JPS622112A - 反射光による表面粗さ計 - Google Patents
反射光による表面粗さ計Info
- Publication number
- JPS622112A JPS622112A JP14184185A JP14184185A JPS622112A JP S622112 A JPS622112 A JP S622112A JP 14184185 A JP14184185 A JP 14184185A JP 14184185 A JP14184185 A JP 14184185A JP S622112 A JPS622112 A JP S622112A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflected light
- output
- light
- sensor
- signal processor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ１発明の技術分野
この発明は、被測定物に光源の光を照射し、被測定物か
らの鏡面反射光と散乱光とを検出する表面粗さ計におい
て、鏡面反射光を検出できるように被７１１１Ｉ疋物と
光源、検出器の相対的位置関係を修正するようにした表
面粗さ計に関するものである。
らの鏡面反射光と散乱光とを検出する表面粗さ計におい
て、鏡面反射光を検出できるように被７１１１Ｉ疋物と
光源、検出器の相対的位置関係を修正するようにした表
面粗さ計に関するものである。
（ｂ）従来技術と問題点
反射光による表面粗さ計は、被測定物に光源の光を照射
し、被測定物からの反射光を検出して被測定物の表面の
粗さを測定する。この場合、測定パラメータとして、鏡
面反射光の光強度と、ある特定の反射方向の散乱光強度
とを求め、これらを比較して被測定物の表面の粗さを測
定する。
し、被測定物からの反射光を検出して被測定物の表面の
粗さを測定する。この場合、測定パラメータとして、鏡
面反射光の光強度と、ある特定の反射方向の散乱光強度
とを求め、これらを比較して被測定物の表面の粗さを測
定する。
このような場合の従来技術の構成図を第２図に示す。
第２図の１は光源、２と３は検出器、４は被測定物であ
る。
る。
第２図では、光源１の光を被測定物４に入射角θで照射
し、被測定物４からの鏡面反射光が反射角θで反射して
いる。検出器２は反射角θの鏡面反射光を検出する。
し、被測定物４からの鏡面反射光が反射角θで反射して
いる。検出器２は反射角θの鏡面反射光を検出する。
被Ｍ１定物４からは、表面の粗さに応じて鏡面反射光以
外の散乱光が発生する。
外の散乱光が発生する。
検出器３は、鏡面反射光以外の特定の反射角に対する散
乱光を検出するためのものである。
乱光を検出するためのものである。
第２図のような従来技術では、？ｊｌｉｉｌｌｌ定物４
に対する光物４の入射角θが変わると、検出器２と検出
器３の検出出力が変化するようになり、被測定物４の同
じ部分を測定した場合でも、測定データが変わってしま
うという問題がある。
に対する光物４の入射角θが変わると、検出器２と検出
器３の検出出力が変化するようになり、被測定物４の同
じ部分を測定した場合でも、測定データが変わってしま
うという問題がある。
このような問題をなくすためには、光源ｌの光をｍｍ定
物４に入射した場合、検出器２で鏡面反射光を検出でき
るように被測定物４と光源１、検出器２の相対的位置関
係を調整しなければならない。
物４に入射した場合、検出器２で鏡面反射光を検出でき
るように被測定物４と光源１、検出器２の相対的位置関
係を調整しなければならない。
（ｅ）発明の目的
この発明は、鏡面反射光と散乱光を検出する表面粗さ計
において、検出器２で鏡面反射光を検出できるように、
被測定物４と光源１、検出器２の相対的位置関係を調整
しやすくした表面粗さ計の提供を目的とする。
において、検出器２で鏡面反射光を検出できるように、
被測定物４と光源１、検出器２の相対的位置関係を調整
しやすくした表面粗さ計の提供を目的とする。
（ｄ）発明の実施例
最朝に、この発明による実施例の構成図を第１図に示す
。
。
第１図の５は′四象限センサ、８Ａ〜６Ｃは信号処理器
、７Ａ〜７Ｄは表示器であり、その他の部分は第２図と
同じである。
、７Ａ〜７Ｄは表示器であり、その他の部分は第２図と
同じである。
四象限センサ５には、第１図に示すように５Ａ〜５Ｄの
４つのエリアがあり、各エリアはそれぞれ光検出器を構
成する。
４つのエリアがあり、各エリアはそれぞれ光検出器を構
成する。
信号処理器６Ａと信号処理器８Ｂには、四象限センサ５
の対向するエリア出力を入力する。第１図では、対向す
るエリア５Ａとエリア５Ｃの出力を信号処理器６Ａに入
力しており、対向するエリア５Ｂとエリア５Ｄの出力を
信号処理器６Ｂに入力している。
の対向するエリア出力を入力する。第１図では、対向す
るエリア５Ａとエリア５Ｃの出力を信号処理器６Ａに入
力しており、対向するエリア５Ｂとエリア５Ｄの出力を
信号処理器６Ｂに入力している。
信号処理器８Ａ、ＥｔＢの構成は後述するが、信号処理
器６Ａの出力は表示器７Ａと表示器７Ｃに接続され、信
号処理器６Ｂの出力は表示器７Ｂと表示器７Ｄに接続さ
れる。
器６Ａの出力は表示器７Ａと表示器７Ｃに接続され、信
号処理器６Ｂの出力は表示器７Ｂと表示器７Ｄに接続さ
れる。
第１図のように表示器７Ａ〜７Ｄを矢印状のランプで形
成し、四象限センサ５のエリア５Ａ〜５Ｄに対応して放
射状に配置すれば、エリア５Ａ〜５Ｄの出力を表示器７
Ａ〜７Ｄの表示から知ることができる。
成し、四象限センサ５のエリア５Ａ〜５Ｄに対応して放
射状に配置すれば、エリア５Ａ〜５Ｄの出力を表示器７
Ａ〜７Ｄの表示から知ることができる。
信号処理器６Ｃは、四象限センサ５のエリア５Ａ〜５Ｄ
の各検出出力を加算する。したがって、第１図の四象限
センサ５と信号処理器８Ｃは、第２図の検出器２に対応
する。
の各検出出力を加算する。したがって、第１図の四象限
センサ５と信号処理器８Ｃは、第２図の検出器２に対応
する。
次に、信号処理器６Ａの実施例構成図を第３図に示す。
第１図の信号処理器６Ｂも第３図と同じように構成され
る。
る。
第３図の６１は除算器、６２と６３は比較ム、６４と６
５は基準電圧である。
５は基準電圧である。
除算器６１はエリア５Ａの出力Ｐとエリア５Ｃの出力Ｑ
を入力とし、出力Ｐを出力Ｑで除算した値に比例する出
力Ｒを次段に送る。
を入力とし、出力Ｐを出力Ｑで除算した値に比例する出
力Ｒを次段に送る。
比較器６２は除算器６１の出力Ｒと基準電圧６４の出力
Ｓを入力とし、比較器θ３は除算器６１の出力Ｒと基準
電圧６５の出力Ｔを入力とする。
Ｓを入力とし、比較器θ３は除算器６１の出力Ｒと基準
電圧６５の出力Ｔを入力とする。
第３図では出力Ｓ〉出力Ｔとし、比較器６２側では出力
Ｒ〉出力Ｓで表示器７Ａ、がオンになり、出力Ｒ〈出力
Ｓで表示器７Ａがオフになるように構成する。また、比
較器８３側では出力Ｒく出力Ｔで表示器７Ｃがオンにな
り、出力Ｒ〉出力Ｔで表示器７Ｃがオフになるように構
成する。
Ｒ〉出力Ｓで表示器７Ａ、がオンになり、出力Ｒ〈出力
Ｓで表示器７Ａがオフになるように構成する。また、比
較器８３側では出力Ｒく出力Ｔで表示器７Ｃがオンにな
り、出力Ｒ〉出力Ｔで表示器７Ｃがオフになるように構
成する。
したがって、出力Ｓ〉出力Ｒ〉出力Ｔの範囲では表示器
７Ａと表示器７Ｃの両方ともオフになっており、出力Ｓ
く出力Ｒで表示器７Ａがオンになり、出力Ｒ〈出力Ｔで
表示器７Ｃがオンになる。
７Ａと表示器７Ｃの両方ともオフになっており、出力Ｓ
く出力Ｒで表示器７Ａがオンになり、出力Ｒ〈出力Ｔで
表示器７Ｃがオンになる。
次に、四象限センサ５と表示器７Ａ〜７Ｄの動作説明図
を第４図に示す。
を第４図に示す。
第４図の点線は反射散乱光の等強度線であり、中央の点
線Ｈが最大強度の部分である。したがって、点線Ｈで囲
まれた部分が鏡面反射光に対応する部分である。
線Ｈが最大強度の部分である。したがって、点線Ｈで囲
まれた部分が鏡面反射光に対応する部分である。
第４図（ア）は点線Ｈがエリア５Ｄ１５Ｃの部分にある
状態を示し、第４図（イ）は第４図（ア）の状態に対応
する表示器７Ａ〜７Ｄの状態を示したものである。
状態を示し、第４図（イ）は第４図（ア）の状態に対応
する表示器７Ａ〜７Ｄの状態を示したものである。
第４図（つ）は第１図の被測定物４と光源１１四象限セ
ンサ５の相対的位置を調整して、点線Ｈが四象限センサ
５の中央にくるようにした伏態を示したものである。。
ンサ５の相対的位置を調整して、点線Ｈが四象限センサ
５の中央にくるようにした伏態を示したものである。。
このように、第４図の表示器７八〜７（）ｔｙ＋オンオ
フを見ながら位置調整をし、表示器７Ａ〜７Ｄのランプ
がすべてオフになるようにすれば、鏡面反射光が四象限
センサ５の中心にくるようになる。
フを見ながら位置調整をし、表示器７Ａ〜７Ｄのランプ
がすべてオフになるようにすれば、鏡面反射光が四象限
センサ５の中心にくるようになる。
（ｅ１発明の効果
この発明によれば、四象限センナ、信号処理器および表
示器により、鏡面反射光を四象限センサの位置に簡単に
セットすることができるので、表面粗さ計の位置決めを
能率よく処理することができる。
示器により、鏡面反射光を四象限センサの位置に簡単に
セットすることができるので、表面粗さ計の位置決めを
能率よく処理することができる。
第１図はこの発明による実施例の構成図、第２図は従来
技術の構成図、 第３図は信号処理器６Ａの実施例構成図、第４図は四象
限センサ５と表示器７Ａ〜７Ｄの動作説明図。 ■・・・・・・光源、２・・・・・・検出器、３・・・
・・・検出器、４・・・・・・被測定物、５・・・・・
・四象限センサ、５Ａ〜５Ｄ・・・・・・エリア、８Ａ
〜６Ｃ・・・・・・信号処理器、７Ａ〜７Ｄ・・・・・
・表示器、６１・・・・・・除算器、６２・・・・・・
比較器、８３・・・・・・比較器、６４・・・・・・基
準電圧、６５・・・・・・基準電圧。 代理人 弁理士 小 俣 飲 司 １１１１ｍ！ 第 ２１１Ｉ 第 ３ ｍ 第 ４＠ （７） （つ）（イ）
技術の構成図、 第３図は信号処理器６Ａの実施例構成図、第４図は四象
限センサ５と表示器７Ａ〜７Ｄの動作説明図。 ■・・・・・・光源、２・・・・・・検出器、３・・・
・・・検出器、４・・・・・・被測定物、５・・・・・
・四象限センサ、５Ａ〜５Ｄ・・・・・・エリア、８Ａ
〜６Ｃ・・・・・・信号処理器、７Ａ〜７Ｄ・・・・・
・表示器、６１・・・・・・除算器、６２・・・・・・
比較器、８３・・・・・・比較器、６４・・・・・・基
準電圧、６５・・・・・・基準電圧。 代理人 弁理士 小 俣 飲 司 １１１１ｍ！ 第 ２１１Ｉ 第 ３ ｍ 第 ４＠ （７） （つ）（イ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 光源の光を被測定物に照射し、前記被測定物からの
鏡面反射光と散乱光を検出する表面粗さ計において、 前記鏡面反射光を受光する四象限センサと、前記四象限
センサの対向するエリア出力を入力とし、前記エリア出
力を比較し、レベル差が一定値以上のとき出力を出す信
号処理器とを備え、前記四象限センサで前記鏡面反射光
を受光するように、前記信号処理器の出力により前記被
測定物と前記光源、前記四象限センサとの相対的位置関
係を調整することを特徴とする反射光による表面粗さ計
。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14184185A JPS622112A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 反射光による表面粗さ計 |
| GB8615726A GB2177793B (en) | 1985-06-28 | 1986-06-27 | Reflected light type surface roughness analyzer |
| DE19863621567 DE3621567A1 (de) | 1985-06-28 | 1986-06-27 | Mit reflektiertem licht arbeitender oberflaechenrauheitsanalysator |
| GB8901426A GB2211711B (en) | 1985-06-28 | 1989-01-23 | Reflected light type surface roughness analyzer |
| GB8901427A GB2211712B (en) | 1985-06-28 | 1989-01-23 | Reflected light type surface roughness analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14184185A JPS622112A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 反射光による表面粗さ計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS622112A true JPS622112A (ja) | 1987-01-08 |
Family
ID=15301396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14184185A Pending JPS622112A (ja) | 1985-06-28 | 1985-06-28 | 反射光による表面粗さ計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS622112A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004006895A (ja) * | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Agere Systems Inc | スキャタロメトリ識別法を利用したオーバーレイ測定 |
-
1985
- 1985-06-28 JP JP14184185A patent/JPS622112A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004006895A (ja) * | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Agere Systems Inc | スキャタロメトリ識別法を利用したオーバーレイ測定 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS622112A (ja) | 反射光による表面粗さ計 | |
| GB2177793A (en) | Reflected light surface roughness analyser | |
| JPS63121705A (ja) | 管の外径及び中心位置測定装置 | |
| JPH06307816A (ja) | 非接触板幅測定装置 | |
| JPH0648574Y2 (ja) | 光ピックアップ検査装置 | |
| JPH06281429A (ja) | 形鋼材の寸法測定装置 | |
| JP2000283716A (ja) | 相対位置計測装置 | |
| JPS6040937A (ja) | 免疫反応測定装置 | |
| JPH0599620A (ja) | エツジ検出装置 | |
| JPH0710278Y2 (ja) | 屈折率測定装置 | |
| JPS5914756Y2 (ja) | 光電式路面水分検知装置 | |
| JPS60238736A (ja) | 回転ミラ−の面倒れ角測定装置 | |
| JP3026972B1 (ja) | 物体表面の光沢度測定方法 | |
| JPS622114A (ja) | 反射光による表面粗さ計 | |
| JPH0419455Y2 (ja) | ||
| JPS63191988A (ja) | レ−ザドツプラ速度計 | |
| JPH0613441Y2 (ja) | Ａ・ｇ・ｃ回路付きセンタリングセンサ−を用いたシ−ト類等の帯状物の巾測定装置 | |
| JP2000314701A (ja) | 物体表面の光沢度測定方法 | |
| JPS6221012A (ja) | 路面状態センサ | |
| JPH01216205A (ja) | 運動物体の位置測定装置 | |
| JPS62255807A (ja) | 膜厚測定装置 | |
| JPH03165238A (ja) | ゴニオフォトメータ | |
| JPH04220586A (ja) | レーザドップラ方式による被測定物の速度、長さ等の測定における被測定物の傾き、位置ずれ検出方法 | |
| JPS592321B2 (ja) | 走行中の連続シ−ト状物の巾寸法の測定方法並びに装置 | |
| JPH10300435A (ja) | 計測方法及び膜厚計測装置 |