マス
クステージにそれぞれ対向して配設されたマスク押えハ
ンドと、該各マスク押えハンドを前記各マスクステージ
に押圧するように常時付勢する付勢手段と、カセット本
体の内部で上下動自在に設けられた上下可動部材と、該
上下可動部材が上方へ移動することで、前記付勢手段の
付勢力に抗して前記各マスク押えハンドによる前記各マ
スクステージへの押圧を解除させる手段とを有すること
を特徴とする。

【０００８】また、各マスク押えハンドはそれぞれ弾性
体を介して支持されたものでもよいし、主にマスクフレ
ーム部の下半分を押圧するための押圧部を有するもので
もよい。

【０００９】さらに、付勢手段をカセット本体の内部に
設けたものでもよい。

【００１０】

【作用】各マスクステージにそれぞれ対向して配設され
たマスク押えハンドと、該マスク押えハンドを前記各マ
スクステージに押圧するように常時付勢する付勢手段と
、カセット本体の内部で上下動自在に設けられた上下可
動部材と、該上下可動部材が上方へ移動することで、前
記付勢手段の付勢力に抗して前記各マスク押えハンドに
よる前記各マスクステージへの押圧を解除させる手段を
有することで、マスクカセットまたはカセット本体を少
なくとも上下可動部材の底面で支持するような凸部を持
つ台上に置いたときには、上下可動部材は前記台の凸部
により上方へ移動し、各マスク押えハンドの各マスクス
テージへの押圧は解除されるため、吸着手段によって各
マスクステージ上へのマスクの着脱が行なえる。マスク
カセットまたはカセット本体を運搬中など、カセット本
体を上下可動部材の底面で支持しない場合は、上下可動
部材には上向きの力が働かないため、付勢手段の付勢力
によって自動的に各マスク押えハンドは各マスクステー
ジ上のマスクを押圧する。したがって、吸着手段による
吸着のみの場合に比べて各マスクはより強固に各マスク
ステージ上に保持され、マスクカセットまたはカセット
本体に外部から衝撃が加わっても各マスクステージ上の
マスクがずれたり落下しにくくなる。

【００１１】また、各マスク押えハンドをそれぞれ弾性
体を介して支持することで、部品寸法や取付寸法のばら
つき等によって、各マスク押えハンドと、各マスク押え
ハンドに対向しているマスクとの間隔が異なり、あるマ
スクが押圧されているのに他のマスクが押圧されないよ
うな場合でも、付勢手段の付勢力で弾性体が弾性変形す
るため全てのマスクが均一に押圧される。

【００１２】さらに、各マスク押えハンドが、主にマス
クフレーム部の下半分を押圧するための押圧部を有する
ことで、各マスク押えハンドをマスクに押圧した瞬間に
マスク押えハンドとマスク被押圧部との摩擦等によって
マスク押圧部にゴミ等が発生し、それが落下してもマス
ク面には付着しにくくなる。

【００１３】付勢手段をカセット本体の内部に設けるこ
とで、付勢手段の動きによって発生するゴミ等はカセッ
ト本体の内部でのみ発生するため、カセット本体外部の
マスク収納部でのゴミ等の発生が少なくなる。

【００１４】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００１５】第１実施例図１は本発明のマスクカセットの第１実施例の一部を破
断した側面図、図２はその一部を破断した斜視図、図３
はその一部を破断した平面図である。

【００１６】まず、図１によって本実施例の主な構成を
説明する。マスクカセットは、カセット本体１とカセッ
トカバー２から構成されている。カセット本体１は、２
枚の円板である上フランジ１Ｂと下フランジ１Ｃとの間
に挟持されて放射状に複数個配置されているマスクステ
ージ４と、上フランジ１Ｂ下面中央部に固設された上円
筒体１Ａ’および下フランジ１Ｃ上面中央部に固設され
た下円筒体１Ａとから構成される。各マスクステージ４
のマスク吸着面には、マスク３を縦置に磁気吸着するた
めの複数個の磁石５がそれぞれ埋め込まれている。マス
ク３の磁気吸着の解除は、カセット本体１の内部または
外部に設けられた不図示の電源で磁気回路を駆動し、前
記磁石５の磁界を打ち消すような磁界を発生させること
で行なう。

【００１７】次に、図２および図３によってカセット本
体１について詳細に説明する。下円筒体１Ａ上面の円周
上および上円筒体１Ａ’下面の円周上にはそれぞれ溝で
ある回転ガイド１Ｆが形成され、各回転ガイド１Ｆに筒
状の回転体７が回転自在に嵌合している。回転体７の外
面には、各マスクステージ４と同数のマスク押えハンド
９が各マスクステージ４とそれぞれ同じ位置関係で対向
し、弾性体１０を介して放射状に固設されている。各マ
スク押えハンド９は、回転体７の回転により、各マスク
ステージ４上にそれぞれ磁気吸着されているマスク３を
同時に押圧したり、押圧を解除するためのもので、その
形状はマスク３を押圧する際にマスク３のフレーム部を
押圧するような半円弧状で、弧の中央部を弾性体１０で
支持されている。各マスク押えハンド９と回転体７との
間に弾性体１０を介在させることで、各マスク押えハン
ド９と、それぞれに対向するマスク３との間隔が、部品
寸法や取付寸法のばらつき等によりそれぞれ異なり、あ
るマスク３が押圧されているのに他のマスク３が押圧さ
れていないような場合でも、弾性体１０が弾性変形する
ので回転体７をさらに回転させることができるため、全
てのマスク３を均一に押圧することができる。弾性体１
０の材料としては、ステンレスなどがよい。マスク押え
ハンド９の材料は、マスク３を押圧する際マスク３に傷
を付けないようにするため、マスク３の材料より軟かい
材料が適している。例えば、マスク３の材料にチタンを
用いた場合、マスク押えハンド９の材料にはアルミニウ
ム等が適している。

【００１８】また、下円筒体１Ａ外周の任意の弾性体１
０の近傍には支持部材１Ｇが設けられ、支持部材１Ｇと
その近傍の弾性体１０との間には、各マスク押えハンド
９を各マスクステージ４に押圧するように常時付勢する
付勢手段としてのばね１１が張架されている。ばね１１
及び支持部材１Ｇは１組に限らず、複数組設けてもよい
が、その場合は回転体７がスムーズに回転するようにバ
ランスよく配置するのが望ましい。

【００１９】下円筒体１Ａ内の下部には、縦断面が逆凸
形のカップ状の上下可動部材６が取り付けられており、
上下可動部材６の大径部が下円筒体１Ａ内を図示上下方
向に摺動するようになっている。ここで、下フランジ１
Ｃの穴径は上下可動部材６の大径部の外径より小さく、
かつ、小径部の外径より大きいため、下フランジ１Ｃが
上下可動部材６の下方向のストッパとなり、上下可動部
材６がカセット本体１から落下しないようになっている
。また、下円筒体１Ａ内面の円周に沿って、上下可動部
材６が所定の位置まで上昇した際に上下可動部材６の上
面が突き当るストッパ１Ｄが凸状に形成されている。さらに、下円筒体１Ａの内面に、鉛直方向の溝であるロ
ッドガイド１Ｅを形成し、該ロッドガイド１Ｅに、上下
可動部材６に固設した後述するカム駆動ロッド８を摺動
自在に嵌合することで、上下方向だけの動きとなる。こ
れら下フランジ１Ｃ、ストッパ１Ｄ、およびロッドガイ
ド１Ｅによって、上下可動部材６の動きは所定の範囲の
上下運動に限定される。

【００２０】上下可動部材６の上部には、図示上方へ延
び、前述のロッドガイド１Ｅに上下動自在に嵌合するカ
ム駆動ロッド８が固設されており、カム駆動ロッド８の
上端部は回転体７の内面の一部に凸状に形成されたカム
１２の端面と接している。カム１２の形状は、回転体７
の内部から見てカム駆動ロッド８との接触部が右下がり
の傾斜になっている。

【００２１】したがって、上下可動部材６に図示上方向
きの力が加わった場合、すなわちカセット本体１または
マスクカセットを少なくとも上下可動部材６の底面で支
持する台上に置いた場合等には、上下可動部材６は可動
範囲の最上部まで上昇し、同時にカム駆動ロッド８の上
端部がカム１２の端面を上方に押し付けるため、回転体
７及びマスク押えハンド９はばね１１のばね力に抗して
図示矢印Ｂ方向に回転し、各マスク押えハンド９と、そ
れぞれが押圧しているマスク３との間に空間ができる（
第３図破線部参照）。このときマスク３の着脱が可能と
なる。露光を行なう際は、露光装置内にあり、カセット
本体１をマスクローディング可能な所望の位置まで上方
に持ち上げる不図示のマスクエレベータ上面を、カセッ
ト本体１を少なくとも上下可動部材６の底面で支持する
ような形状にすることで、マスクエレベータの上昇で上
下可動部材６は可動範囲の最上部まで上昇し、マスク３
はマスク押えハンド９の押圧から解除されるため、マス
ク３を露光ステージへ搬送する不図示のマスクハンドが
マスク３とマスク押えハンド９との間の空間に進入し、
マスク３を搬送できる。

【００２２】逆に、上下可動部材６に図示上方向きの力
が加わらない場合、すなわちマスクカセットまたはカセ
ット本体１を上下可動部材６以外の部位を支持して持ち
上げている場合等には、上下可動部材６は可動範囲の最
下部まで下がり、同時にカム駆動ロッド８も下がる。そ
のため、カム１２にカム駆動ロッド８の力が働かず、ば
ね１１のばね力により各マスク押えハンド９および回転
体７は図示矢印Ａ方向に回転し、各マスク押えハンド９
がマスク３のフレーム部を押圧してマスク３をマスクス
テージ４上に強固に保持する。このとき、磁気吸着も行
なわれているので従来の磁気吸着のみによる保持に比べ
、各マスク３の保持がより強固になり、マスクカセット
またはカセット本体１をぶつけるなどしてマスクカセッ
トまたはカセット本体１に外部から衝撃が加わっても、
各マスク３は、それぞれが保持されているマスクステー
ジ４からずれたり、落下しにくくなる。マスク３を保持
する力は、従来の磁気吸着の場合でマスク面に垂直方向
に１ｋｇである。したがって、マスク押えハンド９によ
る押圧力を１ｋｇにすると、磁気吸着のみの場合に比べ
て２倍の衝撃に耐えられることになる。

【００２３】下フランジ１Ｃの下面には円筒状の脚部１
Ｈを設け、上下可動部材６が可動範囲の最下部にあると
き上下可動部材６の底面が脚部１Ｈより出ないようにし
ている。こうすることによって、上下可動部材６は常に
カセット本体１の内部にあり、上下可動部材６に外部か
らの不用意な力が加わりにくいため、誤って上下可動部
材６を上昇させ、各マスク押えハンド９のマスク３への
押圧を解除してしまうことがない。

【００２４】また、上下可動部材６と下円筒体１Ａとの
摺動面と、カム駆動ロッド８とカム１２の接触部と、回
転体７の摺動面とを円筒体内部に設けたことによって、
円筒体外部のマスク収納部でのゴミ等の発生を少なくす
ることができ、マスク３の表面へのゴミ等の付着を少な
くすることができる。

【００２５】ここで、カム駆動ロッド８およびカム１２
の形状は前述の形状に限らず、カム駆動ロッド８が図示
上方向へ移動することによってカム１２に、回転体７を
図示矢印Ｂ方向へ回転させる力が働くような形状であれ
ばよい。

【００２６】第２実施例図４は本発明の第２実施例のマスクカセットの一部を破
断した側面図、図５はその一部を破断した平面図である
。

【００２７】カセット本体２１内部の回転体２７はカッ
プを伏せた形状であり、前記回転体２７の外周に沿って
配置されたベアリング３４を介して、上円筒体２１Ａ’
内面に回転自在に設けられている。回転体２７はベアリ
ング３４を介して上円筒体２１Ａ’内面で回転するため
、回転体２７の回転によるゴミ等の発生が少なくなる。

【００２８】回転体２７の外周面上の下部には、各マス
クステージ２４の位置に対応して各マスクステージ２４
と同数の結合部２７Ａが放射状に形成され、該各結合部
２７Ａにそれぞれねじ止めされた弾性体３０を介してマ
スク押えハンド２９がそれぞれ各マスクステージ２４に
対向して設けられている。前記各弾性体３０は、各結合
部２７Ａおよび各マスク押えハンド２９をそれぞれカセ
ット本体２１の円周方向から挟持するような、２枚の弾
性変形可能な板から構成されている。各マスク押えハン
ド２９は、主としてマスクフレーム部の下半分を押圧す
るための押圧部を有するように構成され、該押圧部は中
央部が支持された半円弧状で、その支持部は回転体２７
方向へ延び、２枚の弾性体３０に挟持されている。さら
に、マスク押えハンド２９がマスク２３と接触する面に
はテフロンコーティング３６が施されている。マスク押
えハンド２９の構成を以上のようにすることによって、
マスク押えハンド２９がマスク２３と接触する瞬間に生
じるずれ等によって発生するゴミ等を少なくすることが
でき、かつ、発生したゴミ等がマスク面に付着しにくく
なる。また、各マスク押えハンド２９と各弾性体３０を
前述のような構成とすることで、マスク押えハンド２９
がマスク２３に押圧している状態でさらに回転体２７が
回転しても、各弾性体３０は回転体２７の円周方向に弾
性変形するため、各マスク押えハンド２９は各マスク２
３と平行な状態を保っており、それぞれ各マスクフレー
ム部を均一に押圧することができる。

【００２９】下円筒体２１Ａの内面には、カップ状の上
下可動部材２６が上下に摺動自在に設けられている。上
下可動部材２６の外面の一部には鉛直方向のガイド２６
Ａが凸状に形成され、下円筒体２１Ａの内面には、ガイ
ド２６Ａの長さより上下可動部材２６の移動量分だけ長
いガイド受３７が、ガイド２６Ａに嵌合するように凹状
に形成されている。このため、上下可動部材２６の動き
は所定の範囲の上下方向のみの動きに制限される。

【００３０】回転体２７内部の底面の円周上および上下
可動部材２６の上面の円周上には、それぞれくさび型の
カム３３およびカム駆動ロッド２８が互いに対向するよ
うに多数形成されている。各カム３３および各カム駆動
ロッド２８は、カセット本体２１の内部から見てそれぞ
れ右下がりの斜面状の端面を有し、該端面どうしがそれ
ぞれ接する構造となっている。上円筒体２１Ａ’の内面
に形成したつば部２１Ｊと回転体２７の上面との間には
、付勢手段としてのばね３１が回転体２７を図示矢印Ａ
方向に付勢するように張架されている。

【００３１】ばね３１をカセット本体２１の円筒体内部
に設け、該円筒体外部のマスク収納部での可動部を少な
くすることで、マスク収納部でのゴミ等の発生を少なく
することができる。また、回転体２７とカセット本体２
１との間の隙間の要所に、磁性流体シール等のシール部
材３５を設けることによって、各部の動作によって発生
するゴミ等が円筒体外部のマスク収納部へ進入するのを
防ぐことができる。

【００３２】また、本実施例においても第１実施例と同
様の磁気吸着手段を有しており、脚部２１Ｈ、カセット
カバー２２は第１実施例と同様のものでよいので説明は
省略する。

【００３３】以上のような構成とすることで、カセット
本体２１またはマスクカセットを少なくとも上下可動部
材２６の底面で支持する台上に置くと上下可動部材２６
は可動範囲の最上部まで上昇し、各カム駆動ロッド２８
の上向きの力で各カム駆動ロッド２８の端面と、それぞ
れに対向しているカム３３の端面との間で滑りが発生す
るため回転体２７および該回転体２７に弾性体３０を介
して結合している各マスク押えハンド２９は、ばね３１
のばね力に抗して図示矢印Ｂ方向に回転し、各マスクス
テージ２４上のマスク２３の押圧を解除する。本実施例
のマスクカセットを露光装置に搭載する場合は、露光装
置のマスクエレベータ３８の上面を、少なくとも上下可
動部材２６の底面でカセット本体２１を支持するような
凸状にすることで、マスクエレベータ３８の上昇によっ
て上下可動部材２６も上昇し、各マスク２３は各マスク
押えハンド２９の押圧から解除される。そのためマスク
２３を露光ステージへ搬送する不図示のマスクハンドが
マスク２３とマスク押えハンド２９との間の空間に進入
し、マスク２３を搬送することができる。

【００３４】カセット本体２１またはマスクカセットを
平面上に置いた場合や、運搬時等、上下可動部材２６に
図示上向きの力が加わっていない場合は、上下可動部材
２６は可動範囲の最下部まで下がり、各カム３３には各
カム駆動ロッド２８の力が働かないため、ばね３１のば
ね力により回転体２７および各マスク押えハンド２９は
図示矢印Ａ方向に回転し、各マスクステージ２４上のマ
スク２３は各マスク押えハンド２９により押圧され、強
固に保持される。

【００３５】本実施例においては、カム駆動ロッド２８
およびカム３３を複数対設けたが、このようにすること
によって、カム駆動ロッド２８およびカム３３との接触
部に働く力が分散されるためカム駆動ロッド２８および
カム３３の耐久性が向上し、かつ、回転体２７の回転が
スムーズに行なわれる。

【００３６】ここで、各カム駆動ロッド２８および各カ
ム３３の形状は前述のくさび形に限らず、カム駆動ロッ
ド２８が図示上方へ移動することによって、カム３３に
、回転体２７を図示矢印Ｂ方向へ回転させる力が働くよ
うな形状であればよい。

【００３７】第３実施例図６は、本発明の第３実施例のカセット本体の一部を破
断した側面図である。本実施例のカセット本体５１は、
中心部に円筒体７１が設けられ、該円筒体７１の上端に
上フランジ５１Ｂが形成され、前記円筒体７１の下端に
は下フランジ５１Ｃが形成されている。そして、円筒体
７１の内部には、該円筒体７１の内部を上下に分離する
仕切板７２が形成されている。

【００３８】円筒体７１の下部には、円柱状の上下可動
部材５６がベアリング７３を介して円筒体７１内部に上
下に摺動自在に設けられている。仕切板７２の下方部に
は上ストッパ７４が凸状に形成され、さらに、上下可動
部材５６の下方部には、内径が上下可動部材５６の外径
より小さい、リング状の下ストッパ７５が設けられてい
る。これら上ストッパ７４および下ストッパ７５によっ
て、上下可動部材５６の上下方向の移動量が制限される
。また、上下可動部材５６の外面の一部には、上下可動
部材５６の回転を防止するために、第２実施例と同様、
鉛直方向の不図示のガイドが凸状に形成され、円筒体７
１の内面には、不図示のカイド受が前記ガイドに嵌合す
るように凹状に形成されている。そして、上下可動部材
５６の上面と、仕切板７２の下面との間には、上下可動
部材５６を図示下方へ付勢するための、付勢手段として
のばね６１が設けられている。

【００３９】上下可動部材５６の下部には、断面が円形
の連接棒７６が、各マスクステージ５４の位置に対応し
て、各マスクステージ５４と同数固設され、それぞれ下
フランジ５１Ｃの下方部を通り、下フランジ５１Ｃの外
周に向って放射状に延びている。

【００４０】一方、下フランジ５１Ｃの下面には、側面
視Ｌ字状の支持棒７９の上端が、各マスクステージ５４
の位置に対応して、各マスクステージ５４と同数固設さ
れており、各支持棒７９の水平部は、それぞれ下フラン
ジ５１Ｃの中心方向へ延びているとともに、それぞれ一
端が図示上方に延びた側面視Ｌ字状のレバー７７の水平
部に、水平方向に設けた不図示の支持孔に挿入しており
、各レバー７７を、それぞれ前記支持孔を中心に回動自
在に支持している。各レバー７７の他端は互いに平行な
二股部を有し、該二股部の間で前記連接棒７６の先端部
を、図示上下方向から回転自在に挟んでいる。

【００４１】前記下フランジ５１Ｃには、各レバー７７
の一端の延長方向に対応した部位にそれぞれ孔５１Ｄが
形成されており、各孔５１Ｄにはそれぞれ各マスク押え
ハンド５９を支持する弾性体６０が遊嵌されてその先端
部が下方へ突出している。そして、各弾性体６０の先端
部には各レバー７７の一端部がそれぞれねじ止めされて
いる。各マスク押えハンド５９はそれぞれ各マスクステ
ージ５４に対向して配設されており、主としてマスクフ
レーム部の下半分を押圧するための、半円弧状の押圧部
を有しており、該円弧の中央部が弾性体６０に支持され
ている。各弾性体６０は、それぞれ各マスク押えハンド
５９および各レバー７７をカセット本体５１の円周方向
から挟持するような２枚の弾性変形可能な板から構成さ
れている。

【００４２】そして、各支持棒７９による各レバー７７
の支持位置は、上下可動部材５６が可動範囲の最下部に
あるときに、各マスク押えハンド５９が各マスクステー
ジ５４上のマスク５３を押圧するような位置に設定する
。

【００４３】また、本実施例においても、第１実施例と
同様の磁気吸着手段を有し、脚部５１Ｈも第１実施例と
同様のものでよいので説明は省略する。

【００４４】次に、本実施例の動作について説明する。

【００４５】カセット本体５１またはマスクカセットを
、平面上に置いた場合や運搬時等、上下可動部材５６に
図示上方向きの力が働いていない場合は、上下可動部材
５６は、ばね６１のばね力によって可動範囲の最下部に
あり、各連接棒７６はそれぞれ各レバー７７を図示下方
に押圧する。そのため、各レバー７７は、それぞれ各支
持棒７９の水平部を中心に図示時計方向に回動し、各マ
スク押えハンド５９は各マスクステージ５４上のマスク
５３を押圧し、保持する。

【００４６】カセット本体５１またはマスクカセットを
、少なくとも上下可動部材５６の底面で支持する場合、
すなわち最大幅が下ストッパ７５の内径より小さく、か
つ、高さが上下可動部材５６の可動量と下ストッパ７５
の高さとを足した高さ以上の凸部にカセット本体５１ま
たはマスクカセットを置いた場合、上下可動部材５６は
、ばね６１のばね力に抗して可動範囲の最上部まで上昇
する。上下可動部材５６の上昇によって各連接棒７６も
上昇し、各連接棒７６の先端部はそれぞれ各レバー７７
他端の二股部に挟まれているため、各連接棒７６の上昇
によって各レバー７７の他端も上昇する。そのため、各
レバー７７は、それぞれ各支持棒７９の水平部を中心に
図示反時計方向に回動し、各マスク押えハンド５９は図
示矢印Ｃ方向に傾き、マスク５３への押圧が解除される
。

【００４７】本実施例のマスクカセットを露光装置に搭
載する場合は、露光装置のマスクエレベータ６８の上面
の形状を、少なくとも上下可動部材５６の底面でカセッ
ト本体５１を支持するような凸状にすることで、マスク
エレベータ６８の上昇によって上下可動部材５６も上昇
し、各マスク５３は各マスク押えハンド５９の押圧から
解除される。そのため、各マスク５３を露光ステージへ
搬送する不図示のマスクハンドがマスク５３とマスク押
えハンド５９との間の空間に進入し、マスク５３を搬送
することができる、上述のように、各マスク押えハンド
５９をマスク５３の下方側よりマスク収納部へ出し、ば
ね６１や、上下可動部材５６や、各連接棒７６や、各レ
バー７７等の可動部を、円筒体７１の内部および下フラ
ンジ５１Ｃの下方側に設け、マスク収納部での可動部を
少なくすることで、マスク収納部でのゴミ等の発生を少
なくすることができる。

【００４８】以上、各実施例で述べたマスク押えハンド
の、マスクフレーム部押圧部の形状は、半円弧状に限ら
ず、マスクフレーム部のみを押圧するような形状であれ
ばよい。

【００４９】

【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で以下に記載する効果を奏する。

【００５０】上下可動部材が上方へ移動することで、付
勢手段の付勢力に抗して各マスク押えハンドによる各マ
スクステージへの押圧を解除させる手段とを有すること
で、マスクカセットまたはカセット本体を少なくとも上
下可動部材の底面で支持するような凸部を有する台上に
置いたときには、各マスク押えハンドの各マスクステー
ジへの押圧は解除され、吸着手段による各マスクステー
ジ上のマスクの着脱が可能である。マスクカセットまた
はカセット本体を運搬中など、カセット本体を上下可動
部材の底面で支持しない場合には、各マスクステージ上
のマスクは各マスク押えハンドにより押圧され、カセッ
ト本体またはマスクカセットを運搬中にぶつけるなどし
て、外部より衝撃が加わっても各マスクステージからマ
スクがずれたり落下しにくくなり、マスクに対する信頼
性が増す。また、各マスク押えハンドによる各マスクス
テージ上のマスクへの押圧は自動的に行なわれるため、
各マスク押えハンドによるマスクの保持を忘れることな
く確実に行なうことができる。

【００５１】また、各マスク押えハンドを、それぞれ弾
性体を介して支持することで、部品寸法や取付寸法のば
らつき等によって、各マスク押えハンドと、各マスク押
えハンドに対向しているマスクとの間隔が異なっていて
も、全てのマスクを押圧することができる。

【００５２】さらに、各マスク押えハンドが、主にマス
クフレーム部の下半分を押圧するための押圧部を有する
ことで、各マスク押えハンドをマスクに押圧した際に発
生するゴミ等のマスク面への付着を少なくすることがで
き、マスクを良好な状態に保てる。

【００５３】加えて、付勢手段をカセット本体の内部に
設けることで、カセット本体外部のマスク収納部でのゴ
ミ等の発生を少なくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例のマスクカセットの一部を
破断した側面図である。

【図２】本発明の第１実施例のカセット本体の一部を破
断した斜視図である。

【図３】本発明の第１実施例のカセット本体の一部を破
断した平面図である。

【図４】本発明の第２実施例のマスクカセットの一部を
破断した側面図である。

【図５】本発明の第２実施例のそのカセット本体の一部
を破断した平面図である。

【図６】本発明の第３実施例のカセット本体の一部を破
断した側面図である。

【図７】従来のマスクカセットの一部を破断した側面図
である

【符号の説明】

１，２１，５１　　　　　　　　カセット本体１Ａ，２
１Ａ　　　　　　　　　　下円筒体１Ａ’，２１Ａ’　
　　　　　上円筒体１Ｂ，２１Ｂ，５１Ｂ　　上フラン
ジ１Ｃ，２１Ｃ，５１Ｃ　　下フランジ１Ｄ　　　　　　　　　　　　　　　　　　ストッパ１
Ｅ　　　　　　　　　　　　　　　　　　ロッドガイド
１Ｆ　　　　　　　　　　　　　　　　　　回転ガイド
１Ｇ　　　　　　　　　　　　　　　　　　支持部材１
Ｈ，２１Ｈ，５１Ｈ　　脚部２，２２　　　　　　　　　　　　　　カセットカバー
３，２３，５３　　　　　　　　マスク４，２４，５４
　　　　　　　　マスクステージ５　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　磁石６，２６，５６　　　　　
　　　上下可動部材７，２７　　　　　　　　　　　　
　　回転体８，２８　　　　　　　　　　　　　　カム
駆動ロッド９，２９，５９　　　　　　　　マスク押え
ハンド１０，３０，６０　　　　　　弾性体１１，３１，６１　　　　　　ばね

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　それぞれ吸着手段を有する複数のマス
クステージを備えた、マスクを縦置に保持するマスクカ
セットにおいて、前記各マスクステージにそれぞれ対向
して配設されたマスク押えハンドと、該各マスク押えハ
ンドを前記各マスクステージに押圧するように常時付勢
する付勢手段と、カセット本体の内部で上下動自在に設
けられた上下可動部材と、該上下可動部材が上方へ移動
することで、前記付勢手段の付勢力に抗して前記各マス
ク押えハンドによる前記各マスクステージへの押圧を解
除させる手段とを有することを特徴とするマスク落下防
止マスクカセット。
【請求項２】　　各マスク押えハンドはそれぞれ弾性体
を介して支持されている請求項１記載のマスク落下防止
マスクカセット。
【請求項３】　　各マスク押えハンドは、主にマスクフ
レーム部の下半分を押圧するための押圧部を有する請求
項１または２記載のマスク落下防止マスクカセット。
【請求項４】　　付勢手段をカセット本体の内部に設け
た請求項１，２または３記載のマスク落下防止マスクカ
セット。