JP3016958U - マイクロチップの移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ［目的］ コレット先端口へのマイクロチップの付着現
象に対処し、周囲への悪影響もなく、確実でしかも良好
な離脱を図ることができることとしたマイクロチップの
移送装置とする。 ［構成］ マイクロチップを吸引チャックするコレット
の先端口にピン体を出入自在に備えてあることとする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はマイクロチップの移送装置、例えばトレイに並置されているマイク ロチップを顕微鏡等を介して検査し、順次検査済として別のトレイへセットした 場合等に使用される移送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、上記したマイクロチップの移送、即ち、取り上げ、移送、離しの作業 はバキュームコレットを使用し、その先端にマイクロチップを吸引し、エアの正 圧（パフ）をかけることで行なわれていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、この従来の装置によると、マイクロチップ、特に金をはじめ とする貴金属によるマイクロチップ等の場合には蒸着してあることからコレット 先端へのへばり付きが生じてしまい、容易に離れなくなり、また、パフを強くす ると周囲のマイクロチップを飛散させてしまう事態が生じてしまっていた。

【０００４】

【考案の目的】

そこで、本考案は係る従来の技術の問題点に着目してなされたもので、かか る問題点を解消して、コレット先端口へのマイクロチップの付着現象に対処し、 周囲への悪影響もなく、確実でしかも良好な離脱を図ることができることとした マイクロチップの移送装置を提供することを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

この目的を達成するために、本考案に係るマイクロチップの移送装置は、マ イクロチップを吸引チャックするコレットの先端口にピン体を出入自在に備えて あることを特徴としている。

【０００６】

【作用】

かかる構成としたことにより、コレットの先端に吸着されているマイクロチ ップをピン体の先で軽く突いてやることで、その吸着力から離し、また、へばり 付きが生じていても簡単に離すことができることとなるのであり、周囲に存在す る他のマイクロチップ群への悪影響を与えることもないものとなるのである。

【０００７】

【実施例】

次に、本考案の実施の一例を図面を参照して説明する。図１は本考案を実施 したマイクロチップの移送装置の縦断面図、図２は同じく摺動子の平面図である 。

【０００８】 これらの図にあって１は、例えばマイクロチップの検査装置等に装備される ホルダーであり、その下端は内壁に一部段部２を形成して開口されている。この ホルダー１の下端開口には前記した環状段部２をストッパとして下端にフランジ ３ａを形成した連結固定部材３が嵌着されており、この連結固定部材３の天面に はエアの流通孔３ｂが穿設されている。

【０００９】 また、前記した連結固定部材３の下端開口にはタングステンカーバイトで成 形されたコレット４が、その連結固定部材３の側方からセットビス５によって固 定取り付けされている。なお、このコレット４のフランジ４ａと連結固定部材３ の下端面の間には電極６が挟持されている。

【００１０】 さらに、前記した連結固定部材３内には、コレット４の上方に位置されてス テンレス製の摺動子７が収容されており、この摺動子７の略中央にはタングステ ンカーバイトで成形されたピン体８の上部が支持されており、このピン体８の先 端はコレット４の先端開口から出入可能となっているもので、また、ピン体８の 突端はマイクロチップ９を傷つけないよう丸く形成されている。

【００１１】 そして、前記した摺動子７の側面にはエアの流入、流出のための切り欠き部 １０、１０が形成された構造とされている。なお、本実施例にあって摺動子７は 摺動性を考慮してステンレスを材料として採択したが、真ちゅう等の他の金属を 用いることも可能である。

【００１２】 本実施例に係るマイクロチップの移送装置は上記のように構成されている。 ここで、その作用を説明すると、ホルダー１の内部は特に図示しないバキューム ポンプ等と連結されている。まず、マイクロチップ９をコレット４に吸着させて トレイから取り上げる場合、前記したバキュームポンプ等で負圧をかけると、流 通孔３ｂや切り欠き部１０、１０を介してエアが吸い上げられ、その吸い上げに よりなされる。その際、摺動子７も上方へ吸い上げ作動されるため、ピン体８の 先端もコレット４の先端口から内部へ引っ込んだ状態となる。

【００１３】 また、この吸着したマイクロチップ９を他のトレイにセットする場合、即ち 、コレット４から離す場合には、バキュームポンプ等を止めるかあるいは軽く正 圧をかけると、摺動子７は下がり、それと連動してピン体８も下降してコレット ４の先端口からその突端を突き出すことで吸着状態にあるマイクロチップを軽く 押すこととなり、この押圧でコレット４からの離脱がなされることとなる。

【００１４】 さらに、本実施例にあっては摺動子７とその摺動子７に支持されたピン体８ の構造としているが、ホルダー１内にバキュームポンプ等からのチューブを通し 、そのチューブ内にピン体８の代替えとしてのファイバー材等を通すこと等によ っても目的は達成することができる。

【００１５】

【考案の効果】

本考案に係るマイクロチップの移送装置は上述のように構成され、作用する 。そのため、一旦コレットにチャックされたマイクロチップはピン体の突出によ って確実に離脱させることができ、しかも、周囲に存する他のマイクロチップ群 を飛散させてしまう等の悪影響もなく、精度よく良好な作業が図れることとなる 。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案を実施したマイクロチップの移送装置を
示す縦断面図である。

【図２】摺動子の平面図である。

【符号の説明】 １ ホルダー ２ 環状段部 ３ 連結固定部材 ３ａ フランジ ３ｂ 流通孔 ４ コレット ４ａ フランジ ５ セットビス ６ 電極 ７ 摺動子 ８ ピン体 ９ マイクロチップ １０ 切り欠き部

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 マイクロチップを吸引チャックするコレ
   ットの先端口にピン体を出入自在に備えてあることを特
   徴とするマイクロチップの移送装置。
2. 【請求項２】 前記したコレットをホルダーに結合する
   連結固定部材内に摺動子を備え、その摺動子にピン体を
   取り付けてあることを特徴とする請求項１に記載のマイ
   クロチップの移送装置。