JPS62189107A - グリ−ンシ−トの吸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、一般にグリーンシートと呼ばれるセラミック
スの生（未焼結）シートの穴明は加工時に用いるグリー
ンシートの吸着装置に関するものである。

従来の技術 グリーンシートは薄くて柔らかいと共に、機械的強度が
低いことから、簡単に変形、破損が生じ、ハンドリング
がしに＜＜、作業性が悪い。

特に、これに穴明は加工する場合にはシワやクルミが生
じて精度の良いへ加工を行なうことができない。

これらの欠点を解決するために、従来は、特開昭５３−
５１２１３号公報に示されたように、グリーンシートの
周囲に金属やその他の材質の枠を接着し、その枠をノッ
クビン等を用いて固定するようにしていた。

発明が解決しようとする間―点 上記従来の技術にあっては、固定枠や接着剤が必要であ
ってコストアップとな夛、また枠取付後のシートの保在
状態によってはシート中央部のたわみが問題となってく
る等の問題があつた。

問題点を解決するための手段及び作用 本発明は上記のことにかんがみなされたもので、グリー
ンシートに枠を接着する手間をかけることなくシートを
固着して穴明は加工を施すことができてグリーンシート
の穴明は加工のコストを低減することができると共に、
グリーンシートにシワやクルミが生じることなく穴加工
を施すことができるようにしたグリーンシートの吸着装
置を提供しようとするもので、その構成は、中央部に穴
明は加工用の穴を設けて額縁状に形成すると共に、その
縁部で、かつグリーンシートの縁部が当接する部分にエ
ア吸込み穴を有し、さらに略水平にして設けたバキュー
ムパッドト、このバキュームパッドの穴に挿入される形
状で、かつ上面にエア吸込み穴を有し、さらに上面がバ
キュームパッドと同一平面になる位置から下方へ昇降自
在にしたワークローディングステージと、バキュームパ
ッドの上面にグリーンシートを供給するバキュームチャ
ックとから構成されており、ワークローディングステー
ジを上昇させた状態のバキュームパッド上にバキューム
チャックにてグリーンシートを置き、ついでワークロー
ディングステージのエア吸込み穴より吸引して上記グリ
ーンシートのシワ及びクルミをとシ、その後バキューム
パッドのエア吸込み穴よりエアを吸込んでグリーンシー
トをバキュームパッドに吸着し、この状態でワークロー
ディングステージを下降させてグリーンシートに穴加工
を施す。穴加工終了後は再ヒワークローデイングステー
ジを上昇させてグリーンシートをこのワークローディン
グステージとバキュームパッドにて支持してからバキュ
ームチャックにてこのグリーンシートと未加工のグリー
ンシートとを変換する。

実　　施　　例 本発明の実廁例を図面に基いて説明する。

第１図は本発明装置の全体を示すもので、図中１はター
ンテーブルでアわ、このターンテーブル１は加工位置Ａ
と検査位置Ｂにわたって水平方向に旋回するようになっ
ており、その旋回方向両側にバキュームパッド２σ、２
ｈが固着されている。この各バキュームパッド２α、２
　ｂは同一形状になっていて、中央部にはグリーンシー
ト３の穴明は加工部に対応する穴４を設けた額縁状に形
成されており、その縁部にグリーンシート３の縁部が当
接するようになっている。

そしてこの縁部の上面には上記グリーンシート３の縁部
を吸着するだめのエア吸込み穴５が多数側設けである。

またこの縁部の下面には第２図に示すように上記各エア
吸込み穴５を連通ずる溝６が設けてあり、この溝６に第
３図に示すチューブ７が埋設されている。このチューブ
７には上記エア吸込み穴５に対向する穴εが設けてあり
、このチューブ７の一部に第１図に示すようにフランジ
９を介してエアホース１０が接続されている。

１１は上記ターンテーブル１の上側に位置すルハキュー
ムチャックであシー、このバキュームチャック１１はグ
リーンシート３を吸着して上記ターンテーブル１の加工
位置Ａに移動するようになっている。

］２けワークローディングステージであシ、このステー
ジ１２は上記バキュームパッド２α。

２ｂの穴４と略同−形状になっていて、バキュームター
ンテーブル１の下側から上昇して、加工位置Ａにあるバ
キュームパッド２ａ　１２ｂの穴４に、上面がバキュー
ムパッド２ａ、２ｈと同一平面状になるように挿入され
るようになっている。このワークローディングステージ
１２には多数個のエア吸込み穴）３が設けてらυ、図示
しないエア吸込み管に接続されている。

上記構成における吸着装置の動作の順序を説明する。

（＋）　　バキュームチャック１１にてグリーンシート
３を吸着して加工位置Ａにあるバキュームパッド２ａの
上に持ってくる。

（２）　　ワークローディングステージ１２を上昇させ
て上記加工位置Ａにあるバキュームパッド２ａの穴４内
に上面が同一平面になるように上昇させる。

（３）　　バキュームチャック１１を下降させ、バキユ
ームパツド２αの上にグリーンシート３を置く。

（４）　　ワークローディングステージ１２のエア吸込
み穴Ｉ３よりエアを吸込み、グリーンシート３をバキユ
ームパツド２ａ及びワークローディングステージ１２の
上面に沿って密着させる。

この動作によってグリーンシート３のシワやクルミがな
くなる。

（５）　　バキユームパツド２ａのエア吸込み穴５より
エアを吸込み、バキユームパツド２ａにてグリーンシー
ト３の周縁部を吸着固定する。

（６）ワークローディングステージ１２の吸着用のエア
を切り、これを下降させる。

（７）　　グリーンシート３に穴加工を施す。

（８）　　ワークローディングステージ１２を上昇（９
）　　バキユームパツド２ａの吸着用のエアを切る。

（１０）バキュームチャック１１により加工済みシート
と未加工シートの交換を行なう。

なお上記（７）　、　（８）の間にターンテーブル１を
旋回する工程を入れ、（７）にて加工したシートを検査
位置Ｂにて検査するようにしてもよい。またこの検査工
程の間に他のバキユームパツド２ｂは加工位置Ａにある
から、加工と検査とを変互に行なうようにしてもよい。

シート吸着の強さの調節はエア圧の増減、吸込み穴の数
、穴径の変更によって行なう。

発明の効果 本発明によれば、グリーンシート３に枠全接着する手間
をかけることなく／−トを固定して穴明は加工を施すこ
とができてグリーンシート３の穴明は加工のコストを低
減することができる。またワークローディングステージ
１２の効果によってグリーンシート３にシワやクルミが
生じることがなくなυ、精度の良い穴加工が実現できる
。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は概略的な
全体斜視図、第２図はバキュームノくラドの下面図、第
３図は第２図の■−１線に沿う拡大断面図、第４図はバ
キュームチューブの平面図、第５図は第４図のＶ−Ｖ線
に沿う拡大断面図である。 １はターンテーブル、２ａ、’ｌｂはバキユームパツド
、３はグリーンシート、４は穴、５゜１３はエア吸込み
穴、１１はバキュームチャック、１２はワークローディ
ングステージ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 中央部に穴明け加工用の穴４を設けて額状に形成すると
   共に、その額部で、かつグリーンシート３の縁部が当接
   する部分にエア吸込み穴５を有し、さらに略水平にして
   設けたバキユームパツド２ａ、２ｂと、このバキユーム
   パツド２ａ、２ｂの穴４に挿入される形状で、かつ上面
   にエア吸込み穴１３を有し、さらに上面がバキユームパ
   ツド２ａ、２ｂと同一平面になる位置から下方へ昇降自
   在にしたワークローデイングステージ１２と、バキユー
   ムパツド２ａ、２ｂの上面にグリーンシート３を供給す
   るバキユームチヤツク１１とからなることを特徴とする
   グリーンシートの吸着装置。